JP5808927B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
11 基板移動機構
12 レール
13 基台
14 回転台
15 撮像部
16 試験塗布ステージ部
17 受液部
18 受液部
19 ノズルピッチ調整機構
20 塗布ヘッド
21 ヘッド移動機構
22 ガイド部
23 ノズル
24 塗布液供給部
25 エア供給源
31 スライダ
32 貫通孔
33 プーリ
34 同期ベルト
40 流量制御バルブ
41 塗布液貯留部
42 基準流量計
43 マニホールド
44 流量制御バルブ
45 支管流量計
46 開閉バルブ
51 開閉バルブ
52 校正部
60 制御部
71 筐体部
72 気室
73 排出口
74 供給口
75 板状部材
76 気体噴出部
77 温度制御部
78 供給管
79 開閉機構
81 基板
82 マスフローコントローラ
83 ボード
84 マスフローコントローラ
100 ガラス基板
Claims (5)
- 塗布液を貯留する塗布液貯留部と、基板に対して塗布液を吐出するノズルと、前記塗布液貯留部から前記ノズルに対して塗布液を送液する管路と、前記管路に配設された熱式の流量計と、を備えた塗布装置であって、
筐体部と、
前記筐体部内に配設され、前記熱式の流量計をその内部に収納する、透光性を有する樹脂製のフィルムから構成された気室と、
前記気室内に温度制御された気体を供給する気体供給手段と、
を備えたことを特徴とする塗布装置。 - 塗布液を貯留する塗布液貯留部と、基板に対して塗布液を吐出するノズルと、前記塗布液貯留部から前記ノズルに対して塗布液を送液する管路と、前記管路に配設された熱式の流量計と、を備えた塗布装置であって、
筐体部と、
前記筐体部内に配設され、前記熱式の流量計をその内部に収納する気室と、
前記気室内に温度制御された所定圧力の気体を供給することにより、前記気室内を外部に対して陽圧にする気体供給手段と、
を備えたことを特徴とする塗布装置。 - 請求項1または請求項2に記載の塗布装置において、
前記気室は、その上方に形成された気体の供給口と、その下方に形成された気体の排出口とを備える塗布装置。 - 請求項3に記載の塗布装置において、
前記供給口と前記熱式の流量計の間に配設された板状部材をさらに備える塗布装置。 - 塗布液を貯留する塗布液貯留部と、基板に対して塗布液を吐出する複数のノズルと、前記塗布液貯留部から本管を介して供給される塗布液を前記ノズルに接続される複数の支管に分流する分岐部と、前記本管に配設され当該本管を流動する塗布液の流量を計測する熱式の基準流量計と、前記支管に各々配設され当該各支管を流動する塗布液の流量を計測する複数の熱式の支管流量計と、前記支管に各々配設され当該各支管を流動する塗布液の流量を調節する複数の流量制御バルブと、を備えた塗布装置であって、
筐体部と、
前記筐体部内に配設され、前記熱式の基準流量計および前記複数の熱式の支管流量計をその内部に収納する気室と、
前記気室内に温度制御された所定圧力の気体を供給することにより、前記気室内を外部に対して陽圧にする気体供給手段と、
を備えたことを特徴とする塗布装置。
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