JP5772927B2 - 光変換器およびその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、光変換器およびその製造方法に関し、特に光集積回路用の光変換器およびその製造方法に関する。本発明はまた、光変換器を含む光集積回路およびその製造方法に関する。
本発明の第4の視点に係る光変換器は、第1の導波路と、第2の導波路と、両導波路の間に設けられたテーパ導波路と、を備え、コアの断面の長辺方向が互いに直交する扁平な導波路である該第1の導波路および該第2の導波路を該テーパ導波路によって接続するように構成された光変換器であって、第1の導波路のコアと第2の導波路のコアとは高さが異なり、テーパ導波路のコアの導波方向の両端は、それぞれ第1の導波路のコアと第2の導波路のコアに接続されており、接続される2つの導波路のコアの断面形状は、各接続箇所において連続的に又は段階的に変化し、テーパ導波路のコアの断面形状は、導波方向に連続的に又は段階的に変化し、テーパ導波路のコアの両側面は、コアの上面たる傾斜平面と底面が成すテーパとは逆向きのテーパを成し、テーパ導波路のコアの幅は、導波方向に単調変化する部分と一定の部分との組み合わせである。
第5の視点に係る光変換器の製造方法は、厚膜と薄膜とを厚み方向のテーパを介して接続した段差構造を備えたコア材料を加工して、テーパ導波路を形成することによる光変換器の製造方法であって、テーパ導波路のコアの上面の接平面の法線をテーパ導波路のコアの底面に射影した方向に横切るように細線状の導波路のコアを形成する工程と、テーパ部分の段差を横切る範囲において、段差の低い方から高い方に向かってテーパ導波路のコアの幅が単調に減少するように加工するか、又は、単調に減少する部分と一定の部分との組み合わせとなるように加工する工程と、を含む。
次に、本発明の第1の実施例及び第2の実施例の光変換器の製造方法を説明する。
本発明の全開示(請求の範囲を含む)の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素の多様な組み合わせないし選択が可能である。
2 第2の導波路のコア
3 テーパ導波路のコア
3a コア3の上面
3b コア3の両側面
4 テーパ導波路の第1コア部分
5 テーパ導波路の第2コア部分
4a 第1コア部分4の上面
4b 第1コア部分4の両側面
5a 第2コア部分5の上面
5b 第2コア部分5の両側面
6 コア材料(SOI基板のシリコン活性層)
7 クラッディング(クラッド)材料(SOI基板の二酸化シリコン層)
Claims (8)
- 第1の導波路と、第2の導波路と、両導波路の間に設けられたテーパ導波路と、を備え、コアの断面の長辺方向が互いに直交する扁平な導波路である該第1の導波路および該第2の導波路を該テーパ導波路によって接続するように構成された光変換器であって、
第1の導波路のコアと第2の導波路のコアとは高さが異なり、
テーパ導波路のコアの導波方向の両端は、それぞれ第1の導波路のコアと第2の導波路のコアに接続されており、
接続される2つの導波路のコアの断面形状は、各接続箇所において連続的に又は段階的に変化し、
テーパ導波路のコアの断面形状は、導波方向に連続的に又は段階的に変化し、
テーパ導波路のコアの両側面は、コアの上面たる傾斜平面と底面が成すテーパとは逆向きのテーパを成し、
テーパ導波路のコアの幅は、導波方向に単調変化する部分と一定の部分との組み合わせである、光変換器。 - テーパ導波路のコアの高さは、導波方向に単調に変化する部分と一定の部分との組み合わせである、請求項1に記載の光変換器。
- テーパ導波路のコアの高さが一定の部分は、横方向のみのテーパ部を含む、請求項2に記載の光変換器。
- 第1の導波路、第2の導波路及びテーパ導波路のコアの底面は、全て同一平面上にある、請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光変換器。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光変換器を単一のSOI(Silicon on Insulator)基板に含む、光集積回路。
- 厚膜と薄膜とを厚み方向のテーパを介して接続した段差構造を備えたコア材料を加工して、テーパ導波路を形成することによる光変換器の製造方法であって、
テーパ導波路のコアの上面の接平面の法線をテーパ導波路のコアの底面に射影した方向に横切るように細線状の導波路のコアを形成する工程と、
テーパ部分の段差を横切る範囲においてテーパ導波路のコアの幅が一定となるように加工する工程と、
段差の厚みの大きい部分でテーパ導波路のコアの幅が単調に減少するように加工する工程と、を含む、光変換器の製造方法。 - 厚膜と薄膜とを厚み方向のテーパを介して接続した段差構造を備えたコア材料を加工して、テーパ導波路を形成することによる光変換器の製造方法であって、
テーパ導波路のコアの上面の接平面の法線をテーパ導波路のコアの底面に射影した方向に横切るように細線状の導波路のコアを形成する工程と、
テーパ部分の段差を横切る範囲において、段差の低い方から高い方に向かってテーパ導波路のコアの幅が単調に減少するように加工するか、又は、単調に減少する部分と一定の部分との組み合わせとなるように加工する工程と、を含む、光変換器の製造方法。 - 単一のSOI基板に対する光集積回路の製造方法であって、請求項6または7に記載の光変換器の製造方法を含む、光集積回路の製造方法。
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