JP5733994B2 - ピストン - Google Patents
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Description
上記ピストン本体は、シリンダにストローク可能に嵌挿され、ストローク方向に対して垂直な第1の面を有する。
上記シール部材は、上記第1の面に装着され、上記シリンダと上記ピストン本体の間をシールする。
上記シール部材固定板は、上記ピストン本体に固定され、上記シール部材を上記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって、上記第1の面に対向し上記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し、上記第2の面は中央側の第1の領域と周縁側の第2の領域とを有し、上記第1の領域は上記シール部材を第1の押圧力で押圧し、上記第2の領域は上記シール部材を上記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧する。
上記締結部は、上記シール部材固定板を上記ピストン本体に締結する。
上記ピストンは、シリンダにストローク可能に嵌挿されストローク方向に対して垂直な第1の面を有するピストン本体と、上記第1の面に装着され上記シリンダと上記ピストン本体の間をシールするシール部材と、上記ピストン本体に固定され上記シール部材を上記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって上記第1の面に対向し上記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し記第2の面は中央側の第1の領域と周縁側の第2の領域とを有し上記第1の領域は上記シール部材を第1の押圧力で押圧し上記第2の領域は上記シール部材を上記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧するシール部材固定板と、上記シール部材固定板を上記ピストン本体に締結する締結部とを有する。
上記排気経路は、上記シリンダに接続され、上記ピストンのストロークにより排気される。
上記ピストン本体は、シリンダにストローク可能に嵌挿され、ストローク方向に対して垂直な第1の面を有する。
上記シール部材は、上記第1の面に装着され、上記シリンダと上記ピストン本体の間をシールする。
上記シール部材固定板は、上記ピストン本体に固定され、上記シール部材を上記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって、上記第1の面に対向し上記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し、上記第2の面は中央側の第1の領域と周縁側の第2の領域とを有し、上記第1の領域は上記シール部材を第1の押圧力で押圧し、上記第2の領域は上記シール部材を上記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧する。
上記締結部は、上記シール部材固定板を上記ピストン本体に締結する。
上記ピストンは、シリンダにストローク可能に嵌挿されストローク方向に対して垂直な第1の面を有するピストン本体と、上記第1の面に装着され上記シリンダと上記ピストン本体の間をシールするシール部材と、上記ピストン本体に固定され上記シール部材を上記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって上記第1の面に対向し上記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し記第2の面は中央側の第1の領域と周縁側の第2の領域とを有し上記第1の領域は上記シール部材を第1の押圧力で押圧し上記第2の領域は上記シール部材を上記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧するシール部材固定板と、上記シール部材固定板を上記ピストン本体に締結する締結部とを有する。
上記排気経路は、上記シリンダに接続され、上記ピストンのストロークにより排気される。
図1は、本発明の一実施形態に係る揺動ピストン型真空ポンプ(以下、真空ポンプ)1を示す模式図である。真空ポンプ1は、例えば真空チャンバ等に接続され、これを真空排気するためのものである。
図3はピストン5を示す分解図であり、図4はピストン5を示す断面図である。図5はピストン5の各部材をシリンダ6側からみた平面図である。図2乃至図5に示すように、ピストン5は、ピストン本体51、カップパッキン52及びカップパッキン固定板53によって構成されている。ピストン本体51にカップパッキン52が載置され、カップパッキン固定板53がカップパッキン52を介してピストン本体51に固定されることにより、カップパッキン52がピストン本体51とカップパッキン固定板53によって挟持されている。カップパッキン固定板53は、カップパッキン固定板53の中央部からピストン本体51の中央に向かって挿通された1本のネジ54がピストン本体51に締結されることによってピストン本体51に固定されている。なお、ネジ54は複数本とすることも可能であるが、本実施形態に係るピストン5は、カップパッキン52の固定を確実とすることができるため、1本とすることが可能である。
真空ポンプ1の動作について説明する。なお、ここでは、真空ポンプ1の一基の気筒について説明するが、他の気筒についても動作は同様である。図11はピストン5の揺動運動を示す模式図である。図11(a)、図11(b)、図11(c)、図11(d)の順にピストン5が駆動され、再び図11(a)に示す状態に戻る。
5…ピストン
51…ピストン本体
52…カップパッキン
53…カップパッキン固定板
54…ネジ
Claims (4)
- シリンダにストローク可能に嵌挿され、ストローク方向に対して垂直な第1の面を有するピストン本体と、
前記第1の面に装着され、前記シリンダと前記ピストン本体の間をシールするシール部材と、
前記ピストン本体に固定され、前記シール部材を前記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって、前記第1の面に対向し前記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し、前記第2の面は中央側の第1の領域、周縁側の第2の領域及び前記第1の領域と前記第2の領域の間の第3の領域を有し、前記第1の領域は前記シール部材を第1の押圧力で押圧し、前記第2の領域は前記第1の領域より前記第1の面側に突出し、前記シール部材を前記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧し、前記第3の領域は前記第1の領域より前記第3の面側に窪み、前記シール部材を前記第1の押圧力より小さい第3の押圧力で押圧するシール部材固定板と、
前記シール部材固定板を前記ピストン本体に締結する締結部と
を具備するピストン。 - 請求項1に記載のピストンであって、
前記締結部は、前記シール部材固定板の中心から前記ピストン本体に挿通されたネジである
ピストン。 - 請求項1に記載のピストンであって、
前記シール部材は、前記第1の面と前記第2の面とによって挟持されるサポート部と、前記サポート部の周縁に設けられ、前記シリンダに当接するリップ部とを有するカップパッキンである
ピストン。 - 請求項1に記載のピストンであって、
前記ピストンは、前記シリンダ内を揺動運動する
ピストン。
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