JP5792101B2 - 積層半導体膜の成膜方法 - Google Patents
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Description
図1はこの発明の一実施形態に係る積層半導体膜の成膜方法の一例を示す流れ図、図2A〜図2Dはその成膜方法の主要な工程を示す断面図である。
ジシラン流量 : 350sccm
処 理 時 間: 10min
処 理 温 度: 500℃
処 理 圧 力: 133Pa(1Torr)
である。
水 素 流 量: 1000sccm
パージ時間 : 16min
温 度 : 500℃
圧 力 : 93.3Pa(0.7Torr)
である。
モノシラン流量 : 2000sccm
BCl3ガス流量: 1sccm
処 理 時 間 : 8.5min
処 理 温 度 : 500℃
処 理 圧 力 : 93.3Pa(0.7Torr)
である。
水 素 流 量: 1000sccm
パージ時間 : 2min
温 度 : 500℃
圧 力 : 53.3Pa(0.4Torr)
である。
モノシラン流量: 1000sccm
処 理 時 間: 50min
処 理 温 度: 500℃
処 理 圧 力: 53.3Pa(0.4Torr)
である。
水 素 流 量: 1000sccm
パージ時間 : 2min
温 度 : 500℃
圧 力 : 93.3Pa(0.7Torr)
である。
1つめは、ステップ2、ステップ4およびステップ6のパージ工程におけるパージガスとして、成膜中にB-αシリコン膜4およびαシリコン膜5から脱離する物質を含んだガスを用いたことである。
2つめは、ステップ1〜ステップ6の工程それぞれにおける成膜温度を、B-αシリコン膜4およびαシリコン膜5の結晶化温度未満とすることである。
3つめは、積層半導体膜の成膜に先立ち、被処理体の下地上にシリコンシード層3を形成することである。
・SiH4
・Si2H6
・SimH2m+2(ただし、mは3以上の自然数)の式で表されるシリコンの水素化物
・SinH2n(ただし、nは3以上の自然数)の式で表されるシリコンの水素化物
等を挙げることができる。
トリシラン(Si3H8)
テトラシラン(Si4H10)
ペンタシラン(Si5H12)
ヘキサシラン(Si6H14)
ヘプタシラン(Si7H16)
等を挙げることができる。
シクロトリシラン(Si3H6)
シクロテトラシラン(Si4H8)
シクロペンタシラン(Si5H10)
シクロヘキサシラン(Si6H12)
シクロヘプタシラン(Si7H14)
等を挙げることができる。
BAS(ブチルアミノシラン)
BTBAS(ビスターシャリブチルアミノシラン)
DMAS(ジメチルアミノシラン)
BDMAS(ビスジメチルアミノシラン)
TDMAS(トリスジメチルアミノシラン)
DEAS(ジエチルアミノシラン)
BDEAS(ビスジエチルアミノシラン)
DPAS(ジプロピルアミノシラン)
DIPAS(ジイソプロピルアミノシラン)
等を挙げることができる。
次に、一実施形態に係る積層半導体膜の成膜方法を実施することが可能な縦型バッチ式成膜装置の第1例を説明する。
次に、一実施形態に係る積層半導体膜の成膜方法を実施することが可能な縦型バッチ式成膜装置の第2例を説明する。
その他、この発明はその要旨を逸脱しない範囲で様々に変形することができる。
Claims (19)
- 被処理体の下地の上方に、第1、第2の半導体膜を交互に積層した積層半導体膜を成膜する積層半導体膜の成膜方法であって、
(1) 前記第1の半導体膜を成膜する工程と、
(2) 前記第2の半導体膜を成膜する工程と、
を設計された積層数まで繰り返すとともに、
前記(1)の工程における成膜温度と前記(2)の工程における成膜温度とを同一とし、前記(1)の工程と前記(2)工程との相互間で温度を一定とし、
前記(1)の工程と前記(2)の工程との相互間におけるパージガスとして、成膜中に前記第1、第2の半導体膜から脱離する物質を含むガスを用いることを特徴とする積層半導体膜の成膜方法。 - 前記成膜温度は、前記第1、第2の半導体膜の結晶化温度未満とされることを特徴とする請求項1に記載の積層半導体膜の成膜方法。
- 前記第1、第2の半導体膜がシリコン膜であるとき、
前記第1、第2の半導体膜から脱離する物質を含むガスが、水素を含むガスであることを特徴とする請求項1に記載の積層半導体膜の成膜方法。 - 被処理体の下地の上方に、第1、第2の半導体膜を交互に積層した積層半導体膜を成膜する積層半導体膜の成膜方法であって、
(3) 前記第1の半導体膜を成膜する工程と、
(4) 前記第2の半導体膜を成膜する工程と、
を設計された積層数まで繰り返すとともに、
前記(3)の工程と前記(4)の工程との相互間におけるパージガスとして、成膜中に前記第1、第2の半導体膜から脱離する物質を含むガスを用いて、前記第1、第2の半導体膜が交互に積層された積層半導体膜を成膜することを特徴とする積層半導体膜の成膜方法。 - 前記第1、第2の半導体膜がシリコン膜であるとき、
前記第1、第2の半導体膜から脱離する物質を含むガスが、水素を含むガスであることを特徴とする請求項4に記載の積層半導体膜の成膜方法。 - 被処理体の下地の上方に、第1、第2の半導体膜を交互に積層した積層半導体膜を成膜する積層半導体膜の成膜方法であって、
(5) 前記第1の半導体膜を成膜する工程と、
(6) 前記第2の半導体膜を成膜する工程と、
を設計された積層数まで繰り返し、前記第1、第2の半導体膜が交互に積層された積層半導体膜を成膜するとともに、
(7) 前記積層半導体膜の成膜に先立ち、前記被処理体の下地上にシード層を形成する工程を具備し、
前記(5)の工程における成膜温度と前記(6)の工程における成膜温度とを同一とし、前記(5)の工程と前記(6)工程との相互間で温度を一定とし、
前記(7)の工程における処理温度を、さらに前記成膜温度と同一とし、前記(7)の工程と前記(5)の工程との相互間で温度を一定とすることを特徴とする積層半導体膜の成膜方法。 - 前記第1、第2の半導体膜はシリコン膜であり、
前記シード層は、前記シリコン膜の原料ガスであるシラン系ガスよりも高次のシラン系ガスを用い、前記下地の表面にシリコンを吸着させて形成することを特徴とする請求項6に記載の積層半導体膜の成膜方法。 - 前記第1、第2の半導体膜はシリコン膜であり、
前記シード層は、アミノシラン系ガスを用い、前記下地の表面にシリコンを吸着させて形成することを特徴とする請求項6に記載の積層半導体膜の成膜方法。 - 前記成膜温度は、前記第1、第2の半導体膜の結晶化温度未満とされることを特徴とする請求項6に記載の積層半導体膜の成膜方法。
- 前記(5)〜(7)の工程相互間におけるパージガスとして、成膜中に前記第1、第2の半導体膜から脱離する物質を含むガスを用いることを特徴とする請求項6から請求項9のいずれか一項に記載の積層半導体膜の成膜方法。
- 前記第1、第2の半導体膜がシリコン膜であるとき、
前記第1、第2の半導体膜から脱離する物質を含むガスが、水素を含むガスであることを特徴とする請求項10に記載の積層半導体膜の成膜方法。 - 前記第1、第2の半導体膜の一方が、ドーパントがドープされたドープト半導体膜であり、他方が、ドーパントがドープされていないノンドープ半導体膜であり、
前記ノンドープ半導体膜を形成する工程、および前記ドープト半導体膜を形成する工程の双方において、前記第1、第2の半導体膜から脱離する物質を含んだガスを、さらに供給することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項4、請求項5、請求項10および請求項11のいずれか一項に記載の積層半導体膜の成膜方法。 - 前記第1、第2の半導体膜の一方が、ドーパントがドープされたドープト半導体膜であり、他方が、ドーパントがドープされていないノンドープ半導体膜であり、
前記ドープト半導体膜を形成する工程において、前記第1、第2の半導体膜から脱離する物質を含んだガスを、さらに供給し、
前記ノンドープ半導体膜を形成する工程において、前記第1、第2の半導体膜から脱離する物質を含んだガスを、工程の途中からさらに供給することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項4、請求項5、請求項10および請求項11のいずれか一項に記載の積層半導体膜の成膜方法。 - 請求項1から請求項13のいずれか一項に係る積層半導体膜の成膜方法を、バッチ処理にて行うことを特徴とする積層半導体膜の成膜方法。
- 前記第1、第2の半導体膜の一方が、ドーパントがドープされたドープト半導体膜であり、他方が、ドーパントがドープされていないノンドープ半導体膜であり、
前記被処理体は、前記積層半導体膜を成膜する成膜装置の処理室内に、前記処理室の一端から前記処理室の他端に向かって複数配置され、
前記第1、第2の半導体膜の原料ガスは、前記処理室の一端から供給し、
前記第1又は第2の半導体膜へのドーパントガスは、前記処理室の一端と前記処理室の他端との間において複数の箇所から供給することを特徴とする請求項1から請求項13のいずれか一項に記載の積層半導体膜の成膜方法。 - 前記処理室の内部には、前記処理室の一端から前記処理室の他端に向かって温度が高くなる温度分布を持たせることを特徴とする請求項15に記載の積層半導体膜の成膜方法。
- 前記第1、第2の半導体膜の一方が、ドーパントがドープされたドープト半導体膜であり、他方が、ドーパントがドープされていないノンドープ半導体膜であり、
前記被処理体は、前記積層半導体膜を成膜する成膜装置の処理室内に、前記処理室の一端から前記処理室の他端に向かって複数配置され、
前記第1、第2の半導体膜の原料ガス、及び前記第1又は第2の半導体膜へのドーパントガスは、前記処理室に複数配置された前記被処理体の被処理面のそれぞれに対して直接に供給することを特徴とする請求項1から請求項13のいずれか一項に記載の積層半導体膜の成膜方法。 - 前記処理室には、前記処理室の一端から前記処理室の他端に向かって温度が一定となる温度分布を持たせることを特徴とする請求項17に記載の積層半導体膜の成膜方法。
- 前記第1、第2の半導体膜をアモルファス状態で成膜することを特徴とする請求項1から請求項18のいずれか一項に記載の積層半導体膜の成膜方法。
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JP2011014619A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Sanyo Electric Co Ltd | 太陽電池及びその製造方法 |
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