JP5793451B2 - 差圧センサ - Google Patents
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Description
図1はこの発明に係る差圧センサの一実施の形態(実施の形態1)の要部を示す断面図である。同図において、図3と同一符号は図3を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
Claims (2)
- 貫通路を有する隔壁によって区画された第1の空間と第2の空間とを有するボディと、
前記第1の空間の開口部に設けられた第1の受圧ダイアフラムと、
前記第2の空間の開口部に設けられた第2の受圧ダイアフラムと、
一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを備え、前記センサダイアフラムの一方の面を前記第1の受圧ダイアフラムに臨むようにして、前記センサダイアフラムの他方の面に通ずる連通路を前記隔壁の貫通路に連通させるようにして、前記第1の空間側に位置する前記隔壁の壁面に接合されたセンサチップと、
前記第1の空間に封止され、前記第1の受圧ダイアフラムが受けた圧力を前記センサダイアフラムの一方の面に伝達する第1の圧力伝達媒体と、
前記第2の空間および前記隔壁の貫通路および前記センサダイアフラムの他方の面に通ずる連通路に封止され、前記第2の受圧ダイアフラムが受けた圧力を前記センサダイアフラムの他方の面に伝達する第2の圧力伝達媒体とを備え、
前記第1の圧力伝達媒体の封止圧が前記第2の圧力伝達媒体の封止圧よりも高くされている
ことを特徴とする差圧センサ。 - 請求項1に記載された差圧センサにおいて、
前記センサチップは、
前記センサダイアフラムと、筒状の台座とを備え、
前記台座の一方の端面が前記センサダイアフラムの他方の面側に接合され、
前記台座の他方の端面が前記隔壁の壁面に接合されている
ことを特徴とする差圧センサ。
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JP2012047825A JP5793451B2 (ja) | 2012-03-05 | 2012-03-05 | 差圧センサ |
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JP2013181951A JP2013181951A (ja) | 2013-09-12 |
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JP6286278B2 (ja) * | 2014-05-16 | 2018-02-28 | アズビル株式会社 | 差圧センサおよび差圧センサの製造方法 |
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