JP5771371B2 - レーザ走査型顕微鏡 - Google Patents
レーザ走査型顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5771371B2 JP5771371B2 JP2010164492A JP2010164492A JP5771371B2 JP 5771371 B2 JP5771371 B2 JP 5771371B2 JP 2010164492 A JP2010164492 A JP 2010164492A JP 2010164492 A JP2010164492 A JP 2010164492A JP 5771371 B2 JP5771371 B2 JP 5771371B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- laser light
- laser
- sample
- timing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 28
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 83
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
本発明は、レーザ光を射出するレーザ光源と、少なくとも1つの共振ガルバノミラーを有し、観察画像の生成のために前記レーザ光源からのレーザ光を標本上で走査する第1の走査部と、前記標本の観察深さを変化させるように前記標本に対するレーザ光の光軸方向の焦点位置を変化させる第2の走査部と、前記レーザ光源の射出タイミングと前記第1の走査部および前記第2の走査部の走査タイミングを制御する制御部とを備え、前記制御部が、前記第1の走査部の各ラインの走査毎に有効走査範囲内でオンされる第1の走査部の同期信号により決まる有効タイミングおよび前記第2の走査部により変化させられる観察深さが前記第1の走査部によるレーザ走査を行うべき焦点位置に達する度にオンされる第2の走査部の同期信号により決まる有効タイミングの両方の有効タイミング時に、前記レーザ光源からレーザ光を射出させる制御を繰り返すことで、前記レーザ光の光軸に沿った面内で2次元走査を行うレーザ走査型顕微鏡を採用する。
このようにすることで、第1の走査部による走査方向をX方向とした場合、第2の走査部により、標本に対するレーザ光の光軸方向(Z方向)の焦点位置を変化させることで、標本の2次元画像(XZ画像)を生成することができる。この場合において、第1の走査部および第2の走査部の両方の有効タイミング時に、レーザ光源からレーザ光を射出させることで、標本画像の生成に寄与しないレーザ光を標本に照射することを防止することができ、レーザ光による標本へのダメージを低減することができる。また、第1の走査部が2次元(XY)走査可能な構成である場合は、それに合わせて、標本に対する前記レーザ光の光軸方向(Z方向)の焦点位置を変化させることで、標本の3次元画像(XYZ画像)を生成することができる。この場合において、第1の走査部および第2の走査部の両方の有効タイミング時に、レーザ光源からレーザ光を射出させることで、標本画像の生成に寄与しないレーザ光を標本に照射することを防止することができ、レーザ光による標本へのダメージを低減することができる。
このようにすることで、所望の観察位置が第1の走査部の走査範囲(観察可能範囲)を超えている場合でも、第2の走査部(たとえば標本を載置したXYステージ)が標本位置を光軸に対して相対的に移動させることで、所望の観察位置を観察可能になる。
このようにすることで、レーザ光の波長を切り替えて標本に照射し、波長毎の標本画像を生成することができる。この場合において、第1の走査部および第2の走査部の両方の有効タイミング時に、レーザ光源からレーザ光を射出させることができる。これにより、標本画像の生成に寄与しないレーザ光を標本に照射することを防止することができ、レーザ光による標本へのダメージを低減することができる。
このようにすることで、第2の走査部の有効タイミング中に、確実にレーザ光を標本に照射して第1の走査部による走査を行うことができ、標本画像の分解能を向上することができる。
本実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1は、図1に示されるように、レーザ光を射出する光源ユニット10と、試料(標本)Aを載置するZステージ27と、光源ユニット10からのレーザ光を試料A上で照射するとともに試料Aからの光を検出する光学ユニット20と、各部を制御するとともに試料Aの画像を生成する制御部30と、試料Aの画像を表示する表示装置31と、制御部30への指示が入力される入力部32とを備えている。
あるいは、光結合器17は、2つのダイクロイックミラーを有し、第1のダイクロイックミラーが、レーザ光源11からのレーザ光を透過する一方、レーザ光源12からのレーザ光を反射し、第2のダイクロイックミラーが、第1のダイクロイックミラーからのレーザ光を透過する一方、レーザ光源13からのレーザ光を反射することとしてもよい。
Yガルバノミラー24は、通常のガルバノミラーであり、光結合器17からのレーザ光を、試料A上でY方向に走査するようになっている。
また、Xガルバノミラー23のX駆動タイミング信号は制御部30に出力されるようになっている。
また、制御部30は、レーザ光源11,12,13の射出タイミング、XYスキャナ22の走査タイミング、およびZステージ27の駆動タイミングを制御するようになっている。
まず、Zステージ27を連続的に動作(定速移動)させる場合について、図2のタイミングチャートおよび図3のフローチャートに従って以下に説明する。ここでは、試料Aに単一のレーザ光を照射することとする。この場合、制御部30からのレーザ光出射タイミング信号に基づいて、レーザ光源11,12,13の全てからレーザ光を射出させて合成光を試料Aに照射してもよく、レーザ光源11,12,13の少なくとも1つからレーザ光を照射させて試料Aに照射してもよい。
次に、設定された観察深さとなったか否かが、設定されたZ速度と時間(観察深さ時間)により判断される(ステップS3)。
なお、この際、観察深さに対応したパルス信号やフィードバッグ信号により、設定された観察深さとなったことを判断することとしてもよい。
次に、X駆動タイミング信号がONかつZ同期信号がONの状態で、水平同期信号がONになるタイミングに合わせて、レーザ光出射タイミング信号をONにし、レーザ調光部14,15,16を作動させて、光源ユニット10からレーザ光を出射させる(ステップS5)。
次に、全ての観察深さへの観察が終了したか否かが判断され(ステップS8)、終了していない場合にはステップS3〜S8までの処理が繰り返され、終了した場合にはZステージ27の駆動が停止される(ステップS9)。
次に、Zステージ27を駆動させて設定した観察位置に試料Aを移動する(ステップS12)。
次に、水平同期信号がONになるタイミングに合わせて、レーザ光出射タイミング信号がONにされ、レーザ光を試料Aに照射する(ステップS14)。この際、セレクタ信号を切り替えることで、そのセレクタ信号に対応するレーザ光が試料Aに照射される。具体的には、図4に示す例において、セレクタ信号1をONにすることで、水平同期信号がONになるタイミングでレーザ光出射タイミング信号1がONにされ、レーザ光源11からのレーザ光を試料Aに照射する。また、セレクタ信号1をOFFにしてセレクタ信号2をONにすることで、水平同期信号がONになるタイミングでレーザ光出射タイミング信号2がONにされ、レーザ光源12からのレーザ光を試料Aに照射する。
次に、別のレーザ光を使用するか否かの判断が行われ(ステップS16)、別のレーザ光を使用しない場合にはZ同期信号がOFFにされる(ステップS17)。
一方、別のレーザ光を使用する場合にはレーザ光を切り替えてステップS14〜S15の処理が繰り返される。具体的には、図4に示すように、セレクタ信号1,2をON/OFFさせることで、水平同期信号がONになるタイミングでレーザ光出射タイミング信号1,2,3が順次ONにされ、各レーザ光源からのレーザ光が順次射出される。
また、光源ユニット10によりレーザ光の波長を切り替えて試料Aに照射することで、波長毎の試料Aの画像を生成することができる。
この場合には、観察したい場所がXYスキャナ22の走査範囲外にある場合に、観察場所へXYステージを移動して、XYステージの停止後にX駆動タイミング信号に合わせてXY同期信号をONし、水平同期信号のONに合わせてレーザ光をONする。そして、水平同期信号のOFFに合わせてレーザ光およびXY同期信号をOFFし、次の観察場所へ移動する。上記動作を必要な観察場所分繰り返すことで、試料Aの2次元画像(XY画像)を生成することができる。また、上記のXYステージに加えて、本実施形態のZステージ27を備えることで、試料Aの3次元画像(XYZ画像)を生成することができる。
例えば、本実施形態において、3つのレーザ光源を備える例を説明したが、2つまたは4つ以上のレーザ光源を備えることとしてもよい。また、波長可変な1つのレーザ光源を備えることとしてもよい。
1 レーザ走査型顕微鏡
10 光源ユニット
11,12,13 レーザ光源
14,15,16 レーザ調光部
17 光結合器
20 光学ユニット
21 分光部
22 XYスキャナ(第1の走査部)
23 Xガルバノミラー
24 Yガルバノミラー
25 検出部
27 Zステージ(第2の走査部)
30 制御部
31 表示装置
32 入力部
Claims (5)
- レーザ光を射出するレーザ光源と、
少なくとも1つの共振ガルバノミラーを有し、観察画像の生成のために前記レーザ光源からのレーザ光を標本上で走査する第1の走査部と、
前記標本の観察深さを変化させるように前記標本に対するレーザ光の光軸方向の焦点位置を変化させる第2の走査部と、
前記レーザ光源の射出タイミングと前記第1の走査部および前記第2の走査部の走査タイミングを制御する制御部とを備え、
前記制御部が、前記第1の走査部の各ラインの走査毎に有効走査範囲内でオンされる第1の走査部の同期信号により決まる有効タイミングおよび前記第2の走査部により変化させられる観察深さが前記第1の走査部によるレーザ走査を行うべき焦点位置に達する度にオンされる第2の走査部の同期信号により決まる有効タイミングの両方の有効タイミング時に、前記レーザ光源からレーザ光を射出させる制御を繰り返すことで、前記レーザ光の光軸に沿った面内で2次元走査を行うレーザ走査型顕微鏡。 - 前記レーザ光源が、射出するレーザ光の波長を切り替える請求項1に記載のレーザ走査型顕微鏡。
- 前記第2の走査部の有効タイミング中に、少なくとも1つ以上の前記第1の走査部の有効タイミングが含まれる請求項1または請求項2に記載のレーザ走査型顕微鏡。
- 前記第2の走査部の有効タイミングは、前記レーザ光の光軸方向の焦点位置の移動を開始してからの時間により決定される、請求項1に記載のレーザ走査型顕微鏡。
- 前記第2の走査部の有効タイミングは、観察深さに対応したパルス信号やフィードバック信号により決定される、請求項1に記載のレーザ走査型顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010164492A JP5771371B2 (ja) | 2010-07-22 | 2010-07-22 | レーザ走査型顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010164492A JP5771371B2 (ja) | 2010-07-22 | 2010-07-22 | レーザ走査型顕微鏡 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012027167A JP2012027167A (ja) | 2012-02-09 |
JP2012027167A5 JP2012027167A5 (ja) | 2014-02-13 |
JP5771371B2 true JP5771371B2 (ja) | 2015-08-26 |
Family
ID=45780175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010164492A Expired - Fee Related JP5771371B2 (ja) | 2010-07-22 | 2010-07-22 | レーザ走査型顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5771371B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103494041A (zh) * | 2013-10-17 | 2014-01-08 | 丹阳市现代生态水产养殖场 | 一种鱼饲料 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6281193B2 (ja) * | 2013-05-30 | 2018-02-21 | ソニー株式会社 | レーザー走査型顕微鏡システム |
JP6378869B2 (ja) * | 2013-10-24 | 2018-08-22 | 株式会社キーエンス | 顕微鏡、顕微鏡システム、制御方法およびプログラム |
EP3276335B1 (en) * | 2015-03-27 | 2021-06-09 | Nikon Corporation | Microscope device, viewing method, and control program |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03188406A (ja) * | 1989-12-18 | 1991-08-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | 走査型顕微鏡の撮像方法 |
JP4470246B2 (ja) * | 1999-10-05 | 2010-06-02 | 株式会社ニコン | レーザー走査顕微鏡装置 |
JP2001356272A (ja) * | 2000-06-12 | 2001-12-26 | Olympus Optical Co Ltd | 画像取得方法及び走査型光学顕微鏡 |
JP2004317676A (ja) * | 2003-04-14 | 2004-11-11 | Nano Photon Kk | レーザ顕微鏡、レーザ光走査装置、レーザ光走査方法、画像データ生成方法 |
JP4855008B2 (ja) * | 2005-08-10 | 2012-01-18 | オリンパス株式会社 | レーザ装置、レーザ変調方法およびレーザ顕微鏡 |
DE602008000515D1 (de) * | 2007-02-05 | 2010-03-04 | Olympus Corp | Laser-Scanning-Mikroskop |
-
2010
- 2010-07-22 JP JP2010164492A patent/JP5771371B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103494041A (zh) * | 2013-10-17 | 2014-01-08 | 丹阳市现代生态水产养殖场 | 一种鱼饲料 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012027167A (ja) | 2012-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5340799B2 (ja) | レーザ走査型顕微鏡 | |
US7483131B2 (en) | Laser-scanning microscope and microscope observation method | |
EP2330454B1 (en) | Laser scanning microscope | |
JP4889375B2 (ja) | 共焦点顕微鏡および多光子励起型顕微鏡 | |
JP5132052B2 (ja) | 走査型レーザ顕微鏡の条件設定装置及び走査型レーザ顕微鏡システム | |
JP5771371B2 (ja) | レーザ走査型顕微鏡 | |
JP4899648B2 (ja) | スペクトル観察方法及びスペクトル観察システム | |
JP4526988B2 (ja) | 微小高さ測定方法及びそれに用いる微小高さ測定装置並びに変位ユニット | |
JP5179099B2 (ja) | 光刺激用照明装置および顕微鏡装置 | |
JP5035339B2 (ja) | 光刺激装置及び観察装置 | |
JP4803974B2 (ja) | 共焦点観察システム、光照射方法、及び光照射プログラム | |
JP4827389B2 (ja) | 走査型レーザ顕微鏡 | |
JP2016118615A (ja) | 顕微鏡装置および光照射方法 | |
US10281699B2 (en) | Microscope system configured to irradiate focused light onto an area of a specimen outside of an optical axis of an objective lens | |
JP2008275791A (ja) | 走査型共焦点顕微鏡 | |
US8045262B2 (en) | Laser scanning microscope | |
JP6278707B2 (ja) | 光学装置 | |
JP6128862B2 (ja) | 顕微鏡装置および顕微鏡システム | |
JP2011146463A (ja) | レーザ発振装置 | |
JP6177000B2 (ja) | レーザ走査型顕微鏡 | |
US10845584B2 (en) | Scanning laser microscope | |
JP2005345764A (ja) | 走査型光学装置 | |
JP4242627B2 (ja) | レーザ顕微鏡 | |
JP4914542B2 (ja) | 走査型顕微鏡装置 | |
JP2009025632A (ja) | 走査型顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130710 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140401 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140530 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150609 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150629 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5771371 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |