JP5779354B2 - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5779354B2 JP5779354B2 JP2011008743A JP2011008743A JP5779354B2 JP 5779354 B2 JP5779354 B2 JP 5779354B2 JP 2011008743 A JP2011008743 A JP 2011008743A JP 2011008743 A JP2011008743 A JP 2011008743A JP 5779354 B2 JP5779354 B2 JP 5779354B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- main vibration
- piezoelectric vibrator
- piezoelectric
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
δ1=P1*L1^3/(48*E1*I1)
ここで、
P1:応力
L1:梁の長さ
E1:ヤング率
I1:断面2次モーメント
δ2=P2*L2^3/(3*E2*I2)
ここで、
P2:応力
L2:梁の長さ
E2:ヤング率
I2:断面2次モーメント
11 圧電振動子
12 圧電振動板
12a,12b 主振動辺
12c,12d 副振動辺
13 支持アーム
13a,13b 屈曲部
14 フレーム
15 パッケージ
16 端子電極
17 第1励振電極
18 第2励振電極
19 水晶基板
20a 第1アーム部
20b 第2アーム部
20c 第3アーム部
Claims (10)
- 機械軸(Y軸)に垂直となるY板水晶を電気軸(X軸)を回転軸として角度θx=+40°〜+60°回転し、更に、前記X軸の回転後の新軸(Y´軸)を回転軸として、角度θy=40°〜50°回転してカットされた幅縦・長さ縦結合モードの圧電振動子であって、
幅縦モードの主振動を伴う一対の主振動辺及びこの一対の主振動辺と直交し、長さ縦モードの副振動を伴う一対の副振動辺を有し、4MHz乃至30MHzの発振周波数を生じ、且つ、容量比が250〜400の四角形状の圧電振動板と、
前記一対の主振動辺に一端が接続されて主振動辺の外方向に延びる一対の支持アームと、
前記圧電振動板の外周に設けられ、前記一対の支持アームの他端が接続されるフレームとを備え、
前記各支持アームは、前記一対の主振動辺の略中間位置から主振動辺と直交する方向に延びる第1アーム部と、該第1アーム部から第1の屈曲部を介して主振動辺と平行に延びる第2アーム部と、該第2アーム部から第2の屈曲部を介して主振動辺と直交する方向に延びる第3アーム部と、該第3アーム部から第3の屈曲部を介して折り返し、主振動辺と平行に延びる第4アーム部と、該第4アーム部から第4の屈曲部を介して主振動辺と直交する外方向に延びる第5アーム部とを有し、
前記一対の支持アームの先端が前記フレームに連結されていることを特徴とする圧電振動子。 - 前記フレームは、導電接合部材を介して電気的に固定される基部と、この基部の両端から少なくとも二以上の屈曲部を有して蛇行して延びる一対の脚部を有している請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記支持アームは、前記圧電振動板に対して、0.23以下の重量比に設定される請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記支持アームは、前記主振動辺の略中間位置から前記フレームに向けて略コ字状に屈曲して延びる請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記フレームは、前記圧電振動板の外周に沿うように略コ字状に形成される請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記圧電振動板は、主振動方向又は副振動方向に対して複数の振動面を有して形成される請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記圧電振動板、支持アーム及びフレームは、水晶基板によって一体形成される請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記主振動辺による幅縦モードの主振動は、前記副振動辺による長さ縦モードの副振動よりも共振周波数が高く、且つ、等価直列抵抗が小さい請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記支持アーム又はフレームは、一部に幅方向及び厚み方向の少なくともいずれか一方の面積比が小さい部位を有して形成される請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記圧電振動板は、表面に凹部が設けられ、この凹部の内側面に沿って励振電極が形成される請求項1に記載の圧電振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011008743A JP5779354B2 (ja) | 2011-01-19 | 2011-01-19 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011008743A JP5779354B2 (ja) | 2011-01-19 | 2011-01-19 | 圧電振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012151651A JP2012151651A (ja) | 2012-08-09 |
JP5779354B2 true JP5779354B2 (ja) | 2015-09-16 |
Family
ID=46793499
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011008743A Active JP5779354B2 (ja) | 2011-01-19 | 2011-01-19 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5779354B2 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6238639B2 (ja) * | 2013-08-26 | 2017-11-29 | リバーエレテック株式会社 | 圧電振動子 |
US10938375B2 (en) | 2015-03-31 | 2021-03-02 | Murata Manufacturing Co, Ltd. | Resonator |
WO2016158045A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 株式会社村田製作所 | 共振子 |
WO2016158048A1 (ja) | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 株式会社村田製作所 | 共振子 |
US10778182B2 (en) | 2015-03-31 | 2020-09-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Resonator |
US10584695B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-03-10 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
EP3203078B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-05-26 | Microjet Technology Co., Ltd | Miniature pneumatic device |
US10388849B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-20 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
US10487821B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-11-26 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
US10487820B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-11-26 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10529911B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-01-07 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
EP3203080B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-09-22 | Microjet Technology Co., Ltd | Miniature pneumatic device |
US10451051B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-10-22 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10615329B2 (en) * | 2016-01-29 | 2020-04-07 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
EP3203079B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-05-19 | Microjet Technology Co., Ltd | Piezoelectric actuator |
US10385838B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-20 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
US10655620B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-05-19 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
US10746169B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-08-18 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10683861B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-06-16 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
CN111082699B (zh) * | 2019-12-13 | 2023-05-26 | 合肥工业大学 | 一种非正弦周期谐振的压电振子 |
TWI787772B (zh) * | 2021-03-30 | 2022-12-21 | 台灣晶技股份有限公司 | 吸震式晶體振子封裝結構 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54137290A (en) * | 1978-04-17 | 1979-10-24 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal oscillator |
JPS5585120A (en) * | 1978-12-22 | 1980-06-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Small sized crystal oscillator of profile oscillation mode |
JPS58159014A (ja) * | 1982-03-16 | 1983-09-21 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 結合水晶振動子 |
JPS5911516U (ja) * | 1982-07-15 | 1984-01-24 | キンセキ株式会社 | 圧電振動子 |
JPS5944113A (ja) * | 1982-09-07 | 1984-03-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Gtカット水晶振動子の周波数調整方法 |
JPS59137629U (ja) * | 1983-03-04 | 1984-09-13 | キンセキ株式会社 | 輪郭水晶振動子 |
JPS63260310A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
JPH0828639B2 (ja) * | 1987-07-17 | 1996-03-21 | セイコー電子工業株式会社 | 縦水晶振動子 |
JPH01126009A (ja) * | 1987-11-11 | 1989-05-18 | Seiko Keiyo Kogyo Kk | 小型水晶振動子 |
JP2002111434A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-04-12 | River Eletec Kk | ラーメ振動水晶振動子 |
JP2003110400A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-11 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 輪郭水晶振動子 |
JP2005094733A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-04-07 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 振動子と振動子ユニットと発振器と電子機器とそれらの製造方法 |
JP2005094732A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-04-07 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器 |
JP4712430B2 (ja) * | 2005-04-28 | 2011-06-29 | 京セラキンセキ株式会社 | ラーメモード水晶振動子 |
-
2011
- 2011-01-19 JP JP2011008743A patent/JP5779354B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012151651A (ja) | 2012-08-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5779354B2 (ja) | 圧電振動子 | |
US8823248B2 (en) | Flexural vibration element and electronic component | |
CN107210723A (zh) | 晶体振动片及晶体振动器件 | |
JP2008209389A (ja) | 加速度センサ | |
JP2010098531A (ja) | 圧電振動片および圧電デバイス | |
JP6338367B2 (ja) | 水晶振動子 | |
JP5789914B2 (ja) | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス | |
JP5789913B2 (ja) | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス | |
JP2006203458A (ja) | 圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイス | |
JP5504999B2 (ja) | 振動片、振動子、発振器 | |
JP5353486B2 (ja) | 振動片および振動子 | |
JP2012074807A (ja) | 圧電振動素子、表面実装型圧電振動子及び表面実装型圧電発振器 | |
JP2011199330A (ja) | 振動片、振動子、発振器 | |
JP2010246020A (ja) | 音叉型の水晶振動子 | |
JP6238639B2 (ja) | 圧電振動子 | |
JP6829823B2 (ja) | 共振子及び共振装置 | |
WO2020255520A1 (ja) | 共振子及び共振装置 | |
JPWO2022130676A5 (ja) | ||
JP2014112959A (ja) | 振動片、振動子、発振器 | |
JPWO2014002892A1 (ja) | 音叉型水晶振動子 | |
JP4712430B2 (ja) | ラーメモード水晶振動子 | |
JP2012156591A (ja) | 圧電振動片、圧電振動子、電子デバイス | |
JP2008228195A (ja) | 輪郭滑り振動片、輪郭滑り振動デバイスおよび輪郭滑り振動片の製造方法 | |
JP5696751B2 (ja) | 振動片および振動子 | |
JP2015019308A (ja) | 電子部品及び電子部品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140106 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140916 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150407 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150608 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150630 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150713 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5779354 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |