JP5743565B2 - 転がり軸受の表面検査装置 - Google Patents
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Description
11、91 台座
12、92 支柱
13、93 昇降装置
14、94 アーム
15、95 取り付け部材
16、96 光源部
17、97 モータ
18、98 中空回転部材
18a 第2の照射光用導光路
18b 第1の反射光用導光路
19、19′ 外輪
20、100 光電変換器
21、101 処理制御装置
21a A/D変換部
21b 処理部
21c 記憶部
21d 表示部
21e 出力ポート
21f、21g、21h 駆動回路
22、96b レンズ
23 管材
23a 第1の照射光用導光路
23b 第2の反射光用導光路
24 ギャップ
25 平面ミラー
26 光ファイバ束
96a レーザ光源
98a 照射光用導光路
99 内輪
105 第1の平面ミラー
106 光ファイバ束
106a 光ファイバ
107 円板部材
108 第2の平面ミラー
109 円錐台ミラー
110 ヘッド部
Claims (4)
- 転がり軸受の検査すべき軌道輪の表面に対してレーザ光を照射し、該軌道輪の表面で反射したレーザ光を受光するレーザ光送受手段と、該レーザ光送受手段が受光した反射レーザ光の強度に対応する電気信号を出力する光電変換手段と、前記レーザ光送受手段の少なくともレーザ光照射部を前記軌道輪の軸と同軸で回転させる周方向走査を行う周方向走査手段と、前記レーザ光送受手段を前記軌道輪の前記軸に沿って移動する軸方向走査を行う軸方向走査手段と、前記周方向走査を行った際の周方向の各位置において、前記光電変換手段から出力される電気信号の信号出力の、軸方向における最大値を取得する最大値取得手段と、該取得した最大値のうち、ハレーション状態に対応する最大値の個数を計数するハレーション個数計数手段と、該ハレーション個数計数手段によって計数されたハレーション個数に応じて、前記軌道輪の良否を判断する判断手段とを備え、
前記判断手段は、前記ハレーション個数の、周方向位置の数に対する比率から前記軌道輪の良否を判断する手段であり、前記比率があらかじめ定めた閾値以上の場合に、前記軌道輪が良品であると判断することを特徴とする転がり軸受の表面検査装置。 - 前記レーザ光送受手段の前記レーザ光照射部は、前記軌道輪の表面に略垂直にレーザ光を照射するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
- 前記軌道輪が外輪であり、前記レーザ光送受手段が、該外輪の軸を中心として該外輪の内側を回転することにより該外輪の内周面にレーザ光を照射するレーザ光照射部と、前記内周面で反射したレーザ光を受光するレーザ光受光部とを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の表面検査装置。
- 前記軌道輪が内輪であり、前記レーザ光送受手段が、該内輪の軸を中心として該内輪の外側を回転することにより該内輪の外周面にレーザ光を照射するレーザ光照射部と、前記外周面で反射したレーザ光を受光するレーザ光受光部とを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の表面検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011011239A JP5743565B2 (ja) | 2011-01-21 | 2011-01-21 | 転がり軸受の表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011011239A JP5743565B2 (ja) | 2011-01-21 | 2011-01-21 | 転がり軸受の表面検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012154639A JP2012154639A (ja) | 2012-08-16 |
JP5743565B2 true JP5743565B2 (ja) | 2015-07-01 |
Family
ID=46836533
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011011239A Active JP5743565B2 (ja) | 2011-01-21 | 2011-01-21 | 転がり軸受の表面検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5743565B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6520216B2 (ja) * | 2015-03-02 | 2019-05-29 | 日本精工株式会社 | ワーク検査装置及び転がり軸受の製造方法 |
CN108489388A (zh) * | 2018-04-03 | 2018-09-04 | 电子科技大学 | 一种基于光谱共焦位移测量技术的小孔内表面三维成像检测*** |
CN108489387B (zh) * | 2018-04-03 | 2020-04-28 | 电子科技大学 | 一种光纤干涉式小孔内表面三维成像检测*** |
CN111321676A (zh) * | 2020-03-30 | 2020-06-23 | 山西省交通规划勘察设计院有限公司 | 一种桥梁底部裂痕检测装置 |
US20230089564A1 (en) * | 2021-09-21 | 2023-03-23 | Aktiebolaget Skf | Imaging system for recording images of bearing raceways |
US20230175924A1 (en) * | 2021-12-08 | 2023-06-08 | Aktiebolaget Skf | Imaging system mountable to a bearing ring |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63222246A (ja) * | 1987-03-11 | 1988-09-16 | Shokuhin Sangyo Onrain Sensor Gijutsu Kenkyu Kumiai | びん口ねじ部の欠陥検査装置 |
JPH01150848A (ja) * | 1987-12-09 | 1989-06-13 | Shokuhin Sangyo Onrain Sensor Gijutsu Kenkyu Kumiai | びん口検査方法 |
JPH07167790A (ja) * | 1993-12-14 | 1995-07-04 | Daio Koukiyuu Seizo Kk | 転がり軸受の軌道面の検査方法 |
JPH07167791A (ja) * | 1993-12-14 | 1995-07-04 | Daio Koukiyuu Seizo Kk | 軸受の軌道面の検査用光センサー |
KR100996325B1 (ko) * | 2006-05-23 | 2010-11-23 | 가부시키가이샤 기린 테크노시스템 | 표면 검사 장치 |
JP4923211B2 (ja) * | 2006-09-25 | 2012-04-25 | キリンテクノシステム株式会社 | 表面検査装置 |
JP3905119B2 (ja) * | 2006-10-12 | 2007-04-18 | 株式会社キリンテクノシステム | 表面検査装置 |
JP2008102014A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-01 | Lasertec Corp | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 |
-
2011
- 2011-01-21 JP JP2011011239A patent/JP5743565B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012154639A (ja) | 2012-08-16 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140811 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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