JP5757894B2 - 帯電粒子発生装置 - Google Patents

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Description

本発明は、外部から吸い込んだ空気を吹出口に通風する通風路の通風方向上流側に帯電粒子発生器を配置し、通風方向下流側に帯電粒子検出器を配置した帯電粒子発生装置に関する。
近年、イオンを発生して居住空間内の空気を清浄化するイオン発生装置が実用化されている。イオン発生装置では、送風機が外部から吸い込んだ空気が流れる通風路内にプラスイオン及びマイナスイオンを発生させるイオン発生器が配され、発生したイオンを空気と共に吹出口から外部へ放出している。放出されたイオンは、室内等の居住空間において空気中の浮遊粒子を不活性化させ、浮遊細菌(カビ菌等)を死滅させると共に臭気成分を変性させる。その結果、居住空間内の空気が浄化される。
特許文献1には、イオン捕集電極を覆う開閉カバーを備えたイオン検出器を通風路内に配し、イオンの検出を行わないときは、イオン検出器の捕集電極をカバーで覆うことにより、イオン発生器から発生したイオンが捕集電極に捕集されて外部に放出されるイオンの量が低下するのを回避し、イオン検出時は捕集電極を覆うカバーを開くようにしたイオン発生装置が記載されている。
特開2011−228075号公報
特許文献1に示される従来のイオン発生装置では、イオン検出時にイオン発生器から発生したイオンの一部がイオン検出器の捕集電極に捕集されずに吹出口から外部に放出されるため、イオンの検出効率が低下する可能性がある。尚、イオン以外に、空気浄化用に発生させた帯電微粒子水等の帯電粒子を検出する場合においても同様の問題が生じる。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、帯電粒子発生器にて発生したイオン等の帯電粒子を効率よく検出することができる帯電粒子発生装置を提供することを目的とする。
本発明に係る帯電粒子発生装置は、送風機によって送風された空気を吹出口に通風するための通風路を備え、該通風路の通風方向上流側に帯電粒子発生器を配置し、通風方向下流側に前記帯電粒子発生器にて発生した帯電粒子を検出する帯電粒子検出器を配置した帯電粒子発生装置において、前記吹出口を開閉するカバーを備え、該カバーが前記吹出口を閉塞した状態で前記帯電粒子検出器が検出動作するようにしてあることを特徴とする。
本発明においては、吹出口が閉塞された状態で、通風路の通風方向上流側に配置した帯電粒子発生器にて発生した帯電粒子が通風路の通風方向下流側に配置した帯電粒子検出器で検出される。このように帯電粒子の検出を行う際、外部に帯電粒子を含む空気を吹き出す吹出口が閉塞されているので、帯電粒子が外部に流出せず、帯電粒子発生器と吹出口との間に位置する帯電粒子検出器付近の通風路内の帯電粒子量の低下が抑制され、帯電粒子検出器による帯電粒子の検出効率が高くなる。
本発明に係る帯電粒子発生装置は、前記帯電粒子検出器が検出動作する場合に、前記送風機が送風動作するようにしてあることを特徴とする。
本発明においては、吹出口が閉塞された状態で送風機が送風動作するので、帯電粒子発生器にて発生した帯電粒子が送風される空気によって強制的に通風方向下流側に運ばれ、帯電粒子検出器付近の帯電粒子量の低下が更に抑制され、帯電粒子検出器による帯電粒子の検出効率が更に高くなる。
本発明に係る帯電粒子発生装置は、前記帯電粒子検出器は前記帯電粒子を捕集する捕集電極を備え、前記カバーは、前記吹出口を開放した状態では前記捕集電極を覆い、前記吹出口を閉塞した状態では前記捕集電極を露出させる電極被覆部を備えていることを特徴とする。
本発明においては、カバーが吹出口を開放した状態で外部に帯電粒子を含む空気を吹き出す場合はカバーに備えた電極被覆部が帯電粒子検出器の捕集電極を覆うので、外部に吹き出す空気中の帯電粒子が無駄に捕集電極に捕集されることがなく、帯電粒子が効率よく外部に放出される。一方、カバーが吹出口を閉塞した状態では、電極被覆部が捕集電極を覆わず露出させるので、通風路内の帯電粒子が捕集電極で捕集され検出される。この場合、電極被覆部がカバーと一体であるので、構成が簡素化される。
本発明に係る帯電粒子発生装置は、前記帯電粒子検出器は前記帯電粒子を捕集する捕集電極を備え、前記捕集電極を覆うことが可能な電極カバーを設け、該電極カバーは、前記カバーが前記吹出口を開放した状態で前記捕集電極を覆い、前記カバーが前記吹出口を閉塞した状態で前記捕集電極を露出させるようにしてあることを特徴とする。
本発明においては、カバーが吹出口を開放した状態で外部に帯電粒子を含む空気を吹き出す場合は電極カバーが帯電粒子検出器の捕集電極を覆うので、外部に吹き出す空気中の帯電粒子が無駄に捕集電極に捕集されることがなく、帯電粒子が効率よく外部に放出される。一方、カバーが吹出口を閉塞した状態では、電極カバーが捕集電極を覆わず露出させるので、通風路内の帯電粒子が捕集電極で捕集され検出される。
本発明に係る帯電粒子発生装置は、前記カバーは、前記吹出口から吹き出す空気の吹出し方向を変更することが可能な吹出方向変更部を備えていることを特徴とする。
本発明においては、カバーが吹出口を開放した状態で外部に帯電粒子を含む空気を吹き出す場合にカバーに備えた吹出方向変更部が吹出口から吹き出す空気の吹出し方向を変更するので、外部に対して偏りないように帯電粒子が放出される。この場合、吹出方向変更部がカバーと一体であるので、構成が簡素化される。
本発明に係る帯電粒子発生装置は、前記吹出方向変更部は、前記捕集電極が覆われた状態で前記空気の吹出し方向を変更するようにしてあることを特徴とする。
本発明においては、捕集電極が覆われた状態でカバーに備えた吹出方向変更部が外部に吹き出す空気の吹出し方向を変更するので、空気の吹出し方向が変更される場合でも空気中の帯電粒子が無駄に捕集電極に捕集されることがなく、帯電粒子が効率よく外部に放出される。
本発明に係る帯電粒子発生装置は、前記カバーは、周板の両端に底板を有する半筒体であり、筒の中心軸と平行な回転軸周りに回転して、前記周板及び底板が前記吹出口を塞ぐ閉塞位置と、該閉塞位置から外れて前記吹出口を開放する開放位置との間に移動可能であることを特徴とする。
本発明においては、半筒体であるカバーが筒の中心軸と平行な回転軸周りに回転して、半筒体の周板及び周板の両端の底板が吹出口を塞ぐ閉塞位置に移動し、また、周板及び周板が閉塞位置から外れて吹出口を開放する開放位置に移動することにより、吹出口が開閉される。
本発明に係る帯電粒子発生装置は、前記周板は、断面が前記回転軸を中心とする円弧をなす円弧部を有し、前記捕集電極は前記円弧部の移動経路に沿って前記円弧部の外面に対向するように配置してあることを特徴とする。
本発明においては、カバーが前記吹出口を開放した状態では円弧部が前記回転軸を中心として回転した場合、円弧部の移動経路に沿って配置された捕集電極に円弧部の外面に対向し、捕集電極は円弧部によって遮蔽されるので帯電粒子を捕集することができない。円弧部が捕集電極と対向しない位置に回転した場合は、捕集電極は円弧部によって遮蔽されず帯電粒子を捕集することができる。
本発明に係る帯電粒子発生装置は、前記周板は、周方向における一端側に平面部を有し、前記吹出方向変更部は、前記平面部により形成してあることを特徴とする。
本発明においては、カバーが回転することにより、周板の周方向における一端側の平面部の面方向が変化するので、吹出口から外部に吹き出す空気が平面部に当たって吹出し方向が変更される。
本発明に係る帯電粒子発生装置は、運転開始時に前記帯電粒子検出器を検出動作させるようにしてあることを特徴とする。
本発明においては、運転開始時は吹出口が閉塞されているので、吹出口が閉塞された状態で帯電粒子検出器による帯電粒子の検出を迅速に行うことができる。
本発明によれば、帯電粒子の検出を行う際、外部に帯電粒子を含む空気を吹き出す吹出口が閉塞されているので、帯電粒子発生器と吹出口との間に位置する帯電粒子検出器付近の通風路内の帯電粒子量の低下が抑制され、帯電粒子発生器にて発生した帯電粒子を効率よく検出することができる帯電粒子発生装置が提供される。
本発明の実施の形態に係るイオン発生装置の正面断面図である。 図1に示すイオン発生装置の側面断面図である。 図1に示すイオン発生装置の側面断面図である。 図1に示すイオン発生装置の側面断面図である。 図1に示すイオン発生装置に設置されるイオン発生器の斜視図である。 イオン発生装置の制御構成を示すブロック図である。 イオン検出動作を示すタイムチャートである。
以下、本発明に係る帯電粒子発生装置の実施の形態について、空気中にイオンを発生させるイオン発生装置を例に図面に基づいて説明する。図1は本発明の実施の形態に係るイオン発生装置の正面断面図、図2〜図4は同イオン発生装置の側面断面図、図5は同イオン発生装置に設置されるイオン発生器の斜視図である。
イオン発生装置1は、矩形状の箱体を垂直に立てたような外形のハウジング2を備えている。ハウジング2の内部には2つの縦向きの通風路3A、3Bが横方向に並ぶように設けてある。両通風路3A、3Bは略矩形の風路断面を有し、両通風路3A、3Bの下側に送風機4を設置している。通風路3A、3Bの下側部分は隔壁7を介して仕切られ、隔壁7の下部は左右に分岐した2つの分岐部7Aを有している。通風路3A、3Bは、隔壁7の部分を除いて、正面、背面、側面及び底面等が風路壁3Cによって囲われている。
横向きの出力軸4Cを有するファンモータ4Aが2つの分岐部7Aの間に配置されている。出力軸4Cは各分岐部7Aに設けた孔を通して各通風路3A、3Bの下側の空間に突出し、突出した各出力軸4Cにファン(シロッコファン)4Bが固定されている。ファンモータ4Aとファン4Bによって送風機4が構成されている。
ハウジング2は、ファン4Bに対向する下部の左右両側に吸込口5を備え、各吸込口5の内側には脱臭及び集塵用フィルタ6が設置されている。また、各吸込口5に対向する風路壁3Cには通気窓が設けてある。
ハウジング2は、上面に通風路3A、3Bの上端が連通する矩形状の吹出口8を2つ備え、両通風路3A、3Bの上側部分は風路幅が左右に狭くなるとともに互いに離隔している。各通風路3A、3Bの吹出口8に至る途中箇所にイオン発生器9が設置されている。イオン発生器9は、横長状の外観を有し、長手方向の両側に正イオン発生部9Aと負イオン発生部9Bとを備えている。イオン発生器9は両通風路3A、3Bの後側に横向き姿勢で取り付けられ、各通風路3A、3Bの後側の風路壁3Cに設けた開口を通して、正イオン発生部9Aが一方の通風路3Aに面し、負イオン発生部9Bが他方の通風路3Bに面している。各イオン発生部9A,9Bは針状の放電電極Pdと放電電極Pdの周囲を囲む円環状の誘導電極Ydとを備えている。
放電電極Pdと誘導電極Ydとの間に、交流波形又はインパルス波形の高電圧を印加することにより、コロナ放電が発生しイオンが通風路3A、3Bに放出される。放電電極Pdの印加電圧が正電圧の場合はイオンが空気中の水分と結合して主としてH+(H2O)mから成るプラスイオンを発生する。放電電極Pdの印加電圧が負電圧の場合はイオンが空気中の水分と結合して主としてO2 -(H2O)nから成るマイナスイオンを発生する。ここで、m、nは任意の自然数である。
そして、H+(H2O)m及びO2 -(H2O)nは空気中の浮遊菌や臭い成分の表面で凝集してこれらを取り囲む。式(1)〜(3)に示すように、衝突により活性種である[・OH](水酸基ラジカル)やH22(過酸化水素)を微生物等の表面上で凝集生成して浮遊菌や臭い成分を破壊する。ここで、m’、n’は任意の自然数である。従って、プラスイオン及びマイナスイオンを発生して吹出口8から放出することにより使用者の近傍の殺菌及び臭い除去を行うことができる。
+(H2O)m+O2 -(H2O)n→・OH+1/2・O2+(m+n)H2O ・・・(1)
+(H2O)m+H+(H2O)m’+O2 -(H2O)n+O2 -(H2O)n’
→2・OH+O2+(m+m'+n+n')H2O ・・・(2)
+(H2O)m+H+(H2O)m’+O2 -(H2O)n+O2 -(H2O)n’
→H22+O2+(m+m'+n+n')H2O ・・・(3)
本実施形態では、プラスイオンを発生させる正イオン発生部9A及びマイナスイオンを発生させる負イオン発生部9Bを備えたイオン発生器9を用いたが、他に、マイナスイオンのみを発生させるイオン発生器や、その他のイオンを発生させるイオン発生器を用いてもよい。また、イオン発生器9の各イオン発生部9A,9Bから発生するイオンの極性を所定時間毎に切り換えてもよい。
各通風路3A、3Bの吹出口8の直下部分では前後方向の風路幅が上方に向かって広がる形状を有している。具体的には、前側の風路壁3C1は上端が前側に位置するように傾斜した平面であり、後側の風路壁3C2は軸心が左右方向に向く円弧面をなす。左右の風路壁3Cは上下方向向きの平面である。
負イオン発生部9Bを設けた通風路3Bの後側の風路壁3C2にイオンセンサ10が設置され、イオンセンサ10によって負イオン発生部9Bが発生させたマイナスイオンを検出するようにしている。イオンセンサ10は、風路壁3C2の表面と面一に位置する捕集電極10aを備えている。尚、正イオン発生部9Aを設けた通風路3Aにイオンセンサ10を設置して、プラスイオンを検出するようにしてもよい。
吹出口8には、左右方向向きの回転軸11a回りに回転するカバー11が設けてある。回転軸11aは後側の風路壁3C2の円弧面の軸心の位置に設けてある。カバー11は、半筒体であり、後側の風路壁3C2の円弧面と同心で半径が後側の風路壁3C2の内径より小径の円弧部11bと、円弧部11bの端縁に接線方向を向くように連なる平面部11cと、円弧部11b及び平面部11cの左右両側を覆う底板11dとを有する。円弧部11b及び平面部11cが筒の周板を構成する。円弧部11b、平面部11c及び底板11dは開口側に矩形状の端縁を有している。尚、カバー11を回転軸11aの回りに回転させるためのカバー回転モータ12が設けてある(図6)。
カバー11の開口の横幅は吹出口8の直下の通風路3A、3Bの横幅と略同一であり、該開口の前後幅は吹出口8の直下の通風路3A、3Bの前後幅と略同一である。その結果、円弧部11bが一部ハウジング2内に位置して捕集電極10aを覆う状態(図2、図3)と、ハウジング2の上側に位置して吹出口8を閉塞する状態(図1、図4)とに切り替えることができる。円弧部11bが捕集電極10aを覆う状態でカバー11の回転角度を変更し、平面部11cによる吹出口8から吹出し角度を調整することができる。図2では平面部11cが水平よりも上方に向いているため、水平よりも上方向きに吹出されるが、図3では平面部11cがほぼ水平方向向きで、図2に比べて前側に傾斜しているため低い角度で吹き出される。例えば、カバー11を図2の角度と図3の角度との間でスイング動作をさせることができ、あるいは、一定の角度に固定することができる。カバー11が吹出口8を閉塞した位置では、円弧部11bは捕集電極10aの位置から外れ、捕集電極10aは通風路3Bに露出している。
次にイオン発生装置1によるイオン発生及び検出構成について説明する。図6はイオン発生装置の制御構成を示すブロック図、図7はイオン検出動作を示すタイムチャートである。
制御部13が設けられ、制御部13にイオンセンサ10の検出信号が入力されている。制御部13からはファンモータ4A、イオン発生器9、カバー回転モータ12及び表示器14に対する駆動信号が出力されている。尚、表示器14はハウジング2の底面に設置されている。
本発明では、平面部11cによって吹出口8を閉塞し、捕集電極10aが露出した状態でイオン発生器9からイオンを発生させる。負イオン発生部9Bから発生したマイナスイオンは通風路4B内に拡散し、イオンセンサ10付近に拡散したマイナスイオンが露出した捕集電極10aに捕集され、検知される。このとき、ファンモータ4Aを駆動してファン4Bを回転させ、負イオン発生部9Bから発生したマイナスイオンの通風路4B内での拡散を促進し、よりイオンを検出し易くしている。以下、イオンの発生、検出動作について具体的に説明する。
イオン発生装置1は運転停止時にカバー11により吹出口8を閉じた状態で運転を終了する。イオン発生装置1の運転が開始されると、制御部13は、カバー回転モータ12を駆動し、吹出口8を開放させるとともに、ファンモータ4Aを駆動する。制御部13がイオン発生器9を駆動し、正イオン発生部9Aからプラスイオンが発生し、負イオン発生部9Bからマイナスイオンが発生する。ファンモータ4Aの駆動によりファン4Bが回転し、各吸込口5から外部の空気(室内の空気)が吸い込まれ、吸い込まれた空気は、脱臭及び集塵用フィルタ6を通過する際に臭いや塵埃のない空気に浄化される。浄化された空気は、ファン4Bを通過してファン4Bの外周に吐き出され、各通風路3A、3Bの上方側へ流れ、正イオン発生部9A及び負イオン発生部9Bによって発生したマイナス及びマイナスイオンが各通風路3A、3Bの上方側へ流れる空気によって運ばれ、各吹出口8から室内に吹き出される。放出されたイオンは、浮遊するカビ菌やウイルスを空中で分解、除去する。
イオン発生装置1を長期間使用していると、各イオン発生部9A、9B(放電電極Pd)が劣化したり、ごみが付着したりして、放電が不安定になる。放電が不安定になると発生するイオンが減少して、上記の効果が得られなくなる。そこで、イオン発生装置1の制御部13は、運転時間を積算し、総運転時間が交換予告時間、例えば17500時間に達したとき、イオン発生器9の交換を促す表示を表示器14に行う。その後も運転はされるが、総運転時間が交換時間、例えば19000時間に達したとき、制御部13は、イオン発生器9が寿命に達したと判断して、運転を停止するとともに交換を表示器14により報知する。
しかし、イオン発生装置1が使用される環境によっては、埃、湿気、オイルミストなどが放電電極Pdに付着して、上記の時間が経過する前に、イオン発生器9が寿命に達する場合がある。イオン発生器9が寿命になると、イオンの発生量が減ったり、イオンが発生しなくなる。
そこで、制御部13は、イオンの発生状況を検知する。制御部13は、ファンモータ4Aを駆動するとともにカバー回転モータ12を駆動してカバー11により吹出口8を閉じる。このときイオンセンサ10が通風路3Bに露出し、イオンの検出が可能となる。制御部13がイオン発生器9を駆動してイオンを発生させると、イオンセンサ10は、発生したイオンを検出する。制御部13は、イオンセンサ10からの入力信号に基づいてイオン発生の有無を判定する。そして、制御部13は、イオンの発生無と判定すると、運転を停止し、イオン発生器9を交換するよう表示器14に表示する。
制御部13は、イオン検出を実行するとき、イオン発生器9を所定時間オンし、続いて同時間だけオフする。このオンオフが予め設定されたイオン判定時間だけ繰り返される。この時間中、イオンセンサ10は、イオンを検出する。このときのイオンセンサ10からの出力電圧を図7に示す。イオン発生器9がオンのとき、イオンが発生するので、出力電圧は上昇して、一定電圧に飽和する。イオン発生器9がオフのとき、イオンは発生しないので、出力電圧はほぼ0Vとなる。
イオンセンサ10からの出力電圧に応じた入力値が制御部13に入力される。制御部13は、イオン判定時間中に検出された入力値の最大値と最小値との差を算出し、この差が閾値以上であるか否かを判断して、イオン発生の有無を判定する。制御部13は、最大値と最小値との差が閾値以上の場合、イオンの発生有と判定する。最大値と最小値との差が閾値未満の場合、イオンの発生無と判定する。なお、閾値は、0.5Vとされる。この値は、単位時間当たりの標準の放電回数のときのイオン濃度に対して、イオン濃度が半減するときの放電回数でイオン発生器をオンオフしたとき、イオンセンサ10からの出力電圧に基づいて設定される。
イオン発生状況の検知は、まず、運転開始時に吹出口8を閉じた状態で行われる。そして、運転中には、開放している吹出口8を閉じ、所定のタイミングで判定が行われる。制御部13は、イオンの発生無と所定回数判定すると、再度判定を行い、最終的にイオン発生エラーか否かの判定を行う。イオン発生エラーと判定されると、運転が停止される。
上記の実施の形態では、吹出口8を開閉するカバー11の一部(円弧部11b)によって捕集電極10aを覆う電極被覆部を構成したが、カバー11とは別に、専用の電極カバーを備えるようにしてもよい。
上記の実施の形態では、本発明に係る帯電粒子発生装置の例として空気中の水分と結合したイオンを発生させるイオン発生装置について説明したが、本発明において発生させる帯電粒子は、帯電微粒子水等も含むものとする。具体的には、静電霧化装置によってラジカル成分を含む帯電微粒子水が生成される。即ち、静電霧化装置に設けた放電電極をペルチェ素子により冷却することで放電電極の表面に結露水が生じ、放電電極にマイナスの高電圧を印加すると、結露水から帯電微粒子水が生成される。また、放電電極からは帯電微粒子水とともに空気中に放出されるマイナスイオンも発生する。
なお、今回開示した実施の形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、特許請求の範囲内での全ての変更及び特許請求の範囲と均等の範囲が含まれることが意図される。
3A 通風路
3B 通風路
4 送風機
8 吹出口
9A 正イオン発生部(帯電粒子発生器)
9B 負イオン発生部(帯電粒子発生器)
10 イオンセンサ(帯電粒子検出器)
10a 捕集電極
11 カバー
11a 回転軸
11b 円弧部(周板、電極被覆部)
11c 平面部(周板、吹出方向変更部)
11d 底板

Claims (10)

  1. 送風機によって送風された空気を吹出口に通風する通風路を備え、該通風路の通風方向上流側に帯電粒子発生器を配置し、通風方向下流側に前記帯電粒子発生器にて発生した帯電粒子を検出する帯電粒子検出器を配置した帯電粒子発生装置において、
    前記吹出口を開閉するカバーを備え、
    該カバーが前記吹出口を閉塞した状態で前記帯電粒子検出器が検出動作するようにしてあることを特徴とする帯電粒子発生装置。
  2. 前記帯電粒子検出器が検出動作する場合に、前記送風機が送風動作するようにしてあることを特徴とする請求項1に記載の帯電粒子発生装置。
  3. 前記帯電粒子検出器は前記帯電粒子を捕集する捕集電極を備え、
    前記カバーは、前記吹出口を開放した状態では前記捕集電極を覆い、前記吹出口を閉塞した状態では前記捕集電極を露出させる電極被覆部を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の帯電粒子発生装置。
  4. 前記帯電粒子検出器は前記帯電粒子を捕集する捕集電極を備え、
    前記捕集電極を覆うことが可能な電極カバーを設け、
    該電極カバーは、前記カバーが前記吹出口を開放した状態で前記捕集電極を覆い、前記カバーが前記吹出口を閉塞した状態で前記捕集電極を露出させるようにしてあることを特徴とする請求項1又は2に記載の帯電粒子発生装置。
  5. 前記カバーは、前記吹出口から吹き出す空気の吹出し方向を変更することが可能な吹出方向変更部を備えていることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の帯電粒子発生装置。
  6. 前記吹出方向変更部は、前記捕集電極が覆われた状態で前記空気の吹出し方向を変更するようにしてあることを特徴とする請求項5に記載の帯電粒子発生装置。
  7. 前記カバーは、周板の両端に底板を有する半筒体であり、筒の中心軸と平行な回転軸周りに回転して、前記周板及び底板が前記吹出口を塞ぐ閉塞位置と、該閉塞位置から外れて前記吹出口を開放する開放位置との間に移動可能であることを特徴とする請求項3から6の何れか1項に記載の帯電粒子発生装置。
  8. 前記周板は、断面が前記回転軸を中心とする円弧をなす円弧部を有し、
    前記捕集電極は前記円弧部の移動経路に沿って前記円弧部の外面に対向するように配置してあることを特徴とする請求項7に記載の帯電粒子発生装置。
  9. 前記周板は、周方向における一端側に平面部を有し、
    前記吹出方向変更部は、前記平面部により形成してあることを特徴とする請求項7又は8に記載の帯電粒子発生装置。
  10. 運転開始時に前記帯電粒子検出器を検出動作させるようにしてあることを特徴とする請求項1から9の何れか1項に記載の帯電粒子発生装置。
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