JP5803529B2 - 圧電アクチュエータ、液体噴射装置、圧電アクチュエータの製造方法及び液体噴射装置の製造方法 - Google Patents
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Description
3 インクジェットヘッド
6 流路ユニット
7 圧電アクチュエータ
41、42 圧電層
44 個別電極
45 引出電極
47 低誘電層
Claims (9)
- 基材の一表面に配置された圧電層と、
前記圧電層の一方の面に配置された複数の駆動電極と、を備え、
前記圧電層は、前記複数の駆動電極と対向する領域を含んだ駆動領域の周囲を前記基材に接合されており、
前記圧電層の前記一方の面において、前記複数の駆動電極から引き出され、前記駆動領域の外側までそれぞれ延在し、前記複数の駆動電極に電圧を付与するための複数の引出電極を備え、
前記複数の引出電極は、一部は所定の第1方向に引き出され、他の一部は前記第1方向と異なる第2方向に引き出されており、
前記駆動電極と前記引出電極とは、絶縁材料に金属粒子を含有した導電性材料により形成されており、
前記引出電極は、前記駆動電極よりも前記金属粒子の径が大きい導電性材料で形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 基材の一表面に配置された圧電層と、
前記圧電層の一方の面に配置された複数の駆動電極と、を備え、
前記圧電層は、前記複数の駆動電極と対向する領域を含んだ駆動領域の周囲を前記基材に接合されており、
前記圧電層の前記一方の面において、前記複数の駆動電極から引き出され、前記駆動領域の外側までそれぞれ延在し、前記複数の駆動電極に電圧を付与するための複数の引出電極を備え、
前記複数の引出電極は、一部は所定の第1方向に引き出され、他の一部は前記第1方向と異なる第2方向に引き出されており、
前記駆動電極と前記引出電極とは、絶縁材料に金属粒子を含有した導電性材料により形成されており、
前記引出電極は、前記駆動電極よりも前記金属粒子の配合比率が小さい導電性材料で形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 基材の一表面に配置された圧電層と、
前記圧電層の一方の面に配置された複数の駆動電極と、を備え、
前記圧電層は、前記複数の駆動電極と対向する領域を含んだ駆動領域の周囲を前記基材に接合されており、
前記圧電層の前記一方の面において、前記複数の駆動電極から引き出され、前記駆動領域の外側までそれぞれ延在し、前記複数の駆動電極に電圧を付与するための複数の引出電極を備え、
前記複数の引出電極は、一部は所定の第1方向に引き出され、他の一部は前記第1方向と異なる第2方向に引き出されており、且つ、それぞれ導通する前記駆動電極を取り囲んで配置されており、
前記圧電層と前記引出電極との間には、前記圧電層の比誘電率よりも比誘電率の低い低誘電層が形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記引出電極は、前記圧電層の前記一方の面において、導通する駆動電極の表面に乗り上げて形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
- 複数のノズルと、前記複数のノズルと連通し、平面的に配置された複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、
前記流路ユニットに設けられて、前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付与する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電アクチュエータは、
前記圧電層が、前記複数の圧力室と対向するように配置され、
前記複数の駆動電極が、前記圧電層の一方の面において、前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置され、
前記複数の引出電極が、前記圧電層の前記一方の面において、前記複数の駆動電極から引き出され、前記複数の圧力室と対向しない領域までそれぞれ延在していることを特徴とする液体噴射装置。 - 前記流路ユニットには、前記複数の圧力室に共通に連通し、所定の一方向に延在する共通液室が形成されており、
前記複数のノズルは、前記一方向に沿ってノズル列を形成し、このノズル列が平行に複数列並んで配置されており、
一部の同じノズル列に属する前記ノズルに対応する前記引出電極は、前記第1方向に引き出されており、
他の一部の同じノズル列に属する前記ノズルに対応する前記引出電極は、前記第2方向に引き出されていることを特徴とする請求項5に記載の液体噴射装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータの製造方法であって、
前記圧電層の前記一方の面における前記駆動電極を形成する部分にマスク材のマスク穴を重ねて、前記マスク穴に導電性材料を堆積させた後、前記マスク材を前記圧電層から取り除くことで、前記複数の駆動電極を一度に形成する駆動電極形成工程と、
前記圧電層の前記一方の面における前記引出電極を形成する部分にマスク材のマスク穴を重ねて、前記マスク穴に導電性材料を堆積させた後、前記マスク材を前記圧電層から取り除くことで、前記複数の引出電極を一度に形成する引出電極形成工程と、を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記圧電アクチュエータは、前記圧電層の前記一方の面に配線基板が接続されるものであって、前記圧電層の前記一方の面と反対側の他方の面には、前記圧電層の前記複数の駆動電極と対向する部分にまたがって形成された共通電極と、前記圧電層の前記一方の面において、前記圧電層の前記厚み方向に貫通し、且つ、導電性材料が充填されたスルーホールを介して前記共通電極と導通し、前記配線基板と接続される表面電極と、をさらに備え、前記引出電極及び前記表面電極に前記配線基板と接続される接続端子が設けられており、
前記引出電極形成工程と同じ工程において、前記圧電層の前記一方の面に前記表面電極を形成する表面電極形成工程と、を備えていることを特徴とする請求項7に記載の圧電アクチュエータの製造方法。 - 請求項5に記載の液体噴射装置の製造方法であって、
前記圧電アクチュエータを製造する工程として、
前記圧電層の前記一方の面に前記複数の駆動電極を形成する駆動電極形成工程と、
前記圧電層の前記一方の面に前記複数の引出電極を形成する引出電極形成工程と、を備え、
前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとを接合する接合工程を備えていることを特徴とする液体噴射装置の製造方法。
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