JP5762104B2 - インクジェット記録ヘッド基板、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 127
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 88
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 8
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 238000009623 Bosch process Methods 0.000 description 2
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/145—Arrangement thereof
- B41J2/155—Arrangement thereof for line printing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14145—Structure of the manifold
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
- B41J2/1603—Production of bubble jet print heads of the front shooter type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14387—Front shooter
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/11—Embodiments of or processes related to ink-jet heads characterised by specific geometrical characteristics
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/20—Modules
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
(第1の実施形態)
図1は、本実施形態のインクジェット記録ヘッド基板の表面を示す平面図である。図1(a)は、基板表面を示し、図1(b)は、オリフィスプレートを取った基板を示している。図1では、第1の面と第1の面の裏面である第2の面を備えた基板が示されている。第2の面には、複数の発熱抵抗体2が吐出口列方向に配列されている。また、発熱抵抗体に隣接するように、ドライエッチングすることによって形成された第1の面と第2の面を貫通する複数のインク供給口3が発熱抵抗体の間にそれぞれ配列されている。
本実施形態の基板端部のインク供給口から吐出されるインク滴は、従来の基板端部のインク供給口から吐出されるインク滴よりも傾きが少なく吐出される。
図4は、本変形例の基板端部を示す模式図である。インク供給口の開口位置のずれは、基板端部に近いほど大きくなる。したがって、基板端部に近い発熱抵抗体とインク供給口ほど、発熱抵抗体とインク供給口端との距離が大きくなるよう諧調性を持たせて配置させてもよい。
図5は、本実施形態の基板端部の吐出口群8aを示す拡大図である。第1の実施形態では、基板端部の吐出口群8aにおけるインク供給口3eの吐出口列方向の開口幅を小さくすることで、インク供給口がずれたことによる流抵抗の変化の割合を小さくしている。
図6は、本実施形態の基板端部の吐出口群8aを示す拡大図である。第1および第2の実施形態では、基板端部の吐出口群8aにおけるインク供給口3eの吐出口列方向の開口幅を小さくすることで、インク供給口がずれたことによる流抵抗の変化の割合を小さくしている。
図7および図8は、本実施形態の基板を示す図である。図7(a)は、基板表面の平面図であり、図7(b)は、オリフィスプレートをとった基板の平面図である。図8(c)は、図7(b)の点線部d−d’に沿った断面図であり、図8(d)は、図7(b)の吐出口列LaおよびLbの拡大図である。
図9は、本実施形態の基板を示す図である。図9(a)は、本実施形態の基板のオリフィスプレートを除いた、基板表面を示す平面図であり、図9(b)は、吐出口列LaおよびLbを示す拡大図である。
図10は、本実施形態の基板を示す図である。
本発明のインクジェット記録ヘッド基板は、インクジェット記録装置に用いられて記録を行なうものである。
2 発熱抵抗体
3 インク供給口
4 圧力室
5 オリフィスプレート
6 シリコン基板上の凹部の斜面
7 共通液室
8 吐出口群
9 吐出口
Claims (12)
- 第1の面と、前記第1の面の裏面であって、インクを吐出させるための複数の発熱抵抗体が第1の方向に配列された第2の面とを有するインクジェット記録ヘッド基板であって、
前記インクジェット記録ヘッド基板の前記第1の面に形成された凹部の底面をドライエッチングすることによって形成され、前記複数の発熱抵抗体と交互に配列された、前記第1の面と第2の面を貫通する複数のインク供給口を備え、
前記凹部の前記第1の方向における一端側の側面は、前記凹部の底面に対して傾斜する斜面であり、
前記複数の発熱抵抗体は、前記斜面側に配された第1の発熱抵抗体と、前記第1の発熱抵抗体よりも前記インクジェット記録ヘッド基板の中央側に配された第2の発熱抵抗体と、を含み、
前記第2の面において、前記第1の発熱抵抗体の中心と当該第1の発熱抵抗体に対して前記斜面側に隣接する前記インク供給口の端との距離は、前記第2の発熱抵抗体の中心と当該第2の発熱抵抗体に対して前記斜面側に隣接する前記インク供給口の端との距離より大きく、前記第1の発熱抵抗体の中心と当該第1の発熱抵抗体に対して前記中央側に隣接する前記インク供給口の端との距離は、前記第2の発熱抵抗体の中心と当該第2の発熱抵抗体に対して前記中央側に隣接する前記インク供給口の端との距離より大きいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド基板。 - 前記複数のインク供給口は、前記インクジェット記録ヘッド基板の前記凹部の斜面側からの距離が近いインク供給口ほど、前記インク供給口の端と前記発熱抵抗体との距離が長くなるように配置されていることを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド基板。
- 前記インクジェット記録ヘッド基板の前記凹部の斜面から近い距離に形成されている複数のインク供給口端から前記発熱抵抗体までの距離は、前記インク供給口の発熱抵抗体の方向における開口幅を短くすることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッド基板。
- 前記発熱抵抗体は、前記第1の方向において前記インク供給口と隣接していることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド基板。
- 前記発熱抵抗体は前記第1の方向に直交する方向において前記インク供給口と隣接していることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド基板。
- 前記第1の方向の端部に位置するインク供給口の前記第1の方向に直交する方向の開口幅は、前記第1の方向の中央側に位置するインク供給口の前記第1の方向に直交する方向の開口幅より大きいことを特徴とする請求項4に記載のインクジェット記録ヘッド基板。
- 前記第1の方向の端部に位置する圧力室の前記第1の方向に沿った方向の寸法は、前記第1の方向の中央側に位置する圧力室の前記第1の方向に沿った方向の寸法より大きいことを特徴とする請求項4に記載のインクジェット記録ヘッド基板。
- 基板端部に近い位置に配置されたインク供給口の前記第1の方向の開口幅は、前記基板のより中央側に配置されているインク供給口の前記第1の方向の開口幅より小さいことを特徴とする請求項5に記載のインクジェット記録ヘッド基板。
- 基板端部に近い位置に配置された複数の吐出口列の圧力室は、吐出口列に直交する方向の寸法が、前記基板のより中央側に配置されている複数の吐出口列の圧力室の吐出口列に直交する方向の寸法より大きいことを特徴とする請求項5に記載のインクジェット記録ヘッド基板。
- 請求項1から9のインクジェット記録ヘッド基板を備えたインクジェット記録ヘッド。
- 請求項1または2に記載の複数のインクジェット記録ヘッド基板を所定の方向に沿って千鳥に配置し、前記インクジェット記録ヘッド基板は、その端部において隣接するインクジェット記録ヘッド基板と配列方向に直交する方向で重複するよう配置されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
- 請求項10のインクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011090854A JP5762104B2 (ja) | 2011-04-15 | 2011-04-15 | インクジェット記録ヘッド基板、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
US13/439,027 US8820892B2 (en) | 2011-04-15 | 2012-04-04 | Inkjet printing head substrate, inkjet printing head and inkjet printing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011090854A JP5762104B2 (ja) | 2011-04-15 | 2011-04-15 | インクジェット記録ヘッド基板、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012223902A JP2012223902A (ja) | 2012-11-15 |
JP5762104B2 true JP5762104B2 (ja) | 2015-08-12 |
Family
ID=47006112
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011090854A Expired - Fee Related JP5762104B2 (ja) | 2011-04-15 | 2011-04-15 | インクジェット記録ヘッド基板、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8820892B2 (ja) |
JP (1) | JP5762104B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6652304B2 (ja) * | 2016-04-04 | 2020-02-19 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
JP7195792B2 (ja) * | 2018-07-05 | 2022-12-26 | キヤノン株式会社 | 基板の加工方法、並びに、液体吐出ヘッド用基板およびその製造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69127707T2 (de) | 1990-01-25 | 1998-01-29 | Canon Kk | Tintenstrahlaufzeichnungskopf, Substrat dafür und Tintenstrahlaufzeichnungsgerät |
JPH08311669A (ja) * | 1995-05-12 | 1996-11-26 | Nec Corp | エッチング方法 |
US6273557B1 (en) | 1998-03-02 | 2001-08-14 | Hewlett-Packard Company | Micromachined ink feed channels for an inkjet printhead |
JP4553329B2 (ja) * | 1999-07-30 | 2010-09-29 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド内のゴミ除去方法と、インクジェット記録装置の製造方法および回復方法 |
JP2008149601A (ja) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Canon Inc | インクジェット記録方法 |
JP4428391B2 (ja) * | 2007-03-14 | 2010-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 流体噴射ヘッド及び流体噴射装置 |
JP5100243B2 (ja) * | 2007-08-07 | 2012-12-19 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
JP2009137155A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Canon Inc | 溶液吐出ヘッド及びその製造方法 |
JP5294615B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2013-09-18 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録装置 |
JP2010201926A (ja) * | 2009-02-06 | 2010-09-16 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド |
JP5202371B2 (ja) * | 2009-02-06 | 2013-06-05 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
JP5679665B2 (ja) | 2009-02-06 | 2015-03-04 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
JP5371475B2 (ja) * | 2009-02-17 | 2013-12-18 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド及びそのクリーニング方法 |
-
2011
- 2011-04-15 JP JP2011090854A patent/JP5762104B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-04-04 US US13/439,027 patent/US8820892B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8820892B2 (en) | 2014-09-02 |
JP2012223902A (ja) | 2012-11-15 |
US20120262521A1 (en) | 2012-10-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140328 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150512 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150609 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |