JP5797712B2 - 磁気スケール付き運動案内装置 - Google Patents

磁気スケール付き運動案内装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5797712B2
JP5797712B2 JP2013186015A JP2013186015A JP5797712B2 JP 5797712 B2 JP5797712 B2 JP 5797712B2 JP 2013186015 A JP2013186015 A JP 2013186015A JP 2013186015 A JP2013186015 A JP 2013186015A JP 5797712 B2 JP5797712 B2 JP 5797712B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic scale
track rail
magnetic
groove
scale
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013186015A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2015052362A (ja
Inventor
明正 吉田
明正 吉田
兼重 宙
宙 兼重
堀江 拓也
拓也 堀江
哲也 坂上
哲也 坂上
良直 森行
良直 森行
輝明 大岡
輝明 大岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
THK Co Ltd
Original Assignee
THK Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by THK Co Ltd filed Critical THK Co Ltd
Priority to JP2013186015A priority Critical patent/JP5797712B2/ja
Priority to PCT/JP2014/073225 priority patent/WO2015033969A1/ja
Priority to DE112014004117.3T priority patent/DE112014004117B4/de
Priority to CN201480049259.3A priority patent/CN105518324B/zh
Priority to US14/915,745 priority patent/US9581204B2/en
Priority to TW103130965A priority patent/TWI561744B/zh
Publication of JP2015052362A publication Critical patent/JP2015052362A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5797712B2 publication Critical patent/JP5797712B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C41/00Other accessories, e.g. devices integrated in the bearing not relating to the bearing function as such
    • F16C41/007Encoders, e.g. parts with a plurality of alternating magnetic poles
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/005Guide rails or tracks for a linear bearing, i.e. adapted for movement of a carriage or bearing body there along
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04Ball or roller bearings
    • F16C29/06Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04Ball or roller bearings
    • F16C29/06Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
    • F16C29/0602Details of the bearing body or carriage or parts thereof, e.g. methods for manufacturing or assembly
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/08Arrangements for covering or protecting the ways
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/08Arrangements for covering or protecting the ways
    • F16C29/082Arrangements for covering or protecting the ways fixed to the way
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C41/00Other accessories, e.g. devices integrated in the bearing not relating to the bearing function as such
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04Ball or roller bearings
    • F16C29/06Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
    • F16C29/0633Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides
    • F16C29/0635Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end
    • F16C29/065Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with rollers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Description

本発明は、工作機械等に装備されて移動体の直線又は曲線運動を案内する運動案内装置に関し、特に移動体の位置を検出するための磁気スケールを備える磁気スケール付き運動案内装置に関する。
この種の運動案内装置は移動体の直線又は曲線運動を案内するのに用いられる。運動案内装置は、長手方向に伸びる軌道レールと、軌道レールにボール、ローラ等の多数の転動体を介して軌道レールに運動可能に組み付けられる移動ブロックと、を備える。移動体は移動ブロックに支持される。転動体の転がり運動を利用することで、移動体の運動を高精度に案内することができると共に、移動体の軽快な動きが得られる。
移動体の位置を制御するためには、移動体の位置を測定する必要がある。移動体の位置を測定するために、軌道レールにスケールが取り付けられ、移動ブロック又は移動体にスケールを読み取る読取りヘッドが取り付けられる。ここで、スケールには大きく二つに分けて光学式のものと磁気式のものが存在する。光学式のスケールはスケールに格子目盛を形成し、発光素子及び受光デバイスを用いて格子目盛からの光量変化を検出し、変位量を出力するものである。磁気式のスケールは、スケールにN極及びS極が交互に並んだ微細な磁気パターンを形成し、ホールセンサ、磁気抵抗素子等の磁気センサで磁気パターンの磁束密度を検出し、変位量を出力するものである。
光学式のスケールには、測定精度を高めやすいという長所がある反面、光を遮るようなほこり、油分などの汚染に弱いという短所がある。磁気式のスケールには、ほこり又は油分などがある環境下でも使用できるという長所がある。運動案内装置は磁気式のスケールの長所が大きく貢献する環境で使用されることが多く、運動案内装置には磁気式のスケールが用いられることが多い。
磁気式のスケールが用いられる運動案内装置として、特許文献1には、軌道レールの上面に長手方向に伸びる溝を形成し、溝に磁気スケールを嵌め、移動ブロックに磁気スケールのN極及びS極からなる磁気パターンを読み取る読取りヘッドを取り付けたものが開示されている。
特開平9−53638号公報
しかし、磁気スケールは鉄を吸いつける性質を持つので、周囲の鉄粉を吸い付けてしまうという課題がある。従来の磁気スケール付き運動案内装置にあっては、磁気スケールが軌道レールの上面の溝に露出した状態で設けられるので、磁気スケールの上面及び幅方向の側面に鉄粉が付着するという課題がある。磁気スケールに鉄粉が付着すると磁気スケールの磁束が鉄粉を通過して乱れるので、測定精度が低下してしまう。
ところで、移動ブロックには、軌道レールの上面の異物を掻き取るスクレーパ又はシールが設けられる。しかし、磁気スケールの上面の鉄粉を掻き取るためにスクレーパ又はシールを磁気スケールに締め代をもって接触させると、磁気スケールの摩耗、変形等の悪影響を招いてしまう。また、いくらスクレーパ又はシールで磁気スケールの上面の鉄粉を掻き取っても、磁気スケールの側面に付着した鉄粉を掻き取ることはできない。
そこで本発明は、磁気スケールの摩耗、変形等の悪影響を招くことなく、磁気スケールに付着する鉄粉を移動部材のスクレーパ又はシールで掻き取ることができる磁気スケール付き運動案内装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の一態様は、長手方向に伸びる転動体転走部を有すると共に、上面に締結部材が挿入される通し孔が開口する軌道部材と、前記軌道部材に複数の転動体を介して移動可能に組み付けられる移動部材と、前記軌道部材に形成され、長手方向に伸びる溝と、前記溝に収容され、長手方向に交互にN極及びS極が形成される磁気スケールと、前記磁気スケールを覆うと共に、前記軌道部材の前記通し孔を覆う覆い部材と、を備え、前記磁気スケールを覆う覆い部材と前記軌道部材の前記通し孔を覆う覆い部材とを兼用する磁気スケール付き運動案内装置である。
本発明によれば、磁気スケールを覆う覆い部材と軌道部材の通し孔を覆う覆い部材とを兼用するので、覆い部材の表面に付着した鉄粉をスクレーパ及び/又はシールで掻き取ることができる。スクレーパ及び/又はシールは、磁気スケールに直接的に接触しないので、磁気スケールに摩耗、変形等の悪影響を及ぼすことを防止できる。
本発明の第一の実施形態の運動案内装置の斜視図 本実施形態の運動案内装置の断面図 本実施形態の運動案内装置の軌道レールの断面図 磁気スケールの詳細図(図4(a)は磁気スケールの斜視図を示し、図4(b)は磁気スケールの長手方向に沿った断面図を示す) 軌道レールの端部を覆う端部キャップを示す斜視図 端部キャップの詳細図(図6(a)は端部キャップの上面側斜視図を示し、図6(b)は端部キャップの下面側斜視図を示す) 本発明の第二の実施形態の運動案内装置の軌道レールの斜視図 本発明の第二の実施形態の運動案内装置の軌道レールの分解斜視図 本発明の第二の実施形態の運動案内装置の軌道レールの長手方向に直交する断面図
以下、添付図面に基づいて、本発明の実施形態の磁気スケール付き運動案内装置(以下単に運動案内装置という)を詳細に説明する。図1は、本発明の第一の実施形態の運動案内装置の斜視図を示し、図2は軌道レール1の長手方向に直交する運動案内装置の断面図を示す。
運動案内装置は、長手方向に直線状に伸びる軌道部材としての軌道レール1と、この軌道レール1に転動体として多数のローラ3を介して長手方向に移動可能に組み付けられる移動部材としての移動ブロック2と、を備える。軌道レール1の上面には長手方向に伸びる溝1aが形成され、溝1aに磁気スケール7が嵌められる。溝1aに磁気スケール7を嵌めた後、軌道レール1の上面は覆い部材としてのプレートカバー8で覆われる。
以下に軌道レール1、プレートカバー8、磁気スケール7、移動ブロック2の構造を順番に説明する。
まず、軌道レール1の構造を説明する。軌道レール1の上面には、長手方向に互いに間隔を置いて複数の通し孔18が開口する。複数の通し孔18はプレートカバー8で覆われる。図1では通し孔18を示すためにプレートカバー8を途中で切断し、一つの通し孔18を露出させた状態を示すが、実際にはプレートカバー8は軌道レール1の端部まで伸びていて、全ての通し孔18を覆う。通し孔18には、軌道レール1を基台に固定するための締結部材としてのボルトが挿入される。図2の断面図に示すように、通し孔18には、ボルトの頭部よりも径の大きなザグリ部18aと、ボルトのねじ部よりも僅かに大きい孔18bとが同心円的に形成されている。ボルトが通し孔18内に完全に埋没するように、ザグリ部18aの高さはボルトの頭部の高さよりも高い。
複数の通し孔18のうち少なくとも二つにボルトが挿通される。通し孔18にボルトを通し、ボルトを基台にねじ込むと、ボルトの頭部が軌道レール1のザグリ部18aの座面に着座し、軌道レール1が基台に固定される。通し孔18に異物が溜まると、異物が移動ブロック2の内部に侵入して、ローラ3の円滑な転がりを妨げるおそれがある。通し孔18をプレートカバー8で覆うことで、通し孔18に異物が溜まるのを防止することができる。
図2に示すように、軌道レール1には転動体が転がり運動する転動体転走部としてのローラ転走面1bが形成される。軌道レール1は断面略四角形状で、その左右側面にはV字状の凹み20が形成される。軌道レール1の底面を水平面に配置した状態(図2に示される状態)において、凹み20の傾いた上下の壁面にローラ転走面1bが形成される。軌道レール1の左右側面には、上下に二条ずつ合計四条のローラ転走面1bが形成される。各ローラ転走面1bは軌道レール1の長手方向に沿って細長く伸びる。軌道レール1は鋼等の金属製である。
図1に示すように、軌道レール1の上面には、軌道レール1の長手方向に伸びる溝1aが形成される。溝1aは軌道レール1の上面の複数の通し孔18と、軌道レール1の上面の幅方向の端部21との間に形成される。溝1aは複数の通し孔18から幅方向に離れている。図3の軌道レール1の断面図に示すように、溝1aは、軌道レール1の上面に平行な底面1a1と、底面1a1に垂直な一対の側面1a2と、を備える。この溝1aに磁気スケール7が嵌められる。磁気スケール7の下面には、両面テープ9が接着される。両面テープ9は帯状のテープの両面に接着面が形成されるものである。両面テープ9の下面は軌道レール1の溝1aの底面1a1に接着する。溝1aの側面1a2の高さは磁気スケール7の高さよりも高く、磁気スケール7の上面と軌道レール1の上面には段差が存在し、すなわち磁気スケール7の上面とプレートカバー8の下面と間にはすきまが空く。
次に、プレートカバー8の構造を説明する。図3に示すように、磁気スケール7及び軌道レール1の上面はプレートカバー8で覆われる。プレートカバー8は非磁性の金属、例えばステンレス製である。プレートカバー8の長さは軌道レール1の長さと等しい。プレートカバー8の厚みは例えば0.2〜0.4mmに設定される。
軌道レール1の上面の幅方向の端部21には、外側に膨らむと共に円弧を描いて湾曲する湾曲部22が形成される。軌道レール1の側面には湾曲部22の下端から続いて幅方向の中心側に窪んだアンダーカット部23が形成される。アンダーカット部23及び湾曲部22は軌道レール1の全長に亘って同一形状である。
プレートカバー8は、軌道レール1の上面を長手方向に対して直角な幅方向の全体に亘って覆う中央部8aと、中央部8aの幅方向の両端に設けられ、中央部8aに対して曲げられる係合部8bを有する。プレートカバー8は、溝1aの幅よりも広い幅を有して軌道レール1の上面に載せられる。プレートカバー8の中央部8aは平坦であり、軌道レール1の上面に接する。プレートカバー8は、軌道レール1の上面の磁気スケール7及び複数の通し孔18(図2参照)を同時に覆う。
プレートカバー8の係合部8bを軌道レール1の湾曲部22に当てて、プレートカバー8を真っすぐ下方に押しこめば、左右の係合部8bが外側に弾性変形して湾曲部22を乗り越え、その後、係合部8bがアンダーカット部23に嵌まり込む。プレートカバー8は係合部8bの弾性力によって軌道レール1に固定される。プレートカバー8の係合部8bはスナップフィットとして機能するものであれは、その形状は図3に示される形状に限定されるものではない。
次に、磁気スケール7の構造を説明する。図4は、磁気スケール7の詳細図を示す。図4(a)は磁気スケール7の斜視図を示し、図4(b)は磁気スケール7の長手方向に沿った断面図を示す。磁気スケール7は磁気式リニアエンコーダとも呼ばれるものであり、磁気スケール7の表面には長手方向にN極及びS極が交互に形成される。磁気スケール7は三層構造になっていて、底面側の例えば厚さ0.3mmの非磁性のステンレス板からなる基板7aと、基板7aの上の例えば厚さ0.5mmの第一のシート7bと、第一のシート7bの上の例えば厚さ0.5mmの第二のシート7cと、を備える。磁気スケール7の幅は例えば4mmである。
基板7aは磁気スケール7の強度を向上させるために設けられる。基板7aの下面に磁気スケール7を軌道レール1に固定するための両面テープ9が接着される。
第一のシート7bは、フェライト系磁性粉末を加硫ゴムやエラストマー等のバインダー樹脂に練り込んで細長い矩形板状に形成したものである。フェライト系磁性粉末としては、マンガン亜鉛フェライト、ニッケル亜鉛フェライト、銅亜鉛フェライト等の粉末が用いられる。
第二のシート7cは、希土類磁性粉末を加硫ゴムやエラストマー等のバインダー樹脂に練り込んで細長い矩形板状に形成したものである。第一のシート7bと第二のシート7cのバインダー樹脂の材質は同じである。希土類磁性粉末としては、ネオジム、サマリウム−コバルト又はサマリウム−窒化鉄等の粉末が用いられる。第一のシート7bは第二のシート7cに比べて、高強度の磁束密度を発生する。
磁気スケール7は、以下の工程を経て製造される。まず、第一のシート7bと第二のシート7cは、それぞれ別個に形成される。次に、第一のシート7bと第二のシート7cを重ね合わせた上で、加熱して、第一のシート7bと第二のシート7cを溶着する。次に、第二のシート7cの表面に、N極とS極を交互に着磁する。N極とS極の配置ピッチは、任意に設定することができ、例えば2mmに設定される。最後に第二のシート7cの下面に基板7aを接着する。なお、第二のシート7cの表面に厚さ0.1mm程度の非磁性のステンレス板からなる化粧板を接着することもできる。
この磁気スケール7の第二のシート7cは希土類磁石を含むので、高強度の磁束密度を発する。第一のシート7bは、第二のシート7cのバックヨークとして機能し、第二のシート7cから発する磁力線を集中させる継鉄として機能する。この磁気スケール7は、フェライト磁石を用いた磁気スケールに比べて、その表面から強く安定した磁束密度を発生する。したがって、磁気スケール7をプレートカバー8で覆っても、磁気センサで磁気スケール7の磁束密度を測定することが可能になる。
磁気スケール7をプレートカバー8で覆えば、プレートカバー8の幅方向の端部からクーラントが磁気スケール7を収容する溝1aに浸入するのを防止できる。本実施形態においては、プレートカバー8の長さ方向の端部からクーラントが磁気スケール7を収容する溝1aに浸入するのを防止するために、図5に示すように、軌道レール1の長手方向の端部を端部覆い部材としての端部キャップ31で覆う。図6(a)は端部キャップ31の上面側の斜視図を示し、図6(b)は端部キャップ31の下面側の斜視図を示す。端部キャップ31は軌道レール1の幅よりも広い幅を持つ直方体形状に形成される。図6(b)に示すように、端部キャップ31の下面側には、軌道レール1に形状を合わせた凹部31aが形成される。図5に示すように、端部キャップ31は軌道レール1の長手方向の端部のプレートカバー8の上面、軌道レール1の上面に続く軌道レール1の長手方向の端面1cにおける溝1a、及び軌道レール1の上面に続く軌道レール1の左右の側面1dの一部を覆う。端部キャップ31はねじによって軌道レール1に固定される。プレートカバー8は端部キャップ31と軌道レール1との間に挟まれる。端部キャップ31にはねじが通る通し孔31bが形成される。プレートカバー8にもねじが通る通し孔19(図1参照)が形成される。なお、端部覆い部材は、少なくとも軌道レール1の長手方向の端面1cにおける溝1aを覆えばよく、プレートカバー8の長さを軌道レール1の長さよりも長くし、プレートカバー8の端部を折り曲げることで、端部覆い部材を形成することもできる。
次に、移動ブロック2の構造を説明する。図1に示すように、移動ブロック2は、移動体本体としての移動ブロック本体4と、移動ブロック本体4の移動方向両端に取り付けられた蓋部材としてのエンドプレート5と、を備える。
移動ブロック本体4は、軌道レール1の上面に対向する中央部4aと、中央部4aの左右両側から下方に延びて軌道レール1の左右側面に対向する側壁部4bと、を備える。テーブル等の直線運動する構造物は、移動ブロック2の上面に取付けボルトを用いて取り付けられる。図2に示すように、移動ブロック本体4には、軌道レール1の転動体転走部に対向する負荷転動体転走部としての負荷ローラ転走面4dが形成される。移動ブロック本体4の側壁部4bには、軌道レール1のローラ転走面1bに対向する二条の負荷ローラ転走面4dが形成される。
移動ブロック2には、負荷ローラ転走面4dを含む転動体循環路としてのローラ循環路が形成される。ローラ循環路は、軌道レール1のローラ転走面1bに対向する負荷ローラ転走面4d、負荷ローラ転走面4dに平行な無負荷戻し路14、負荷ローラ転走面4d及び無負荷戻し路14を接続する方向転換路を備える。
移動ブロック2のローラ循環路には、複数のローラ3が配列される。複数のローラ3は、リテーナ33に一連に回転自在に保持される。ローラ3は軌道レール1のローラ転走面1bと移動ブロック本体4の負荷ローラ転走面4dとの間に介在する。軌道レール1に対して移動ブロック2が相対的に移動すると、ローラ3が負荷ローラ転走路24(図2参照、ローラ転走面1bと負荷ローラ転走面4dとの間)を受けながら転がり運動する。移動ブロック本体4の負荷ローラ転走面4dの一端まで転がったローラ3は、方向転換路を経由した後、無負荷戻し路14に入る。
図1に示すように、移動ブロック2には、ヘッドユニット34を保持するホルダ35が取り付けられる。ヘッドユニット34は、磁気スケール7の磁束密度の強度を検出する磁束磁気抵抗素子、ホール素子等の磁気センサ36と、磁気センサ36が実装されるプリント基板37と、を備える。磁気センサ36が検出した磁束密度はインターポレータで信号処理され、モータを制御するドライバ等に送信される。
ヘッドユニット34は、プリント基板37に実装した磁気センサ36を樹脂封止してなる。ヘッドユニット34はねじによってホルダ35に固定される。ヘッドユニット34をホルダ35に固定すると、磁気センサ36が磁気スケール7の上方に位置するようになる。ヘッドユニット34には耐クーラント性で十分な防水構造が採られる。ヘッドユニット34は小型でかつシンプルな形状をしているので、防水構造を容易に採ることができ、ヘッドユニット34が装着されるホルダ35で防水構造を採る必要がなくなる。
ホルダ35の移動方向の外側には、図示しないエンドシール、積層形接触スクレーパ、及び金属スクレーパ等が取り付けられる。エンドシール及び積層形接触スクレーパは、プレートカバー8の表面に付着した鉄粉等の異物がホルダ35内に侵入するのを防ぐ機能を持つ。エンドシール及び積層形接触スクレーパは、プレートカバー8に締め代を持って接触し、プレートカバー8の表面に付着した鉄粉等の異物を除去する。積層形接触スクレーパのプレートカバー8との接触面積は、エンドシールとプレートカバー8との接触面積よりも大きい。
金属スクレーパは、プレートカバー8に貼り付くスパッタ等の異物を排除する。金属スクレーパはプレートカバー8に接触せずに、金属スクレーパとプレートカバー8との間にはすきまが空く。
なお、エンドシール、積層形接触スクレーパを、移動ブロックとホルダとの間に介在することもできるし、エンドシール及び積層形接触スクレーパのいずれか一方を省略することもできる。
以上に本実施形態の運動案内装置の構造を説明した。本実施形態の運動案内装置によれば、以下の効果を奏する。磁気スケール7を覆うプレートカバー8と軌道レール1の通し孔18を覆うプレートカバー18とを兼用するので、プレートカバー8の表面に付着した鉄粉をエンドシール、積層形接触スクレーパ、金属スクレーパで掻き取ることができる。エンドシール、積層形接触スクレーパ、金属スクレーパは、磁気スケール7に直接的に接触しないので、磁気スケール7に摩耗、変形等の悪影響を及ぼすことを防止できる。
磁気スケール7に磁束密度が強い希土類磁石を用いるので、磁気スケール7をプレートカバー8で覆っても磁気スケール7の磁束密度がプレートカバー8を突き抜ける。このため、磁気スケール7の磁束密度を高精度に測定することができる。さらに、磁気スケール7の磁束密度が強いと、磁気センサ36の取り付け位置の精度がラフでもよくなるので、磁気センサ36の取り付けが容易になる。
磁気スケール7が嵌められる溝1aが軌道レール1の上面の複数の通し孔18と、軌道レール1の上面の幅方向の端部21との間に形成されるので、軌道レール1の通し孔18のボルトの締め付け、取り外し作業が容易になる。これに対し、磁気スケール7が通し孔18にかかると、磁気スケール7を取り外さなければ、ボルトにアクセスすることができなくなる。
プレートカバー8が、軌道レール1の上面を長手方向に対して直角な幅方向の全体に亘って覆う中央部8aと、中央部8aの幅方向の両端に設けられ、中央部8aに対して曲げられる係合部8bを有するので、プレートカバー8の幅方向の端部からクーラントが浸入するのを防止できる。
軌道レール1の長手方向の端部には端部キャップ31が設けられていて、端部キャップ31が軌道レール1の長手方向の端面における溝1aを覆うので、プレートカバー8の長さ方向の端部における溝1aからクーラントが浸入するのを防止できる。クーラントが磁気スケール7と軌道レール1の溝1aの接地面に流れることを防げるので、磁気スケール7を軌道レール1に取り付ける方法として両面テープ等を使用することが可能になり、磁気スケール7の取り付けが容易になる。
図7ないし図9は、本発明の第二の実施形態の運動案内装置の軌道レール41を示す。この実施形態の運動案内装置では、転動体としてローラの替わりにボールを使用しており、軌道レールの左右側面の上部には、転動体転走部としてボールが転がり運動するボール転走溝41bが形成される。図示しない移動ブロックには、軌道レール41のボール転走溝41bに対向する負荷ボール転走溝を含むボール循環路が形成される。
図8に示すように、第二の実施形態の運動案内装置においても、軌道レール41の上面には、軌道レール41の長手方向に伸びる溝41aが形成され、溝41aに磁気スケール7が収容され、覆い部材44が磁気スケール7を覆うと共に、軌道レール41の通し孔18を覆う。
図8の分解斜視図に示すように、この実施形態の溝41aは軌道レール1の複数の通し孔18に跨る。溝41aの幅は、通し孔18の上部のザグリ部よりも広い。溝41aは、軌道レール41の上面に平行な底面41a1と、底面41a1に垂直な一対の側面41a2と、を備える。
図7に示すように、溝41aには磁気スケール7が収容される。磁気スケール7の構成は第一の実施形態の磁気スケールと同一であるので、同一の符号を附してその説明を省略する。なお、第二の実施形態の磁気スケール7の横幅は第一の実施形態の磁気スケールの横幅よりも広くすることができる。このため、N極及びS極が着磁される磁性粉末として希土類磁性粉末の替わりにフェライト系磁性粉末を用いることもできる。
図8に示すように、この実施形態の覆い部材44は、軌道レール41の溝41aに嵌められて複数の通し孔18を覆う本体部42と、本体部42に載せられて磁気スケール7を覆う蓋体45と、を備える。
軌道レール41の溝41aには本体部42が嵌められる。本体部42は偏平な断面形状を持ち、軌道レール41の長さ方向に細長く伸びる。本体部42の長さは軌道レール41の長さと等しい。本体部42の横幅は通し孔18のザグリ部の径よりも大きく、本体部42は通し孔18を覆う。本体部42は、非磁性の金属、例えばステンレス製、又は非磁性のアルミニウムの押出し材製である。図9の拡大図に示すように、本体部42は両面テープ43で軌道レール41の溝41aに接着される。
本体部42には、本体部42の長手方向に伸びるスケール嵌合溝42aが形成される。スケール嵌合溝42aは、本体部42の上面に平行な底面42a1と、底面42a1に垂直な一対の側面42a2と、を備える。このスケール嵌合溝42aに磁気スケール7が嵌められる。磁気スケール7は両面テープ48でスケール嵌合溝42aに固定される。スケール嵌合溝42aの側面42a2の高さは磁気スケール7の高さよりも高く、磁気スケール7の上面と本体部42の上面には、段差が存在し、すなわち磁気スケール7の上面と蓋体45の下面との間にはすきまが空く。
磁気スケール7及び本体部42の上面は蓋体45で覆われる。蓋体45は非磁性の金属、例えばステンレス製である。蓋体45の幅は本体部42と同一であり、本体部42のスケール嵌合溝42aの幅よりも広い。蓋体45の厚みは例えば0.2〜0.4mmに設定される。蓋体45は両面テープ46で本体部42に固定される。
第二の実施形態の運動案内装置によれば、以下の効果を奏する。磁気スケール7を覆う覆い部材44と軌道レール41の通し孔18を覆う覆い部材44とを兼用するので、覆い部材44の表面に付着した鉄粉等の異物をエンドシール、積層形接触スクレーパ、金属スクレーパで掻き取ることができる。エンドシール、積層形接触スクレーパ、金属スクレーパは、磁気スケール7に直接的に接触しないので、磁気スケール7に摩耗、変形等の悪影響を及ぼすことを防止できる。
磁気スケール7が覆い部材44の本体部42で支持されているので、通し孔18で磁気スケール7が落ち込むのを防止できる。
蓋体45は、本体部42のスケール嵌合溝42aの幅よりも広い幅を有して本体部42の表面に載せられるので、クーラントが磁気スケール7とスケール嵌合溝42aとの接触面に流れるのを防止できる。磁気スケール7を本体部42に取り付ける方法として両面テープ48を使用することが可能になるので、磁気スケール7の取り付けが容易になる。
なお、本発明は上記実施形態に限られることはなく、本発明の要旨を変更しない範囲で種々変更可能である。
本実施形態における軌道レールの上面は軌道レールの基台に対する取付け面を下面としたときに、その取付け面の反対側に位置する面をいい、運動案内装置の使用時に必ずしも上を向いている必要はない。移動ブロックが軌道レールに対して相対的に移動可能であればよく、使用時に軌道レールが移動してもよい。
上記実施形態では、軌道レールが長手方向に直線状に伸びている例を説明したが、円弧状に湾曲していてもよい。磁気スケール及び磁気スケールが嵌められる溝も軌道レールに合わせて円弧状に湾曲していてもよい。
磁気スケールはインクリメンタル式でもアブソリュート式でもよい。磁気スケールの他に原点復帰用磁石を設け、磁気センサで原点復帰用磁石の磁束密度を検出し、原点を検出できるようにしてもよい。
上記実施形態では、磁気スケールを両面テープを用いて軌道レールに接着しているが、接着剤を用いて軌道レールに接着することもできるし、ねじを用いて軌道レールに固定することもできる。
上記実施形態では、軌道レールの溝に磁気スケールを接着しているが、プレートカバーに磁気スケールを接着することもできる。
軌道レール及び移動ブロックの形状は一例であり、運動案内装置の用途に応じて様々な形状を選択できる。例えば軌道レールの転動体転走部の条数を二条にすることもできるし、軌道レールの上面に転動体転走部を配置することもできる。
1…軌道レール(軌道部材),1a…溝,2…移動ブロック(移動部材),7…磁気スケール,8…プレートカバー(覆い部材),8a…中央部,8b…係合部,21…軌道レールの上面の幅方向の端部,31…端部キャップ(端部覆い部材),41…軌道レール(軌道部材),41a…溝,42…本体部,42a…スケール嵌合溝,44…覆い部材,45…蓋体

Claims (6)

  1. 長手方向に伸びる転動体転走部を有すると共に、上面に締結部材が挿入される通し孔が開口する軌道部材と、
    前記軌道部材に複数の転動体を介して移動可能に組み付けられる移動部材と、
    前記軌道部材に形成され、長手方向に伸びる溝と、
    前記溝に収容され、長手方向に交互にN極及びS極が形成される磁気スケールと、
    前記磁気スケールを覆うと共に、前記軌道部材の前記通し孔を覆う覆い部材と、を備え
    前記磁気スケールを覆う覆い部材と前記軌道部材の前記通し孔を覆う覆い部材とを兼用する磁気スケール付き運動案内装置。
  2. 前記磁気スケールは、前記N極及び前記S極が着磁された希土類磁石を含むことを特徴とする請求項1に記載の磁気スケール付き運動案内装置。
  3. 前記溝は、前記軌道部材の上面の前記複数の通し孔と、前記軌道部材の上面の幅方向の端部との間に形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気スケール付き運動案内装置。
  4. 前記覆い部材は、前記軌道部材の上面を長手方向に対して直角な幅方向の全体に亘って覆う中央部と、前記中央部の幅方向の両端に設けられ、前記中央部に対して曲げられる係合部を有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の磁気スケール付き運動案内装置。
  5. 前記覆い部材は、
    前記軌道部材の前記溝に嵌められ、前記軌道部材の前記複数の通し孔を覆うと共に、前記磁気スケールが嵌められるスケール嵌合溝が形成される本体部と、
    前記スケール嵌合溝に嵌められた前記磁気スケールを覆う蓋体と、を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気スケール付き運動案内装置。
  6. 前記磁気スケール付き運動案内装置はさらに、
    前記軌道部材の上面に続く前記軌道部材の長手方向の端面における前記溝又は前記スケール嵌合溝を覆う端部覆い部材を備えることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の磁気スケール付き運動案内装置。
JP2013186015A 2013-09-09 2013-09-09 磁気スケール付き運動案内装置 Active JP5797712B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013186015A JP5797712B2 (ja) 2013-09-09 2013-09-09 磁気スケール付き運動案内装置
PCT/JP2014/073225 WO2015033969A1 (ja) 2013-09-09 2014-09-03 磁気スケール付き運動案内装置
DE112014004117.3T DE112014004117B4 (de) 2013-09-09 2014-09-03 Mit magnetischer Skala ausgestattete Bewegungsführungsvorrichtung
CN201480049259.3A CN105518324B (zh) 2013-09-09 2014-09-03 带磁尺的运动引导装置
US14/915,745 US9581204B2 (en) 2013-09-09 2014-09-03 Magnetic-scale-equipped motion guide apparatus
TW103130965A TWI561744B (en) 2013-09-09 2014-09-09 Motion guiding device with magnetic scale

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013186015A JP5797712B2 (ja) 2013-09-09 2013-09-09 磁気スケール付き運動案内装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015052362A JP2015052362A (ja) 2015-03-19
JP5797712B2 true JP5797712B2 (ja) 2015-10-21

Family

ID=52628438

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013186015A Active JP5797712B2 (ja) 2013-09-09 2013-09-09 磁気スケール付き運動案内装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9581204B2 (ja)
JP (1) JP5797712B2 (ja)
CN (1) CN105518324B (ja)
DE (1) DE112014004117B4 (ja)
TW (1) TWI561744B (ja)
WO (1) WO2015033969A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI663379B (zh) * 2016-09-02 2019-06-21 日商Thk股份有限公司 異物檢測裝置、及線性導件

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6085658B1 (ja) * 2015-10-28 2017-02-22 Thk株式会社 位置検出装置及び位置検出装置付き運動案内装置
JP6804800B2 (ja) * 2016-01-18 2020-12-23 Thk株式会社 転がり案内装置
JP1575127S (ja) * 2016-11-16 2017-05-01
DE102017201230A1 (de) * 2017-01-26 2018-07-26 Robert Bosch Gmbh Linearbewegungsvorrichtung mit Lebensdauerüberwachung
JP2018157616A (ja) * 2017-03-15 2018-10-04 Thk株式会社 直動装置における発電システム
DE102017206584A1 (de) * 2017-04-19 2018-10-25 Robert Bosch Gmbh Linearbewegungsvorrichtung mit Sensorhalter
CN108317169A (zh) * 2018-04-04 2018-07-24 济南蓝海传动机械有限公司 一种线性滑轨防尘带
JP6734008B2 (ja) * 2018-10-16 2020-08-05 Thk株式会社 転がり案内装置のセンサ取付け部材及びセンサ取付け方法
JP6686124B1 (ja) * 2018-12-26 2020-04-22 Thk株式会社 転がり案内装置のセンサ取付け構造
JP7315414B2 (ja) * 2019-08-28 2023-07-26 株式会社マキタ 携帯用加工機の案内定規
CN113021015A (zh) * 2019-12-25 2021-06-25 苏州市阳山机械有限公司 镶钢导轨的安装定位结构及方法
TWI740394B (zh) * 2020-02-25 2021-09-21 直得科技股份有限公司 滑軌防塵蓋的固定構造

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2584875B2 (ja) * 1989-11-08 1997-02-26 テイエチケー 株式会社 直線摺動用ベアリング
JP2985492B2 (ja) * 1992-04-03 1999-11-29 ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 磁気スケール
US6253453B1 (en) * 1993-06-30 2001-07-03 Nsk Ltd Methods of manufacturing a linear guide device and a ball screw device
JPH07279958A (ja) * 1994-04-06 1995-10-27 Nippon Seiko Kk リニアガイド及びボールねじの製造方法
JPH0953638A (ja) * 1995-08-11 1997-02-25 Nippon Thompson Co Ltd 位置検出装置並びにこれを具備した軌道台ユニット及び案内ユニット
JPH1061664A (ja) * 1996-08-15 1998-03-06 Nippon Thompson Co Ltd 直動転がり案内ユニット
TW435627U (en) * 1999-03-05 2001-05-16 Hiwin Tech Corp A linear guideway with MR sensor
JP2001227542A (ja) * 2000-02-18 2001-08-24 Thk Co Ltd 運動案内装置
US6692153B2 (en) * 2001-03-07 2004-02-17 Ntn Corporation Wheel support bearing assembly
DE10243021A1 (de) * 2002-09-17 2004-03-25 Ina-Schaeffler Kg Führungsschiene eines Linearwälzlagers
DE10347360B4 (de) * 2003-10-11 2021-07-01 Robert Bosch Gmbh Führung mit Messeinrichtung und Verfahren zur Herstellung einer solchen Führung
JP4947535B2 (ja) * 2005-02-01 2012-06-06 内山工業株式会社 磁気エンコーダ用ゴム組成物およびそれを用いた磁気エンコーダ
EP1731878A1 (de) * 2005-06-07 2006-12-13 AMO Automatisierung Messtechnik Optik GmbH Maschinenführungselement mit kompensiertem Längenmesssystem
US7547141B2 (en) * 2006-10-23 2009-06-16 Hiwin Technologies Corp. Linear motion guide apparatus having detecting device
JP4441525B2 (ja) * 2006-12-07 2010-03-31 上銀科技股▲分▼有限公司 外掛け式感知器を備えたリニアスライドウェイ
WO2009034923A1 (ja) * 2007-09-14 2009-03-19 Thk Co., Ltd. 軌道レール及びこの軌道レールを備える運動案内装置
US20100162582A1 (en) * 2008-12-30 2010-07-01 Chih-Mao Shiao Positioning Device of a Magnetic Ruler
JP2012154431A (ja) * 2011-01-26 2012-08-16 Nsk Ltd 直動案内装置の損傷防止部品

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI663379B (zh) * 2016-09-02 2019-06-21 日商Thk股份有限公司 異物檢測裝置、及線性導件

Also Published As

Publication number Publication date
CN105518324A (zh) 2016-04-20
WO2015033969A1 (ja) 2015-03-12
US20160215825A1 (en) 2016-07-28
DE112014004117B4 (de) 2021-04-01
TWI561744B (en) 2016-12-11
TW201530007A (zh) 2015-08-01
DE112014004117T5 (de) 2016-06-09
US9581204B2 (en) 2017-02-28
CN105518324B (zh) 2017-07-07
JP2015052362A (ja) 2015-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5797712B2 (ja) 磁気スケール付き運動案内装置
US20170016483A1 (en) Motion guide device
US7745963B2 (en) Linear motor with integrated guidance
JP4886355B2 (ja) 可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置
WO2012073755A1 (ja) 可撓性マグネット、可撓性マグネットの製造方法、磁気エンコーダ、アクチュエータ
JPH0953638A (ja) 位置検出装置並びにこれを具備した軌道台ユニット及び案内ユニット
US7170204B2 (en) Sliding device with onboard moving-magnet linear motor
TWI667421B (zh) 直動式引導裝置
JP2009103516A (ja) 位置検出装置、及び、バイアス磁界発生装置
JP5255395B2 (ja) スケール付運動案内装置及びスケール付運動案内装置用軌道部材
JP5248150B2 (ja) 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置
WO2018043353A1 (ja) 異物検出装置、及びリニアガイド
KR101214445B1 (ko) 치 슬롯 코어의 위치 검출용 자기 센서
JP2003156364A (ja) スライド位置検出装置を備えた直動装置
JP3488847B2 (ja) リニアモータ
US7849551B2 (en) Assembly type cleaning structure for an induction reader
JP3488845B2 (ja) リニアモータ
JP5248149B2 (ja) 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置
JP2012107666A (ja) 軌道レールカバー及び運動案内装置
CN114244980A (zh) 摄像模组与长行程摄像结构

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150302

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20150302

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20150330

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150407

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150605

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150811

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150819

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5797712

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250