JP5761175B2 - 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法 - Google Patents
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Description
[1]ベース樹脂となる重合体(A)、感放射線性酸発生剤(B)、フッ素原子を含む重合体(C)、及び比誘電率が30以上200以下で、1気圧における沸点が100℃以上の低分子化合物(D)を含有し、前記低分子化合物(D)の前記重合体(A)100質量部に対する含有量が、10質量部以上500質量部以下である感放射線性樹脂組成物。
本明細書において「置換基」とは、特に限定されるものではないが、例えば−RS1、−RS2−O−RS1、−RS2−CO−RS1、−RS2−CO−ORS1、−RS2−O−CO−RS1、−RS2−OH、−RS2−CN(RS1は炭素数1〜10のアルキル基、炭素数3〜20のシクロアルキル基または炭素数6〜30のアリール基を示し、これらの基の有する水素原子の一部または全部がフッ素原子で置換されていてもよい。RS2は炭素数1〜10のアルカンジイル基、炭素数3〜20のシクロアルカンジイル基、炭素数6〜30のアリーレン基、またはこれらの基の有する水素原子の一部または全部がフッ素原子で置換された基もしくは単結合を示す。)、ハロゲン原子を挙げることができる。
本発明の感放射線性樹脂組成物は、ベース樹脂となる重合体(A)と、感放射線性酸発生剤(B)と、フッ素原子を含む重合体(C)と、比誘電率が30以上200以下で、1気圧における沸点が100℃以上の低分子化合物(D)(以下、「化合物(D)」ともいう。)と、を含有するものである。
重合体(A)(以下、「重合体(A)」ともいう)は、本発明の感放射線性樹脂組成物のベース樹脂となるものである。ベース樹脂により、フォトレジスト膜のうち、露光された部分と露光されていない部分との間に現像液に対する溶解性の差を生じる。このような重合体(A)としては、例えば、酸解離性基を有するアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂であって、酸解離性基が解離したときにアルカリ易溶性となる重合体(以下、「重合体(A1)」ともいう)や、アルカリ現像液と親和性を示す官能基、例えば、フェノール性水酸基、アルコール性水酸基、カルボキシル基等の酸素含有官能基を1種以上有する、アルカリ現像液に可溶な重合体(以下、「重合体(A2)」ともいう)がある。重合体(A1)は、ポジ型感放射線性樹脂組成物のベース樹脂として好適に用いることができる。また、重合体(A2)は、ネガ型感放射線性樹脂組成物のベース樹脂として好適に用いることができる。
本発明の感放射線性樹脂組成物において、上記重合体(A)に含まれるフッ素原子の含有率は、後述する重合体(C)に含まれるフッ素原子の含有率よりも小さいことが好ましい。これにより、重合体(C)がフォトレジスト膜表層に偏在し易くなる。従って、形成するフォトレジスト膜の表層部分の撥水性を高めることができ、液浸露光時に液浸上層膜を別途形成しなくても良好な撥水性を有するフォトレジスト膜を形成することができる。なお、重合体(A)におけるフッ素原子の具体的含有率は、重合体(A)全体を100質量%とした場合に、0質量%以上20質量%以下が好ましく、0質量%以上5質量%以下がさらに好ましい。
前記重合体(A1)は酸解離性基を有しており、アルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂であり、酸解離性基が解離したときにアルカリ易溶性となる樹脂である。酸解離性基とは、例えば、フェノール性水酸基、カルボキシル基、スルホン酸基等の酸性官能基中の水素原子を置換した基をいい、酸の存在下で解離する基をいう。このような酸解離性基の例としては、置換メチル基、1−置換エチル基、1−置換−n−プロピル基、1−分岐アルキル基、アルコキシカルボニル基、アシル基、環式酸解離性基等がある。また、「アルカリ不溶性又はアルカリ難溶性」とは、重合体(A1)を含有する感放射線性樹脂組成物を用いて形成されたフォトレジスト膜からレジストパターンを形成する際に採用されるアルカリ現像条件下で、当該フォトレジスト膜の代わりに重合体(A1)のみを用いて形成した被膜を現像した場合に、被膜の初期膜厚の50%以上が現像後に残存する性質をいう。このような重合体(A1)としては酸解離性基を有する繰り返し単位を含むものを挙げることができる。
酸解離性基を有する繰り返し単位(以下、「繰り返し単位(P)」ともいう。)としては、下記一般式(P−1)で表されるものを挙げることができる。
Rpは酸解離性基を示す。
(ラクトン構造を有する繰り返し単位)
ラクトン構造を有する繰り返し単位(以下、「繰り返し単位(L)」ともいう。)としては、下記式(L−1)で表される繰り返し単位を挙げることができる。
環状カーボナート構造を有する繰り返し単位(以下、「繰り返し単位(Cc)」ともいう。)としては、下記式(C−1)で表されるものを挙げることができる。
(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸2−メチルプロピル、(メタ)アクリル酸1−メチルプロピル、(メタ)アクリル酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸シクロプロピル、(メタ)アクリル酸シクロペンチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸4−メトキシシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸2−シクロペンチルオキシカルボニルエチル、(メタ)アクリル酸2−シクロヘキシルオキシカルボニルエチル、(メタ)アクリル酸2−(4−メトキシシクロヘキシル)オキシカルボニルエチル等の有橋式炭化水素骨格をもたない(メタ)アクリル酸エステル類;
α−ヒドロキシメチルアクリル酸メチル、α−ヒドロキシメチルアクリル酸エチル、α−ヒドロキシメチルアクリル酸n−プロピル、α−ヒドロキシメチルアクリル酸n−ブチル等のα−ヒドロキシメチルアクリル酸エステル類;(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、クロトンニトリル、マレインニトリル、フマロニトリル、メサコンニトリル、シトラコンニトリル、イタコンニトリル等の不飽和ニトリル化合物;(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、クロトンアミド、マレインアミド、フマルアミド、メサコンアミド、シトラコンアミド、イタコンアミド等の不飽和アミド化合物;N−(メタ)アクリロイルモルホリン、N−ビニル−ε−カプロラクタム、N−ビニルピロリドン、ビニルピリジン、ビニルイミダゾール等の他の含窒素ビニル化合物;(メタ)アクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和カルボン酸(無水物)類;(メタ)アクリル酸2−カルボキシエチル、(メタ)アクリル酸2−カルボキシプロピル、(メタ)アクリル酸3−カルボキシプロピル、(メタ)アクリル酸4−カルボキシブチル、(メタ)アクリル酸4−カルボキシシクロヘキシル等の不飽和カルボン酸の有橋式炭化水素骨格をもたないカルボキシル基含有エステル類;
1,2−アダマンタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3−アダマンタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4−アダマンタンジオールジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカニルジメチロールジ(メタ)アクリレート等の有橋式炭化水素骨格を有する多官能性単量体;
メチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、2,5−ジメチル−2,5−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,8−オクタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4−ビス(2−ヒドロキシプロピル)ベンゼンジ(メタ)アクリレート、1,3−ビス(2−ヒドロキシプロピル)ベンゼンジ(メタ)アクリレート等の有橋式炭化水素骨格をもたない多官能性単量体等の多官能性単量体の重合性不飽和結合が開裂した単位を挙げることができる。
重合体(A)の製造方法は特に限定されず、ラジカル重合等の常法に従って合成することができる。特に、(1)各単量体とラジカル開始剤を含有する反応溶液を、反応溶媒若しくは単量体を含有する反応溶液に滴下して重合反応させる方法、(2)各単量体を含有する反応溶液と、ラジカル開始剤を含有する反応溶液とを、各々別々に反応溶媒若しくは単量体を含有する反応溶液に滴下して重合反応させる方法、(3)各単量体について調製された反応溶液と、ラジカル開始剤を含有する反応溶液とを、各々別々に反応溶媒若しくは単量体を含有する反応溶液に滴下して重合反応させる方法等が好ましい。
また、滴下時間を含む全反応時間は、反応温度、開始剤の種類、反応させる単量体によって適宜設定できるが、30分〜8時間であることが好ましく、より好ましくは45分〜7時間、更に好ましくは1時間〜6時間である。
前記感放射線性酸発生剤(B)(以下、単に「酸発生剤(B)」ともいう。)は、露光により酸を発生するものであり、光酸発生剤として機能する。この酸発生剤は、重合体(A1)と共に用いた場合には露光により発生した酸によって、感放射線性樹脂組成物に含有される重合体(A1)(及び重合体(C))中に存在する酸解離性基を解離させて、樹脂をアルカリ可溶性とする。そして、その結果、レジスト被膜の露光部がアルカリ現像液に易溶性となり、これによりポジ型のレジストパターンが形成される。このような酸発生剤(B)としては、例えば、特開2009−134088号公報の段落[0080]〜[0113]に記載されている化合物などを挙げることができる。
4−ヒドロキシ−1−ナフチルテトラヒドロチオフェニウムトリフルオロメタンスルホネート、4−ヒドロキシ−1−ナフチルテトラヒドロチオフェニウムノナフルオロ−n−ブタンスルホネート、4−ヒドロキシ−1−ナフチルテトラヒドロチオフェニウムパーフルオロ−n−オクタンスルホネート、1−(1−ナフチルアセトメチル)テトラヒドロチオフェニウムトリフルオロメタンスルホネート、1−(1−ナフチルアセトメチル)テトラヒドロチオフェニウムノナフルオロ−n−ブタンスルホネート、1−(1−ナフチルアセトメチル)テトラヒドロチオフェニウムパーフルオロ−n−オクタンスルホネート、1−(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)テトラヒドロチオフェニウムトリフルオロメタンスルホネート、1−(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)テトラヒドロチオフェニウムノナフルオロ−n−ブタンスルホネート、1−(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)テトラヒドロチオフェニウムパーフルオロ−n−オクタンスルホネート、
トリフルオロメタンスルホニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボジイミド、ノナフルオロ−n−ブタンスルホニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボジイミド、パーフルオロ−n−オクタンスルホニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボジイミド、N−ヒドロキシスクシイミドトリフルオロメタンスルホネート、N−ヒドロキシスクシイミドノナフルオロ−n−ブタンスルホネート、N−ヒドロキシスクシイミドパーフルオロ−n−オクタンスルホネート、1,8−ナフタレンジカルボン酸イミドトリフルオロメタンスルホネートが好ましい。なお、酸発生剤(B)は、1種単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
この重合体(C)は、フッ素原子を含む重合体であり、本発明の感放射線性樹脂組成物に対して高分子添加剤として含有される成分である。
なお、重合体(C)におけるフッ素原子含有率は、13C−NMRを用いて測定することができる。
一般式(C1−1)中のRf1の例としては、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換された炭素数1〜6の直鎖状又は分岐状の脂肪族炭化水素基や、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換された炭素数4〜20の脂環式炭化水素基又はそれから誘導される基がある。
一般式(C1−2)及び(C1−3)中、R31は、水素原子又は1価の有機基を示す。1価の有機基としては炭素数1〜30の1価の置換基を有していてもよい炭化水素基、酸解離性基やアルカリ解離性基を挙げることができる。
(一般式(12)中、R321〜R323は、一般式(P−2)中のRp1〜Rp3と同義である。)
これらの酸解離性基の中でも、一般式(12)で表される基、t−ブトキシカルボニル基、アルコキシ置換メチル基等が好ましい。繰り返し単位(C1−2)においては、t−ブトキシカルボニル基、アルコキシ置換メチル基が更に好ましい。繰り返し単位(C1−3)においては、アルコキシ置換メチル基、一般式(12)で表される基が更に好ましい。
(C1−2)及び(C1−3)のそれぞれにおいて、全てのRf2が水素原子でないことが好ましい。
また、(C1−2)及び(C1−3)のそれぞれにおいて、全てのRf2が水素原子である場合、R31は、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換された炭素数1〜30の炭化水素基であることが好ましい。
前記化合物(D)は、液浸露光においてレジスト膜表面に撥水性を発現させる作用を示す重合体(C)を、効率的にレジスト膜表面に偏析させる効果を有するものである。そのため、この化合物(D)を含有させることで、重合体(C)の添加量を従来よりも少なくすることができる。従って、パターン形状等のレジスト基本特性を損なうことなく、レジスト膜の撥水性を維持することができる。
本発明の感放射線性樹脂組成物は、これまでに説明した重合体(A)、酸発生剤(B)、重合体(C)及び化合物(D)に加えて、酸拡散制御剤(E)を更に含有していてもよい。
本発明の感放射線性樹脂組成物には、必要に応じて、脂環式骨格含有添加剤(f1)、界面活性剤(f2)、増感剤(f3)等の各種の添加剤(F)を配合することができる。
デオキシコール酸t−ブチル、デオキシコール酸t−ブトキシカルボニルメチル、デオキシコール酸2−エトキシエチル、デオキシコール酸2−シクロヘキシルオキシエチル、デオキシコール酸3−オキソシクロヘキシル、デオキシコール酸テトラヒドロピラニル、デオキシコール酸メバロノラクトンエステル等のデオキシコール酸エステル類;リトコール酸t−ブチル、リトコール酸t−ブトキシカルボニルメチル、リトコール酸2−エトキシエチル、リトコール酸2−シクロヘキシルオキシエチル、リトコール酸3−オキソシクロヘキシル、リトコール酸テトラヒドロピラニル、リトコール酸メバロノラクトンエステル等のリトコール酸エステル類;アジピン酸ジメチル、アジピン酸ジエチル、アジピン酸ジプロピル、アジピン酸ジn−ブチル、アジピン酸ジt−ブチル等のアルキルカルボン酸エステル類;
3−〔2−ヒドロキシ−2,2−ビス(トリフルオロメチル)エチル〕テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカン、2−ヒドロキシ−9−メトキシカルボニル−5−オキソ−4−オキサ−トリシクロ[4.2.1.03,7]ノナン等を挙げることができる。
溶剤(G)としては、重合体(A)、感放射線性酸発生剤(B)、重合体(C)及び比誘電率が30以上200以下で、1気圧における沸点が100℃以上の低分子化合物(D)が溶解する溶剤であれば、特に限定されるものではない。尚、感放射線性樹脂組成物が、酸拡散制御剤(E)及び添加剤(F)を更に含有する場合には、これらの成分も溶解する溶剤であることが好ましい。
また、上記溶剤(G)の沸点としては、50℃以上200℃以下であることが好ましく、100℃以上180℃以下であることがより好ましく、1atmにおける沸点が化合物(D)より15℃以上低いことが好ましく、30℃以上低いことがさらに好ましい。
n−プロピルアルコール、i−プロピルアルコール、n−ブチルアルコール、t−ブチルアルコール、シクロヘキサノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールジ−n−ブチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、トルエン、キシレン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル;
エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチル酪酸メチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、3−メチル−3−メトキシブチルブチレート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸n−ブチル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ベンジルエチルエーテル、ジ−n−ヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジエチル等を挙げることができる。
本発明の感放射線性樹脂組成物は、液浸露光用の感放射線性樹脂組成物として有用であり、特に化学増幅型レジストとして有用である。化学増幅型レジストにおいては、露光により酸発生剤から発生した酸の作用によって、樹脂成分中の酸解離性基が解離して、カルボキシル基を生じ、その結果、レジストの露光部のアルカリ現像液に対する溶解性が高くなり、この露光部がアルカリ現像液によって溶解、除去され、ポジ型のフォトレジストパターンが得られる。
以下、重合体(A)の合成例について説明する。尚、下記の各合成例における各測定は、下記の要領で行った。
東ソー社製のGPCカラム(商品名「G2000HXL」2本、商品名「G3000HXL」1本、商品名「G4000HXL」1本)を使用し、流量:1.0ミリリットル/分、溶出溶媒:テトラヒドロフラン、カラム温度:40℃の分析条件で、単分散ポリスチレンを標準とするゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)により測定した。また、分散度「Mw/Mn」は、Mw及びMnの測定結果より算出した。
各樹脂の13C−NMR分析は、日本電子社製の商品名「JNM−EX270」を使用し、測定した。
ジーエルサイエンス社製の商品名「Intersil ODS−25μmカラム」(4.6mmφ×250mm)を使用し、流量:1.0ミリリットル/分、溶出溶媒:アクリロニトリル/0.1%リン酸水溶液の分析条件で、高速液体クロマトグラフィー(HPLC)により測定した。尚、本実施例においては、低分子量成分の残存割合として、ポリスチレン換算重量平均分子量が500以下の成分の割合を算出した。
単量体(M−1)42.22g(40モル%)、単量体(M−2)30.29g(35モル%)、単量体(M−3)15.69g(15モル%)、及び単量体(M−4)11.79g(10モル%)を2−ブタノン200gに溶解し、更にジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)6.23gを投入した単量体溶液を準備した。一方、温度計及び滴下漏斗を備えた500mlの三つ口フラスコに100gの2−ブタノンを投入し、30分窒素パージした。窒素パージの後、フラスコ内をマグネティックスターラーで攪拌しながら80℃になるように加熱した。次いで、滴下漏斗を用い、予め準備しておいた単量体溶液を3時間かけて滴下した。滴下開始時を重合開始時間とし、重合反応を6時間実施した。重合終了後、重合溶液は水冷により30℃以下に冷却した。冷却後、2000gのメタノールに投入し、析出した白色粉末をろ別した。ろ別された白色粉末を、400gのメタノールにてスラリー状で2度洗浄した。その後、ろ別し、50℃にて17時間乾燥し、白色粉末の共重合体を得た(79g、収率79%)。
(合成例2)
下記式で表される単量体(M−5)35.81g(70モル%)、及び下記式で表される単量体(M−5)14.17g(30モル%)を、2−ブタノン70gに溶解し、更にジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)3.23gを投入した単量体溶液を準備した。一方、500mLの三口フラスコに30gの2−ブタノンを投入し、30分窒素パージした。窒素パージの後、反応釜を攪拌しながら80℃に加熱した。次いで、滴下漏斗を用い、予め準備しておいた単量体溶液を3時間かけて滴下した。滴下開始を重合開始時間とし、重合反応を6時間実施した。重合終了後、重合溶液は水冷することにより30℃以下に冷却し、その重合溶液を2L分液漏斗に移液した。次いで、150gのn−ヘキサンでその重合溶液を希釈し、600gのメタノールを投入して混合した後、21gの蒸留水を投入して更に攪拌し、30分静置した。その後、下層を回収し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液とした。その樹脂溶液の固形分(重合体)の物性値は以下のとおりであり、収率は60%であった。
表2に示す割合で、重合体(A)、酸発生剤(B)、重合体(C)、比誘電率が30以上200以下で、1気圧における沸点が100℃以上の低分子化合物(D)、酸拡散制御剤(E)及び溶剤(G)を混合し、実施例1〜8、参考例1及び比較例1〜6の各感放射線性樹脂組成物を調製した。
(B−1):トリフェニルスルホニウム・ノナフルオロ−n−ブタンスルホネート
(B−2):1−(4−n−ブトキシナフタレン−1−イル)テトラヒドロチオフェニウム・ノナフルオロ−n−ブタンスルホネート
<低分子化合物(D)>
(D−1):ガンマ−ブチロラクトン(比誘電率42、沸点204℃)
(D−2):プロピレンカーボネート
(D−3):ジメチルスルホキシド
(D−4):スクシノニトリル
(D−5):エチレングリコール
(D−6):グリセリン
(D−7):N−メチルピロリドン
<比誘電率が30以下、沸点100℃以上の低分子化合物>
(D−8):ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(比誘電率8.3、沸点213℃)
<比誘電率が30以上、沸点100℃以下の低分子化合物>
(D−9):アセトニトリル(比誘電率37、沸点82℃)
<酸拡散制御剤(E)>
(E−1):N−t−ブトキシカルボニル−4−ヒドロキシピペリジン
<溶剤(G)>
(G−1):プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(比誘電率8、沸点146℃)
(G−2):シクロヘキサノン(比誘電率16、沸点156℃)
実施例1〜9及び比較例1〜6の各感放射線性樹脂組成物について、以下のように下記(1)〜(7)の各種評価を行った。これらの評価結果を表4に示す。
8インチシリコンウエハ上に、各感放射線性樹脂組成物をスピンコートし、ホットプレート上で90℃、60秒PBを行い、膜厚120nmの塗膜(フォトレジスト膜)を形成した。その後、商品名「DSA−10」(KRUS社製)を使用して、速やかに、室温:23℃、湿度:45%、常圧の環境下で、次の手順により後退接触角を測定した。
コータ/デベロッパ(商品名「CLEAN TRACK ACT8」、東京エレクトロン社製)を用いて、8インチシリコンウエハの表面に、まず、膜厚300nmの有機下層膜を形成し、次いで、膜厚45nmの無機中間膜(SOG:スピン・オン・グラス)を形成して基板とした。
前記感度の評価で得たレジスト膜の75nmライン・アンド・スペースパターンの断面形状を、日立ハイテクノロジーズ社製の走査型電子顕微鏡(商品名「S−4800」)で観察し、レジストパターンの中間での線幅Lbと、膜の上部での線幅Laを測定した。測定した結果、La/Lbで算出される値が、0.9≦La/Lb≦1.1の範囲内である場合を「良好」とし、0.85≦La/Lb≦1.15の範囲内である場合を「やや良好」とし、範囲外である場合を「不良」とした。
Claims (6)
- ベース樹脂となる重合体(A)、
感放射線性酸発生剤(B)、
フッ素原子を含む重合体(C)、
比誘電率が30以上200以下で、1気圧における沸点が100℃以上の低分子化合物(D)(但し、ガンマ−ブチロラクトンを除く)、及び
下記式(10)で表される酸拡散制御剤(E)
を含有し、
前記低分子化合物(D)の前記重合体(A)100質量部に対する含有量が、10質量部以上500質量部以下であり、
前記低分子化合物(D)が、ニトリル化合物又はスルホキシドであり、
液浸露光用である感放射線性樹脂組成物。
- 前記低分子化合物(D)の前記重合体(A)100質量部に対する含有量が、30質量部以上300質量部以下である請求項1に記載の感放射線性樹脂組成物。
- 前記重合体(C)の前記重合体(A)100質量部に対する含有量が、0.1質量部以上5質量部以下である請求項1又は請求項2に記載の感放射線性樹脂組成物。
- 前記重合体(A)が酸解離性基を有するアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂であって、酸解離性基が解離したときにアルカリ易溶性となる重合体(A1)である請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の感放射線性樹脂組成物。
- 前記重合体(C)が、下記式(C1−1)〜(C1−3)で表される繰り返し単位の少なくとも1種を含む請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の感放射線性樹脂組成物。
- (1)請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の感放射線性樹脂組成物を用いて、基板上にフォトレジスト膜を形成する工程と、
(2)前記フォトレジスト膜を液浸露光する工程と、
(3)液浸露光されたフォトレジスト膜を現象し、レジストパターンを形成する工程とを有するレジストパターン形成方法。
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