JP5827044B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5827044B2 JP5827044B2 JP2011143200A JP2011143200A JP5827044B2 JP 5827044 B2 JP5827044 B2 JP 5827044B2 JP 2011143200 A JP2011143200 A JP 2011143200A JP 2011143200 A JP2011143200 A JP 2011143200A JP 5827044 B2 JP5827044 B2 JP 5827044B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- liquid
- discharge
- electrode
- side wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 201
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 105
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 67
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 28
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 22
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 20
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 14
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 11
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 10
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 29
- 239000010408 film Substances 0.000 description 24
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
- B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/1609—Production of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
- B41J2/1634—Manufacturing processes machining laser machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/12—Embodiments of or processes related to ink-jet heads with ink circulating through the whole print head
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49401—Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
(第一実施形態)
図1は、本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの模式的な分解斜視図であり、図2は部分AAの模式的な縦断面図であり、図3は部分BBの模式的な縦断面図である。なお、図2では側壁6の端部上面EJに接合したフレキシブル基板20を追加記載している。また、図1のAA線は、後に説明するスリット25a及び25bの上部に位置している。
図4は本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド1の端部を表す模式的な部分斜視図であり、図5は、側壁6の端部上面EJに形成した引出電極16とフレキシブル基板20の下側の表面に形成した配線電極21の接続状態を表す模式的な部分上面図である。
図6は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド1の模式的な縦断面図である。図6(a)が吐出溝5aの長手方向の縦断面図であり、図6(b)が溝5の長手方向に直交する方向の縦断面図である。第一実施形態と異なる部分は、ノズルプレート4と側壁6の間に補強板17が挿入されている点であり、その他の部分は第一実施形態と同様である。従って、以下、主に第一実施形態と異なる部分について説明し、その他は説明を省略する。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付した。
図7は、本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド1を表し、供給口8の長手方向の縦断面に電極配線を付加した説明図である。第一実施形態と異なる点は、両端を除いて溝5を全て吐出溝5aとした点である。これに伴い、側壁6の上部に設置するカバープレート10の供給口8及び図示しない排出口は全ての吐出溝5aに連通する。また、側壁6の下部に設置したノズルプレート4は吐出溝5aのそれぞれに連通するノズル3を有する。各ノズル3は吐出溝5aの長手方向において供給口と排出口の略中央に位置する。端子T0〜T9のそれぞれは対応する吐出溝5aの両壁面に形成した駆動電極7に電気的に接続する。
図8は、本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッド1を表し、溝5の長手方向に直交する方向の模式的な縦断面図である。第一実施形態と異なる点は、側壁6の構成とその壁面WSに形成した駆動電極7であり、その他は第一実施形態と同様である。従って、以下、主に第一実施形態と異なる部分について説明し、同一の部分は説明を省略する。同一の部分または同一の機能を有する部分については同一の符号を付した。
図9は本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッド1の模式的な斜視図である。図9(a)は液体噴射ヘッド1の全体斜視図であり、図9(b)は液体噴射ヘッド1の内部斜視図である。
(第七実施形態)
図10は本発明の第七実施形態に係る液体噴射装置2の模式的な斜視図である。液体噴射装置2は、液体噴射ヘッド1、1’を往復移動させる移動機構40と、液体噴射ヘッド1、1’に液体を供給する流路部35、35’と、流路部35、35’に液体を供給する液体ポンプ33、33’及び液体タンク34、34’を備えている。各液体噴射ヘッド1、1’は複数の吐出溝を備え、各吐出溝に連通するノズルから液滴を吐出する。液体噴射ヘッド1、1’は既に説明した第一〜第六実施形態のいずれかを使用する。
次に本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法について説明する。図11は、本発明の液体噴射ヘッドの基本的な製造方法を表す工程図である。まず、圧電体基板又は圧電体基板と絶縁体基板を積層した基板、或いは分極方向が反対側を向いた2枚の圧電体基板を接合した基板を準備し、その表面に複数の溝を形成する(溝形成工程S1)。圧電体基板はPZTセラミックスを使用することができる。次に、溝が形成された基板の表面に導電体を堆積する(導電膜形成工程S2)。導電体として金属材料を用い、蒸着法、スパッタリング法、めっき法等により堆積して導電膜を形成する。その後、導電膜をパターニングして電極を形成する(電極形成工程S3)。電極は、側壁の壁面に駆動電極を、側壁の上面に引出電極を形成する。パターニングはフォトリソグラフィー及びエッチング工程、リフトオフ工程、或いはレーザー光を照射して導電膜を局所的に除去して電極パターンを形成する。
図12〜図15は本発明の第八実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法を表す図である。図12が液体噴射ヘッドの製造方法を表す工程図であり、図13〜図15が各工程の説明図である。本実施形態では図11に示す溝形成工程S1〜ノズルプレート接合工程S6の基本工程に、リフトオフ法により電極を形成するための樹脂パターン形成工程S01、駆動電極7と配線電極21との間の短絡防止のための面取り工程S31、側壁6の厚み滑り変形を液体への圧力に変換する変換効率を改善させるための補強板設置工程S51、吐出溝5aに液体を封止するための封止材設置工程S61、フレキシブル基板を端部上面EJに接合するフレキシブル基板接合工程S62、カバープレート10の上面に流路部材14を接合する流路部材接合工程S63を付加している。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
2 液体噴射装置
3 ノズル
4 ノズルプレート
5 溝、5a 吐出溝、5b ダミー溝
6 側壁
7 駆動電極
8 供給口
9 排出口
10 カバープレート
11 封止材
14 流路部材
15 圧電体基板
16 引出電極、16a 個別引出電極、16b 共通引出電極
17 補強板
18 貫通孔
19 面取り部
20 フレキシブル基板
21 配線電極、21a 個別配線電極、21b 共通配線電極
Claims (18)
- 液体を吐出するためのノズルを有するノズルプレートと、前記ノズルプレートの上方に設置され、長手方向の深さが一定である溝を構成する側壁と、前記側壁の壁面に形成される駆動電極と、前記側壁の上面に設置され、前記溝に液体を供給する供給口と前記溝から液体を排出する排出口とを備えるカバープレートと、を備える液体噴射ヘッドにおいて、
前記溝は、前記供給口に対向しかつ前記供給口に連通する供給側連通部と、前記排出口に対向しかつ前記排出口に連通する排出側連通部を有するとともに、
前記溝の長手方向における前記供給側連通部の外側の端部が供給側封止材によって閉止され、前記溝の長手方向における前記排出側連通部の外側の端部が排出側封止材によって閉止されており、
前記カバープレートは前記側壁の長手方向の端部上面を露出させて前記側壁の上面に設置され、
前記端部上面に前記駆動電極に電気的に接続する引出電極が形成されることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 表面に配線電極のパターンを有するフレキシブル基板を更に備え、
前記フレキシブル基板は前記端部上面に接合され、前記配線電極は前記引出電極に電気的に接続される請求項1に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記溝は液体吐出用の吐出溝と液体を吐出しないダミー溝を含み、前記供給口と前記排出口は前記吐出溝に連通し、前記吐出溝と前記ダミー溝は交互に並列に設置されている請求項1または2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記供給口と前記排出口は、前記吐出溝に対して開口し前記ダミー溝に対して閉止する請求項3に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記ノズルプレートと前記側壁との間に設置される補強板を更に備え、
前記補強板は、前記ノズルに連通する貫通孔を有する請求項1〜4のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記側壁は互いに逆方向に分極された圧電体が積層された積層構造を有する請求項1〜5のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記溝は液体吐出用の吐出溝と液体を吐出しないダミー溝を含み、前記供給口と前記排出口は前記吐出溝に連通し、前記吐出溝と前記ダミー溝が交互に並列に設置され、
前記引出電極は、前記吐出溝を構成する2つの側壁の吐出溝側の壁面に形成される前記駆動電極に電気的に接続する共通引出電極と、前記2つの側壁のダミー溝側の壁面に形成される駆動電極に電気的に接続する個別引出電極を含み、
前記個別引出電極は前記2つの側壁の前記端部上面の端部側に設置され、前記共通引出電極は前記2つの側壁の前記端部上面の前記カバープレート側に設置される請求項1に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記駆動電極は前記側壁の長手方向における端部まで延在し、
前記吐出溝側の壁面に形成される前記駆動電極は、前記側壁の前記端部の側において上端が前記端部上面よりも溝の深さ方向に深く形成され、
前記ダミー溝側の壁面に形成される前記駆動電極は、前記側壁の前記端部よりも前記カバープレート側において上端が前記端部上面よりも溝の深さ方向に深く形成される請求項7に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記側壁の吐出溝側の壁面と前記端部上面との間の角部が前記側壁の前記端部の側において面取りされ、
前記側壁のダミー溝側の壁面と前記端部上面との間の角部が前記側壁の前記端部よりもカバープレート側において面取りされる請求項7又は8に記載の液体噴射ヘッド。 - 外周側に形成される共通配線電極と前記共通配線電極よりも内側に形成される個別配線電極とを有するフレキシブル基板を更に備え、
前記フレキシブル基板は前記端部上面に接合され、前記共通配線電極は前記共通引出電極に電気的に接続し、前記個別配線電極は前記個別引出電極に電気的に接続する請求項7〜9のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。 - 請求項1〜10のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。 - 圧電体材料を含む基板の表面に側壁により構成され、長手方向の深さが一定である溝を形成する溝形成工程と、前記基板に導電体を堆積して導電膜を形成する導電膜形成工程と、前記導電膜をパターニングして電極を形成する電極形成工程と、前記基板の表面にカバープレートを接合するカバープレート接合工程と、前記基板の表面とは反対側の裏面を研削し、前記溝を裏面側に開口させる研削工程と、前記基板の裏面側にノズルプレートを接合するノズルプレート接合工程と、を備える液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記カバープレートは、前記溝に液体を供給する供給口と前記溝から液体を排出する排出口を有し、前記溝は、前記供給口に対向しかつ前記供給口に連通する供給側連通部と、前記排出口に対向しかつ前記排出口に連通する排出側連通部を有し、
前記溝の長手方向における前記供給側連通部の外側の端部を閉止する供給側封止材と、前記溝の長手方向における前記排出側連通部の外側の端部を閉止する排出側封止材とを設置する封止材設置工程を備え、
前記電極形成工程は、前記側壁の壁面に駆動電極を形成するとともに、前記側壁の長手方向の端部上面に前記駆動電極と電気的に接続する引出電極を形成する工程からなることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 - 前記供給口と前記排出口の間の位置の前記ノズルプレートに液体を吐出するためのノズルを形成するノズル形成工程を備える請求項12に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記研削工程の後に、前記基板の裏面側に補強板を接合する補強板接合工程を備える請求項12または13に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記電極形成工程は、前記導電膜形成工程の前に前記基板の表面に樹脂膜から成るパターンを形成し、前記導電膜形成工程の後に前記樹脂膜を除去するリフトオフ法により前記電極を形成する工程からなる請求項12〜14のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 表面に配線電極を形成したフレキシブル基板を前記端部上面に接合し、前記配線電極と前記引出電極とを電気的に接続するフレキシブル基板接合工程を備える請求項12〜15のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記溝形成工程は、液体を吐出するための吐出溝と液体を吐出しないダミー溝を交互に並列に形成する工程であり、
前記引出電極は、前記吐出溝に形成した前記駆動電極に電気的に接続する個別引出電極と前記ダミー溝に形成した前記駆動電極に電気的に接続する共通引出電極を含み、
前記電極形成工程は、前記個別引出電極を前記吐出溝を構成する2つの側壁の前記端部上面の端部側に形成し、前記共通引出電極を前記端部上面の前記個別引出電極よりも内部側に形成する工程である請求項12〜16のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。 - 前記吐出溝を構成する2つの側壁の壁面と上面の端部側の角部と、前記ダミー溝を構成する2つの側壁の壁面と上面の前記端部側の角部よりも内部側の角部とを面取りする面取り工程を備える請求項17に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011143200A JP5827044B2 (ja) | 2011-06-28 | 2011-06-28 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
KR1020120068525A KR20130002272A (ko) | 2011-06-28 | 2012-06-26 | 액체 분사 헤드, 액체 분사 장치 및 액체 분사 헤드의 제조 방법 |
US13/534,139 US8714715B2 (en) | 2011-06-28 | 2012-06-27 | Liquid jet head, liquid jet apparatus, and method of manufacturing liquid jet head |
CN201210217737.XA CN102848729B (zh) | 2011-06-28 | 2012-06-28 | 液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法 |
EP12174146.6A EP2540504A3 (en) | 2011-06-28 | 2012-06-28 | Liquid jet head, liquid jet apparatus, and method of manufacturing liquid jet head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011143200A JP5827044B2 (ja) | 2011-06-28 | 2011-06-28 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013010211A JP2013010211A (ja) | 2013-01-17 |
JP5827044B2 true JP5827044B2 (ja) | 2015-12-02 |
Family
ID=46354093
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011143200A Active JP5827044B2 (ja) | 2011-06-28 | 2011-06-28 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8714715B2 (ja) |
EP (1) | EP2540504A3 (ja) |
JP (1) | JP5827044B2 (ja) |
KR (1) | KR20130002272A (ja) |
CN (1) | CN102848729B (ja) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5905266B2 (ja) * | 2011-06-28 | 2016-04-20 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP6128820B2 (ja) * | 2011-12-22 | 2017-05-17 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
JP2014091310A (ja) * | 2012-11-06 | 2014-05-19 | Sii Printek Inc | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP6243720B2 (ja) | 2013-02-06 | 2017-12-06 | エスアイアイ・セミコンダクタ株式会社 | Esd保護回路を備えた半導体装置 |
JP6322369B2 (ja) * | 2013-07-18 | 2018-05-09 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP6473288B2 (ja) * | 2013-07-29 | 2019-02-20 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP6139319B2 (ja) * | 2013-07-30 | 2017-05-31 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP6220193B2 (ja) * | 2013-09-02 | 2017-10-25 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP6144586B2 (ja) * | 2013-09-19 | 2017-06-07 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP6278656B2 (ja) * | 2013-10-17 | 2018-02-14 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP2015168177A (ja) * | 2014-03-07 | 2015-09-28 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP6266392B2 (ja) * | 2014-03-19 | 2018-01-24 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
CN106103102B (zh) * | 2014-03-31 | 2017-10-31 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 印刷电路板流体喷射装置 |
JP6314062B2 (ja) * | 2014-08-28 | 2018-04-18 | セイコーインスツル株式会社 | 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置 |
JP6398527B2 (ja) * | 2014-09-24 | 2018-10-03 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出装置、液体吐出装置の制御方法およびプログラム |
JP6493665B2 (ja) * | 2015-03-13 | 2019-04-03 | セイコーエプソン株式会社 | Memsデバイス、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP6473375B2 (ja) * | 2015-04-28 | 2019-02-20 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置 |
JP6667227B2 (ja) * | 2015-08-27 | 2020-03-18 | 株式会社エンプラス | エミッタおよび点滴灌漑用チューブ |
CN106799892B (zh) | 2015-11-26 | 2018-06-12 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头及喷墨记录装置 |
JP6573825B2 (ja) * | 2015-11-27 | 2019-09-11 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
US9484284B1 (en) * | 2016-03-16 | 2016-11-01 | Northrop Grumman Systems Corporation | Microfluidic impingement jet cooled embedded diamond GaN HEMT |
JP2017209799A (ja) | 2016-05-23 | 2017-11-30 | 東芝テック株式会社 | インクジェットヘッド、インクジェットプリンタ及びインクジェットヘッドの製造方法 |
JP6847611B2 (ja) | 2016-09-15 | 2021-03-24 | 東芝テック株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
JP7005156B2 (ja) * | 2017-03-22 | 2022-01-21 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッドチップの製造方法 |
JP6950216B2 (ja) * | 2017-03-22 | 2021-10-13 | ブラザー工業株式会社 | アクチュエータ装置の製造方法 |
JP6993212B2 (ja) | 2017-12-22 | 2022-02-15 | 東芝テック株式会社 | 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
JP7107776B2 (ja) * | 2018-07-25 | 2022-07-27 | 東芝テック株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
JP2022097788A (ja) * | 2020-12-21 | 2022-07-01 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置 |
CN112848688B (zh) * | 2021-01-07 | 2021-09-14 | 苏州英加特喷印科技有限公司 | 压电喷墨头内循环结构及喷墨打印机 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2637830B2 (ja) | 1990-03-23 | 1997-08-06 | シャープ株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
JPH04263742A (ja) | 1991-01-28 | 1992-09-18 | Mitsubishi Electric Corp | 冷凍装置 |
JP3094489B2 (ja) | 1991-04-05 | 2000-10-03 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットプリントヘッドとそれを用いたインクジェットプリント装置、及びインクジェットプリントヘッドの製造方法 |
JP3272857B2 (ja) | 1994-02-25 | 2002-04-08 | 桂川電機株式会社 | 画像形成装置の手差しガイド |
JP3389938B2 (ja) * | 1994-09-16 | 2003-03-24 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド用の圧電駆動体 |
US5767878A (en) | 1994-09-30 | 1998-06-16 | Compaq Computer Corporation | Page-wide piezoelectric ink jet print engine with circumferentially poled piezoelectric material |
ES2195629T3 (es) | 1998-11-14 | 2003-12-01 | Xaar Technology Ltd | Aparato para deposito a partir de gotitas. |
DE60006682T2 (de) | 1999-08-14 | 2004-09-16 | Xaar Technology Ltd. | Tröpfchenaufzeichnungsgerät |
JP2001277499A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-09 | Kyocera Corp | インクジェット記録ヘッド |
JP4662519B2 (ja) * | 2001-06-01 | 2011-03-30 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | ヘッドチップ、ヘッドチップユニット、インクジェット式記録装置、及びヘッドチップの製造方法。 |
US20030038405A1 (en) | 2001-08-20 | 2003-02-27 | Bopp Richard C. | Method for producing semicrystalline polylactic acid articles |
GB0121625D0 (en) * | 2001-09-07 | 2001-10-31 | Xaar Technology Ltd | Droplet deposition apparatus |
JP4353670B2 (ja) | 2002-01-23 | 2009-10-28 | シャープ株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
JP4290969B2 (ja) * | 2002-04-16 | 2009-07-08 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | ヘッドチップ及びその製造方法 |
US7416281B2 (en) * | 2002-08-06 | 2008-08-26 | Ricoh Company, Ltd. | Electrostatic actuator formed by a semiconductor manufacturing process |
JP2004074735A (ja) * | 2002-08-22 | 2004-03-11 | Sii Printek Inc | ヘッドチップ及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置 |
JP2004082611A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Sharp Corp | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
GB0316584D0 (en) | 2003-07-16 | 2003-08-20 | Xaar Technology Ltd | Droplet deposition apparatus |
JP4581600B2 (ja) * | 2004-09-28 | 2010-11-17 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットプリンタ用ヘッド |
KR100666955B1 (ko) * | 2004-11-15 | 2007-01-10 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조 방법 |
JP4306621B2 (ja) * | 2005-02-21 | 2009-08-05 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
JP2009292009A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Sii Printek Inc | ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置およびヘッドチップの製造方法 |
JP5123881B2 (ja) * | 2008-06-05 | 2013-01-23 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及び液体噴射ヘッドの液体充填方法 |
JP5351714B2 (ja) * | 2009-11-12 | 2013-11-27 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
-
2011
- 2011-06-28 JP JP2011143200A patent/JP5827044B2/ja active Active
-
2012
- 2012-06-26 KR KR1020120068525A patent/KR20130002272A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-06-27 US US13/534,139 patent/US8714715B2/en active Active
- 2012-06-28 EP EP12174146.6A patent/EP2540504A3/en not_active Withdrawn
- 2012-06-28 CN CN201210217737.XA patent/CN102848729B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130002272A (ko) | 2013-01-07 |
EP2540504A3 (en) | 2013-06-12 |
JP2013010211A (ja) | 2013-01-17 |
CN102848729A (zh) | 2013-01-02 |
CN102848729B (zh) | 2015-09-30 |
US20130002769A1 (en) | 2013-01-03 |
EP2540504A2 (en) | 2013-01-02 |
US8714715B2 (en) | 2014-05-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5827044B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP5905266B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP5432064B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
US9010907B2 (en) | Liquid jet head, liquid jet apparatus, and method of manufacturing liquid jet head | |
US8985745B2 (en) | Liquid jet head, liquid jet apparatus, and method of manufacturing liquid jet head | |
JP5891096B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP6278656B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
US8985746B2 (en) | Liquid jet head, liquid jet apparatus, and method of manufacturing liquid jet head | |
JP5563354B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
US9221254B2 (en) | Liquid jet head, liquid jet apparatus and method of manufacturing liquid jet head | |
JP2010158864A (ja) | 液体噴射ヘッドチップ及びその製造方法、並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置 | |
US8967774B2 (en) | Liquid jet head, liquid jet apparatus, and method of manufacturing liquid jet head | |
US9199456B2 (en) | Liquid jet head, liquid jet apparatus and method of manufacturing liquid jet head | |
US9010908B2 (en) | Liquid jet head, liquid jet apparatus, and method of manufacturing liquid jet head | |
JP2016159441A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP6144586B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2013121695A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2014097641A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2014177077A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140409 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150127 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150313 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150331 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150521 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151006 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151015 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5827044 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |