JP5766587B2 - 無電解めっき装置 - Google Patents
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Description
銅表面に無電解めっきを行う場合には、めっき前処理として、例えばPd触媒付与処理が行われる。
このように、QDR(Quick Dump Rinse)機能を備えることで、短時間で十分な基板表面のリンス(水洗)を行って、装置の小型コンパクト化を図ることができる。
また、めっき液の金属濃度を通して、めっき液及びめっき装置の状態を常にモニタ管理することにより、めっき装置不具合を事前に回避し、製品にダメージを与えることのない装置運用が可能となる。
42 亜鉛めっき膜
44 Niめっき膜
46 Auめっき膜
54 前洗浄槽
56,62,68,74 水洗槽
58 前洗浄モジュール
60 ジンケート処理(めっき前処理)槽
64 ジンケート処理(めっき前処理)モジュール
66 Niめっき槽
70 Niめっきモジュール
72 Auめっき槽
76 Auめっきモジュール
78 乾燥ユニット
80a,80b,80c,80d 基板ホルダ
84 基板捕治具
86 モジュール間基板搬送装置
92 仮置きステーション
100 前処理液(硝酸)貯槽
102 前処理液供給ライン
104 ジンケート液貯槽
106 ジンケート液供給ライン
108 Niめっき液貯槽
110,118 フラッシング液貯槽
112 Niめっき液供給ライン
114,122 フラッシングライン
116 Auめっき液貯槽
120 Auめっき液供給ライン
124,126,210 めっき液分析装置
132 搬送アーム
148,198 温度調整器
150,200 フィルタ
152 ジンケート液循環ライン
164 側板
166 支持棒
202 めっき液循環ライン
206 補給液補給装置
Claims (10)
- めっき前処理を行うめっき前処理槽、めっき前処理後の基板を水洗する水洗槽、及びそれらの間で複数枚の基板を基板の下方で支持して搬送する基板ホルダを有するめっき前処理モジュールと、
めっき前処理後の基板表面に無電解めっきを行うめっき槽、無電解めっき後の基板を水洗する水洗槽、及びそれらの間で複数枚の基板を下方で支持して搬送する基板ホルダを有するめっきモジュールと、
前記めっき前処理モジュール及び前記めっきモジュールの間で複数枚の基板を上方から把持して搬送するモジュール間基板搬送装置を有し、
前記めっき前処理槽は、めっき前処理液の温度調節機能を備えためっき前処理液循環ラインを有し、
前記めっき槽は、フィルタとめっき液の温度調節機能を備えためっき液循環ラインを有し、
前記めっき液循環ラインは、該めっき液循環ライン及び前記めっき槽の内部をフラッシングするフラッシングラインに接続されていることを特徴とする無電解めっき装置。 - 前記めっき前処理は、Al表面のジンケート処理で、めっき前処理槽は、ジンケート処理槽であることを特徴とする請求項1記載の無電解めっき装置。
- 前記めっきモジュールの水洗槽は、めっき膜表面の酸化膜を除去する薬液を供給する薬液供給ラインを有することを特徴とする請求項1または2記載の無電解めっき装置。
- 前記めっき前処理モジュールの前記めっき前処理槽及び前記水洗槽、並びに前記めっきモジュールの前記水洗槽の少なくとも一つの槽は、QDR機能を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の無電解めっき装置。
- 前記めっき前処理モジュール及び前記めっきモジュールは、空気をダウンフローとする空調機能を有するハウジング内に収容されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の無電解めっき装置。
- めっき後に水洗した基板を乾燥させる乾燥ユニットを有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の無電解めっき装置。
- 処理前の複数枚の基板を仮置きする仮置きステーションを有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の無電解めっき装置。
- 前記めっき槽は、めっき直前のめっき液の金属濃度とめっき直後のめっき液の金属濃度を測定し、これらの金属濃度の差から析出した金属量を算出し、析出した金属量と目標値を比較して、析出した金属量に応じて、予め決められた金属濃度に補正しためっき液に補給するめっき液補給装置を有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の無電解めっき装置。
- 補給するめっき液の金属濃度を補正する補正回数が、事前に設定した補正回数を超えた場合に、再建浴を行うことを特徴とする請求項8記載の無電解めっき装置。
- めっき後にめっきで析出した金属量に見合った金属を補給した後のめっき液の金属濃度と、次回のめっき直前のめっき液の金属濃度を測定し、前者の金属濃度の方が後者の金属濃度よりも低い場合に、前記フィルタの洗浄を行うことを特徴とする請求項8または9記載の無電解めっき装置。
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