JPS5944113A - Ｇｔカット水晶振動子の周波数調整方法 - Google Patents
Ｇｔカット水晶振動子の周波数調整方法Info
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- JPS5944113A JPS5944113A JP15606682A JP15606682A JPS5944113A JP S5944113 A JPS5944113 A JP S5944113A JP 15606682 A JP15606682 A JP 15606682A JP 15606682 A JP15606682 A JP 15606682A JP S5944113 A JPS5944113 A JP S5944113A
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 abstract description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は複数の振動モードが結合した、いわゆる、結合
振動子の周波数調整方法に関する。本発明の目的は周波
数温度特性（以下、温度特性と呼ぶ）の優れた結合振動
子を提供することにある。
振動子の周波数調整方法に関する。本発明の目的は周波
数温度特性（以下、温度特性と呼ぶ）の優れた結合振動
子を提供することにある。
温度特性の優れｆＣ伝動子を要求する民生機器は多くめ
るが、これらにはＡＴカット水晶愚動子が使用されてき
り、シかし、最近は色々な民生機器で小型化がなされ、
それに伴って、ＡＴカット水晶振動子も小型化が賢求さ
れて来ているが、このタイプの麺動子はスプリアス振動
（５ｐｕｒｉｏｕｓＶｉｂｒａｔｉｏｎ ）が多く、小
型化が難しいというのが実状でめる。特に、腕時計用振
動子としてＡＴカット水晶振動子を使用する場合、相当
に小型化する必賢がろり、音叉型屈曲水晶娠動子と比較
したとき、サイズの面では全く満足できるものではない
、そこで、最近はＩＣの技術を応用したフォトソングラ
フイによる振動子の形成方法が伝動子製造に応用され、
その結果、大変に小型の壁動子を提供することができる
工９になった。例えば、振動子の厚み全大変に薄くでき
る温度特性の優れたＧＴカット水晶撮動子に応用嘔れ、
非常に小型のものが可能になった。しかし、この（）Ｔ
カット水晶倣動子は、良好な湿度特性を得るために二つ
の振動モード、即ち、主伝動と副融動の結合全利用して
いる。理論的に／ａ、優れた温度特性を与える共振周波
数の差音どの位にすれば良いか分かるが。
るが、これらにはＡＴカット水晶愚動子が使用されてき
り、シかし、最近は色々な民生機器で小型化がなされ、
それに伴って、ＡＴカット水晶振動子も小型化が賢求さ
れて来ているが、このタイプの麺動子はスプリアス振動
（５ｐｕｒｉｏｕｓＶｉｂｒａｔｉｏｎ ）が多く、小
型化が難しいというのが実状でめる。特に、腕時計用振
動子としてＡＴカット水晶振動子を使用する場合、相当
に小型化する必賢がろり、音叉型屈曲水晶娠動子と比較
したとき、サイズの面では全く満足できるものではない
、そこで、最近はＩＣの技術を応用したフォトソングラ
フイによる振動子の形成方法が伝動子製造に応用され、
その結果、大変に小型の壁動子を提供することができる
工９になった。例えば、振動子の厚み全大変に薄くでき
る温度特性の優れたＧＴカット水晶撮動子に応用嘔れ、
非常に小型のものが可能になった。しかし、この（）Ｔ
カット水晶倣動子は、良好な湿度特性を得るために二つ
の振動モード、即ち、主伝動と副融動の結合全利用して
いる。理論的に／ａ、優れた温度特性を与える共振周波
数の差音どの位にすれば良いか分かるが。
実際には、製造上のバラツキがめシ、−足に押えること
は難しく温＃特性のバラツク原因であった。
は難しく温＃特性のバラツク原因であった。
そこで、不発明は温度特性のバラツキ音生ちくする。即
ち、δＦｔ−尾に調整する方法、並びに。
ち、δＦｔ−尾に調整する方法、並びに。
生態の共金周波数調整方法を提供するものでろる。
以下１図面に沿って本発明の詳細な説明する。第１図は
不発明のＧＴカット水晶振動子の規格化された周波数δ
Ｆと一次、二次温度係数α、βの関係を示す。ＦＷは土
掘の共振周波数、ＦＬは副系の共感周波数を示す。δＦ
が大きくなるに従って、α、βは負値へと変化する。こ
のグラフからδＦが約１０％のときα、βは各々はとん
ど零になシ。
不発明のＧＴカット水晶振動子の規格化された周波数δ
Ｆと一次、二次温度係数α、βの関係を示す。ＦＷは土
掘の共振周波数、ＦＬは副系の共感周波数を示す。δＦ
が大きくなるに従って、α、βは負値へと変化する。こ
のグラフからδＦが約１０％のときα、βは各々はとん
ど零になシ。
すばらしい周波数温度特性を示すことが分かる。
第２図は本発明のＧＴカット水晶撮動子１の例で。
上面に励振用電極２（裏面電極は図示されていない）が
配置逼れ、振動子１の表面ＶＣは錐り５，４゜５．６，
７，８，９．１０ が配置てれている。第３図は第２
図の錘ｆ） ５，４，５゜６をレーサーで飛散したとき
の錘りの除去量に対する主壁ＦＷと副振ＦＬの周波数変
化の関係を示す。錘り５，４，５．６の除去によって、
ＦＷ、ＰＬとも周波数は商くなりＦｗのの万がＰＬ、Ｊ
、り錘りの除去量に対する周波数変化は大きい。即ち、
錘シ５，４，５，６． の除去に、よって主愚と副系
の周波数差ΔＦ＝Ｆ Ｗ −Ｆ Ｌ を容易に変化δせ
ることができる。換菖するならば、規格化周波数δＦを
約１０％に容易に調節できる。このように不発明のＧＴ
カット水晶振動子の周波数差全最適量に合わせ込むこと
によって周波数温度特性の潰れたＧＴカット水晶像動子
を得ることができる。第４図は第２図の錘シフ、８，９
．１０ をレーザーで飛散したときの錘９の除去量に対
する一次温度係数の変化全示す、錘シの除去によって一
次温度係数はほとんど変化しないことが分かる。
配置逼れ、振動子１の表面ＶＣは錐り５，４゜５．６，
７，８，９．１０ が配置てれている。第３図は第２
図の錘ｆ） ５，４，５゜６をレーサーで飛散したとき
の錘りの除去量に対する主壁ＦＷと副振ＦＬの周波数変
化の関係を示す。錘り５，４，５．６の除去によって、
ＦＷ、ＰＬとも周波数は商くなりＦｗのの万がＰＬ、Ｊ
、り錘りの除去量に対する周波数変化は大きい。即ち、
錘シ５，４，５，６． の除去に、よって主愚と副系
の周波数差ΔＦ＝Ｆ Ｗ −Ｆ Ｌ を容易に変化δせ
ることができる。換菖するならば、規格化周波数δＦを
約１０％に容易に調節できる。このように不発明のＧＴ
カット水晶振動子の周波数差全最適量に合わせ込むこと
によって周波数温度特性の潰れたＧＴカット水晶像動子
を得ることができる。第４図は第２図の錘シフ、８，９
．１０ をレーザーで飛散したときの錘９の除去量に対
する一次温度係数の変化全示す、錘シの除去によって一
次温度係数はほとんど変化しないことが分かる。
第５図は第２図の錘シフ、８，９．＋Ｌ］ ’（ｉ−
除去したときの主壁の周波数ＦＷの変化全示し、錘りの
除去によって主壁の周波数ＦＷは尚くなる。即ち、第２
図の錘シフ、８，９．１０によって温度特性を変化させ
ずに土掘の周波数ＦＷ金谷易に規準周波数ｆＯに合わせ
込むことができる。第６図は本究明の方法によって得ら
れたＧＴカット水晶撮動子の温度特性の例で、直線ａは
フォトエツチング後に得られｆＣＧＴカット水晶感動子
の例で、−次温度係数αは約１．５Ｘ１０／’Ｃと大き
いが、土掘ＦＷと副系ＦＬの差を調整後、更に、主壁Ｆ
Ｗを規準周波数ｆＯに合わせた後の温度特性を直ＩｆＭ
ｂは示しておシ、αは１． ＯＸ ＋ ０− ’／℃以
下と大変に小さく優れた温度特性を有する低動子を得る
ことができた。
除去したときの主壁の周波数ＦＷの変化全示し、錘りの
除去によって主壁の周波数ＦＷは尚くなる。即ち、第２
図の錘シフ、８，９．１０によって温度特性を変化させ
ずに土掘の周波数ＦＷ金谷易に規準周波数ｆＯに合わせ
込むことができる。第６図は本究明の方法によって得ら
れたＧＴカット水晶撮動子の温度特性の例で、直線ａは
フォトエツチング後に得られｆＣＧＴカット水晶感動子
の例で、−次温度係数αは約１．５Ｘ１０／’Ｃと大き
いが、土掘ＦＷと副系ＦＬの差を調整後、更に、主壁Ｆ
Ｗを規準周波数ｆＯに合わせた後の温度特性を直ＩｆＭ
ｂは示しておシ、αは１． ＯＸ ＋ ０− ’／℃以
下と大変に小さく優れた温度特性を有する低動子を得る
ことができた。
以上、述べたように本発明はＧＴカット水晶薇動子の主
壁と副系の周波数差ΔＦ全最適値に調整することによっ
て温度特性の優れた畿動子を得ることができた。更に、
温度特性を変えずに、土掘ＦＷのみを変える鉢シ童の調
整によって土掘ＦＷを規準周波数ｆＯに容易に合わせ込
むことができた。それ故、この碌動子は色々の民生機器
に応用でき、その工業的価値は著しく大きい。不発明で
はレーザーによる錘シの除去法によって説明したが、逆
に、蒸着等によって錘りを付着する方法でも全く同じ考
え男 温度特性、並びに主壁の共感周波数を変えられる
ことは言うまでもない。父。
壁と副系の周波数差ΔＦ全最適値に調整することによっ
て温度特性の優れた畿動子を得ることができた。更に、
温度特性を変えずに、土掘ＦＷのみを変える鉢シ童の調
整によって土掘ＦＷを規準周波数ｆＯに容易に合わせ込
むことができた。それ故、この碌動子は色々の民生機器
に応用でき、その工業的価値は著しく大きい。不発明で
はレーザーによる錘シの除去法によって説明したが、逆
に、蒸着等によって錘りを付着する方法でも全く同じ考
え男 温度特性、並びに主壁の共感周波数を変えられる
ことは言うまでもない。父。
本発明では結合振動子としてＧＴカット水晶振動子で説
明したが、他の結合振動子、例えば、ＺＴカット伝動子
、ＦＴ振動子寺に応用できることは言う１でもない。
明したが、他の結合振動子、例えば、ＺＴカット伝動子
、ＦＴ振動子寺に応用できることは言う１でもない。
第１図は、不発明のＧＴカット水晶１辰動子の規格化さ
れた周波数δＦと一次、二次温度係数α。 βの関係を示すグラフ、第２図は不光明のＧＴカット水
晶（辰動子の表面にＩＭＪ麺用屯極と錘シが配置された
一例を示す平面図。 第６図は第２図の錘シ５，４，５，６．をレーサーで飛
散したときの錘υの除去量に対する主壁ＦＷと副振ＦＬ
の周波数変化の関係を示すグラフ。 第４図は第２図の錘シフ、８，９．１０をレーサーで飛
散したときの錘りの除去量と一次温度係数αの変化との
関係を示すグラフ。 第５図は第２図の錘り７，８，９．１０ を除去した
ときの主壁の周波ｉＦＷの変化を示すグラフ。 第６図は不発明の方法によって得られたＧＴカット水晶
振動子の温度特性の−？ｌｌを示すグラフである。 １・・・・・・ＧＴカット水晶振動子 ３，４，５，６．’７，８，９．１０・・・・・・錘
り以上 出願人 株式会社 第二梢工舎 代理人 弁理士最上 務 第１図 ′） ］ １垂りの除去１４ Ｘ１Ｏｊｐゴ第４図 第５図
れた周波数δＦと一次、二次温度係数α。 βの関係を示すグラフ、第２図は不光明のＧＴカット水
晶（辰動子の表面にＩＭＪ麺用屯極と錘シが配置された
一例を示す平面図。 第６図は第２図の錘シ５，４，５，６．をレーサーで飛
散したときの錘υの除去量に対する主壁ＦＷと副振ＦＬ
の周波数変化の関係を示すグラフ。 第４図は第２図の錘シフ、８，９．１０をレーサーで飛
散したときの錘りの除去量と一次温度係数αの変化との
関係を示すグラフ。 第５図は第２図の錘り７，８，９．１０ を除去した
ときの主壁の周波ｉＦＷの変化を示すグラフ。 第６図は不発明の方法によって得られたＧＴカット水晶
振動子の温度特性の−？ｌｌを示すグラフである。 １・・・・・・ＧＴカット水晶振動子 ３，４，５，６．’７，８，９．１０・・・・・・錘
り以上 出願人 株式会社 第二梢工舎 代理人 弁理士最上 務 第１図 ′） ］ １垂りの除去１４ Ｘ１Ｏｊｐゴ第４図 第５図
Claims (1)
- 複数の振動モードが結合した、いわゆる、結合振動子の
周波数調整方法において、主愚の共振周波数と副振の共
振周波数の差ΔＦｉ合わせ込む工程、次に、主をの共振
周波数を規準周波数ＦＯに合わせ込む工程からなること
を特徴とする結合振動子の周波数調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15606682A JPS5944113A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | Ｇｔカット水晶振動子の周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15606682A JPS5944113A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | Ｇｔカット水晶振動子の周波数調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5944113A true JPS5944113A (ja) | 1984-03-12 |
| JPH0238008B2 JPH0238008B2 (ja) | 1990-08-28 |
Family
ID=15619551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15606682A Granted JPS5944113A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | Ｇｔカット水晶振動子の周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5944113A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5469010A (en) * | 1993-03-12 | 1995-11-21 | Seiko Electronic Components Ltd. | Method of adjusting frequency of NS-GT cut quartz resonator |
| JP2012151651A (ja) * | 2011-01-19 | 2012-08-09 | River Eletec Kk | 圧電振動子 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS572111A (en) * | 1980-06-05 | 1982-01-07 | Seiko Epson Corp | Coupled tuning fork type quartz oscillator |
-
1982
- 1982-09-07 JP JP15606682A patent/JPS5944113A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS572111A (en) * | 1980-06-05 | 1982-01-07 | Seiko Epson Corp | Coupled tuning fork type quartz oscillator |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5469010A (en) * | 1993-03-12 | 1995-11-21 | Seiko Electronic Components Ltd. | Method of adjusting frequency of NS-GT cut quartz resonator |
| JP2012151651A (ja) * | 2011-01-19 | 2012-08-09 | River Eletec Kk | 圧電振動子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0238008B2 (ja) | 1990-08-28 |
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