JP5730451B2 - 三次元座標測定機 - Google Patents
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Description
図1は、リニアガイドを示す図であり、(A)が外観を示す斜視図であり、(B)が断面図である。
三次元座標測定機は、合成大理石等の石定盤で作られたベース11と、ベース11の一方の辺に設けられたYコラム21と、Yコラム21上に平行に設けられた2本のY軸レール22Aおよび22Bと、Y軸レール22Aおよび22B上を移動するY移動部31と、Y移動部31上に平行に設けられた2本のX軸レール32Aおよび32Bと、X軸レール32Aおよび32B上を移動するX移動部40と、X移動部40に固定された垂直方向に伸びるZコラム41と、Zコラム41上に平行に設けられた2本のZ軸レール42Aおよび42Bと、Z軸レール42Aおよび42B上を移動するZ移動部50と、を有する。Z移動部50には、変位測定器51が取り付けられ、変位測定器51の測定プローブを被測定物の表面に接触させる。片持ち方式の移動機構は、ベース11上に背面を除く方向からアクセス可能であるため、被測定物の配置や、測定プローブの接触位置の確認等が容易に行えるという利点がある。
図3の三次元座標測定機のL型の移動機構は、Y移動部31の一方の端部を、Yコラム21上に平行に設けられた2本のY軸レール22Aおよび22Bで支持することは、図2の構成と同じであるが、Y移動部31の反対側の端部を支持する支持部材60を設け、支持部材60の下面を、ベース11上に配置したサブガイド61で支持することが、図2の構成と異なる。サブガイド61は、例えばリニアガイドである。
1個のコラムを有するL型の構成では、ベースの一辺に設けられたベース面に平行な載置面を有するコラムを設け、第1の軸移動機構の1本のリニアガイドは、コラムの載置面に設けられ、第1移動部の他方の端部に設けた支持部材にエアー移動部を取り付け、ベースに設けたエアーベアリング摺動案内部で支持する。
21 Yコラム
31 Y移動部
60 支持部材
70 1本のリニアガイド
80 エアーベアリング機構
Claims (4)
- ベースと、
前記ベースに設けられた移動機構と、
前記移動機構により移動される測定プローブと、を備え、前記プローブを用いて前記ベース上の被測定物を測定する三次元座標測定機であって、
前記移動機構は、
機械的なベアリングを用いたリニアガイドと、
前記測定プローブを挟んでリニアガイドの反対側に、前記ベースに対向して揺動可能な連結機構をもつエアー移動部を有するエアーベアリング機構と、を備えることを特徴とする三次元座標測定機。 - 前記移動機構により移動される移動部の駆動点は、前記リニアガイド側に設けられ、前記エアーベアリング機構側には設けられない請求項1に記載の三次元座標測定機。
- 前記エアーベアリング機構は、
前記リニアガイドと平行に設けられたエアーベアリング摺動案内部と、
前記エアーベアリング摺動案内部に沿って移動する前記エアー移動部と、を備え、
前記移動機構により移動される移動部は、一方が前記リニアガイドにより移動するリニア移動ユニットに取り付けられ、他方が前記エアー移動部に揺動可能に取り付けられる請求項1または2に記載の三次元座標測定機。 - 前記移動部と前記エアー移動部の取り付け部は、球状の先端部と、少なくとも一部が円錐面である前記球状の先端部を受ける受け部と、を備える請求項3に記載の三次元座標測定機。
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