JP5759800B2 - ドライ型真空ポンプ - Google Patents

Description

本発明は、潤滑された支持軸受とポンピング段の間に装着された潤滑剤に対して封止するための装置を備えるドライ型の真空ポンプに関する。本発明は、２つの回転ローブシャフトを備えるルーツもしくはクローのドライ型真空ポンプ、または渦巻き型もしくはねじ型のポンプにも、あるいは別の類似の原理で作用するポンプに特に適用され得る。

これらのポンプは、一般的に、ポンピングされるガスが、吸気入口と送出口の間を流れる１つまたは複数の直列に装着されたポンピング段を備える。従来技術の真空ポンプは、バイローブまたはトリローブのルーツポンプとして知られている回転ローブポンプおよび「クロー」ポンプとしても知られているダブルクローポンプを含む。

回転ローブポンプは、ステータの内側で反対方向に回転する同一の外形の２つのロータを備える。回転中、ポンピングされるガスは、ロータとステータの間に含まれた自由空間内に捕捉され、ロータによって次の段に、または第１の段の後で送出口に駆動される。作動は、ロータとステータの間にいかなる機械接触も有さずに起こり、したがってポンピング段内のオイルを完全に無くすことが可能になる。

ロータは、シャフト端部に装着されたモータ駆動コンパートメントの潤滑された支持軸受によって支持された回転シャフトによって担持される。このモータ駆動コンパートメントは、回転シャフトを常に回転しやすくする潤滑剤に対して封止するための装置によってポンピング段から隔てられる。

作動中、潤滑された支持軸受内のシャフトの回転は、潤滑剤の噴霧を生じさせ、これは、圧力の変動を受けたとき、ポンプ段に向かって移動するリスクがある。このとき、半導体基板製造方法などの「ドライ」作動として知られている用途に関しては、オイルまたはグリースの痕跡が、ポンピング段において見つけられてはならないことが不可欠である。

従来技術では、潤滑剤偏向板または邪魔板およびリップシールとして知られている摩擦リングシールを備える、潤滑剤に対して封止するための装置がすでに存在している。潤滑剤偏向板は、回転シャフト上の、潤滑された支持軸受と摩擦リングシールの間に装着され、作動中、回転シャフトと接続して回転する。偏向板は、遠心力の効果によって潤滑剤を偏向させ、この潤滑剤を、小型管を通してモータ駆動コンパートメントの底部に送り、小型管の入口は、潤滑剤偏向板の端部に面して配置され、小型管の出口は、モータ駆動コンパートメントの底部内に開口している。この装置は、潤滑剤をモータ駆動コンパートメン内に閉じ込め続ける。摩擦リングシールは、潤滑剤残留物が、それでもなお潤滑剤偏向板を通過する場合の第２の防護要素を形成する。しかしながら、この安全手段は、不十分であることが判明し得る。生成出力レートが増大すると、真空ポンプの作動温度が上昇し、これは、摩擦リングシールをより脆弱にする恐れがある。さらに、潤滑剤偏向板を通り抜けた潤滑剤中の腐食性に関連付けられ得る、摩擦リングシールの両側の圧力変動の繰り返しが増えると、摩擦リングシールの早期の摩耗を引き起こし、より短い間隔で保守が必要となる恐れがあり、その介入の度に、半導体製造設備の停止および真空ポンプの停止を伴い、これは非常にコストがかかるものである。

本発明の狙いの１つは、潤滑された支持軸受とポンピング段の間に装着された潤滑剤封止装置を備え、その寿命が増大されるドライ型の真空ポンプを提案することである。

この目的のため、本発明の目的は：
少なくとも１つのポンピング段と、
潤滑された支持軸受によって支持された少なくとも１つの回転シャフトと、
回転シャフトに装着された、潤滑された支持軸受とリングシールの間に装着された少なくとも１つの潤滑剤偏向板、および潤滑剤偏向板とポンピング段の間に装着された少なくとも１つのリングシールと、
液状潤滑剤の第１の貯留物を含有する第１のリザーバであって、第１の貯留物が、第１の容積内の潤滑された支持軸受と連通する第１のリザーバと、
第１のリザーバ内の回転シャフト上に装着された潤滑剤分散ユニットであって、潤滑剤分散ユニットの一方の端部が、液状潤滑剤の第１の貯留物中に入れられている、潤滑剤分散ユニットとを備える、ドライ型真空ポンプである。

真空ポンプは、液状潤滑剤の第２の貯留物を含む第２のリザーバを有し、第２のリザーバは、液状潤滑剤の第１および第２の貯留物を連通させる連通開口を有する分離壁によって第１のリザーバから分離されている。前記潤滑剤偏向板に面するように位置付けられた１つの入口を有する潤滑剤戻りチャネルが、第２のリザーバの第２の容積内の、液状潤滑剤の第２の貯留物の上方に開口している。

作動中、第１の潤滑された支持軸受および潤滑剤分散ユニットを含む第１の容積は、特に潤滑剤分散ユニットの回転によって創出された、真空ポンプのローラ軸受を潤滑することを可能にするガスおよび潤滑剤の混合物を含む内部の霧状雰囲気を有する。この雰囲気は、潤滑剤戻りチャネルが中を通る第２のリザーバの雰囲気から分離壁によって分離される。第２のリザーバは、潤滑剤分散ユニットまたは真空ポンプの作動中に動作するいかなる他の回転要素も含まないため、潤滑剤噴霧を有さない穏やかなガス雰囲気を液状潤滑剤の上方に有し、液相およびガス相は、互いに良好に分離されている。

したがって、潤滑剤噴霧が潤滑された支持軸受からポンピング段に引き出されるとき、潤滑剤は、第２の隔てられたリザーバの液状潤滑剤の貯留物内に注がれるようになるまで、潤滑剤偏向板によって偏向されて遠心力の効果によって潤滑剤戻りチャネルに入る。次いで、潤滑された支持軸受の圧力が、ポンピング段の圧力より大きいときの圧力平衡段階中、リザーバの底部の潤滑剤の第２の貯留物内まで、潤滑剤戻りチャネルの開口部より低いレベルに降下した潤滑剤は、このチャネルで上昇することができない。その反対に、第２のリザーバ内の潤滑剤液体のレベルの上方に位置付けられた「ドライ」ガス、すなわち潤滑剤を含まないガスが、潤滑剤戻りチャネルを満たし、封止装置の両側に圧力の平衡を復元する。第２のリザーバの分離は、こうして作動時の潤滑された支持軸受のオイル環境内に含まれた霧状潤滑剤空気が、潤滑剤戻りチャネルに入ることを防ぐ。

第２のリザーバおよび前記潤滑剤戻りチャネルは、たとえば、前記真空ポンプのモータ駆動コンパートメントのケーシング内に作り出される。

前記分離壁内のシャフトの通路のコンダクタンスおよび潤滑剤戻りチャネルの開口部におけるコンダクタンスは、潤滑剤戻りチャネル内のガス流を第２の容積から潤滑剤偏向板に方向付けるように較正される。

コンダクタンス値のこの較正により、圧力がポンピング段内で降下するとき、圧力は、隔てられた第２のリザーバ内の第２の容積内より、潤滑された支持軸受を含む第１の容積内の方がよりすばやく降下する。第２の容積は、次いで、第１の容積に対してわずかに超える圧力を維持する。ドライガスは、次いで、潤滑剤戻りチャネルをすばやく通り抜け、その中で潤滑剤戻りチャネルの入口まで加速されるようになり、それによって潤滑剤偏向板においてドライガスの障壁が形成される。このプロセスは、第１の容積から第２の容積ではなく、第２の容積から潤滑剤偏向板までの潤滑剤戻りチャネル内のガス流の加速を促す。

たとえば、分離壁内のシャフト通路の直径と回転シャフトの直径の間の空隙は、３ミリメートルより小さく、好ましくは約２ミリメートル程度であることが規定される。また、潤滑剤戻りチャネルの開口部の内径のサイズは、５ミリメートルより小さく、好ましくは約４ミリメートル程度であることも規定され得る。

環状溝が、ケーシング内の、潤滑剤偏向板の周囲端部の前に作り出され得、前記環状溝は、前記潤滑剤戻りチャネルの入口と連通する。

１つの実施形態によれば、真空ポンプは、個別の潤滑された支持軸受によって支持された２本の回転シャフトを有する。前記潤滑剤戻りチャネルは、次いで、第１の潤滑された支持軸受に関連付けられた第１のチャネル部分と、第２の潤滑剤支持軸受に関連付けられた第２のチャネル部分と、２つの潤滑された支持軸受上で潤滑剤の均衡を維持するための、前記第１および第２のチャネル部分の共通のチャネル部分とを備えることができる。

たとえば、潤滑剤戻りチャネルは、前記第１のチャネル部分と前記第２のチャネル部分の間に連通溝を有し、前記潤滑剤戻りチャネルは、前記連通溝と接合し、接合チューブ内に開口する接続要素を備える。前記接続要素は、前記連通溝を閉じるプレートと、前記プレートから垂直に突出する中心からずれた接合チューブとを備えることができる。

本発明の他の特徴および特性は、例としてのみ与えられ、いかなる網羅的特徴も有さず、付属の図を参照して行われる以下の説明から明らかになるものとする。

真空ポンプの一部の長手方向断面図である。 分解された状態にある、真空ポンプのモータ駆動コンパートメントのモータステータおよび（モータ側から見た）オイルケーシングの斜視図である。 （ギア側から見た）図２のオイルケーシングの後面図である。 接続要素が中に置かれた、図３のギア側から見たオイルケーシングの類似の図である。 潤滑された支持軸受の要素の斜視図である。 組み立てられた状態にある図５の要素の概略図である。

これらの図では、同一要素は、同じ参照番号を有する。

図１から６は、２本のルーツ型回転ローブシャフトを有するドライ型真空ポンプの例示的な実施形態を示している。当然ながら、本発明は、「クロー」、渦巻き、またはねじ型のポンプあるいは任意の他の類似の原理をベースにしたポンプなどの他のタイプのドライ型真空ポンプにも適用され得る。

真空ポンプ１は、ポンピングされるガスが吸気入口から送出口（図示せず）まで中で循環する１つまたは複数の直列に装着されたポンピング段２を有する。（図１では１つしか見ることができない）回転シャフト３は、回転ローブロータ４によってポンピング段２内に延び、真空ポンプ１のモータ駆動コンパートメント５内の送出段側で駆動される。ポンピング段２は、作動中、ロータ４が、真空ポンプ１のロータ４とケーシング６の間にいかなる機械的接触も有することなく反対方向にケーシング６の内側で回転し、潤滑剤を完全に無くすことができるため、「ドライ」といわれている。

真空ポンプは、図１に示されるように水平状態で動作し、すなわち真空ポンプの作動中、回転シャフト３は、地面に対してほぼ平行である。

回転シャフト３は、たとえば吸引段においてグリースで潤滑された２つの潤滑された支持軸受（見ることはできない）、およびたとえばオイルなどの液状潤滑剤によって潤滑された、送出段側のモータ駆動コンパートメント５の２つの潤滑された支持軸受７ａ、７ｂによってシャフトの端部で支持される。潤滑された支持軸受７ａ、７ｂには、回転シャフト３を誘導し、支持するためにローラ軸受９が設けられる。

真空ポンプ１は、モータ駆動コンパートメント５内に収容されたモータ（図示せず）ならびに駆動シャフトおよび被駆動シャフトを同期式に駆動するためにそれぞれの回転シャフト３上に装着されたギア組立体（図示せず）を有する。

真空ポンプ１は、液状潤滑剤の第１の貯留物１６ａを含む第１のリザーバ２８を有する。第１のリザーバ２８は、（図１ではダッシュ線で示されている）第１の容積Ｖ１内で潤滑された支持軸受７ａと連通する。

真空ポンプ１はまた、第１のリザーバ２８内の駆動回転シャフト３上に装着された潤滑剤分散ユニット１１を有し、潤滑剤分散ユニット１１の一方の端部は、液状潤滑剤の第１の貯留物１６ａ内に入っている。潤滑剤分散ユニット１１は、たとえば回転シャフト３と同軸に装着されたディスクの形態をとる。作動中、駆動シャフト３の回転が、潤滑剤分散ユニット１１の回転を引き起こし、したがって、支持軸受７ａ、７ｂ内で真空ポンプ１のローラ軸受９の潤滑を可能にする潤滑剤の噴霧を発生させる。

真空ポンプ１はさらに、潤滑剤がモータ駆動コンパートメント５からポンピング段２への通路をブロックするために潤滑剤に対して封止するための装置を備える。封止装置は、潤滑剤偏向板１２（図１および図５）と、それぞれの回転シャフト３上に装着されたリングシール１３とを有し、リングシール１３は、潤滑剤偏向板１２とポンピング段２の間に装着され、潤滑剤偏向板１２は、リングシール１３と潤滑された支持軸受７ａ、７ｂの間に装着される。

リングシール１３は、たとえば二重リップの摩擦リングシールである。

潤滑剤偏向板１２は、回転可能なシャフト３と接続して回転し、潤滑された支持軸受７ａ、７ｂからの潤滑剤およびその粒子を、遠心力によって、たとえば潤滑剤偏向板１２の周囲端部に面する、モータ駆動コンパートメント５の本体内に作り出された環状溝１４に向かって迂回させることができる（より詳細は図１および５を参照）。潤滑剤偏向板１２は、たとえば回転シャフト３と同軸に装着されたディスクの形態をとる。

真空ポンプ１は、真空ポンプ１のケーシング６内に作り出された、オイルなどの液状潤滑剤の第２の貯留物１６ｂを含む第２のリザーバ１５を有する。第２のリザーバ１５は、液状潤滑剤の第１および第２の貯留物１６ａ、１６ｂを連通させる連通開口３４を有する分離壁２０によって第１のリザーバ２８から分離される。真空ポンプ１の潤滑剤戻りチャネル１７は、たとえば環状溝１４内で潤滑剤偏向板１２に面して位置付けられた入口１８を有する。潤滑剤戻りチャネル１７は、潤滑された支持軸受７ａ、７ｂの下方でモータ駆動コンパートメント５の本体のハウジング内に延び、開口部１９を通って、第２のリザーバ１５の第２の容積Ｖ２内の、潤滑剤液体の第２の貯留物１６ｂの上方に至る。

作動中、潤滑された支持軸受７ａ、７ｂおよび潤滑剤分散ユニット１１を含む第１の容積Ｖ１は、特に潤滑剤分散ユニット１１の回転によって創出された、ガスおよび潤滑剤の混合物、一般的にはオイル潤滑空気を伴った霧状の内部雰囲気を有する。この雰囲気は、分離壁２０によって、潤滑剤戻りチャネル１７が中に至る第２のリザーバ１５の第２の容積Ｖ２の雰囲気から分離される。第２のリザーバ１５は、潤滑剤分散ユニットも、真空ポンプ１の作動中に動作するいかなる回転要素も含まないため、いかなる潤滑剤噴霧も有さない穏やかなガス雰囲気を液状潤滑剤１６ｂの上方に有し、液相およびガス相は、互いから良好に分離されている。

したがって、潤滑剤噴霧が潤滑された支持軸受７ａ、７ｂからポンピング段２に引き出されるとき、潤滑剤は、第２のリザーバ１５の液状潤滑剤の第２の貯留物１６ｂ内に注がれるようになるまで、潤滑剤偏向板１２によって偏向されて環状溝１４内に、次いで遠心力の効果によって潤滑剤戻りチャネル１７内に入る。

次いで、潤滑剤支持軸受７ａ、７ｂ内の圧力がポンピング段２の圧力より大きい圧力平衡段階中、第２のリザーバ１５の底部の液状潤滑剤の第２の貯留物１６ｂ内まで、潤滑剤戻りチャネル１７の開口部１９より低いレベルに降下した液状潤滑剤は、このチャネル内で上昇することができない。その反対に、第２のリザーバ１５内の液状潤滑剤のレベルの上方に位置付けられた、「ドライ」ガス、すなわち潤滑剤を含まないガスが、潤滑剤戻りチャネル１７を満たし、封止装置の両側の圧力間の平衡を復元する。第２のリザーバ１５の分離は、こうして作動時の潤滑された支持軸受７ａ、７ｂのオイル環境内に含まれた潤滑剤霧状化空気が、潤滑剤戻りチャネル１７に入ることを防ぐ。

この目的のため、および図１から図６に示された実施形態により、モータ駆動コンパートメント５のケーシングは、たとえば一緒に組み立てられる、駆動ステータ２１、オイルケーシング２２、およびたとえば鋳鉄製の端部フランジ２３（またはＨＰ（高圧）支持体）と、第２のリザーバ１５の第２の容積Ｖ２（図１では点で満たされている）を、第１のリザーバ２８および潤滑された支持軸受７ａ、７ｂを備える第１の容積Ｖ１から分離する分離壁２０とを備える。

図２により見えやすい分離壁２０は、たとえば駆動ステータ２１に組み付けられたオイルケーシング２２に固定して接合される。駆動ステータ２１およびオイルケーシング２２の組立ては、底部に液状潤滑剤の第２の貯留物１６ｂを有する第２の容積Ｖ２を形成する。組立ては、従来、Ｏリング２４および締結手段を用いて行われる。駆動ステータ２１は、さらに、モータを冷却剤で冷却するための手段２６を有する。これらの手段は、軸方向ハウジング２７が、駆動ロータ（図示せず）を収容するように駆動シャフトの回転軸内に作り出される樹脂によって部分的に隠される。

オイルケーシング２２および一緒に組み立てられた端部フランジ２３によって形成された第１の容積Ｖ１の底部は、潤滑された支持軸受７ａ、７ｂの回転要素を潤滑するための液状潤滑剤の第１の貯留物１６ａを含む（図３および図５）。

図３は、オイルケーシング２２の後部の充填穴３０を示している。この充填穴３０は、オイルケーシングの右手上のコーナに、第１の容積Ｖ１と連通して見られ得る。充填穴３０は、プラグ３１によってブロックされる。オイルケーシング２２の右手コーナの底部では、液状潤滑剤の設定レベルＮを示す参照マーキングもまた見られ得る。この参照マーキングは、ユーザが液状潤滑剤１６ａで設定レベルＮまで充填するのを誘導するために縁上（図３では見ることができない）に作り出されたオイルケーシング２２の透明部分に対応する。オイルケーシング２２はまた、ブロックされ底部２８と連通する排出穴３２と、真空ポンプ１を空にするための、ブロックされた容器部分３３とを有する。

図２に見られ得るように、分離壁２０は、液状潤滑剤の第１および第２の貯留物１６ａ、１６ｂの潤滑剤液体のレベルを上げるために、液状潤滑剤の設定レベルＮの下方に連通開口３４を有する。したがって、連通開口３４は、潤滑剤流体戻りチャネル１７の開口部１９の下方に位置付けられる。本発明は、こうして、オイルケーシング２２を充填し、排出し、空にするための手段によって、第２の貯留物１６ｂの液状潤滑剤のレベルを、第１の貯留物１６ａの液状潤滑剤のレベルと同時に確認する。

その上、分離壁内のシャフト通路３５のコンダクタンスおよび潤滑剤戻りチャネル１７の開口部１９のコンダクタンスは、ガス流を、潤滑剤戻りチャネル１７に入るように第２の容積Ｖ２から潤滑剤偏向板１２まで方向付けるように較正される。

コンダクタンス値のこの較正により、圧力がポンピング段２内で降下するとき、圧力は、第２のリザーバ１５内の第２の容積Ｖ２内より、潤滑されたステージ７ａ、７ｂを含む第１の容積Ｖ１内の方がよりすばやく降下する。第２の容積Ｖ２は、次いで、第１の容積Ｖ１に対して約２バールのわずかに超える圧力を維持する。ドライガスは、次いで、潤滑剤戻りチャネル１７をすばやく通り抜け、その中で潤滑剤戻りチャネル１７の入口１８まで加速されるようになり、それによって潤滑剤偏向板１２においてドライガスの障壁が形成される。したがって、ガス流の加速は、第１の容積Ｖ１から第２の容積Ｖ２ではなく、第２の容積Ｖ２から潤滑剤偏向板１２までの潤滑剤戻りチャネル１７内で促される。

第１の容積Ｖ１と第２の容積Ｖ２の間のコンダクタンスは、分離壁２０内の駆動シャフト３とシャフト通路３５の間に作り出された空間によって規定される。たとえば、シャフト通路３５の直径と回転シャフト３の直径の間の空隙は、３ミリメートルより小さく、好ましくは約２ミリメートル程度であることが規定される。また、潤滑剤戻りチャネル１７の開口部１９の内径のサイズは、５ミリメートルより小さく、好ましくは約４ミリメートル程度であることも規定され得る。

したがって、シャフト通路３５のレベルにおける小さい空間は、第１の容積Ｖ１よりも第２の容積Ｖ２内の圧力が過度になることに有利に働き、潤滑剤戻りチャネル１７の低コンダクタンスは、潤滑剤流体戻りチャネル１７内のドライガスの加速に有利に働き、それによって潤滑剤偏向板１２においてガス障壁の形成を可能にする。

潤滑剤戻りチャネル１７が、第１の潤滑された支持軸受７ａに関連付けられた第１のチャネル部分１７ａと、第２の潤滑された支持軸受７ｂに関連付けられた第２のチャネル部分１７ｂと、第１および第２のチャネル部分１７ａ、１７ｂに共通のチャネル部分１７Ｃとを備えることがさらに考案され得る。各々のチャネル部分１７ａおよび１７ｂは、それぞれの潤滑された支持軸受７ａ、７ｂに関連付けられた潤滑剤偏向板１２に面する環状溝１４内に位置付けられた入口を有する。潤滑剤流体戻りチャネル１７は、したがって、２つの潤滑された支持軸受７ａ、７ｂ内の潤滑剤の平衡を維持するために、第１および第２の潤滑された支持軸受７ａ、７ｂの間を連通させる。

この目的のため、また図５に見られ得るように、潤滑剤戻りチャネル１７は、第１のチャネル部分１７ａと第２のチャネル部分１７ｂの間に連通溝３６を有する。潤滑剤戻りチャネル１７は、さらに、連通溝３６に組み付けられるようになり接合チューブ３８内に開口する接続要素３７を有する。接続要素３７が、オイルケーシング２２と端部フランジ２３の間に接合されると、接合チューブ３８は、分離壁２０から開口部１９を抜けて第２の容積Ｖ２内に開口する。

接続要素３７は、たとえば連通溝３６を閉じるプレート３９と、プレート３９から垂直に突出するプレートの中間から中心からずれた接合チューブ３８とを備える。接合チューブ３８は、駆動シャフト３の潤滑された支持軸受７ａの潤滑剤分散ユニット１１などの回転要素の回転を可能にするように中心からずらされている。

潤滑剤戻りチャネル１７を通り抜け、潤滑された支持軸受７ａ、７ｂを通り抜けて封止装置に至る潤滑剤の移動は、潤滑剤が、モータ駆動コンパートメント５の潤滑された支持軸受７ａ、７ｂを迂回せずに潤滑剤偏向板１２によって処理されることなくリングシール１３に直接到達することを確実にすることにおいてこうして限定され、これは、リングシール１３の耐用年数を増大させる。

真空ポンプ送出側に位置する封止装置および液状潤滑剤リザーバの説明が行われてきたが、封止装置および液状潤滑剤リザーバは、グリースによる潤滑のための取り換えとして、最低の圧力を有して吸引または吸気側のその段の端部に同様に良好に載置されてもよい。

１ 真空ポンプ
２ ポンピング段
３ 回転シャフト
４ 回転ローブロータ
５ モータ駆動コンパートメント
６ ケーシング
７ａ、７ｂ 潤滑された支持軸受
９ ローラ軸受
１１ 潤滑剤分散ユニット
１２ 潤滑剤偏向板
１３ リングシール
１４ 環状溝
１５ 第２のリザーバ
１６ａ、１６ｂ 液状潤滑剤の貯留部
１７ 潤滑剤戻りチャネル
１８ 入口
１９ 潤滑剤戻りチャネルの開口部
２０ 分離壁
２１ 駆動ステータ
２２ オイルケーシング
２３ 端部フランジ
２４ Ｏリング
２６ モータを冷却剤で冷却する手段
２７ 軸方向ハウジング
２８ 第１のリザーバ
３０ 充填穴
３１ プラグ
３２ 排出穴
３３ ブロックされた容器部分
３４ 連通開口
３５ シャフト通路
３６ 連通溝
３７ 接続要素
３８ 接合チューブ
３９ プレート
Ｖ１ 第１の容積
Ｖ２ 第２の容積
Ｎ 設定レベル

Claims (8)

1. 少なくとも１つのポンピング段（２）と、
   潤滑された支持軸受（７ａ、７ｂ）によって支持された少なくとも１本の回転シャフト（３）と、
   回転シャフトに装着された、潤滑された支持軸受（７ａ、７ｂ）とリングシール（１３）の間に装着された少なくとも１つの潤滑剤偏向板（１２）、および潤滑剤偏向板（１２）とポンピング段（２）の間に装着された少なくとも１つのリングシール（１３）と、
   液状潤滑剤の第１の貯留物（１６ａ）を含有する第１のリザーバ（２８）であって、第１の容積（Ｖ１）内の潤滑された支持軸受（７ａ、７ｂ）と連通する第１のリザーバ（２８）と、
   第１のリザーバ（２８）内の回転シャフト（３）上に装着された潤滑剤分散ユニットであって、潤滑剤分散ユニットの一方の端部が、液状潤滑剤の第１の貯留物（１６ａ）中に入れられている、潤滑剤分散ユニットとを備える、ドライ型真空ポンプであって、
   真空ポンプが、液状潤滑剤の第２の貯留物（１６ｂ）を含む第２のリザーバ（１５）を有し、第２のリザーバ（１５）が、液状潤滑剤の第１の貯留物および第２の貯留物（１６ａ、１６ｂ）を連通させる連通開口（３４）を有する分離壁（２０）によって第１のリザーバ（２８）から分離され、前記潤滑剤偏向板（１２）に面するように位置付けられた１つの入口（１８）を有する潤滑剤戻りチャネル（１７）が、第２のリザーバの第２の容積（Ｖ２）内の、液状潤滑剤の第２の貯留物（１６ｂ）の上方に開口している、ドライ型真空ポンプ。
2. 第２のリザーバ（１５）および前記潤滑剤戻りチャネル（１７）が、前記真空ポンプ（１）のモータ駆動コンパートメント（５）のケーシング（６）内に作り出される、請求項１に記載の真空ポンプ。
3. 潤滑剤戻りチャネル（１７）の開口部（１９）の内径のサイズが、５ミリメートルより小さい、請求項１または２に記載の真空ポンプ。
4. 分離壁内のシャフト通路（３５）の直径と回転シャフト（３）の直径の間の空隙が、３ミリメートルより小さい、請求項１から３のいずれかに記載の真空ポンプ。
5. 環状溝（１４）が、潤滑剤偏向板（１２）の周囲端部の正面のケーシング（６）内に作り出され、前記潤滑剤戻りチャネル（１７）の入口（１８）と連通する、請求項１から４のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
6. それぞれの潤滑された支持軸受（７ａ、７ｂ）によって各々が支持された２本の回転シャフト（３）を備え、前記潤滑剤戻りチャネル（１７）が、第１の潤滑された支持軸受（７ａ）に関連付けられた第１のチャネル部分（１７ａ）と、第２の潤滑剤支持軸受（７ｂ）に関連付けられた第２のチャネル部分（１７ｂ）と、前記第１および第２のチャネル部分（１７ａ、１７ｂ）に共通のチャネル部分（１７ｃ）とを備える、請求項１から５のいずれかに記載の真空ポンプ。
7. 潤滑剤戻りチャネル（１７）が、前記第１のチャネル部分（１７ａ）と前記第２のチャネル部分（１７ｂ）の間に連通溝（３６）を有し、前記潤滑剤戻りチャネル（１７）が、前記連通溝（３６）と接合されるようになり接合チューブ（３８）内に開口する接続要素（３７）を備える、請求項６に記載の真空ポンプ。
8. 前記接続要素（３７）が、前記連通する溝（３６）を閉じるプレート（３９）と、前記プレート（３９）から垂直に突出する中心からずれた接合チューブ（３８）とを備える、請求項７に記載の真空ポンプ。

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