JP5782154B2 - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
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Description
試料セルを載置する載置部には、X線照射手段から試料セル(に収容された試料)へ照射する一次X線及び試料セルから検出手段への蛍光X線を通すための開口部が形成される。また載置部は試料セルを支持する支持部を有し、支持部は、例えば試料セルのX線透過窓材を開口部の上方に位置させるなど、開口部を通った一次X線がX線透過窓材に至るように試料セルの支持を行う。更に、試料セルを支持する支持部は、試料セルの開口の内側の部分に設けられたX線透過窓材に当接して(即ち、X線透過窓材の反対側には試料が存在する部分に当接して)、試料セルを支持する。
図6に示した従来の蛍光X線分析装置101では、セルホルダ102が試料セル5のセル内枠51の下端部分に当接することで試料セル5を支持する構成であるため、セルホルダ102による支持位置に対してX線透過窓材54の位置が撓みにより変化したり、またセル外枠53がセルホルダ内枠121に当接するなどの要因で、試料セル5の下面(底面)が傾いた状態でセルホルダ102に載置されるなどして、X線検出器4に対する試料セル5内の試料の位置が変化する虞がある。これに対して、本発明のように載置部の支持部が開口の内側のX線透過窓材に当接して試料セルを支持する構成では、支持部によるX線透過窓材の支持位置の精度を大きく改善できる。
よって、試料セルのX線透過窓材に撓みが生じたり、試料セルの組み立てに不具合が生じた場合であっても、X線の検出手段に対するX線透過窓材の位置が変化することを抑制でき、X線の検出手段に対する試料セル内の試料の位置が変化することを抑制できるため、試料の分析精度の低下を抑制できる。
一方、載置部の開口部はX線透過窓材にて閉塞することができ、これによりX線透過窓材が保護膜の役割を果たし、試料セルの保護膜が破損するなどして試料がこぼれ出た場合などに、載置部の開口部を通してX線照射手段及び検出手段等に試料が付着することを防止できる。
しかし、載置部の開口部がX線透過窓材により閉塞される構成の場合、このX線透過窓材を間にしてX線照射手段及び検出手段が設けられた密閉空間と試料セルが載置された空間とが隔絶される。よって、X線照射手段及び検出手段が設けられた密閉空間がヘリウムガスにて充填されても、X線透過窓材から試料セルまでの空間には空気が存在するため、分析精度が低下するという問題がある。
そこで、本発明においては、載置部の開口部をX線透過窓材により閉塞する場合、載置部の開口部の全周に亘って支持部を立設し、載置された試料セルのX線透過窓材と、載置部の支持部及び載置部の開口を閉塞するX線透過窓材とで囲まれる閉所を構成する。また載置部には、この閉所の内外を連通する貫通孔を設ける。これにより、載置部の貫通孔を通して閉所内にヘリウムガスなどを注入することができ、載置部のX線透過窓材から試料セルまでの空間にヘリウムガスなどを充填し、X線による試料の分析精度を向上することができる。
また更には、ヘリウムガスなどを注入するための貫通孔と共に、閉所内の空気などの気体を放出するための貫通孔を別に設けてもよい。
しかし、この構成において載置部の装着位置に変化が生じると、載置された試料セルと検出手段との位置に変化が生じて分析精度が低下する虞がある。そこで、本発明においては、装着部を筐体に対して押さえ付けて固定する固定部を蛍光X線分析装置に備えることによって、載置部の位置変動を防止し、分析精度の低下を防止する。
なお、図示の支持部24は上側に縮径する筒状としたが、これに限るものではなく、開口52dの周縁に略垂直に支持部24を設けて、その上端部から軸芯へ向けて円環状の支持平面24aを設ける構成としてもよい。この場合、支持部24及び支持平面24aの外径は、試料セル5の開口52dの直径より小さく形成する。
なお、ホルダ押さえ13の構成は図示のように筐体1に対して取り外し可能にネジ止めする構成に限らず、例えば、ホルダ押さえ13の片側にヒンジ機構などを設けて筐体1に揺動可能となるようにホルダ押さえ13を取り付け、反対側をネジ14にて固定する構成としてもよい。また、ホルダ押さえ13の筐体1への固定はネジ14に限るものではなく、例えばパチン錠などの締め付け金具などを用いて固定してもよい。ホルダ押さえ13は、筐体1に対して容易に取り外しできる構成であることが望ましい。
1a 分析室
2 セルホルダ(載置部)
3 X線管(X線照射手段)
4 X線検出器(検出手段)
5 試料セル(試料収容容器)
7 カバー
13 ホルダ押さえ(固定部)
15 注入管
21 セルホルダ内枠(内枠)
21c 開口部
22 セルホルダ外枠(外枠)
23 X線透過窓材
24 支持部
24a 支持平面
25 注入孔(貫通孔)
51 セル内枠
52 試料カップ
52d 開口
53 セル外枠
54 X線透過窓材
Claims (3)
- 開口がX線透過窓材にて閉塞されるべき試料収容容器が載置される載置部と、該載置部に載置された前記試料収容容器へ一次X線を照射するX線照射手段と、一次X線の照射により生じる前記試料収容容器に収容された試料からの蛍光X線を検出する検出手段とを備える蛍光X線分析装置において、
前記載置部は、
前記X線照射手段から前記試料収容容器への一次X線を通す開口部が形成された底板部と、
該底板部の内縁部分に前記開口部の全周に亘って突設され、突端側へ縮径する筒状をなし、前記開口部を通った一次X線が前記試料収容容器の開口を閉塞したX線透過窓材に至るように、前記試料収容容器を支持する支持部と、
該支持部の突端部に設けられ、前記支持部が前記試料容器を支持する際に、前記X線透過窓材に密接する支持平面と
を有し、
該支持平面は、前記試料収容容器の開口内に収まる形状であり、該開口の内側にて、該開口を閉塞した前記X線透過窓材に当接して前記試料収容容器を支持するようにしてあること
を特徴とする蛍光X線分析装置。 - 前記載置部の開口部は、第2のX線透過窓材にて閉塞することができ、
前記載置部は、
前記支持部が設けられた環状の内枠と、
該内枠に外嵌する環状の外枠と
を有し、
嵌合した前記内枠及び前記外枠に前記第2のX線透過窓材を挟持できるようにしてあること
を特徴とする請求項1に記載の蛍光X線分析装置。 - 前記載置部は、前記X線照射手段及び前記検出手段が保持された筐体に着脱自在に設けられ、
前記載置部を前記筐体に押さえ付けて固定する固定部を更に備えること
を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の蛍光X線分析装置。
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