JP5788669B2 - イオンビーム源及び非導電材料をスパッタリングする装置 - Google Patents
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- 非導電ターゲットとともにスパッタリングに使用するイオンビーム源であって、
イオンを抽出するグリッドと、
前記イオンを抽出するために前記グリッドにパルス電力を供給する電源であって、前記電源は、前記グリッドに対する電力を切り替えるために、直流電源電圧と接地点との間で前記グリッドを切り替える電源と、
を有し、
直流電源レールと中間点との間に接続された第1のFETと、前記中間点と接地点との間に接続された第2のFETと、互いに直列接続され及び前記第1のFETと前記第2のFETにそれぞれ並列に接続された一対のダイオードと、を有する回路と、
前記中間点に接続され及び前記グリッドに関連したコンデンサに接続されたインダクタと、
前記第1のFET及び前記第2のFETを交互にオンにするパルス発生器と、
を更に備え、
これによって、前記回路は、前記第1のFET及び前記第2のFETの一方がオンに切り替わったときに前記グリッドをレール電圧に十分に保持し、前記第1のFET及び前記第2のFETがオフに切り替わったときに前記グリッドを接地電圧にすることを特徴とするイオンビーム源。 - 前記電源は、直流電源と、前記グリッドに対する電力の供給を接続し及び遮断する電源スイッチと、前記電源スイッチの切替を行うためのパルス発生器と、を有する請求項1に記載のイオンビーム源。
- アーク放電が生成する過電流を検出するとともに前記グリッドを一時的に接地電圧に維持するために一時的な禁止信号を生成する検出器を更に有する請求項1又は2に記載のイオンビーム源。
- 非導電ターゲットとともにスパッタリングに使用するイオンビーム源であって、
イオンを抽出するグリッドと、
前記イオンを抽出するために前記グリッドにパルス電力を供給する電源と、
アーク放電が生成する過電流を検出するとともに前記グリッドを一時的に接地電圧に維持するために一時的な禁止信号を生成する検出器と、
を有することを特徴とするイオンビーム源。 - 前記検出器は、グリッド電源の電流及び/又は電圧の変化率を検出し、それを一つ以上の基準と比較する請求項3又は4に記載のイオンビーム源。
- 前記検出器は変圧器を有する請求項5に記載のイオンビーム源。
- 前記イオンを抽出するグリッドは、複数のグリッドを備え、前記イオンビーム源は、各グリッドに対する電源を更に備え、前記電源は、共通のパルス発生器によって制御される請求項1から6のうちのいずれか一項に記載のイオンビーム源。
- 非導電材料をスパッタリングする装置であって、非導電ターゲットと、請求項1から7のうちのいずれか一項に記載のイオンビーム源と、を有し、前記電源は、所定の期間のパルスを生成し、前記パルスがオフであるときに前記ターゲットの電荷を十分に放出できるようにしたことを特徴とする装置。
- 非導電材料をスパッタリングする装置であって、非導電ターゲットと、請求項1に記載のイオンビーム源と、を有し、前記電源は、所定の期間のパルスを生成し、前記パルスがオフであるときに前記ターゲットの電荷を十分に放出できるようにし、前記第1のFET及び前記第2のFETは、一対のFETによって構成され、前記回路は、過剰な電圧を関連のコンデンサに充電できるようにするとともに各FET対が次にオンになるときに前記コンデンサが放電できるようにすることによって、オフであるときの前記第1のFETと前記第2のFETの各々の両端間の電圧降下を予め決定された値に保持するために一連の安定電圧点を維持する電圧バランサーを更に有することを特徴とする装置。
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