JP5819585B2 - 液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置 - Google Patents
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Description
振動板の上に形成された第1電極層と、
前記第1電極層に対向して配置された第2電極層と、
前記第1電極層及び前記第2電極層の間に配置された圧電体層と、
を含み、
前記第1電極層は、白金を含まず、かつ導電層とバリア層とを有し、
前記バリア層は、前記導電層と前記圧電体層とが接しないように、前記導電層と前記圧電体層との間に形成され、
前記バリア層は、前記導電層の上面及び側面を覆って形成されると共に、導電性を有する窒化膜からなる、圧電素子を含む圧電アクチュエーターを備える。
前記バリア層は、前記導電層の上面及び側面を覆って形成されていてもよい。
前記導電層は、W、Ta、Hf、Mo、Nb、Zr、Cu、Ni、Co、Fe、Cr、V、Ti、Ir及びPdからなる群より選択される少なくとも1種を含んでもよい。
前記バリア層は、導電性を有する窒化膜からなってもよい。
前記第1電極層は、前記基板と前記導電層との間に密着層を有し、
前記バリア層は、前記密着層の側面を覆って形成されていてもよい。
前記第1電極層は、前記バリア層と前記圧電体層との間に配向層を有してもよい。
これらのいずれかの圧電素子を含む。
これらのいずれかの圧電アクチュエーターを含む。
これらのいずれかの液滴噴射ヘッドを含む。
1−1.圧電素子及び圧電アクチュエーターの構造
図1は、本実施形態の圧電素子100を模式的に示す平面図である。図2(A)は、図1に示すA−A線における圧電素子100の断面図、図2(B)は、図2(A)に示す圧電素子100の要部200aの拡大図である。図3(A)は、図1に示すB−B線における圧電素子100の断面図、図3(B)は、図3(A)に示す圧電素子100の要部200bの拡大図である。
図4は、変形例の圧電素子100aを模式的に示す平面図である。図5(A)は、図4に示すA−A線における圧電素子100aの断面図、図5(B)は、図5(A)に示す圧電素子100aの要部200cの拡大図である。図6(A)は、図4に示すB−B線における圧電素子100aの断面図、図6(B)は、図6(A)に示す圧電素子100aの要部200dの拡大図である。以下、図1〜図3を用いて説明した圧電素子100との相違点を中心に説明する。なお、各部材の材質や主たる機能については、図1〜図3を用いて説明した圧電素子100と同一である。
次に、本実施形態に係る圧電素子100の製造方法について説明する。図7(A)〜図7(D)及び図8(A)〜図8(C)は、本実施形態の圧電素子100の製造工程を模式的に示す断面図である。図7(A)〜図7(D)及び図8(A)は、図1のA−A線に相当する断面の要部の拡大図を示している。図8(B)〜図8(C)は、図1のA−A線に相当する断面図を示している。
次に、本実施形態に係る圧電素子100が圧電アクチュエーターとして機能する液滴噴射ヘッド600について、図面を参照しながら説明する。図9は、本実施形態に係る液滴噴射ヘッド600の要部を模式的に示す断面図である。図10は、本実施形態に係る液滴噴射ヘッド600の分解斜視図であり、通常使用される状態とは上下を逆に示したものである。
次に、本実施形態に係る液滴噴射装置について、図面を参照しながら説明する。液滴噴射装置は、上述の液滴噴射ヘッドを有する。以下では、液滴噴射装置が上述の液滴噴射ヘッドを有するインクジェットプリンターである場合について説明する。図11は、本実施形態に係る液滴噴射装置700を模式的に示す斜視図である。
Claims (5)
- 振動板の上に形成された第1電極層と、
前記第1電極層に対向して配置された第2電極層と、
前記第1電極層及び前記第2電極層の間に配置された圧電体層と、
を含み、
前記第1電極層は、白金を含まず、かつ導電層とバリア層とを有し、
前記バリア層は、前記導電層と前記圧電体層とが接しないように、前記導電層と前記圧電体層との間に形成され、
前記バリア層は、前記導電層の上面及び側面を覆って形成されると共に、導電性を有する窒化膜からなる、圧電素子を含む圧電アクチュエーターを備える、液滴噴射ヘッド。 - 請求項1に記載の圧電素子において、
前記導電層は、W、Ta、Hf、Mo、Nb、Zr、Cu、Ni、Co、Fe、Cr、V、Ti、Ir及びPdからなる群より選択される少なくとも1種を含む、液滴噴射ヘッド。 - 請求項1または2に記載の圧電素子において、
前記第1電極層は、前記基板と前記導電層との間に密着層を有し、
前記バリア層は、前記密着層の側面を覆って形成された、液滴噴射ヘッド。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電素子において、
前記第1電極層は、前記バリア層と前記圧電体層との間に配向層を有する、液滴噴射ヘッド。 - 請求項4に記載の液滴噴射ヘッドを含む、液滴噴射装置。
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