JP5756626B2 - レーザ加工機 - Google Patents
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Description
また、位置情報検出センサにより、X軸ステージおよびY軸ステージの位置情報、即ち集光部の位置情報を直接検出できるので、例えばモータ等の駆動装置から出力される信号を変換して位置情報を間接的に検出するものと比較して、位置情報の検出速度を高速化できると共に誤差を小さくできる。
さらに、移動距離判断手段により移動距離が所定距離以上であると判断される場合に、照射手段は、所定のピーク出力およびパルス幅に予め設定されたレーザビームをレーザ発生装置により照射するので、従来のように相対移動速度を検出し、検出された相対移動速度に応じてデューティファクタやピーク出力を変化させてレーザビームを照射する場合と比較して、演算時間を短縮できる。その結果、レーザビームが被加工物に照射されるときのタイムラグをさらに小さくすることができ、簡単な構成で微細加工精度を向上できる効果がある。
また、集光部はリニアモータにより移動されるので、集光部を高速で移動させることができると共に、集光部の位置精度を確保することができる効果がある。
<その他>
<手段>
技術的思想1のレーザ加工機は、パルスレーザを発生するレーザ発生装置と、そのレーザ発生装置により発生されるパルスレーザが照射される被加工物を保持する保持装置と、その保持装置に保持される被加工物の加工線上にパルスレーザのレーザビームを集光する集光部を有する加工ヘッドと、を備えるレーザ加工機において、前記集光部により被加工物に照射されるレーザビームのスポットを前記被加工物の加工線上に位置させつつ、前記集光部におけるレーザビームの光路または前記保持装置の少なくとも一方を前記加工ヘッドの光軸と直交する平面内で移動させる移動装置と、その移動装置による前記集光部におけるレーザビームの光路または前記保持装置の少なくとも一方の移動距離を取得する移動距離取得手段と、その移動距離取得手段により取得される移動距離が所定距離以上であるかを判断する移動距離判断手段と、その移動距離判断手段により前記移動距離が所定距離以上であると判断される場合に、前記レーザ発生装置により前記被加工物の加工線上に前記レーザビームを照射する照射手段とを備えていることを特徴とする。
技術的思想2のレーザ加工機は、技術的思想1記載のレーザ加工機において、前記移動距離判断手段により移動距離と比較される所定距離は、前記集光部により被加工物に集光されるレーザビームのスポット径より小さな値に設定されていることを特徴とする。
技術的思想3のレーザ加工機は、技術的思想1又は2に記載のレーザ加工機において、前記移動装置は、前記加工ヘッドの光軸と直交するX軸方向およびY軸方向に前記集光部を移動可能に構成されるX軸ステージ及びY軸ステージを備えて構成され、それらX軸ステージ及びY軸ステージにそれぞれ配設され前記X軸ステージ及びY軸ステージのX軸およびY軸における位置情報を直接検出する位置情報検出センサを備え、前記移動距離取得手段は、前記位置情報検出センサにより検出される位置情報に基づいて前記集光部の移動距離を取得し、前記照射手段は、所定のピーク出力およびパルス幅に予め設定されたレーザビームを前記レーザ発生装置により照射することを特徴とする。
技術的思想4のレーザ加工機は、技術的思想1から3のいずれかに記載のレーザ加工機において、前記移動距離取得手段は、前記移動装置が制御される状態にあるときに定期的に実行されるタイマ割込処理の実行中に、前記移動距離を取得することを特徴とする。
<効果>
技術的思想1記載のレーザ加工機によれば、保持装置により被加工物が保持され、保持された被加工物に、集光部によりパルスレーザのレーザビームが照射される。集光部におけるレーザビームの光路または保持装置の少なくとも一方が移動装置により加工ヘッドの光軸と直交する平面内で移動され、移動装置により移動された集光部におけるレーザビームの光路または保持装置の少なくとも一方の移動距離が移動距離取得手段により取得される。取得された移動距離が移動距離判断手段により所定距離以上であるか判断され、判断の結果、取得された移動距離が所定距離以上である場合に、照射手段により被加工物の加工線上にレーザビームが照射される。
集光部におけるレーザビームの光路または保持装置の移動距離を取得し、取得された移動距離が所定距離以上であるかを判断し、移動距離が所定距離以上であると判断される場合にレーザビームを照射する処理は、従来のようなレーザビームの被加工物に対する相対移動速度を検出しレーザビームの出力を制御して被加工物に照射する処理に比べて簡易であり、処理時間を短縮できる。これにより、レーザビームが被加工物に照射されるときのタイムラグを小さくできる。その結果、レーザビームが実際に被加工物に照射される位置と予め設定された照射位置との間のずれを小さくすることができ、被加工物への入熱が過多となることを防ぎ、被加工物の加工品質や加工精度を向上できる効果がある。
技術的思想2記載のレーザ加工機によれば、移動距離判断手段により移動距離と比較される所定距離は、集光部により被加工物に集光されるレーザビームのスポット径(レーザビームが被加工物に照射されることによりつくられるスポットの直径)より小さな値に設定されている。これにより、移動装置によりレーザビームの光路または保持装置を移動させることで、被加工物に照射されるレーザビームを被加工物の加工線上で連ねることができる。その結果、技術的思想1の効果に加え、加工線に沿って連続してレーザによる切断溝を形成できると共に、パルスレーザによって入熱を抑えることにより熱影響部を小さくすることができ、加工品質を向上できる効果がある。
技術的思想3記載のレーザ加工機によれば、移動装置は、加工ヘッドの光軸と直交するX軸方向およびY軸方向に集光部を移動可能に構成されるX軸ステージ及びY軸ステージを備えて構成され、レーザ加工機は、それらX軸ステージ及びY軸ステージにそれぞれ配設されX軸ステージ及びY軸ステージのX軸およびY軸における位置情報を直接検出する位置情報検出センサを備えている。位置情報検出センサにより、X軸ステージおよびY軸ステージの位置情報、即ち集光部の位置情報を直接検出できる。従って、例えばモータ等の駆動装置から出力される信号を変換して位置情報を間接的に検出するものと比較して、位置情報の検出速度を高速化できると共に誤差を小さくできる。
さらに、移動距離判断手段により移動距離が所定距離以上であると判断される場合に、照射手段は、所定のピーク出力およびパルス幅に予め設定されたレーザビームをレーザ発生装置により照射するので、従来のように相対移動速度を検出し、検出された相対移動速度に応じてデューティファクタやピーク出力を変化させてレーザビームを照射する場合と比較して、演算時間を短縮できる。その結果、技術的思想1又は2の効果に加え、レーザビームが被加工物に照射されるときのタイムラグをさらに小さくすることができ、簡単な構成で微細加工精度を向上できる効果がある。
技術的思想4記載のレーザ加工機によれば、移動装置が制御される状態にあるときに定期的に実行されるタイマ割込処理の実行中に、移動距離取得手段により移動距離が取得される。タイマ割込処理は優先的に処理されるので、高速の信号を扱うことができる。これにより、技術的思想1から3のいずれかに記載の効果に加え、移動距離の演算時間を短くでき、レーザビームを被加工物に照射するまでの時間を短縮できる効果がある。
11 レーザ発振器(レーザ発生装置の一部)
12 伝送部(レーザ発生装置の一部)
20 加工ヘッド
21 集光部
22 X軸ステージ
23 Y軸ステージ
24 光路移動装置(移動装置)
24a X軸リニアモータ
24b Y軸リニアモータ
25a X軸エンコーダ(位置情報検出センサ)
25b Y軸エンコーダ(位置情報検出センサ)
30 保持装置
31 XYステージ移動装置(移動装置)
B レーザビーム
d スポット径
P スポット
S 加工線
W 被加工物
Claims (3)
- パルスレーザを発生するレーザ発生装置と、そのレーザ発生装置により発生されるパルスレーザが照射されるシート状または板状の被加工物の両側を保持する保持装置と、その保持装置に保持される被加工物の加工線上にパルスレーザのレーザビームを集光する集光部を有する加工ヘッドと、を備えるレーザ加工機において、
前記加工ヘッドの光軸と直交するX軸方向およびY軸方向にそれぞれ移動させることでX軸方向およびY軸方向に前記集光部を移動可能に構成されるX軸ステージ及びY軸ステージと、それらX軸ステージ及びY軸ステージをX軸方向およびY軸方向にそれぞれ移動させるX軸リニアモータ及びY軸リニアモータとを有し、前記集光部により被加工物に照射されるレーザビームのスポットを前記被加工物の加工線上に位置させつつ、前記集光部におけるレーザビームの光路を前記加工ヘッドの光軸と直交する平面内で移動させる移動装置と、
前記X軸ステージ及びY軸ステージにそれぞれ配設され、前記X軸ステージ及びY軸ステージのX軸およびY軸における位置情報を直接検出する位置情報検出センサと、
その位置情報検出センサにより検出される位置情報に基づいて前記集光部の移動距離を取得する移動距離取得手段と、
その移動距離取得手段により取得される移動距離が所定距離以上であるかを判断する移動距離判断手段と、
その移動距離判断手段により前記移動距離が所定距離以上であると判断される場合に、前記レーザ発生装置により前記被加工物の加工線上に、所定のピーク出力およびパルス幅に予め設定された前記レーザビームを照射する照射手段とを備えていることを特徴とするレーザ加工機。 - 前記移動距離判断手段により移動距離と比較される所定距離は、前記集光部により被加工物に集光されるレーザビームのスポット径より小さな値に設定されていることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工機。
- 前記移動距離取得手段は、前記移動装置が制御される状態にあるときに定期的に実行されるタイマ割込処理の実行中に、前記移動距離を取得することを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ加工機。
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