JP5786990B2 - 接合装置、接合方法、および、製造方法 - Google Patents
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- 一対の基板を接合する接合装置であって、
前記一対の基板間の間隔を前記一対の基板の側方から撮像する撮像部と、
前記撮像部の出力により前記一対の基板の近接および接触の少なくとも一方を検出する近接検知部と、
を備え、
前記近接検知部は、前記一対の基板間の間隔が検出の分解能の限界に達したときに前記間隔が予め定められた大きさ以下であると判断し、当該予め定められた大きさ以下という状態は、前記一対の基板が互いに接触した状態を含む、接合装置。 - 前記分解能は前記撮像部の解像度である、請求項1に記載の接合装置。
- 前記近接検知部は、前記一対の基板の各中央部間の距離と他方の基板に対する一方の基板の傾斜角度とを検出し、検出した距離及び傾斜角度から、前記一方の基板の前記他方の基板に最も近接した部分と該他方の基板との間隔を算出し、算出した該間隔の大きさが所定の大きさ以下である場合、前記一対の基板が互いに近接していると判断する請求項1または2に記載の接合装置。
- 一方の基板を傾動させるアクチュエータを備え、
前記アクチュエータは、少なくとも前記近接検知部が前記一対の基板の近接または接触を検知するまで、前記一方の基板と他方の基板とが互いに平行になるように前記一方の基板を傾動させる請求項1から3のいずれか一項に記載の接合装置。 - 前記近接検知部が前記一対の基板の近接または接触を検知した後に、前記一方の基板が前記他方の基板に平行になるように前記アクチュエータの作動を制御する圧力制御部を更に備える請求項4に記載の接合装置。
- 前記接合装置は、前記他方の基板を保持する基板保持部をさらに備え、
前記圧力制御部は、前記基板保持部に配されて、前記他方の基板に対向する面内の異なる三以上の位置において前記他方の基板が受ける圧力を測定する複数の圧力検知部を含む請求項5に記載の接合装置。 - 前記一対の基板の面内の圧力分布を検出する圧力検出部を更に備え、
前記近接検知部は、前記圧力検出部が検出した圧力分布によって、前記一対の基板の近接または接触を検知する請求項1から6のいずれか一項に記載の接合装置。 - 一対の基板を接合する接合方法であって、
前記一対の基板間の間隔を前記一対の基板の側方から撮像した画像を出力して、
前記出力された画像に基づいて、前記一対の基板の近接または接触を検出することを含み、
前記一対の基板間の間隔が検出の分解能の限界に達したときに前記間隔が予め定められた大きさ以下であると判断し、当該予め定められた大きさ以下という状態は、前記一対の基板が互いに接触した状態を含む、接合方法。 - 一対の基板を接合して接合基板を製造する接合基板の製造方法であって、
前記一対の基板間の間隔を前記一対の基板の側方から撮像した画像を出力して、
前記出力された画像に基づいて、前記一対の基板の近接または接触を検出することを含み、
前記一対の基板間の間隔が検出の分解能の限界に達したときに前記間隔が予め定められた大きさ以下であると判断し、当該予め定められた大きさ以下という状態は、前記一対の基板が互いに接触した状態を含む、製造方法。
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