JP5729678B2 - 洗浄装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の洗浄装置1の一実施例を示す概略図であり、一部を断面にして示している。
2 被洗浄物
3 洗浄槽
4 加温手段
5 減圧手段
6 液相給気手段
7 気相給気手段
17 フィルタ
18 オリフィス(流量制限手段)
20 液相給気ノズル
25 流量調整弁(流量制限手段)
Claims (1)
- 液体を貯留して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、
この洗浄槽内の気体を外部へ吸引排出して、前記洗浄槽内を減圧する減圧手段と、
この減圧手段により減圧された前記洗浄槽内の液相部に外気を導入する液相給気手段とを備え、
前記液相給気手段は、前記洗浄槽内への外気流入量を絞る流量制限手段を備え、
前記流量制限手段は、開度調整可能な流量調整弁からなり、
前記液相給気手段は、フィルタを介した外気を、前記流量調整弁および液相給気弁を介して、前記洗浄槽内底部の液相給気ノズルから前記洗浄槽内へ導入し、
加温手段により前記洗浄槽内の貯留液を設定温度まで加温する操作、その後、前記減圧手段により前記洗浄槽内を減圧して貯留液を沸騰させる操作、この沸騰中に、前記洗浄槽内からの排気を継続したまま、前記液相給気手段により前記洗浄槽の内外の差圧を利用して前記洗浄槽内の液相部に外気を導入する操作、を繰り返す液相給気パルス制御を実行し、
この液相給気パルス制御において、圧力センサまたは温度センサを用いて、前記洗浄槽内の圧力または温度を検出し、その検出信号に基づき前記流量調整弁の開度を調整して、液相部への給気流量を所定範囲に収める
ことを特徴とする洗浄装置。
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