JP5790958B2 - 駆動回路、物理量測定装置 - Google Patents
駆動回路、物理量測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5790958B2 JP5790958B2 JP2014067683A JP2014067683A JP5790958B2 JP 5790958 B2 JP5790958 B2 JP 5790958B2 JP 2014067683 A JP2014067683 A JP 2014067683A JP 2014067683 A JP2014067683 A JP 2014067683A JP 5790958 B2 JP5790958 B2 JP 5790958B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- circuit
- voltage
- current
- drive circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Description
といった性質が同じになる素材であることを意味する。例えば、抵抗の種類(ポリシリコン抵抗、拡散抵抗、ウェル抵抗等)が同じ場合に温度特性や製造ばらつき等が同じになるならば、同じ種類の抵抗であることをもって同じ素材としてもよい。また、抵抗の種類だけでなく局所的なばらつきまでも考慮して同じ素材であるかどうかを判断してもよい。
本発明の第1実施形態について図1〜図4を参照して説明する。また、比較例の説明において図6〜図7も参照する。
図1は本実施形態の駆動回路10のブロック図である。駆動回路10は、電流電圧変換回路20、全波整流回路30、比較調整回路40、駆動信号生成回路50を含む。
回路42は、電流電圧変換回路20が含む抵抗(第1の抵抗)と同じ素材の抵抗(第2の抵抗)を有しており、第2の抵抗によって比較電圧を生成する。例えば、本実施形態のように、定電流源と第2の抵抗によって比較電圧を生成してもよい。このことにより、比較電圧に、第1の抵抗と同じ温度特性が反映されることになる。
本実施形態の駆動回路の回路図の例を示す前に、比較例の駆動回路について図6〜図7を用いて説明する。比較例の駆動回路の説明の後で、図2を用いて本実施形態の駆動回路の回路図の例を示して比較する。
図6は比較例の駆動回路500のブロック図である。本実施形態の駆動回路10(図1)と異なり、抵抗のばらつきを補償するための補償回路520を含み、第1の抵抗とは関連のない定電圧源である比較電圧供給回路41を用いている。なお、図1と同じ要素には同じ番号を付しており説明は省略する。
、抵抗502、抵抗504、オペアンプ510で構成される非反転増幅回路を含む。抵抗506の抵抗値はRc、キャパシタ508の容量はCcであり、抵抗502、抵抗504の抵抗値はそれぞれR2、R1である。補償回路520の伝達関数Hcoは数3で表される。
てよい。反転増幅回路により位相が180°変化するので、スイッチ34、スイッチ35と組み合わせることで、出力電圧204として正弦波の正の部分のみが出力されることになる。
比較例の駆動回路500では、励振電流200の振幅をIdrとすると、Idrと比較電圧Vref0との間には式(7)、式(8)により数9の関係がある。
を得ることが難しい。
図2は、本実施形態の駆動回路10の回路図の例である。なお、図1、図6、図7と同じ要素には同じ番号を付しており説明は省略する。
図3(A)〜(C)を用いて本実施形態の駆動回路の効果を説明する。図3(A)はシミュレーションの条件を示すテーブルである。図3(B)、図3(C)はそれぞれ比較例の駆動回路、第1実施形態の駆動回路での励振電流のばらつきを示す図である。
せる必要がある。一方、励振電流の振幅を大きくしすぎると、過大な電力で振動子を動作させることとなり振動子が折れるなどの破壊を生じる。ここで、振動子の破壊を生じる場合の電流を破壊電流とし、破壊電流を生じる励振電流の振幅を限界値とする。
本実施形態の駆動回路では、第1の抵抗と第2の抵抗が同じ温度特性を有し、同じ製造ばらつきを示すことが必要である。そこで、第1の抵抗と第2の抵抗の素材を同じにするためのレイアウト手法について、図4(A)〜図4(C)を用いて説明する。なお、本実施形態では、素材を同じにするとは、単に抵抗の種類を揃えるだけでなく、レイアウトでの配置場所の違いに起因する局所的なばらつき(例えばインプラのイオン注入量の差によるシート抵抗の偏り)を含めて特性を同じにすることを意味する。
本発明の駆動回路の適用例について図5を参照して説明する。図1〜図4と同じ要素には同じ番号を付しており説明は省略する。
図5は物理量測定装置1の例を示す図である。物理量測定装置1は駆動回路10、検出
回路90、振動子60、振動子70を含む。検出回路90は、振動子70に設けられた検出手段から例えば差分信号として測定信号290、292を受け取る。測定信号は振動子60の励振電流に比例している。そして、駆動回路10から必要な情報を内部信号294として受け取り、所定の演算を行って測定する物理量に応じた検出信号296を出力する。
Claims (8)
- 振動子を励振させる駆動信号を出力する駆動回路であって、
入力された励振電流を電圧に変換する電流電圧変換回路と、
前記電流電圧変換回路からの出力電圧に基づく電圧を比較電圧と比較して、前記駆動信号の振幅を調整する比較調整回路と、を含み、
前記比較調整回路は、
前記比較電圧を供給する比較電圧供給回路を含み、
前記比較電圧供給回路は、
前記電流電圧変換回路が含む第1の抵抗と同じ素材の第2の抵抗により前記比較電圧を生成し、
前記第1の抵抗の抵抗値と前記第2の抵抗の抵抗値とが異なる駆動回路。 - 請求項1に記載の駆動回路において、
前記比較電圧供給回路は、定電流源及び前記第2の抵抗により、前記比較電圧を生成する駆動回路。 - 請求項1又は2に記載の駆動回路において、
前記比較調整回路は、前記電流電圧変換回路からの前記出力電圧を直流化した電圧を前記比較電圧と比較して、前記駆動信号の前記振幅を調整する駆動回路。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の駆動回路において、
前記第1の抵抗および前記第2の抵抗は、同一の抵抗領域にアレイ状に配置される駆動回路。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の駆動回路において、
前記第1の抵抗および前記第2の抵抗は、1つの抵抗値を有する抵抗セルを1つ又は複数組み合わせることで構成される駆動回路。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の駆動回路において、
前記第1の抵抗の抵抗値および前記第2の抵抗の抵抗値は、前記励振電流の振幅と前記振動子破壊する破壊電流が流れる限界値とを比較した演算結果に基づいて定められる駆動回路。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の駆動回路において、
前記電流電圧変換回路と前記比較調整回路とは、共通の接地電位に接続される駆動回路。 - 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の駆動回路を含む物理量測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014067683A JP5790958B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | 駆動回路、物理量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014067683A JP5790958B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | 駆動回路、物理量測定装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010196933A Division JP5510660B2 (ja) | 2010-09-02 | 2010-09-02 | 駆動回路、物理量測定装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014130162A JP2014130162A (ja) | 2014-07-10 |
JP2014130162A5 JP2014130162A5 (ja) | 2014-08-21 |
JP5790958B2 true JP5790958B2 (ja) | 2015-10-07 |
Family
ID=51408627
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014067683A Active JP5790958B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | 駆動回路、物理量測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5790958B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0754336B2 (ja) * | 1989-01-04 | 1995-06-07 | 日産自動車株式会社 | 電流センス回路 |
JP2003247828A (ja) * | 2002-02-21 | 2003-09-05 | Kinseki Ltd | 角速度センサ |
JP2006303185A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP5034808B2 (ja) * | 2006-10-17 | 2012-09-26 | セイコーエプソン株式会社 | 駆動装置、物理量測定装置及び電子機器 |
JP5079541B2 (ja) * | 2007-03-16 | 2012-11-21 | シチズンホールディングス株式会社 | 物理量センサ |
-
2014
- 2014-03-28 JP JP2014067683A patent/JP5790958B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014130162A (ja) | 2014-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5510660B2 (ja) | 駆動回路、物理量測定装置 | |
KR101868659B1 (ko) | 분류기 교정 방법 및 그 시스템 | |
TWI639839B (zh) | 用以測量電容之系統及裝置 | |
US8508217B2 (en) | Output circuit of charge mode sensor | |
TWI497071B (zh) | 用於與四端子感測器一起使用之控制電路及包括此一控制電路之量測系統 | |
US20110267078A1 (en) | Current Sensor Capacity Measuring System | |
JP2021508817A (ja) | シャント抵抗の電流値補正システムおよび方法 | |
US10141887B2 (en) | Oscillator for detecting temperature of atmosphere | |
JP5790958B2 (ja) | 駆動回路、物理量測定装置 | |
JP5608328B2 (ja) | 定電流回路、及び試験装置 | |
JP4069158B1 (ja) | チャージアンプ、チャージアンプ装置、及び、バイアス電流補償方法 | |
US11391632B2 (en) | Temperature sensor circuit | |
JP2003156524A (ja) | 電位固定装置および電位固定方法 | |
JP6651634B2 (ja) | 静電容量検出装置及び光波長選択フィルタ装置 | |
US7456700B2 (en) | Variable loop gain oscillator system | |
WO2017190303A1 (en) | Total dissolved solid sensor with dynamic gain | |
KR100968896B1 (ko) | 복소 전기용량 측정 장치 | |
JP2009150789A (ja) | 水晶振動子を用いた物理/化学量測定装置 | |
JPH075144A (ja) | 静電容量式アルコール濃度測定装置 | |
Kollar | Measurement of capacitances based on a flip-flop sensor | |
JP2003262552A (ja) | 温度検知回路 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140425 |
|
RD07 | Notification of extinguishment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7427 Effective date: 20140619 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140620 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150403 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150708 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150721 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Ref document number: 5790958 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |