JP5827845B2 - 弾性表面波装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
12 圧電基板
13 櫛形電極
14 配線
15 空間
16 素子カバー
17 第1の接続電極
18 第2の接続電極
19 封止樹脂
20 外部端子
21 外側面
22 内側面
23 側壁部
24 天板部
25 ベースフィルム
26 感光性樹脂
27 積層フィルム
28 金型
29 凹部
Claims (20)
- 圧電基板と、
この圧電基板の表面に設けられた複数の櫛形電極と、
前記複数の櫛形電極に接続された配線と、
前記圧電基板の上に設けられて前記複数の櫛形電極を覆う素子カバーと、
前記配線の上から前記素子カバーの側面を経由して前記素子カバーの上面に至る第1の接続電極と、
前記圧電基板と前記素子カバーと前記第1の接続電極とを覆う封止樹脂と、
この封止樹脂の表面に設けられた外部端子と、
前記封止樹脂を貫通して前記第1の接続電極と前記外部端子とを接続する第2の接続電極と
を含み、
前記素子カバーは複数の凹部を含み、
前記複数の凹部はそれぞれが、前記複数の櫛形電極それぞれの上方に設けられる弾性表面波装置。 - 前記素子カバーは、
空間を介して前記圧電基板に対向する天板部と、
前記空間に面する内側面と前記第1の接続電極が形成された外側面とを含む側壁部と
を含む請求項1に記載の弾性表面波装置。 - 前記第2の接続電極は、前記素子カバーの前記側壁部の上方において前記封止樹脂を貫通する請求項2に記載の弾性表面波装置。
- 前記素子カバーの前記外側面が前記圧電基板の表面に対して傾斜する請求項2又は3に記載の弾性表面波装置。
- 前記素子カバーの前記内側面が前記圧電基板の表面に対して傾斜する請求項4に記載の弾性表面波装置。
- 前記素子カバーの前記外側面が前記圧電基板の表面となす角をA度とし、前記素子カバーの前記内側面が前記圧電基板の表面となす角をB度としたときに、
A<90°<B、A<180°−B
を満足する請求項5に記載の弾性表面波装置。 - 前記圧電基板の表面に垂直な方向において、前記素子カバーの前記側壁部の厚みが、前記素子カバーの前記天板部の厚みよりも大きい請求項2から6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
- 前記素子カバーの前記側壁部と前記天板部との境界から前記圧電基板の表面に平行な方向に延びる前記側壁部の厚みが、前記素子カバーの前記天板部の、前記圧電基板の表面に垂直な方向における厚みよりも大きい請求項2から7のいずれかに記載の弾性表面波装置。
- 前記素子カバーは、前記側壁部と前記天板部との間に接合部を有しない請求項2から8のいずれかに記載の弾性表面波装置。
- 前記素子カバーは、感光性樹脂硬化物の一体物からなる請求項9記載の弾性表面波装置。
- 前記素子カバーは前記圧電基板及び前記配線に直接接合される請求項1から10のいずれかに記載の弾性表面波装置。
- 前記素子カバーは前記圧電基板及び前記配線に保護膜を介して接合される請求項11に記載の弾性表面波装置。
- 前記保護膜は誘電体から形成される請求項12に記載の弾性表面波装置。
- 弾性表面波装置を製造する方法であって、
圧電基板の上面に複数の櫛形電極とこの櫛形電極に接続された配線を形成する工程と、
ベースフィルムと感光性樹脂とを積層してなる積層フィルムの前記感光性樹脂の面に金型を押圧して複数の凹部を形成する工程と、
前記圧電基板の上面の前記複数の櫛形電極それぞれの上に前記複数の凹部それぞれが空間を形成するように、前記感光性樹脂を前記圧電基板及び前記配線の表面に貼り合わせて、前記圧電基板と前記積層フィルムとの積層体を得る工程と、
前記感光性樹脂を露光する工程と、
前記積層体から前記ベースフィルムを剥離して前記感光性樹脂を現像することにより素子カバーを形成する工程と
を含む方法。 - 前記配線の上から前記素子カバーの側面を経由して前記素子カバーの上面に至る第1の接続電極を形成する工程をさらに含む請求項14に記載の方法。
- 前記圧電基板の上面と前記素子カバーと前記第1の接続電極とを封止樹脂で覆う工程をさらに含む請求項15に記載の方法。
- 前記封止樹脂を貫通し、前記封止樹脂の上面から前記第1の接続電極に至る穴を形成する工程をさらに含む請求項16に記載の方法。
- 前記穴を経由して前記第1の接続電極から前記封止樹脂の上面に至る第2の接続電極を形成する工程をさらに含む請求項17に記載の方法。
- 前記封止樹脂の上面に前記第2の接続電極に接続された外部端子を形成する工程をさらに含む請求項18に記載の方法。
- 前記第1の接続電極を形成する工程は、前記配線並びに前記素子カバーの外側面及び上面に電気銅めっきを適用することを含む請求項15から19のいずれかに記載の方法。
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