JP5822438B2 - Retainer - Google Patents

Retainer Download PDF

Info

Publication number
JP5822438B2
JP5822438B2 JP2010139772A JP2010139772A JP5822438B2 JP 5822438 B2 JP5822438 B2 JP 5822438B2 JP 2010139772 A JP2010139772 A JP 2010139772A JP 2010139772 A JP2010139772 A JP 2010139772A JP 5822438 B2 JP5822438 B2 JP 5822438B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
holding surface
holding
support member
main body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2010139772A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2012000737A (en
Inventor
里志 荒井
里志 荒井
潤一郎 間山
潤一郎 間山
Original Assignee
日本空圧システム株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本空圧システム株式会社 filed Critical 日本空圧システム株式会社
Priority to JP2010139772A priority Critical patent/JP5822438B2/en
Publication of JP2012000737A publication Critical patent/JP2012000737A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5822438B2 publication Critical patent/JP5822438B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
  • Feeding Of Workpieces (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Description

この発明は、流体のベルヌーイの原理を利用して物体を保持する保持具に関する。   The present invention relates to a holder for holding an object using the Bernoulli principle of fluid.

従来から、流体に関するベルヌーイの原理によって発生する負圧を利用してワークを保持する保持具が知られている。
例えば、特許文献１に示すものは、図６に示すように、円形の保持面１ａを備えたプレート部材１の中央に、円形の凹部２を形成するとともに、この凹部２に連続する面をテーパー状にして、このテーパー面２ａを保持面１ａになめらかに連続させている。そして、上記保持面１ａには、後で詳しく説明するが、保持対象であるワークＷと保持面１ａとの間隔を保つための複数のパッド７を外周に沿って配置している。 2. Description of the Related Art Conventionally, a holder that holds a workpiece using a negative pressure generated by Bernoulli's principle related to a fluid is known.
For example, as shown in FIG. 6, as shown in FIG. 6, a circular recess 2 is formed in the center of a plate member 1 having a circular holding surface 1 a and a surface continuous with the recess 2 is tapered. The tapered surface 2a is smoothly and continuously connected to the holding surface 1a. Further, as will be described in detail later, a plurality of pads 7 for keeping a distance between the workpiece W to be held and the holding surface 1a are arranged on the holding surface 1a along the outer periphery.

また、上記凹部２には、ノズル部材３を組み込んでいる。
このノズル部材３は、その一方の面３ａを保持面１ａと同一レベルにするとともに、その内部に圧力流体を供給する中継室４を形成している。そして、この中継室４に連続する複数の絞り噴出口５を放射状に形成している。
上記絞り噴出口５は、流体の噴出方向を保持面１ａと平行になるように形成するとともに、その直径を中継室４よりも小さくしている。このように流路を絞ることによって、これら複数の絞り噴出口５の合計流路面積を、中継室４の流路面積よりも小さくしている。 A nozzle member 3 is incorporated in the recess 2.
The nozzle member 3 has one surface 3a at the same level as the holding surface 1a and forms a relay chamber 4 for supplying pressure fluid therein. A plurality of throttle outlets 5 continuing to the relay chamber 4 are formed radially.
The throttle nozzle 5 is formed so that the fluid ejection direction is parallel to the holding surface 1 a, and the diameter thereof is smaller than that of the relay chamber 4. By restricting the flow paths in this way, the total flow area of the plurality of throttle outlets 5 is made smaller than the flow area of the relay chamber 4.

上記中継室４には、プレート部材１に形成した供給通路６を連通させ、この供給通路６にはエアなどの流体を導く配管を接続するようにしている。この配管を介して中継室４にエアを導くと、そのエアが複数の絞り噴出口５に導かれる。このとき、複数の絞り噴出口５の合計流路面積、すなわち、流路の有効断面積を中継室４の流路の有効断面積よりも小さくしているので、中継室４から絞り噴出口５を通過する過程で、流速が数倍から十数倍に加速する。このようにして十分に加速した流体を、上記テーパー面２ａに吹き付けるようにしている。   A supply passage 6 formed in the plate member 1 is communicated with the relay chamber 4, and a pipe for guiding a fluid such as air is connected to the supply passage 6. When air is guided to the relay chamber 4 through this pipe, the air is guided to the plurality of throttle outlets 5. At this time, the total flow channel area of the plurality of throttle jets 5, that is, the effective cross-sectional area of the flow channel is made smaller than the effective cross-sectional area of the flow channel of the relay chamber 4, so In the process of passing through, the flow velocity accelerates from several times to ten times. The fluid sufficiently accelerated in this manner is sprayed onto the tapered surface 2a.

テーパー面２ａに吹き付けられたエアは、コアンダ効果によってこのテーパー面２ａに誘導された後、このテーパー面２ａから保持面１ａに導かれることになる。
また、上記保持面１ａに沿って導かれた流体は、さらに保持面１ａに沿って流れ、プレート部材１の外縁に沿って放出される。 The air blown to the taper surface 2a is guided to the taper surface 2a by the Coanda effect, and is then guided from the taper surface 2a to the holding surface 1a.
Further, the fluid guided along the holding surface 1 a further flows along the holding surface 1 a and is discharged along the outer edge of the plate member 1.

上記のように加速されて高速になった流体が保持面１ａに沿って流れると、流体のベルヌーイ効果によって、この保持面１ａ上に十分な負圧が発生する。この負圧を利用すれば、保持面１ａから所定の距離に置いたワークＷを負圧による吸引力によってひきつけ、上記パッド７の先端に接触させた位置で保持し、搬送することができる。   When the fluid accelerated and accelerated as described above flows along the holding surface 1a, a sufficient negative pressure is generated on the holding surface 1a due to the Bernoulli effect of the fluid. If this negative pressure is used, the workpiece W placed at a predetermined distance from the holding surface 1a can be attracted by the suction force due to the negative pressure, held at the position in contact with the tip of the pad 7, and transported.

なお、ワークＷが、保持される原理は以下のとおりである。
上記保持面１ａを下に向けて、ワークＷを上から保持する場合、もし、上記パッド７がなければ、ワークＷは重力と上記負圧による吸引力とがバランスする位置まで引き寄せられて非接触状態で保持されることになる。
また、上記保持面１ａを上に向けて、ワークＷを下から保持する場合には、噴出流体がワークＷにぶつかることによってワークを押し上げる推力と、ワークＷに作用する重力とのバランスによって、やはり非接触状態でワークＷが保持されることになる。 The principle that the workpiece W is held is as follows.
When holding the workpiece W from above with the holding surface 1a facing down, if the pad 7 is not present, the workpiece W is drawn to a position where the gravity and the suction force due to the negative pressure are balanced and contactless. Will be held in a state.
Further, when the work W is held from below with the holding surface 1a facing upward, the balance between the thrust that pushes up the work when the ejected fluid hits the work W and the gravity acting on the work W, The workpiece W is held in a non-contact state.

但し、図６に示すように上記保持面１ａから突出するパッド７を設けた保持具では、ワークＷの外周近傍をこのパッド７に接触させて保持することができる。
そして、上記パッド７を設ける場合、ワークＷに接触するパッド７の先端位置を、上記負圧によって形成される吸引力が作用する領域に設けるようにする。これにより、ワークＷには吸引力が安定して作用し、ワークＷを確実に保持できるようにしている。 However, as shown in FIG. 6, in the holder provided with the pad 7 protruding from the holding surface 1a, the vicinity of the outer periphery of the workpiece W can be held in contact with the pad 7.
And when providing the said pad 7, it is made to provide the front-end | tip position of the pad 7 which contacts the workpiece | work W in the area | region where the suction force formed by the said negative pressure acts. As a result, a suction force acts stably on the workpiece W, so that the workpiece W can be reliably held.

このような保持具は、ワークを挟んで保持する装置とは違い、ワークの外周付近のみをパッドに軽く接触させた状態で保持することができる。そのため、例えば、半導体ウエハなど、保持跡や傷を嫌うワークを保持して搬送するのに適している。   Unlike a device that holds a workpiece in between, such a holder can hold only the vicinity of the outer periphery of the workpiece in a state where the pad is lightly in contact with the pad. Therefore, for example, it is suitable for holding and transporting a workpiece that does not like holding marks or scratches, such as a semiconductor wafer.

国際公開第２００２／０４７１５５号International Publication No. 2002/047155

上記従来の保持具は、保持面１ａの外周に沿ってパッド７を設けている。そして、このパッド７先端がワークＷに接触した状態でワークＷが保持される。そのため、ワークＷと上記保持面１ａの直径が同等の場合には、上記パッド７はワークＷの外周付近に接触する。
ところが、ワークＷが、保持具の本体よりはみ出す大きさの場合には、上記パッド７の位置が相対的にワークＷの中央寄りになる。ワークＷの中央には電子回路などが形成されている場合があり、その部分にパッド７が接触すると、形成された回路に悪影響を与える可能性がある。また、回路などに実質的な影響を与えることがなくても、接触痕が中央に残った場合、商品価値が下がってしまうこともある。 The conventional holder has a pad 7 along the outer periphery of the holding surface 1a. The workpiece W is held in a state where the tip of the pad 7 is in contact with the workpiece W. Therefore, when the workpiece W and the holding surface 1a have the same diameter, the pad 7 contacts the vicinity of the outer periphery of the workpiece W.
However, when the work W is large enough to protrude from the main body of the holder, the position of the pad 7 is relatively closer to the center of the work W. In some cases, an electronic circuit or the like is formed at the center of the workpiece W, and if the pad 7 comes into contact with the portion, the formed circuit may be adversely affected. Even if the circuit or the like is not substantially affected, if the contact mark remains in the center, the commercial value may be lowered.

いずれにしろ、ワークＷの外周近傍より内側にパッド７が接触することは望ましいものではなく、パッド７の接触はワークＷの外周近傍に限って許されることが多い。
そのため、保持面１ａの外周に沿ってパッド７を設けた従来の保持具では、ワークＷの大きさに合わせて保持面１ａを大きくしたものを用意しなければならなかった。
様々な大きさの保持具を用意することが必要になれば、その分、コストがかさむことは当然である。
しかも、平面性の高い保持面１ａは、例えば削り出し加工によって形成する必要があり、大きな保持面１ａを形成するためには製造コストがかかってしまうという問題もあった。 In any case, it is not desirable that the pad 7 comes into contact with the inside of the vicinity of the outer periphery of the workpiece W, and the contact of the pad 7 is often permitted only in the vicinity of the outer periphery of the workpiece W.
For this reason, in the conventional holding tool in which the pad 7 is provided along the outer periphery of the holding surface 1a, it is necessary to prepare the holding surface 1a having a larger size in accordance with the size of the workpiece W.
If it becomes necessary to prepare holding tools of various sizes, it is natural that the cost increases accordingly.
In addition, it is necessary to form the holding surface 1a with high flatness by, for example, machining, and there is a problem that manufacturing cost is required to form the large holding surface 1a.

この発明の目的は、ワークの表面に対し、接触による問題がない位置にパッドを接触させることができる保持具を低コストで提供することである。   An object of the present invention is to provide a holder capable of bringing a pad into contact with a surface of a workpiece at a position where there is no problem due to contact at a low cost.

第１の発明は、ベルヌーイの原理で生成される負圧を利用して本体に設けた保持面にワークを保持する保持具において、上記本体から、上記本体の外方であって上記保持面に平行な方向に突出させた支持部材を設け、この支持部材には、その先端が、上記負圧によって形成される吸引力が作用する領域に位置し、上記ワークの表面に接触して上記保持面と上記ワークとの間隔を保持するための複数のパッドを設けるとともに、上記パッドを上記支持部材の突出方向に沿って移動可能にする位置調整機構を備え、さらに、上記支持部材の全部あるいは一部が、保持面に保持されたワークと対向する位置関係を保ち、上記支持部材は、上記本体が上記保持面と直交する方向に移動する際に発生して上記ワークを上記保持面から引き離す方向に作用する風圧を遮る風よけ機能を備えたことを特徴とする。 According to a first aspect of the present invention, there is provided a holder for holding a workpiece on a holding surface provided on a main body using a negative pressure generated by Bernoulli's principle. A support member protruding in a parallel direction is provided, and the tip of the support member is located in a region where a suction force formed by the negative pressure acts, and contacts the surface of the workpiece to hold the holding surface Provided with a plurality of pads for maintaining a gap between the workpiece and the workpiece, and a position adjusting mechanism for allowing the pads to move along the protruding direction of the support member. direction but Chi coercive a positional relationship opposite to the held on the holding surface the workpiece, the supporting member, to separate the workpiece occurs when the body is moved in a direction perpendicular to the holding surface of the holding surface Acting on Characterized in that it is provided with a windbreak function that blocks that wind pressure.

第２の発明は、ベルヌーイの原理で生成される負圧を利用して本体に設けた保持面にワークを保持する保持具において、上記本体に取り付けた状態で上記本体の外方であって上記保持面に平行な方向に突出するとともに、上記本体に対し着脱自在にした支持部材を備え、上記支持部材には、その先端が、上記負圧によって形成される吸引力が作用する領域に位置し、上記ワークの表面に接触して上記保持面と上記ワークとの間隔を保持するための複数のパッドを設けたことを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a holder for holding a work on a holding surface provided on a main body using a negative pressure generated by Bernoulli's principle. A support member that protrudes in a direction parallel to the holding surface and is detachable from the main body is provided, and the tip of the support member is located in a region where a suction force formed by the negative pressure acts. , characterized in that a plurality of pads for contact with the surface of the workpiece to hold the distance between the holding surface and the workpiece.

第３の発明は、上記第２の発明を前提とし、上記支持部材の全部あるいは一部が、保持面に保持されたワークと対向する位置関係を保つとともに、上記支持部材が、上記本体が上記保持面と直交する方向に移動する際に発生して上記ワークを上記保持面から引き離す方向に作用する風圧を遮る風よけ機能を備えたことを特徴とする。 A third invention is the second invention assumes, all or part of the support member, with keeping the workpiece opposite to the positional relationship which is held on the holding surface, said support member, said body above It has a windbreak function that blocks wind pressure that occurs when moving in a direction orthogonal to the holding surface and acts in a direction to separate the workpiece from the holding surface.

この発明によれば、様々な大きさのワークに対し、ワークの外周近傍など、ワークにおいて接触しても問題のない位置に、パッドを接触させることができる保持具を、コストを抑えて提供できる。
第１の発明によれば、パッドの位置を調整できるので、一つの保持具で様々な大きさのワークに対応することができる。さらに、支持部材が風よけ機能を備えたので、保持面にワークを保持した状態で本体を移動したとき、移動に伴って発生する風圧がワークに直接作用しないようにできる。従って、ワークの搬送時に、上記風圧によってワークが脱落することを防止できる。 According to the present invention, it is possible to provide a holding tool capable of bringing a pad into contact with a workpiece of various sizes, such as the vicinity of the outer periphery of the workpiece, at a position where there is no problem even when contacting the workpiece, at a reduced cost. .
According to the first invention, since the position of the pad can be adjusted, it is possible to deal with workpieces of various sizes with a single holder. Furthermore, since the support member has a windbreak function, when the main body is moved while the work is held on the holding surface, the wind pressure generated along with the movement can be prevented from directly acting on the work. Accordingly, it is possible to prevent the workpiece from falling off due to the wind pressure during the conveyance of the workpiece.

また、第２の発明では、着脱自在にした支持部材を、取り換えることによって、異なる大きさのワークに対応することができる。
第３の発明によれば、着脱自在にした支持部材が風よけ機能を備えたので、保持面にワークを保持した状態で本体を移動したとき、移動に伴って発生する風圧がワークに直接作用しないようにできる。従って、ワークの搬送時に、上記風圧によってワークが脱落することを防止できる。
 Moreover, in 2nd invention, it can respond | correspond to the workpiece | work of a different magnitude | size by replacing | exchanging the support member made detachable.
According to the third invention , since the detachable support member has a windbreak function, when the main body is moved with the work held on the holding surface, the wind pressure generated by the movement is directly applied to the work. It can be disabled. Accordingly, it is possible to prevent the workpiece from falling off due to the wind pressure during the conveyance of the workpiece.

第１実施形態の断面図である。It is sectional drawing of 1st Embodiment. 第１実施形態の底面図である。It is a bottom view of a 1st embodiment. 第２実施形態の断面図である。It is sectional drawing of 2nd Embodiment. 第２実施形態の平面図である。It is a top view of a 2nd embodiment. 第３実施形態の断面図である。It is sectional drawing of 3rd Embodiment. 従来例の断面図である。It is sectional drawing of a prior art example.

図１、図２に示す第１実施形態の保持具は、プレート部材１とノズル部材３とで本体を構成するものである。
そして、上記プレート部材１は、図６に示す従来例のプレート部材１の保持面１ａにパッド７を備えていない以外は、従来例のものと同じである。また、上記ノズル部材３は、従来例と全く同じ構造である。従って、この第１実施形態において従来例と同じ構成要素には図６と同じ符号を用い、各要素についての詳細な説明は省略する。 The holder of 1st Embodiment shown in FIG. 1, FIG. 2 comprises a main body with the plate member 1 and the nozzle member 3. As shown in FIG.
The plate member 1 is the same as the conventional example except that the pad 7 is not provided on the holding surface 1a of the conventional plate member 1 shown in FIG. The nozzle member 3 has the same structure as the conventional example. Therefore, in this 1st Embodiment, the same code | symbol as FIG. 6 is used for the same component as a prior art example, and detailed description about each component is abbreviate | omitted.

この第１実施形態では、上記プレート部材１の保持面１ａと反対側の表面１ｂに、複数の支持片８を設けている。
この支持片８は、プレート部材１の外周、すなわち本体の外周から外方に突出し、後で説明するパッド１２を、この第１実施形態の保持具で保持するワークＷの外周近傍に位置させることが可能な長さを備えた板部材である。そして、この支持片８の基端側をビス９によってプレート部材１に固定している。
また、上記支持片８には、プレート部材１の外方へ突出する部分に支持片８の長手方向に沿った長孔８ａを形成している。 In the first embodiment, a plurality of support pieces 8 are provided on the surface 1 b opposite to the holding surface 1 a of the plate member 1.
This support piece 8 protrudes outward from the outer periphery of the plate member 1, that is, the outer periphery of the main body, and the pad 12 described later is positioned in the vicinity of the outer periphery of the workpiece W held by the holder of the first embodiment. It is a board member provided with the length which can be. The base end side of the support piece 8 is fixed to the plate member 1 with screws 9.
The support piece 8 is formed with a long hole 8 a along the longitudinal direction of the support piece 8 at a portion protruding outward of the plate member 1.

さらに、上記長孔８ａにはボルト１０によって、支持片８の表面に直交する柱部材１１を取り付けている。但し、上記柱部材１１は支持片８に直交しなくてもよい。
この柱部材１１は、支持片８を基準にして上記保持面１ａ側に突出させ、その端面を保持面１ａとほぼ同レベルにしている。そして、この柱部材１１の端面には、ワークＷに接触させて保持面１ａとワークＷとの間隔を保持するためのパッド１２を設けている。
なお、上記ボルト１０の頭部及び上記柱部材１１の外径を、上記長孔８ａの幅よりも大きくして、ボルト１０及び柱部材１１が支持片８から外れないようにしている。 Further, a pillar member 11 orthogonal to the surface of the support piece 8 is attached to the long hole 8 a by a bolt 10. However, the column member 11 may not be orthogonal to the support piece 8.
The column member 11 protrudes toward the holding surface 1a with the support piece 8 as a reference, and the end surface thereof is at the same level as the holding surface 1a. And the pad 12 for making the end surface of this pillar member 11 contact the workpiece | work W and hold | maintaining the space | interval of the holding surface 1a and the workpiece | work W is provided.
The heads of the bolts 10 and the outer diameters of the column members 11 are made larger than the widths of the long holes 8 a so that the bolts 10 and the column members 11 do not come off the support pieces 8.

そして、上記パッド１２の先端が、上記プレート部材１に形成した供給通路６にエアなど流体の供給配管を接続して、絞り噴出口５から流体を噴出させて保持面１ａに沿った負圧を発生させたとき、保持面１ａに向かう吸引力が作用する範囲内に位置するようにしている。
なお、上記ボルト１０を緩めることによって、上記柱部材１１を長孔８ａの範囲で移動させることができ、締めることによってその位置を保つことができる。上記長孔８ａ及びボルト１０がこの発明の位置調整機構を構成している。 And the front-end | tip of the said pad 12 connects the supply piping of fluids, such as air, to the supply channel | path 6 formed in the said plate member 1, a fluid is ejected from the throttle outlet 5, and the negative pressure along the holding surface 1a is made. When it is generated, it is positioned within a range where a suction force toward the holding surface 1a acts.
The column member 11 can be moved in the range of the long hole 8a by loosening the bolt 10, and the position can be maintained by tightening. The long hole 8a and the bolt 10 constitute a position adjusting mechanism of the present invention.

このような構成にした第１実施形態の保持具では、本体の外方においてパッド１２の位置を調整できる。ここでは、図２に示すように、二点鎖線で示すワークＷを上記保持面１ａで保持したとき、上記パッド１２がワークＷの外周近傍に位置するようにしている。
この第１実施形態の保持具においても、上記プレート部材１の供給通路６にエアなどの流体の供給配管を接続し、ノズル部材３に流体を供給すれば、従来例の保持具と同様に、絞り噴出口５から噴出する高速の流体によって負圧による吸引力が発生し、この吸引力によって保持面１ａにワークＷを保持することができる。このとき、上記ワークＷが、本体の外周から外方に突出する大きさであっても、パッド１２はその外周近傍に位置するので、ワークＷの内側にパッド１２が接触することはない。 In the holder of the first embodiment configured as described above, the position of the pad 12 can be adjusted outside the main body. Here, as shown in FIG. 2, the pad 12 is positioned in the vicinity of the outer periphery of the workpiece W when the workpiece W indicated by a two-dot chain line is held by the holding surface 1 a.
Also in the holder of the first embodiment, if a supply pipe for fluid such as air is connected to the supply passage 6 of the plate member 1 and the fluid is supplied to the nozzle member 3, as in the conventional holder, A suction force due to a negative pressure is generated by the high-speed fluid ejected from the throttle outlet 5, and the workpiece W can be held on the holding surface 1a by this suction force. At this time, even if the workpiece W has a size that protrudes outward from the outer periphery of the main body, the pad 12 does not contact the inside of the workpiece W because the pad 12 is positioned in the vicinity of the outer periphery.

このように、第１実施形態の保持具では保持面１ａを大きくしなくても、保持面１ａとワークＷとの間隔を保つためのパッド１２がワークＷの内側に接触しないようにすることができる。
そして、上記支持片８及び柱部材１１からなる支持部材は、上記保持面１ａのような高い加工精度を必要とせず、低コストで形成できる。そのため、上記支持片８及び柱部材１１を備えたこの第１実施形態の保持具は、保持面１ａの大きさをワークＷの大きさに合わせた保持具と比べて低コストで製造できる。 As described above, in the holder according to the first embodiment, the pad 12 for keeping the distance between the holding surface 1a and the workpiece W is prevented from coming into contact with the inside of the workpiece W without increasing the holding surface 1a. it can.
And the support member which consists of the said support piece 8 and the column member 11 does not require the high processing precision like the said holding surface 1a, and can be formed at low cost. Therefore, the holder according to the first embodiment including the support piece 8 and the column member 11 can be manufactured at a lower cost than a holder in which the size of the holding surface 1a is adjusted to the size of the workpiece W.

なお、この第１実施形態では、上記支持片８をプレート部材１にビス９によって取り付けているが、取り付け手段はこれに限らず、接着などでもかまわない。また、上記支持片８を、プレート部材１の側面に取り付けるようにしてもよい。あるいは、上記プレート部材１と支持片８とを一体に形成してもよい。
さらに、この第１実施形態では、上記支持片８の長孔８ａ及びボルト１０による位置調整機構を備えているが、この発明の支持部材は位置調整機構を備えていなくてもよい。例えば、上記支持片８と柱部材１１とを一体的に形成することもできる。その場合には、上記長孔８ａ及びボルト１０は不要である。
また、プレート部材１に取り付ける上記支持片８に形成したビス９の孔を長孔にして、支持片８のプレート部材１からの突出長さを調整することで、パッド１２の位置を調整するようにしてもよい。
なお、パッドの位置調整手段を備えていなくても、上記支持片８をプレート部材１などの本体に対して着脱自在に設けるようにすれば、支持片８を交換することによって、異なる大きさのワークＷに対応することもできる。例えば、より長い支持片８に交換すれば、さらに大きなワークＷを保持するときにも、パッド１２がワークＷの内側に接触しないようにすることができる。 In the first embodiment, the support piece 8 is attached to the plate member 1 with screws 9, but the attachment means is not limited to this, and bonding may be used. Further, the support piece 8 may be attached to the side surface of the plate member 1. Alternatively, the plate member 1 and the support piece 8 may be integrally formed.
Furthermore, in this 1st Embodiment, although the position adjustment mechanism by the long hole 8a and the volt | bolt 10 of the said support piece 8 is provided, the support member of this invention does not need to be provided with the position adjustment mechanism. For example, the support piece 8 and the column member 11 can be integrally formed. In that case, the long hole 8a and the bolt 10 are unnecessary.
Further, the position of the pad 12 is adjusted by adjusting the protruding length of the support piece 8 from the plate member 1 by making the hole of the screw 9 formed in the support piece 8 attached to the plate member 1 into a long hole. It may be.
Even if the pad position adjusting means is not provided, if the support piece 8 is detachably provided to the main body such as the plate member 1, the support piece 8 can be replaced to have a different size. The workpiece W can also be handled. For example, if the support piece 8 is replaced with a longer one, the pad 12 can be prevented from coming into contact with the inside of the work W even when a larger work W is held.

図３、図４に示す第２実施形態は、パッド１２の支持部材の構成が第１実施形態と異なるが、その他の構成は、第１実施形態と同じである。従って、第１実施形態と同じ構成要素には、同じ符号を用い、各構成要素の詳細な説明は省略する。
この第２実施形態の保持具は、プレート部材１の保持面１ａと反対側の表面１ｂに、プレート部材１、すなわち本体から外方へ突出させた支持円盤１３を設けている。この支持円盤１３の中央には上記供給通路６を塞がないように開口１３ｂを形成するとともに、プレート部材１の外方に対応する位置には複数の長孔１３ａを放射状に配置して形成している。 The second embodiment shown in FIGS. 3 and 4 is different from the first embodiment in the configuration of the support member for the pad 12, but the other configurations are the same as those in the first embodiment. Accordingly, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description of each component is omitted.
In the holder according to the second embodiment, a support disk 13 protruding outward from the plate member 1, that is, the main body, is provided on the surface 1b of the plate member 1 opposite to the holding surface 1a. An opening 13b is formed in the center of the support disk 13 so as not to block the supply passage 6, and a plurality of long holes 13a are formed radially at positions corresponding to the outside of the plate member 1. ing.

そして、上記長孔１３ａのそれぞれには、ボルト１０によって支持円盤１３の表面に直交する柱部材１１を取り付けている。但し、柱部材１１は支持円盤１３に直交しなくてもよい。
この柱部材１１は、支持円盤１３を基準にして上記保持面１ａ側に突出させ、その端面を保持面１ａとほぼ同レベルにしている。そして、この柱部材１１の端面には、ワークＷに接触させて保持面１ａとワークＷとの間隔を保持するためのパッド１２を設けている。
なお、上記ボルト１０の頭部及び上記柱部材１１の外径を、上記長孔１３ａの幅よりも大きくして、ボルト１０及び柱部材１１が支持円盤１３から外れないようにしている。 And the pillar member 11 orthogonal to the surface of the support disk 13 is attached to each of the said long holes 13a with the volt | bolt 10. FIG. However, the column member 11 may not be orthogonal to the support disk 13.
The column member 11 protrudes toward the holding surface 1a with the support disk 13 as a reference, and the end surface thereof is substantially at the same level as the holding surface 1a. And the pad 12 for making the end surface of this pillar member 11 contact the workpiece | work W and hold | maintaining the space | interval of the holding surface 1a and the workpiece | work W is provided.
Note that the heads of the bolts 10 and the outer diameters of the column members 11 are made larger than the widths of the long holes 13 a so that the bolts 10 and the column members 11 do not come off the support disk 13.

そして、上記パッド１２の先端が、上記プレート部材１に形成した供給通路６にエアなど流体の供給配管を接続して、絞り噴出口５から流体を噴出させて保持面１ａに沿った負圧を発生させたとき、保持面１ａに向かう吸引力が作用する範囲内に位置するようにしている。
なお、上記ボルト１０を緩めることによって、上記柱部材１０を長孔１３ａの範囲で移動させることができ、締めることによってその位置を保つことができる。上記長孔１３ａ及びボルト１０がこの発明の位置調整機構を構成している。 And the front-end | tip of the said pad 12 connects the supply piping of fluids, such as air, to the supply channel | path 6 formed in the said plate member 1, a fluid is ejected from the throttle outlet 5, and the negative pressure along the holding surface 1a is made. When it is generated, it is positioned within a range where a suction force toward the holding surface 1a acts.
The column member 10 can be moved in the range of the long hole 13a by loosening the bolt 10, and the position can be maintained by tightening. The long hole 13a and the bolt 10 constitute a position adjusting mechanism of the present invention.

このような構成にした第２実施形態の保持具でも、本体の外方においてパッド１２の位置を調整できる。
そして、この第２実施形態の保持具においても、上記第１実施形態と同様にして、保持面１ａが吸引力でワークＷを保持できるが、このとき、上記ワークＷが、本体の外周から外方に突出する大きさであっても、パッド１２がワークＷの外周近傍に位置するように調整することができる。 Even with the holder of the second embodiment having such a configuration, the position of the pad 12 can be adjusted outside the main body.
In the holder of the second embodiment, the holding surface 1a can hold the workpiece W with a suction force in the same manner as in the first embodiment. At this time, the workpiece W is removed from the outer periphery of the main body. The pad 12 can be adjusted so that the pad 12 is positioned in the vicinity of the outer periphery of the workpiece W even when the size of the pad 12 protrudes in the direction.

上記のように、第２実施形態の保持具では、保持面１ａを大きくしなくても、保持面１ａとワークＷとの間隔を保つためのパッド１２がワークＷの内側に接触しないようにすることができる。
そして、上記支持円盤１３及び柱部材１１からなる支持部材は、上記保持面１ａよりも加工精度を必要とせず、低コストで形成できる。そのため、上記支持片８及び柱部材１１を備えたこの第１実施形態の保持具は、保持面１ａの大きさをワークＷの大きさに合わせた保持具と比べて低コストで製造できる。 As described above, in the holder of the second embodiment, the pad 12 for keeping the distance between the holding surface 1a and the workpiece W is prevented from coming into contact with the inside of the workpiece W without increasing the holding surface 1a. be able to.
And the support member which consists of the said support disk 13 and the column member 11 does not require a process precision rather than the said holding surface 1a, and can be formed at low cost. Therefore, the holder according to the first embodiment including the support piece 8 and the column member 11 can be manufactured at a lower cost than a holder in which the size of the holding surface 1a is adjusted to the size of the workpiece W.

なお、この第２実施形態では、上記支持円盤１３をプレート部材１にビス９によって取り付けているが、支持円盤１３の取り付け手段はこれに限らず、接着などでもかまわない。また、上記支持円盤１３をプレート部材１の側面に取り付けるようにしてもよい。あるいは、上記プレート部材１と支持円盤１３とを一体に形成してもよい。
さらに、この第２実施形態では、上記長孔１３ａおよびボルト１０によってこの発明の位置調整機構を構成しているが、この位置調整機構は必須ではない。例えば、支持円盤１３と柱部材１１とを一体的に形成することもできる。 In the second embodiment, the support disk 13 is attached to the plate member 1 with screws 9, but the attachment means for the support disk 13 is not limited to this, and bonding may be used. Further, the support disk 13 may be attached to the side surface of the plate member 1. Alternatively, the plate member 1 and the support disk 13 may be integrally formed.
Furthermore, in this 2nd Embodiment, although the position adjustment mechanism of this invention is comprised by the said long hole 13a and the volt | bolt 10, this position adjustment mechanism is not essential. For example, the support disk 13 and the column member 11 can be integrally formed.

また、この第２実施形態の保持具では、支持円盤１３がワークＷと対向し、ワークＷの表面をほとんど覆うようにしている。そのため、上記支持円盤１３が風よけ機能を発揮し、上記保持面１ａでワークＷを保持した状態で本体を矢印ｘ１方向へ移動したときに発生する矢印ｘ２方向の風圧を遮ることができる。このように支持円盤１３が風よけとして機能し、矢印ｘ２方向の風圧をワークＷに直接作用させなければ、上記風圧によってワークＷが保持面１ａから脱落することを防止することができる。
このように、パッド１２の支持機構が風よけ機能を備え、風圧によるワークＷの脱落を防止できれば、風よけ機能を備えていない場合と比べて、保持面１ａ近傍の吸着力を小さくすることもできる。吸引力を小さくすれば、その分、流体の消費量や騒音を抑えることができる。 Further, in the holder of the second embodiment, the support disk 13 faces the workpiece W and covers almost the surface of the workpiece W. Therefore, the support disk 13 exhibits a windbreak function, and the wind pressure in the direction of the arrow x2 generated when the main body is moved in the direction of the arrow x1 while the work W is held by the holding surface 1a can be blocked. In this way, if the support disk 13 functions as a windbreak and the wind pressure in the direction of the arrow x2 does not directly act on the workpiece W, the workpiece W can be prevented from falling off the holding surface 1a due to the wind pressure.
As described above, if the support mechanism of the pad 12 has a windbreak function and can prevent the workpiece W from falling off due to wind pressure, the suction force in the vicinity of the holding surface 1a is reduced as compared with the case where the work protection function is not provided. You can also. If the suction force is reduced, the fluid consumption and noise can be reduced accordingly.

図５に示す第３実施形態は、支持手段が位置調整手段を備えていない点が上記第２実施形態と異なるが、その他の機能は第２実施形態と同じである。
また、この第３実施形態においても、プレート部材１及びノズル部材３からなる本体の構成は上記他の実施形態と同じであり、上記実施形態と同じ構成要素には同じ符号を用いることとし、各要素についての説明は省略する。 The third embodiment shown in FIG. 5 is different from the second embodiment in that the support means does not include the position adjusting means, but the other functions are the same as those of the second embodiment.
Also in the third embodiment, the configuration of the main body composed of the plate member 1 and the nozzle member 3 is the same as that of the other embodiments described above, and the same reference numerals are used for the same components as those of the embodiment described above. A description of the elements is omitted.

この第３実施形態は、プレート部材１の表面１ｂにビス９によって取り付けた支持円盤１４とこの支持円盤１４上に起立させて設けた複数の柱部材１５とによってこの発明の支持部材を構成している。そして、柱部材１５の先端面を保持面１ａとほぼ同レベルにするとともに、この端面にパッド１２を設けている。
なお、上記支持円盤１４の中央には開口１４ａを設け、プレート部材１に形成した供給通路６を塞がないようにしている。 In the third embodiment, a support disk 14 attached to the surface 1b of the plate member 1 with screws 9 and a plurality of pillar members 15 provided upright on the support disk 14 constitute a support member of the present invention. Yes. And the front end surface of the column member 15 is made into the substantially same level as the holding surface 1a, and the pad 12 is provided in this end surface.
An opening 14a is provided in the center of the support disk 14 so that the supply passage 6 formed in the plate member 1 is not blocked.

このようにした第３実施形態の保持具においても、高速流による負圧に基づく吸引力でワークＷを保持するとき、ワークＷはパッド１２に接触するが、図５に示すように、本体の外方に突出しているワークＷに対してパッド１２が接触する位置は、ワークＷの内側ではなく外周近傍になる。
しかも、この第３実施形態の支持部材は、支持円盤１４が本体からはみ出したワークＷに対向しているので、保持具を矢印ｘ１方向に移動する際の矢印ｘ２方向の風圧を上記円盤部１４が遮り、上記風圧がワークＷに直接作用することを防止できる。つまり、第３実施形態の支持部材は風よけ機能を備え、これによって保持搬送中のワークＷが風圧によって脱落することを防止できる。 In the holder according to the third embodiment as described above, when the workpiece W is held by the suction force based on the negative pressure due to the high-speed flow, the workpiece W contacts the pad 12, but as shown in FIG. The position where the pad 12 contacts the workpiece W protruding outward is not the inside of the workpiece W but the vicinity of the outer periphery.
In addition, since the support disk 14 faces the workpiece W protruding from the main body, the support member of the third embodiment has the wind pressure in the arrow x2 direction when the holder is moved in the arrow x1 direction. Can prevent the wind pressure from directly acting on the workpiece W. That is, the support member according to the third embodiment has a windbreak function, thereby preventing the workpiece W being held and conveyed from falling off due to wind pressure.

また、この第３実施形態のようにパッドの位置調整手段を備えていなくても、上記支持円盤１４をプレート部材１などの本体に対して着脱自在に設けるようにすれば、支持円盤１４を大きさの異なるものに交換することによって、異なる大きさのワークＷに対応することもできる。例えば、より大きな支持円盤に交換すれば、さらに大きなワークＷを保持するときにも、パッド１２がワークＷの内側に接触しないようにすることができる。
但し、上記パッド１２を設けた柱部材１５は支持円盤の外周近傍に設ける必要がある。 Even if the pad position adjusting means is not provided as in the third embodiment, if the support disk 14 is provided detachably with respect to the body such as the plate member 1, the support disk 14 is enlarged. By exchanging them with different ones, it is possible to deal with workpieces W of different sizes. For example, if a larger support disk is replaced, the pad 12 can be prevented from coming into contact with the inside of the work W even when a larger work W is held.
However, the column member 15 provided with the pad 12 needs to be provided in the vicinity of the outer periphery of the support disk.

上記第１〜第３実施形態では、本体の外方に突出させた支持部材にパッド１２を設けるようにしたので、本体の大きさに関わりなく、パッド１２の位置をワークＷの外周付近に設定することができる。そして、上記支持部材は、本体を形成するよりも加工が容易で、様々な寸法のものを用意したとしても、製造コストを抑えることができる。
なお、上記実施形態では、この発明の支持部材を、プレート部材１の表面１ｂに取り付けた板状の支持片８、支持円盤１３、あるいは支持円盤１４と、柱部材１１あるいは柱部材１５とで構成しているが、この発明の支持部材は上記実施形態の構成に限らない。
要するに、パッド１２を本体の外方であってワークＷに対応させた位置にパッドを保持できるものならどのような形状でもかまわない。そして、パッドと支持部材とを一体的に形成してもよい。例えば、上記柱部材１１をパッドに適した材質で形成することもできる。 In the first to third embodiments, since the pad 12 is provided on the support member protruding outward from the main body, the position of the pad 12 is set near the outer periphery of the workpiece W regardless of the size of the main body. can do. And the said supporting member is easier to process than forming a main body, and even if it prepares the thing of various dimensions, manufacturing cost can be held down.
In the above embodiment, the support member of the present invention is constituted by the plate-like support piece 8, the support disk 13, or the support disk 14 attached to the surface 1b of the plate member 1, and the column member 11 or the column member 15. However, the support member of the present invention is not limited to the configuration of the above embodiment.
In short, any shape may be used as long as the pad 12 can be held at a position corresponding to the workpiece W outside the main body. And you may form a pad and a supporting member integrally. For example, the column member 11 can be formed of a material suitable for the pad.

また、支持部材のプレート部材１への取り付け方法や、取り付け位置も、上記実施形態のものに限らない。例えば、支持部材を接着によって取り付けたり、支持部材をプレート部材１の側面に取り付けたりしてもよい。あるいは、上記プレート部材１と支持部材とを一体に形成してもよい。   Further, the method of attaching the support member to the plate member 1 and the attachment position are not limited to those of the above embodiment. For example, the support member may be attached by adhesion, or the support member may be attached to the side surface of the plate member 1. Alternatively, the plate member 1 and the support member may be integrally formed.

さらに、上記パッド１２の数はいくつでも良いし、その配置も限定されない。
但し、ワークＷの外周に沿って等間隔で接触するようにパッド１２を配置した方が、保持面１ａに対してワークＷが傾かずにその距離を一定に保ち易い。
また、パッド１２の数は多い方がワークＷの傾きを少なくできる。しかし、パッド１２が多くなりすぎると、ワークＷを保持したとき、流体の噴出経路が遮られて必要な流量を流せなくなり、負圧を形成できなくなってしまったり、流体圧でワークＷを引き離してしまったりするという問題も発生する。従って、パッド１２の数や配置は他の条件に応じて最適なものを選択するようにする。 Further, the number of the pads 12 may be any number, and the arrangement thereof is not limited.
However, when the pads 12 are arranged so as to be in contact with each other at equal intervals along the outer periphery of the work W, the work W is not inclined with respect to the holding surface 1a and the distance can be kept constant.
Further, the inclination of the workpiece W can be reduced as the number of the pads 12 is larger. However, if the number of the pads 12 is too large, when the work W is held, the flow path of the fluid is blocked and a necessary flow rate cannot flow, and a negative pressure cannot be formed, or the work W is pulled away by the fluid pressure. There is also a problem that it can be lost. Therefore, the optimal number and arrangement of the pads 12 are selected according to other conditions.

また、この発明の保持具における本体の構成は、上記実施形態の構成に限らない。
例えば、プレート部材１とノズル部材３とを別部材にせずに、一体化したものでも良いし、ノズル部材３の構造が異なるものでもよい。さらに、高速流体が噴出する上記絞り噴出口５に替えてスリットを採用しても良い。
要するに流体のベルヌーイの原理を利用して保持面側でワークＷを保持できる構成ならどのようなものでも、この発明の本体として用いることができる。 Moreover, the structure of the main body in the holder of this invention is not restricted to the structure of the said embodiment.
For example, the plate member 1 and the nozzle member 3 may be integrated without being separate members, or the structure of the nozzle member 3 may be different. Furthermore, a slit may be adopted instead of the above-mentioned throttle outlet 5 from which high-speed fluid is ejected.
In short, any configuration that can hold the workpiece W on the holding surface side using the Bernoulli principle of fluid can be used as the main body of the present invention.

特に、内側にパッドが接触することを嫌うワークを保持搬送する分野に適している。   In particular, it is suitable for the field of holding and transporting workpieces that do not want the pads to contact the inside.

１ （本体を構成する）プレート部材
３ （本体を構成する）ノズル部材
８ 支持片
８ａ 長孔
１０ ボルト
１１ 柱部材
１２ パッド
１３ 支持円盤
１３ａ 長孔
１４ 支持円盤
１５ 柱部材
Ｗ ワーク DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Plate member 3 which comprises a main body Nozzle member 8 which comprises a main body 8 Support piece 8a Long hole 10 Bolt 11 Column member 12 Pad 13 Support disk 13a Long hole 14 Support disk 15 Column member W Workpiece

Claims (3)

ベルヌーイの原理で生成される負圧を利用して本体に設けた保持面にワークを保持する保持具において、上記本体から、上記本体の外方であって上記保持面に平行な方向に突出させた支持部材を設け、この支持部材には、その先端が、上記負圧によって形成される吸引力が作用する領域に位置し、上記ワークの表面に接触して上記保持面と上記ワークとの間隔を保持するための複数のパッドを設けるとともに、上記パッドを上記支持部材の突出方向に沿って移動可能にする位置調整機構を備え、さらに、上記支持部材の全部あるいは一部が、保持面に保持されたワークと対向する位置関係を保ち、上記支持部材は、上記本体が上記保持面と直交する方向に移動する際に発生して上記ワークを上記保持面から引き離す方向に作用する風圧を遮る風よけ機能を備えた保持具。 In a holder for holding a workpiece on a holding surface provided on the main body using negative pressure generated by the Bernoulli principle , the holding tool is protruded from the main body in a direction parallel to the holding surface. A support member is provided, the tip of the support member is located in a region where the suction force formed by the negative pressure acts, and contacts the surface of the workpiece so that the distance between the holding surface and the workpiece Provided with a plurality of pads for holding the pad, and a position adjusting mechanism that allows the pad to move along the protruding direction of the support member. Further, all or a part of the support member is held on the holding surface. been Chi coercive positional relationship to the workpiece and the counter, the support member may block the wind pressure the workpiece occurs when the body is moved in a direction perpendicular to the holding surface in a direction away from the holding surface Visor holder having a function. ベルヌーイの原理で生成される負圧を利用して本体に設けた保持面にワークを保持する保持具において、上記本体に取り付けた状態で上記本体の外方であって上記保持面に平行な方向に突出するとともに、上記本体に対し着脱自在にした支持部材を備え、上記支持部材には、その先端が、上記負圧によって形成される吸引力が作用する領域に位置し、上記ワークの表面に接触して上記保持面と上記ワークとの間隔を保持するための複数のパッドを設けた保持具。 In a holder for holding a work on a holding surface provided on the main body using negative pressure generated by Bernoulli's principle , a direction that is outward of the main body and parallel to the holding surface when attached to the main body And a support member that is detachably attached to the main body, the tip of the support member is located in a region where a suction force formed by the negative pressure acts, and is provided on the surface of the workpiece . A holder provided with a plurality of pads for contacting and holding the gap between the holding surface and the workpiece. 上記支持部材の全部あるいは一部が、保持面に保持されたワークと対向する位置関係を保つとともに、上記支持部材は、上記本体が上記保持面と直交する方向に移動する際に発生して上記ワークを上記保持面から引き離す方向に作用する風圧を遮る風よけ機能を備えた請求項２に記載の保持具。 All or part of the support member maintains a positional relationship facing the workpiece held on the holding surface, and the support member is generated when the main body moves in a direction perpendicular to the holding surface. The holder according to claim 2 , further comprising a windbreak function that blocks wind pressure acting in a direction in which the work is pulled away from the holding surface.
JP2010139772A 2010-06-18 2010-06-18 Retainer Active JP5822438B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010139772A JP5822438B2 (en) 2010-06-18 2010-06-18 Retainer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010139772A JP5822438B2 (en) 2010-06-18 2010-06-18 Retainer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012000737A JP2012000737A (en) 2012-01-05
JP5822438B2 true JP5822438B2 (en) 2015-11-24

Family

ID=45533326

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010139772A Active JP5822438B2 (en) 2010-06-18 2010-06-18 Retainer

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5822438B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11524392B2 (en) 2020-11-24 2022-12-13 Applied Materials, Inc. Minimal contact gripping of thin optical devices
CN114309738B (en) * 2021-12-03 2023-10-20 安徽全柴动力股份有限公司 Positioning fixture and positioning method for top and bottom surfaces of rough milling machine body

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6392537A (en) * 1986-10-02 1988-04-23 Hiroshi Akashi Noncontact conveying device
JPH0664778A (en) * 1992-08-24 1994-03-08 Hitachi Ltd Noncontact type workpiece holding head
JP3866947B2 (en) * 2001-08-06 2007-01-10 シャープ株式会社 Wafer removal hand
JP2006156692A (en) * 2004-11-29 2006-06-15 Smc Corp Non-contact transfer device
JP5027399B2 (en) * 2005-10-12 2012-09-19 日本特殊陶業株式会社 Wiring board transfer method and transfer device
JP5403247B2 (en) * 2009-09-07 2014-01-29 村田機械株式会社 Substrate transfer device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012000737A (en) 2012-01-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7726323B2 (en) Device and process for liquid treatment of wafer-shaped articles
JP5110480B2 (en) Non-contact transfer device
JP2009032981A (en) Non-contact carrier
TW454226B (en) A device for an etch treatment of a disk-like object
JP5921323B2 (en) Transport holding tool and transport holding device
JP2009028862A (en) Non-contact carrier
KR102279560B1 (en) Conveyance apparatus
JP2006182544A (en) Carrying device
JP2006347719A (en) Gas floating unit and gas floating carrying device
KR102252839B1 (en) Plate-shaped object carrying device and processing device
WO2018092879A1 (en) Chuck
US20110148128A1 (en) Semiconductor Wafer Transport System
JP5822438B2 (en) Retainer
CN105081980B (en) Grinding attachment
JP2009032980A (en) Non-contact carrying device
JP6544652B2 (en) Pressure sensor and collision mitigation member
KR102315301B1 (en) Conveying pad and method for conveying wafer
JP5822437B2 (en) Retainer
JP4445528B2 (en) Hydrostatic bearing
JP2012096294A (en) Non-contact carrying pad
JP2010264579A (en) Substrate sucking device
JP6317106B2 (en) Substrate holding device and substrate holding method
CN107611070B (en) Conveying unit
JP5040795B2 (en) Non-contact transfer device
JP2013094949A (en) Non-contact holding/conveying device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130611

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140325

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140521

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140826

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20141003

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150428

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150626

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150908

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20151006

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5822438

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250