JP5746603B2 - 基板作業装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板作業装置に関し、特に、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドを付け替え可能な基板作業装置に関する。

従来、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドを付け替え可能な基板作業装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、接着剤の塗布作業を行う塗布ヘッド（第１作業ヘッド）と、部品の実装作業を行う実装ヘッド（第２作業ヘッド）と、検査作業を行う検査ヘッドとを付け替え可能な対基板作業機（基板作業装置）が開示されている。この対基板作業機の各ヘッドには、それぞれ、対応する作業専用の駆動源が設けられており、各ヘッドは、専用の駆動源ごと一体的に付け替えられるように構成されている。

特開２０１０−４０５９号公報

しかしながら、上記特許文献１の対基板作業機（基板作業装置）では、各ヘッドを駆動源ごと一体的に付け替える必要があるので、ヘッドの付け替え作業が大掛かりとなり、その結果、ヘッドの付け替え作業時の負担が大きいという問題点がある。また、上記特許文献１の対基板作業機では、各ヘッドが駆動源ごと一体的に付け替えられるので、ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要があるという問題点もある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がないとともに、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドの付け替え作業時の負担を軽減することが可能な基板作業装置を提供することである。

上記目的を達成するために、この発明の一の局面における基板作業装置は、各々が基板に対して液状材の塗布作業を行うディスペンサ用の第１作業ヘッド、および、基板に対して第１作業ヘッドとは異なる作業を行う第２作業ヘッドを選択的に付け替え可能な複数のヘッド装着部と、第１作業ヘッドおよび第２作業ヘッドに共通に用いられ、ヘッド装着部に第１作業ヘッドが装着された場合には液状材が塗布されるように第１作業ヘッドを駆動し、ヘッド装着部に第２作業ヘッドが装着された場合には第２作業ヘッドを駆動する駆動源と、空気圧を供給する空気圧供給部とを備え、複数のヘッド装着部には、第１作業ヘッドを含む第１作業ヘッドおよび第２作業ヘッドのうちのいずれかが複数装着され、駆動源は、複数のヘッド装着部に共通に用いられ、第１作業ヘッドを含む第１作業ヘッドおよび第２作業ヘッドのうちのいずれかの複数の作業ヘッドを並行して駆動するように構成されており、第１作業ヘッドは、空気圧供給部から供給される空気圧により駆動されるとともに液状材が塗布されないように駆動源の駆動力を遮断するかまたは液状材が塗布されるように駆動源の駆動力を伝達するように構成されたクラッチ機構を有し、複数のヘッド装着部に複数の第１作業ヘッドが装着された場合において、所定の第１作業ヘッドが塗布作業を行う場合には、所定の第１作業ヘッド以外の第１作業ヘッドは、クラッチ機構により駆動源の駆動力が遮断されるとともに、ヘッド装着部に第１作業ヘッドに加えて第２作業ヘッドが装着された状態で第２作業ヘッドが基板に対して作業を行う場合には、ヘッド装着部に装着された第１作業ヘッドは、クラッチ機構により駆動源の駆動力が遮断されるように構成されており、ヘッド装着部に第１作業ヘッドに加えて第２作業ヘッドが装着された状態において、第２作業ヘッドは、空気圧供給部から供給される空気圧により基板に対して第１作業ヘッドとは異なる作業を行うように構成されている。

この発明の一の局面による基板作業装置では、上記のように、ヘッド装着部に第１作業ヘッドが装着された場合には液状材が塗布されるように第１作業ヘッドを駆動し、ヘッド装着部に第２作業ヘッドが装着された場合には第２作業ヘッドを駆動するように構成して駆動源を第１作業ヘッドおよび第２作業ヘッドに共通に用いることによって、ヘッド装着部に第１作業ヘッドが装着された場合と第２作業ヘッドが装着された場合とで、作業ヘッドを駆動する駆動源を取り替える必要がないので、作業ヘッドを付け替える際には、共通に用いられる駆動源以外の部分だけを付け替えることができる。これにより、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドの付け替え作業時の負担を軽減することができる。また、駆動源を第１作業ヘッドおよび第２作業ヘッドの両方に共通に用いることができるので、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がない。したがって、この基板作業装置では、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がないとともに、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドの付け替え作業時の負担を軽減することができる。また、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がないので、駆動源の数を削減することができる。その結果、駆動源を基板作業装置に設けたとしても、基板作業装置の構成が複雑化するのを抑制することができる。また、ディスペンサ用以外の第２作業ヘッドからディスペンサ用の第１作業ヘッドに付け替えられた場合でも、第２作業ヘッドを駆動するための駆動源を液状材を塗布するための駆動源として流用することができるので、液状材の塗布作業専用の駆動源を別個に設ける必要がない。

また、上記一の局面による基板作業装置では、ヘッド装着部は複数設けられており、駆動源は、複数のヘッド装着部に共通に用いられ、複数のヘッド装着部に複数の第２作業ヘッドが装着された場合には、複数の第２作業ヘッドを並行して駆動するように構成されている。このように構成すれば、１つの駆動源により、複数の第２作業ヘッドを駆動することができるので、複数の第２作業ヘッドのそれぞれに別個の駆動源を設ける必要がない。また、第１作業ヘッドは、液状材が塗布されないように駆動源の駆動力を遮断または液状材が塗布されるように駆動源の駆動力を伝達するクラッチ機構を有しており、複数のヘッド装着部に第１作業ヘッドが装着された場合において、所定の第１作業ヘッドが塗布作業を行う場合には、所定の第１作業ヘッド以外の第１作業ヘッドは、クラッチ機構により駆動源の駆動力が遮断されるとともに、ヘッド装着部に装着された第２作業ヘッドが基板に対して作業を行う場合には、ヘッド装着部に装着された第１作業ヘッドは、クラッチ機構により駆動源の駆動力が遮断されるように構成されている。このように構成すれば、駆動源を複数のヘッド装着部に共通に用いる構成でも、駆動対象ではない（非駆動対象の）第１作業ヘッドについては、クラッチ機構により駆動源の駆動力が遮断されるので、駆動対象ではない第１作業ヘッドにより塗布（吐出）動作が行われてしまうのを防止することができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、複数のヘッド装着部のいずれかに第２作業ヘッドとして基板に部品を実装する実装用の作業ヘッドが装着された場合において、空気圧供給部から供給される空気圧により実装用の作業ヘッドによる部品の吸着および装着動作が行われるように構成されており、駆動源は、実装用の作業ヘッドにより保持された部品の姿勢を変えるように実装用の作業ヘッドを駆動するように構成されている。このように構成すれば、ヘッド装着部に第１作業ヘッドが装着された場合と第２作業ヘッドが装着された場合とで、それぞれ、液状材の塗布作業と保持部品の姿勢の変更作業とを共通の駆動源を用いて行うことができるので、各作業専用の駆動源を別個に設けることなく、第１作業ヘッドによる液状材の塗布作業および第２作業ヘッドによる保持部品の姿勢の変更作業を行うことができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、第１作業ヘッドは、空気圧供給部から供給される空気圧によりクラッチ機構を駆動源の駆動力を遮断する方向に駆動する際に空気圧供給部によるクラッチ機構の駆動動作を補助する方向にクラッチ機構を付勢する付勢部材を含んでいる。このように構成すれば、部品の吸着および装着動作を行う空気圧供給部をクラッチ機構の駆動に流用する場合に、空気圧供給部により供給される空気圧がクラッチ機構を駆動するための空気圧としては小さい場合でも、付勢部材により、空気圧供給部によるクラッチ機構の駆動動作が補助されるので、クラッチ機構を確実に駆動させることができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、第１作業ヘッドは、アームと、アームを介して駆動源の駆動力が伝達されるピストンとを含み、駆動源の駆動力がピストンに伝達されることによって、ピストンにより液状材が第１作業ヘッドから押し出されるように構成されており、クラッチ機構は、アームが屈曲されることによって駆動源の駆動力がピストンに伝達されるのを遮断するように構成されている。このように構成すれば、クラッチ機構により、アームを屈曲させるだけで容易に駆動源の駆動力を遮断することができるので、容易に、駆動対象ではない（非駆動対象の）第１作業ヘッドにより塗布（吐出）動作が行われてしまうのを防止することができる。

上記第１作業ヘッドがアームとピストンとを含む構成において、好ましくは、第１作業ヘッドは、アームとピストンとの間に配置され、駆動源の駆動力をアームからピストンに伝達する駆動力伝達部をさらに含み、クラッチ機構は、アームが屈曲されることによって駆動力伝達部がピストンから離間する方向に移動されてピストンに駆動源の駆動力が伝達されるのを遮断するように構成されている。このように構成すれば、クラッチ機構により、駆動力伝達部をピストンから離間する方向に移動して駆動力伝達部とピストンとが互いに接触しないように離間させることができるので、駆動力伝達部とピストンとの間で駆動力の伝達が行われるのを防止することができる。その結果、駆動源の駆動力を確実に遮断することができる。

本発明によれば、上記のように、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がないとともに、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドの付け替え作業時の負担を軽減することができる。

本発明の一実施形態による基板作業装置の全体構成を示した概略斜視図である。 本発明の一実施形態による基板作業装置の全体構成を示したブロック図である。 本発明の一実施形態による基板作業装置のヘッドユニットを示した斜視図である。 本発明の一実施形態による基板作業装置のヘッド装着部の構成を説明するための断面図である。 本発明の一実施形態による基板作業装置に装着されたディスペンスヘッドにおいてＲ軸モータの駆動力が伝達される状態を示した断面図である。 本発明の一実施形態による基板作業装置に装着されたディスペンスヘッドにおいてＲ軸モータの駆動力が遮断される状態を示した断面図である。 本発明の一実施形態による基板作業装置に装着されるマウントヘッドの構成を説明するための断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

図１〜図７を参照して、本発明の一実施形態による基板作業装置１００の構成について説明する。

本実施形態による基板作業装置１００は、基板に対して半田や接着剤などの液状材の塗布（吐出）作業を行うディスペンサ装置として機能するとともに、基板に部品を実装する部品実装装置としても機能するように構成されている。また、基板作業装置１００は、ディスペンサ用のディスペンスヘッド１０（図５および図６参照）、および、部品実装用のマウントヘッド２０（図３および図７参照）を選択的に付け替え可能なように構成されている。なお、ディスペンスヘッド１０は、本発明の「第１作業ヘッド」の一例であり、マウントヘッド２０は、本発明の「第２作業ヘッド」の一例である。

具体的には、基板作業装置１００は、図１に示すように、所定の作業位置に基板を搬送する搬送部１（図２参照）と、部品を供給する部品供給部２と、搬送部１により搬送された基板に対して所定の作業を行うヘッドユニット３と、ヘッドユニット３の作業領域を覆う外装体４とを備えている。また、基板作業装置１００は、図２に示すように、制御部５により各部が制御されるように構成されている。

搬送部１は、一対のコンベアを含み、基板をＸ方向に搬送するように構成されている。また、搬送部１は、図示しない位置決め機構により基板を所定の作業位置に位置決めして固定する機能を有している。

部品供給部２は、図１に示すように、２つ設けられており、外装体４からその一部が露出するように配置されている。また、部品供給部２は、Ｘ方向に並列して配置された複数のテープフィーダ２ａを含み、テープフィーダ２ａを順次巻き取ることによって所定の部品供給位置に部品を供給するように構成されている。

ヘッドユニット３は、Ｘ方向に延びるヘッドユニット支持部３ａにより支持されている。また、ヘッドユニット３は、サーボモータからなるＸ軸モータ６の駆動力により、ヘッドユニット支持部３ａに取り付けられた一対のＸ軸レール６ａに沿ってＸ方向に直線移動可能に構成されている。一対のＸ軸レール６ａは、Ｘ方向に延びるように形成されており、互いに平行に配置されている。また、ヘッドユニット３は、サーボモータからなるＹ軸モータ７（図２参照）の駆動力により、ヘッドユニット支持部３ａとともに一対のＹ軸レール７ａに沿ってＹ方向に直線移動可能に構成されている。一対のＹ軸レール７ａは、図示しない基台上に設けられている。また、一対のＹ軸レール７ａは、Ｙ方向に延びるように形成されており、互いに平行に配置されている。

次に、図２および図３を参照して、ヘッドユニット３の詳細な構成について説明する。

ヘッドユニット３には、図３に示すように、４つの作業ヘッド（ディスペンスヘッド１０およびマウントヘッド２０）が装着される４つのヘッド装着部３１が設けられている。また、ヘッドユニット３には、４つのヘッド装着部３１のそれぞれに対応する４つのＺ軸モータ３２が設けられている。各Ｚ軸モータ３２は、サーボモータからなり、対応するヘッド装着部３１を一対のＺ軸レール３２ａに沿って鉛直方向（Ｚ方向）に直線移動するように構成されている。また、４つのヘッド装着部３１は、互いに独立してＺ方向に移動可能なように構成されている。

また、ヘッドユニット３は、図２および図３に示すように、サーボモータからなる１つのＲ軸モータ３３を含んでいる。Ｒ軸モータ３３は、４つのヘッド装着部３１に共通に用いられるように構成されている。具体的には、ヘッドユニット３には、４つのヘッド装着部３１に装着された４つの作業ヘッドのそれぞれにＲ軸モータ３３の駆動力を伝達する４つのＲ軸シャフト３３１が設けられている。図３および図４に示すように、各Ｒ軸シャフト３３１の上端部には、プーリ３３１ａが取り付けられているとともに、Ｒ軸モータ３３の出力軸には、プーリ３３ａが取り付けられている。また、４つのＲ軸シャフト３３１の４つのプーリ３３１ａとＲ軸モータ３３のプーリ３３ａとには、１本の伝達ベルト３３ｂが巻回されている。これにより、１つのＲ軸モータ３３により、４つのＲ軸シャフト３３１を同時に並行して回動させることが可能である。なお、Ｒ軸モータ３３は、本発明の「駆動源」の一例であり、Ｒ軸シャフト３３１は、本発明の「駆動軸」の一例である。

また、Ｒ軸モータ３３は、ディスペンスヘッド１０から液状材が塗布（吐出）されるようにディスペンスヘッド１０を駆動するように構成されている。また、Ｒ軸モータ３３は、マウントヘッド２０により保持された部品の姿勢を変えるようにマウントヘッド２０を駆動するように構成されている。すなわち、Ｒ軸モータ３３は、ディスペンスヘッド１０およびマウントヘッド２０に共通に用いられる。

また、Ｒ軸シャフト３３１は、図４に示すように、プーリ３３１ａの近傍で２つのベアリング３３１ｂにより回動可能に支持されているとともに、下端部近傍で１つのベアリング３３１ｃにより回動可能に支持されている。また、Ｒ軸シャフト３３１の下端部には、互いに平行に配置された２つの平坦面３３１ｄが形成されているとともに、Ｒ軸シャフト３３１の下端部以外の部分は、円柱形状に形成されている。また、Ｒ軸シャフト３３１は、ディスペンスヘッド１０およびマウントヘッド２０に共通に用いられる。

また、ヘッドユニット３には、図２に示すように、４つのヘッド装着部３１のそれぞれに空気圧を供給する４つの空気圧供給部３４が設けられている。各空気圧供給部３４は、空気圧ホース３４１（図３および図４参照）を介して対応するヘッド装着部３１に空気圧を供給するように構成されている。また、４つの空気圧供給部３４は、制御部５からの指令に基づいて、互いに独立して負圧（真空圧）の供給と正圧の供給とを切り替えることが可能である。また、空気圧供給部３４は、マウントヘッド２０が装着された場合に、マウントヘッド２０による部品の吸着および装着動作を行う機能を有している。具体的には、空気圧供給部３４は、マウントヘッド２０が部品を吸着する際には負圧（真空圧）を供給して部品を吸い上げるとともに、マウントヘッド２０が部品を装着する際には正圧を供給して部品をマウントヘッド２０から離脱させる。また、空気圧供給部３４は、マウントヘッド２０による部品の吸着および装着動作に基づいて負圧および正圧のそれぞれの最大圧力が設定されている。

４つのヘッド装着部３１は、いずれも同様に構成されている。各ヘッド装着部３１の内部には、図４に示す円筒形状の装着部本体３１１が設けられている。装着部本体３１１は、上方からＲ軸シャフト３３１が挿入されるように構成されている。また、装着部本体３１１の下端部には、作業ヘッド（ディスペンスヘッド１０およびマウントヘッド２０）を装着するためのネジ溝３１１ａが形成されている。また、装着部本体３１１の側部には、空気圧流入口３１１ｂが設けられている。空気圧流入口３１１ｂには、空気圧供給部３４に接続された空気圧ホース３４１が接続されている。また、装着部本体３１１は、ディスペンサ用のディスペンスヘッド１０（図５および図６参照）および部品実装用のマウントヘッド２０（図７参照）を選択的に付け替え可能なように構成されている。また、本実施形態の基板作業装置１００では、４つの装着部本体３１１の全てにディスペンスヘッド１０を装着することも可能であるし、４つの装着部本体３１１の全てにマウントヘッド２０を装着することも可能である。また、４つの装着部本体３１１に、ディスペンスヘッド１０とマウントヘッド２０とを混在させることも可能である。

また、本実施形態の基板作業装置１００では、上記のように、Ｒ軸モータ３３を駆動することによって４つのＲ軸シャフト３３１の全てが並行して駆動されるので、４つのヘッド装着部３１のいずれかにディスペンスヘッド１０が装着されている場合には、駆動対象ではない（非駆動対象の）ディスペンスヘッド１０から液状材が塗布（吐出）されてしまうのを防止する必要がある。このため、制御部５は、４つのヘッド装着部３１に複数のディスペンスヘッド１０が装着されている場合において、装着された複数のディスペンスヘッド１０のうちの所定のディスペンスヘッド１０により塗布（吐出）作業を行う場合には、それ以外のディスペンスヘッド１０に対して後述するクラッチ機構１１０を作動させてＲ軸モータ３３の駆動力を遮断するように構成されている。また、制御部５は、４つのヘッド装着部３１にディスペンスヘッド１０およびマウントヘッド２０の両方が装着されている場合において、装着されたマウントヘッド２０により部品の実装作業を行う場合には、装着されたディスペンスヘッド１０の全てに対して後述するクラッチ機構１１０を作動させてＲ軸モータ３３の駆動力を遮断するように構成されている。これにより、駆動対象ではない（非駆動対象の）ディスペンスヘッド１０により塗布（吐出）作業が行われてしまうのを防止することが可能である。

なお、マウントヘッド２０については、駆動対象ではない（非駆動対象の）マウントヘッド２０が駆動された場合でも、単に保持部品の姿勢が変わるだけで実装作業に影響はないので、マウントヘッド２０にはクラッチ機構を設けていない。すなわち、４つのヘッド装着部３１に複数のマウントヘッド２０が装着されている場合には、装着された全てのマウントヘッド２０は並行して駆動される。また、装着されたマウントヘッド２０は、ディスペンスヘッド１０が駆動される際にも並行して駆動される。

次に、図５および図６を参照して、ヘッド装着部３１に装着されるディスペンスヘッド１０の構成について説明する。

ディスペンスヘッド１０は、ヘッド装着部３１の装着部本体３１１に装着可能に構成されている。具体的には、ディスペンスヘッド１０は、円筒形状の装着部本体３１１に対して下方から挿入された状態で、ロックナット１１により装着部本体３１１に固定されるように構成されている。ロックナット１１の装着部本体３１１に挿入される部分には、装着部本体３１１の下端部に形成されたネジ溝３１１ａに対応するネジ山１１ａが形成されている。これにより、ロックナット１１を装着部本体３１１の下端部に螺合させてディスペンスヘッド１０を装着部本体３１１に装着することが可能である。

また、ディスペンスヘッド１０は、上部軸１２と、上部軸１２の下方に配置された可動アーム１３と、可動アーム１３の下方に配置されたボールネジ１４とを含んでいる。上部軸１２および可動アーム１３は、円筒形状のヘッド外装１０ａの内部に配置されている。また、クラッチ機構１１０は、Ｒ軸モータ３３の駆動力の遮断とＲ軸モータ３３の駆動力の伝達とを切り替え可能に構成されており、可動アーム１３と、後述するアーム用ピストン１３３および爪部１３４とにより構成されている。

また、上部軸１２は、鉛直方向（Ｚ方向）に延びるように形成されている。また、上部軸１２は、２つのベアリング１２１によりヘッド外装１０ａに対して鉛直軸回りに回動可能に支持されている。また、上部軸１２の外側面とヘッド外装１０ａの内側面との間には、Ｙ字形状の断面を有するＹリング１２２が設けられている。これにより、上部軸１２とヘッド外装１０ａとの間の気密性を良好に保つことが可能である。また、Ｙリング１２２は、Ｏリングに比べて小さい摩擦係数を有している。これにより、Ｙリング１２２は、上部軸１２が回動する場合に、上部軸１２を円滑に回動させながら良好な気密性を確保することが可能である。また、上部軸１２の上端部には、ボルト１２３ａにより一対のＳ字形状の板バネ１２３が固定的に取り付けられている。一対の板バネ１２３は、それぞれ、Ｒ軸シャフト３３１の２つの平坦面３３１ｄに当接してＲ軸シャフト３３１を挟持するように構成されている。これにより、上部軸１２は、Ｒ軸シャフト３３１が鉛直軸回りに回動することによってＲ軸シャフト３３１と一体的に鉛直軸回りに回動される。

クラッチ機構１１０を構成する可動アーム１３は、図５および図６に示すように、上部アーム１３１と下部アーム１３２とを有している。上部アーム１３１は、ピン１３１ａにより上部軸１２の下端部に取り付けられている。また、上部アーム１３１は、水平方向に挿入されたピン１３１ａを回動中心として上部軸１２に対して回動可能に構成されている。また、上部アーム１３１の下部には、上部アーム１３１が鉛直方向に延びるように配置されている状態（図５に示す状態）で水平方向に突出する突出部１３１ｂが形成されている。突出部１３１ｂは、先端部が略円弧形状に形成されている。下部アーム１３２は、ピン１３２ａにより上部アーム１３１の下端部に取り付けられている。また、下部アーム１３２は、水平方向に挿入されたピン１３２ａを回動中心として上部アーム１３１に対して回動可能に構成されている。このように、可動アーム１３は、屈曲可能に構成されている。また、可動アーム１３は、上部軸１２が鉛直軸回りに回動することによって上部軸１２と一体的に鉛直軸回りに回動されるように構成されている。なお、可動アーム１３は、本発明の「アーム」の一例である。

また、上部軸１２と上部アーム１３１との接続部分の周囲には、上部軸１２と上部アーム１３１との接続部分を取り囲むように、クラッチ機構１１０を構成するアーム用ピストン１３３が設けられている。アーム用ピストン１３３とヘッド外装１０ａとの間には、Ｙリング１３３ａが設けられている。また、アーム用ピストン１３３と上部軸１２との間には、Ｙリング１３３ｂが設けられている。また、アーム用ピストン１３３は、ヘッド外装１０ａおよび上部軸１２に対して鉛直方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。具体的には、図５に示すように、アーム用ピストン１３３の上側に位置する空気室１３３ｃに空気圧ホース３４１を介して空気圧供給部３４から空気が供給された場合（正圧が供給された場合）には、アーム用ピストン１３３は、空気圧（正圧）により下方に押し下げられる。これにより、クラッチ機構１１０は、Ｒ軸モータ３３の駆動力を伝達する方向に駆動される。一方、図６に示すように、空気圧供給部３４により空気圧ホース３４１を介して空気室１３３ｃ（図５参照）の空気が吸引された場合（負圧が供給された場合）には、アーム用ピストン１３３は、空気圧（負圧）により上方に引き上げられる。これにより、クラッチ機構１１０は、Ｒ軸モータ３３の駆動力を遮断する方向に駆動される。

また、アーム用ピストン１３３の下端部には、上部アーム１３１の突出部１３１ｂに係合可能な凹形状を有する爪部１３４がアーム用ピストン１３３に一体的に設けられている。この爪部１３４もクラッチ機構１１０の一部を構成している。また、爪部１３４の突出部１３１ｂに当接する部分は、略円弧形状の突出部１３１ｂの先端部に対応するように略円弧形状に形成されている。爪部１３４は、図５に示すように、アーム用ピストン１３３が下方に押し下げられる（移動される）ことによって上部アーム１３１の突出部１３１ｂに係合するように構成されている。この際、上部アーム１３１は、アーム用ピストン１３３の内側面１３３ｄにより回動するのが規制されて鉛直方向に延びるように配置される。これにより、可動アーム１３は、伸長した状態となる。また、爪部１３４は、アーム用ピストン１３３が上方に引き上げられる（移動される）際に上部アーム１３１の突出部１３１ｂを押圧してピン１３１ａを回動中心にして上部アーム１３１を回動させるように構成されている。この際、上部アーム１３１は、図６に示すように、アーム用ピストン１３３の内側面１３３ｄによる規制が解除されてピン１３１ａを回動中心として回動可能な状態になる。なお、クラッチ機構１１０によるクラッチ動作の詳細については後述する。

ボールネジ１４は、鉛直方向（Ｚ方向）に延びるように形成されている。また、ボールネジ１４は、ホールネジ保持具１４１を介して可動アーム１３の下部アーム１３２に取り付けられている。ホールネジ保持具１４１は、水平方向に挿入されたピン１４１ａにより下部アーム１３２の下端部に取り付けられている。また、ボールネジ１４は、可動アーム１３が鉛直軸回りに回動することによって可動アーム１３と一体的に鉛直軸回りに回動されるように構成されている。また、ボールネジ１４は、可動アーム１３が屈曲することによって上方に引き上げられる（移動される）ように構成されている。

また、ボールネジ１４には、ナット１５が螺合されている。ナット１５は、ボールネジ１４が鉛直軸回りに回動することによって鉛直方向に移動されるように構成されている。また、ナット１５は、可動アーム１３の屈曲動作によってボールネジ１４が鉛直方向に移動する際に、ボールネジ１４とともに鉛直方向に移動するように構成されている。

また、ナット１５の下方には、押圧プレート１６が設けられている。押圧プレート１６は、ネジ１５１によりナット１５に固定的に取り付けられており、ナット１５と一体的に移動するように構成されている。これにより、押圧プレート１６は、可動アーム１３が屈曲することによってボールネジ１４が上方に引き上げられる際に、ナット１５とともに上方に引き上げられる。また、押圧プレート１６は、下方に配置された圧縮バネ１６１により上方に向かって押圧されている。圧縮バネ１６１は、図６に示すように、空気圧供給部３４による吸引動作に起因して可動アーム１３が屈曲可能となった場合に、押圧プレート１６を上方に引き上げる（移動させる）のを補助する機能を有している。すなわち、圧縮バネ１６１は、空気圧供給部３４がクラッチ機構１１０をＲ軸モータ３３の駆動力が遮断される方向に駆動する際に空気圧供給部３４によるクラッチ機構１１０の駆動動作を補助する方向にクラッチ機構１１０を付勢するように構成されている。これにより、空気圧供給部３４による吸引力（負圧）が押圧プレート１６を引き上げるのに十分な大きさではない場合でも、圧縮バネ１６１の押圧力（付勢力）により押圧プレート１６を確実に引き上げる（移動させる）ことが可能である。なお、押圧プレート１６は、本発明の「駆動力伝達部」の一例であり、圧縮バネ１６１は、本発明の「付勢部材」の一例である。

また、図５および図６に示すように、押圧プレート１６の下方には、ノズルホルダ１７が設けられている。ノズルホルダ１７には、吐出ピストン１８が挿入されている。吐出ピストン１８は、ノズルホルダ１７から上方に突出するように配置されている。また、吐出ピストン１８は、圧縮バネ１８１により上方に向かって押圧（付勢）されている。また、吐出ピストン１８は、細長形状に形成された細長部１８ａを有している。細長部１８ａは、吐出ピストン１８の鉛直方向の中央部から下端部にかけて形成されている。また、ノズルホルダ１７の内部には、アダプタ１８２が設けられている。アダプタ１８２は、鉛直方向に延びる貫通孔１８２ａを有している。貫通孔１８２ａには、吐出ピストン１８の細長部１８ａが上方から挿入されている。また、アダプタ１８２の貫通孔１８２ａは、液状材用ホース３１を介して半田や接着剤などの液状材を収容するシリンジ３０に接続されている。すなわち、液状材は、シリンジ３０から液状材用ホース３１を介して貫通孔１８２ａ内に供給される。また、アダプタ１８２とノズルホルダ１７との間には、Ｏリング１８２ｂが設けられている。なお、吐出ピストン１８は、本発明の「ピストン」の一例である。

また、アダプタ１８２の貫通孔１８２ａの下方には、球形状の液垂れ防止弁１８３が設けられている。液垂れ防止弁１８３は、圧縮バネ１８４により下方から上方に向かって押圧（付勢）されている。これにより、液垂れ防止弁１８３は、貫通孔１８２ａの下端部に当接して貫通孔１８２ａの下端部を圧縮バネ１８４による付勢力で封止することが可能である。また、液垂れ防止弁１８３および圧縮バネ１８４は、筒状部材１８５の内部に設けられている。筒状部材１８５とノズルホルダ１７との間には、Ｏリング１８５ａが設けられている。また、筒状部材１８５の下方には、ノズル１９が設けられている。ノズル１９は、アダプタ１９１によりノズルホルダ１７に固定的に取り付けられている。また、ノズル１９とアダプタ１９１との間には、Ｏリング１９１ａが設けられている。

また、ディスペンスヘッド１０の側部には、半田や接着剤などの液状材の粘度を適切な状態にするためのヒータ１０ｂが取り付けられている。ヒータ１０ｂは、ディスペンスヘッド１０に接続された温調ケーブル１０ｃを介して制御部５により制御されるように構成されている。

次に、図５および図６を参照して、ディスペンスヘッド１０による塗布（吐出）動作について説明する。

まず、制御部５により空気圧供給部３４を制御して、図５に示すように、空気圧ホース３４１を介してディスペンスヘッド１０に空気を供給（正圧を供給）する。これにより、空気室１３３ｃに空気が充填されてアーム用ピストン１３３が空気圧（正圧）により下方に押し下げられる。この際、上部アーム１３１は、アーム用ピストン１３３の内側面１３３ｄにより回動するのが規制されて鉛直方向に延びるように配置される。また、上部アーム１３１の突出部１３１ｂが爪部１３４に係合される。このようにして可動アーム１３が伸長される。

可動アーム１３が伸長されることによって、図６に示す可動アーム１３が屈曲した状態に対してボールネジ１４、ナット１５および押圧プレート１６が一体的に下方に押し下げられる。この際、押圧プレート１６は、圧縮バネ１６１による上方への付勢力に抗して押し下げられる。この状態で、制御部５によりＲ軸モータ３３を駆動してＲ軸シャフト３３１を駆動（回動）させる。これにより、Ｒ軸シャフト３３１、上部軸１２および可動アーム１３を介してＲ軸モータ３３の駆動力がボールネジ１４に伝達され、ボールネジ１４が鉛直軸回りに回動される。この際、ナット１５とともに押圧プレート１６が下方に移動されるので、押圧プレート１６の下面により吐出ピストン１８が下方に押圧される。吐出ピストン１８は、圧縮バネ１８１の付勢力に抗して下方に移動される。吐出ピストン１８が下方に移動すると、吐出ピストン１８の細長部１８ａによりアダプタ１８２の貫通孔１８２ａの容積が縮小されて内部の液状材の液圧が高められる。そして、液圧が高められたことにより、液垂れ防止弁１８３が圧縮バネ１８４の付勢力に抗して下方に押し下げられる。これにより、液状材は、貫通孔１８２ａから押し出されて筒状部材１８５を介してノズル１９の先端から塗布（吐出）される。

その後、制御部５によりＲ軸モータ３３を吐出時とは反対方向に駆動してＲ軸シャフト３３１を駆動（回動）させる。これに伴って、ナット１５とともに押圧プレート１６が上方に移動されるので、その分、圧縮バネ１８１の付勢力により吐出ピストン１８が上方に押し戻される。これにより、アダプタ１８２の貫通孔１８２ａの容積が拡大されて内部の液状材の液圧が低下する。そして、圧縮バネ１８４の付勢力により液垂れ防止弁１８３が上方に移動されて貫通孔１８２ａの下端部が封止される。この状態で、Ｒ軸モータ３３をさらに駆動し続けることによって、吐出ピストン１８の上方への移動により貫通孔１８２ａの容積がさらに拡大されるので、貫通孔１８２ａ内に負圧が生じる。これにより、シリンジ３０の液状材が液状材用ホース３１を介して貫通孔１８２ａ内に補充（吸引）される。このようにして１回（１ショット）の塗布（吐出）動作が行われる。なお、本実施形態の基板作業装置１００では、上記のように、吐出ピストン１８の上下移動を繰り返すことによって、半田を塗布する場合には、略４ショット／秒、接着剤を塗布する場合には、略１０ショット／秒の速さで塗布（吐出）動作を連続して行うことが可能である。

次に、図５および図６を参照して、ディスペンスヘッド１０のクラッチ動作について説明する。

まず、制御部５により空気圧供給部３４を制御して、図６に示すように、空気圧ホース３４１を介してディスペンスヘッド１０の空気室１３３ｃ（図５参照）から空気を吸引する（負圧を供給する）。これにより、アーム用ピストン１３３が負圧により上方に引き上げられる。この際、上部アーム１３１は、アーム用ピストン１３３の内側面１３３ｄによる規制が解除されてピン１３１ａを回動中心として回動可能な状態になる。また、上部アーム１３１の突出部１３１ｂは、上方に移動する爪部１３４により押圧される。これにより、上部アーム１３１は、ピン１３１ａを回動中心として回動される。また、これに伴って、押圧プレート１６は、ボールネジ１４およびナット１５を介して上方に引き上げられる（移動される）。また、押圧プレート１６は、圧縮バネ１６１の付勢力によりさらに上方に持ち上げられる（移動される）。すなわち、押圧プレート１６は、空気圧供給部３４による空気圧と圧縮バネ１６１の付勢力とにより、吐出ピストン１８から離間する方向（上方）に移動され、押圧プレート１６と吐出ピストン１８とは離間する。これにより、Ｒ軸モータ３３の駆動力が遮断されて塗布（吐出）動作が行われるのを防止することが可能となる。すなわち、この状態では、Ｒ軸モータ３３の駆動によりボールネジ１４が回動してナット１５が下方に移動したとしても、押圧プレート１６は、吐出ピストン１８から所定の距離を隔てて離間されているので、吐出ピストン１８に当接する位置まで到達しない。このため、吐出ピストン１８が下方に移動されないので、液状材の塗布（吐出）動作は行われない。上記のように、本実施形態の基板作業装置１００では、空気圧供給部３４から供給される空気圧により、クラッチ機構１１０を駆動してＲ軸モータ３３の駆動力を遮断する。

次に、図７を参照して、ヘッド装着部３１に装着されるマウントヘッド２０の構成について説明する。

マウントヘッド２０は、ヘッド装着部３１の装着部本体３１１に装着可能に構成されている。具体的には、マウントヘッド２０は、上記ディスペンスヘッド１０の場合と同様に、円筒形状の装着部本体３１１に対して下方から挿入された状態で、ロックナット２１により装着部本体３１１に固定されるように構成されている。ロックナット２１の装着部本体３１１に挿入される部分には、装着部本体３１１の下端部に形成されたネジ溝３１１ａに対応するネジ山２１ａが形成されている。これにより、ロックナット２１を装着部本体３１１の下端部に螺合させてマウントヘッド２０を装着部本体３１１に装着することが可能である。

また、マウントヘッド２０は、円筒形状のヘッド外装２２と、ヘッド外装２２に挿入されたヘッド本体２３と、ヘッド本体２３の下部に取り付けられた吸着ノズル２４とを含んでいる。

ヘッド外装２２の外側面と装着部本体３１１の内側面との間には、２つのＹリング２２１が設けられている。また、ヘッド本体２３は、鉛直方向（Ｚ方向）に延びるように形成されている。また、ヘッド本体２３は、３つのベアリング２３１により装着部本体３１１に対して鉛直軸回りに回動可能に支持されている。また、ヘッド本体２３の上端部には、ボルト２３２ａにより一対のＳ字形状の板バネ２３２が固定的に取り付けられている。一対の板バネ２３２は、上記ディスペンスヘッド１０の一対の板バネ１２３と同様に、それぞれ、Ｒ軸シャフト３３１の２つの平坦面３３１ｄに当接してＲ軸シャフト３３１を挟持するように構成されている。これにより、ヘッド本体２３は、Ｒ軸シャフト３３１が鉛直軸回りに回動することによってＲ軸シャフト３３１と一体的に鉛直軸回りに回動される。また、ヘッド本体２３には、空気通路部２３３が形成されている。空気通路部２３３は、空気圧流入口３１１ｂおよび空気圧ホース３４１を介して空気圧供給部３４に接続されている。

吸着ノズル２４は、取付部材２５によりヘッド本体２３に固定的に取り付けられている。また、吸着ノズル２４は、貫通孔２４１を有し、貫通孔２４１は、ヘッド本体２３の空気通路部２３３に連通されている。これにより、空気圧供給部３４により負圧が供給されることによって、吸着ノズル２４の下端部において部品を吸着して保持することが可能である。また、空気圧供給部３４により正圧が供給されることによって、吸着ノズル２４により保持された部品を離脱させることが可能である。また、吸着ノズル２４は、ヘッド本体２３が鉛直軸回りに回動することによってヘッド本体２３と一体的に回動するように構成されている。このような構成により、吸着ノズル２４により部品を保持した状態で、Ｒ軸モータ３３を駆動して吸着ノズル２４を鉛直軸回りに回動させることによって、保持した部品の姿勢を変えることが可能である。

本実施形態では、上記のように、ヘッド装着部３１にディスペンスヘッド１０が装着された場合には液状材が塗布されるようにディスペンスヘッド１０を駆動し、ヘッド装着部３１にマウントヘッド２０が装着された場合にはマウントヘッド２０を駆動するように構成してＲ軸モータ３３をディスペンスヘッド１０およびマウントヘッド２０に共通に用いる。これにより、ヘッド装着部３１にディスペンスヘッド１０が装着された場合とマウントヘッド２０が装着された場合とで、作業ヘッドを駆動するＲ軸モータ３３を取り替える必要がないので、作業ヘッドを付け替える際には、共通に用いられるＲ軸モータ３３以外の部分だけを付け替えることができる。これにより、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドの付け替え作業時の負担を軽減することができる。また、Ｒ軸モータ３３をディスペンスヘッド１０およびマウントヘッド２０の両方に共通に用いることができるので、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がない。したがって、この基板作業装置１００では、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がないとともに、互いに異なる作業を行う複数の作業ヘッドの付け替え作業時の負担を軽減することができる。また、作業ヘッドごとに別個の駆動源を設ける必要がないので、駆動源の数を削減することができる。その結果、駆動源を基板作業装置１００に設けたとしても、基板作業装置１００の構成が複雑化するのを抑制することができる。また、マウントヘッド２０からディスペンスヘッド１０に付け替えられた場合でも、マウントヘッド２０を駆動するためのＲ軸モータ３３を液状材を塗布するための駆動源として流用することができるので、液状材の塗布作業専用の駆動源を別個に設ける必要がない。

また、本実施形態では、ディスペンスヘッド１０およびマウントヘッド２０に共通に用いられ、Ｒ軸モータ３３の駆動力をディスペンスヘッド１０およびマウントヘッド２０に伝達する共通のＲ軸シャフト３３１を設ける。これにより、ヘッド装着部３１にディスペンスヘッド１０が装着された場合とマウントヘッド２０が装着された場合とで、共通のＲ軸モータ３３のみならずＲ軸モータ３３の駆動力を伝達するＲ軸シャフト３３１も取り替える必要がないので、作業ヘッドの付け替え作業時の負担をより軽減することができる。また、Ｒ軸モータ３３のみならずＲ軸シャフト３３１の数も削減することができるので、基板作業装置１００の構成が複雑化するのをより抑制することができる。

また、本実施形態では、ヘッド装着部３１にマウントヘッド２０が装着された場合には、Ｒ軸モータ３３により、マウントヘッド２０により保持された部品の姿勢を変えるようにマウントヘッド２０を駆動する。これにより、ヘッド装着部３１にディスペンスヘッド１０が装着された場合とマウントヘッド２０が装着された場合とで、それぞれ、液状材の塗布作業と保持部品の姿勢の変更作業とを共通のＲ軸モータ３３を用いて行うことができるので、各作業専用のＲ軸モータ３３を別個に設けることなく、ディスペンスヘッド１０による液状材の塗布作業およびマウントヘッド２０による保持部品の姿勢の変更作業を行うことができる。

また、本実施形態では、４つのヘッド装着部３１に複数のマウントヘッド２０が装着された場合には、Ｒ軸モータ３３により、装着された複数のマウントヘッド２０を並行して駆動する。これにより、１つのＲ軸モータ３３により、複数のマウントヘッド２０を駆動することができるので、複数のマウントヘッド２０のそれぞれに別個のＲ軸モータ３３を設ける必要がない。

また、本実施形態では、４つのヘッド装着部３１にディスペンスヘッド１０が装着された場合において、所定のディスペンスヘッド１０が塗布作業を行う場合には、所定のディスペンスヘッド１０以外のディスペンスヘッド１０では、クラッチ機構１１０によりＲ軸モータ３３の駆動力を遮断する。また、ヘッド装着部３１に装着されたマウントヘッド２０が実装作業を行う場合には、ヘッド装着部３１に装着されたディスペンスヘッド１０では、クラッチ機構１１０によりＲ軸モータ３３の駆動力を遮断する。これにより、本実施形態のようにＲ軸モータ３３を４つのヘッド装着部３１に共通に用いる構成でも、駆動対象ではない（非駆動対象の）ディスペンスヘッド１０については、クラッチ機構１１０によりＲ軸モータ３３の駆動力が遮断されるので、駆動対象ではないディスペンスヘッド１０により塗布（吐出）動作が行われてしまうのを防止することができる。

また、本実施形態では、マウントヘッド２０による部品の吸着および装着動作を行う空気圧供給部３４から供給される空気圧により、ディスペンスヘッド１０のクラッチ機構１１０を駆動してＲ軸モータ３３の駆動力を遮断または伝達する。これにより、ディスペンスヘッド１０のクラッチ機構１１０の駆動源として、マウントヘッド２０による部品の吸着および装着動作を行う空気圧供給部３４を流用することができるので、クラッチ機構１１０を駆動させるための専用の駆動源を別個に設ける必要がない。これによっても、基板作業装置１００の構成が複雑化するのを抑制することができる。

また、本実施形態では、空気圧供給部３４から供給される空気圧によりクラッチ機構１１０をＲ軸モータ３３の駆動力を遮断する方向に駆動する際に空気圧供給部３４によるクラッチ機構１１０の駆動動作を補助する方向にクラッチ機構１１０を付勢する圧縮バネ１６１を設ける。これにより、部品の吸着および装着動作を行う空気圧供給部３４をクラッチ機構１１０の駆動に流用する場合に、空気圧供給部３４により供給される空気圧がクラッチ機構１１０を駆動するための空気圧としては小さい場合でも、圧縮バネ１６１により、空気圧供給部３４によるクラッチ機構１１０の駆動動作が補助されるので、クラッチ機構１１０を確実に駆動させることができる。

また、本実施形態では、可動アーム１３を屈曲させることによってＲ軸モータ３３の駆動力が吐出ピストン１８に伝達されるのを遮断するようにクラッチ機構１１０を構成する。これにより、クラッチ機構１１０により、可動アーム１３を屈曲させるだけで容易にＲ軸モータ３３の駆動力を遮断することができるので、容易に、駆動対象ではないディスペンスヘッド１０により塗布（吐出）動作が行われてしまうのを防止することができる。

また、本実施形態では、クラッチ機構１１０により、可動アーム１３を屈曲させることによって押圧プレート１６を吐出ピストン１８から離間する方向に移動して吐出ピストン１８にＲ軸モータ３３の駆動力が伝達されるのを遮断する。これにより、クラッチ機構１１０により、押圧プレート１６を吐出ピストン１８から離間する方向に移動して押圧プレート１６と吐出ピストン１８とが互いに接触しないように離間させることができるので、押圧プレート１６と吐出ピストン１８との間で駆動力の伝達が行われるのを防止することができる。その結果、Ｒ軸モータ３３の駆動力を確実に遮断することができる。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記実施形態では、本発明の第２作業ヘッドの一例として、実装用のマウントヘッドを示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ディスペンサ用の第１作業ヘッドと共通の駆動源を用いることが可能な構成であれば、第２作業ヘッドがマウントヘッド以外の作業ヘッドであってもよい。たとえば、第２作業ヘッドが基板や部品を検査するための検査ヘッドであってもよい。

また、上記実施形態では、本発明の付勢部材の一例として、圧縮バネを示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、板バネなど、圧縮バネ以外の付勢部材であってもよい。

また、上記実施形態では、本発明の駆動源の一例として、マウントヘッド（第２作業ヘッド）により保持された部品の姿勢を変えるようにマウントヘッドを駆動するＲ軸モータを示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第２作業ヘッドにより部品の姿勢を変える動作以外の動作が行われるように第２作業ヘッドを駆動する、Ｒ軸モータ以外の駆動源であってもよい。

また、上記実施形態では、４つのヘッド装着部を設ける例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、１つのヘッド装着部だけを設けてもよいし、４つ以外の複数のヘッド装着部を設けてもよい。

１０ ディスペンスヘッド（第１作業ヘッド）
１３ 可動アーム（アーム、クラッチ機構）
１６ 押圧プレート（駆動力伝達部）
１８ 吐出ピストン（ピストン）
２０ マウントヘッド（第２作業ヘッド）
３１ ヘッド装着部
３３ Ｒ軸モータ（駆動源）
３４ 空気圧供給部
１００ 基板作業装置
１１０ クラッチ機構
１３３ アーム用ピストン（クラッチ機構）
１６１ 圧縮バネ（付勢部材）
３３１ Ｒ軸シャフト（駆動軸）

Claims (5)

1. 各々が基板に対して液状材の塗布作業を行うディスペンサ用の第１作業ヘッド、および、基板に対して前記第１作業ヘッドとは異なる作業を行う第２作業ヘッドを選択的に付け替え可能な複数のヘッド装着部と、
   前記第１作業ヘッドおよび前記第２作業ヘッドに共通に用いられ、前記ヘッド装着部に前記第１作業ヘッドが装着された場合には前記液状材が塗布されるように前記第１作業ヘッドを駆動し、前記ヘッド装着部に前記第２作業ヘッドが装着された場合には前記第２作業ヘッドを駆動する駆動源と、
   空気圧を供給する空気圧供給部とを備え、
   複数の前記ヘッド装着部には、前記第１作業ヘッドを含む前記第１作業ヘッドおよび前記第２作業ヘッドのうちのいずれかが複数装着され、前記駆動源は、複数の前記ヘッド装着部に共通に用いられ、前記第１作業ヘッドを含む前記第１作業ヘッドおよび前記第２作業ヘッドのうちのいずれかの複数の作業ヘッドを並行して駆動するように構成されており、
   前記第１作業ヘッドは、前記空気圧供給部から供給される前記空気圧により駆動されるとともに前記液状材が塗布されないように前記駆動源の駆動力を遮断するかまたは前記液状材が塗布されるように前記駆動源の駆動力を伝達するように構成されたクラッチ機構を有し、
   複数の前記ヘッド装着部に複数の前記第１作業ヘッドが装着された場合において、所定の第１作業ヘッドが塗布作業を行う場合には、前記所定の第１作業ヘッド以外の第１作業ヘッドは、前記クラッチ機構により前記駆動源の駆動力が遮断されるとともに、前記ヘッド装着部に前記第１作業ヘッドに加えて前記第２作業ヘッドが装着された状態で前記第２作業ヘッドが基板に対して作業を行う場合には、前記ヘッド装着部に装着された前記第１作業ヘッドは、前記クラッチ機構により前記駆動源の駆動力が遮断されるように構成されており、
   前記ヘッド装着部に前記第１作業ヘッドに加えて前記第２作業ヘッドが装着された状態において、前記第２作業ヘッドは、前記空気圧供給部から供給される前記空気圧により前記基板に対して前記第１作業ヘッドとは異なる作業を行うように構成されている、基板作業装置。
2. 複数の前記ヘッド装着部のいずれかに前記第２作業ヘッドとして基板に部品を実装する実装用の作業ヘッドが装着された場合において、
   前記空気圧供給部から供給される前記空気圧により前記実装用の作業ヘッドによる部品の吸着および装着動作が行われるように構成されており、
   前記駆動源は、前記実装用の作業ヘッドにより保持された部品の姿勢を変えるように前記実装用の作業ヘッドを駆動するように構成されている、請求項１に記載の基板作業装置。
3. 前記第１作業ヘッドは、前記空気圧供給部から供給される空気圧により前記クラッチ機構を前記駆動源の駆動力を遮断する方向に駆動する際に前記空気圧供給部による前記クラッチ機構の駆動動作を補助する方向に前記クラッチ機構を付勢する付勢部材を含んでいる、請求項１または２に記載の基板作業装置。
4. 前記第１作業ヘッドは、アームと、前記アームを介して前記駆動源の駆動力が伝達されるピストンとを含み、前記駆動源の駆動力が前記ピストンに伝達されることによって、前記ピストンにより前記液状材が前記第１作業ヘッドから押し出されるように構成されており、
   前記クラッチ機構は、前記アームが屈曲されることによって前記駆動源の駆動力が前記ピストンに伝達されるのを遮断するように構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板作業装置。
5. 前記第１作業ヘッドは、前記アームと前記ピストンとの間に配置され、前記駆動源の駆動力を前記アームから前記ピストンに伝達する駆動力伝達部をさらに含み、
   前記クラッチ機構は、前記アームが屈曲されることによって前記駆動力伝達部が前記ピストンから離間する方向に移動されて前記ピストンに前記駆動源の駆動力が伝達されるのを遮断するように構成されている、請求項４に記載の基板作業装置。

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