JP5724488B2 - 紫外線照射器、及び紫外線照射装置 - Google Patents
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Description
この種の紫外線照射器は、紫外線ランプと、紫外線ランプを囲むように配置され当該紫外線ランプの光のうち所望の紫外域成分を透過する色ガラスフィルタと、紫外線ランプの光を反射する反射板と、を備えて構成されている。
しかしながら、紫外線ランプと反射板との間に色ガラスフィルタが介在しないため、前記従来の装置構成では色ガラスフィルタで吸収されていた赤外域成分や可視域成分の光が反射板に直接照射されることとなり、当該反射板が熱を持って高温になり変形してしまう、という新たな問題が生じる。
図1は、本実施形態に係る耐候性試験装置1の構成を示す図であり、図1(A)は平面図、図1(B)は一部を切り欠いた正面図、図1(C)は左側面からみた装置の内部を示す側面図である。
この耐候性試験装置1は、紫外線照射装置の一例であって、試料Sの耐候性を試験するため、試料Sに紫外線を照射したり、温度や湿度を調節したり、降雨の状態を作るなどして、屋外と同じ条件を作り出して、試料Sを屋外に置いたと同じ状態に設定できる装置である。
すなわち、耐候性試験装置1は、図1に示すように、箱形の装置筐体2を備え、装置筐体2の内部は仕切板3によって上室4Aと下室4Bとに上下に仕切られている。上室4Aには、試料Sを収める試料室5、試料室5に設けられ試料Sを載置する試料台6、試料Sに紫外線を照射する紫外線照射器7、試料室5の雰囲気温度や湿度を耐候性試験に応じて調整するための冷却器9及びヒーター10、試料室5と冷却器9及びヒーター10の間で空気を循環するブロワー11が収められている。
また試料室5の天井面5Aに上記紫外線照射器7が取り付けられ、この紫外線照射器7に対向して試料台6が配置され、試料台6に載置された試料Sに紫外線が照射される。
装置筐体2の上室4Aの正面には、紫外線照射器7の取り外し作業用の開閉扉12が設けられており、また紫外線照射器7が開閉扉12に隣接して配置されることで、組み込み、取り外し作業がし易くなっている。
また、耐候性試験装置1の装置筐体2の正面には、タッチパネル式のコントロールパネル15が装着され、該コントロールパネル15に種々の情報が表示されると共に、このコントロールパネル15から必要な指示(例えば温度や湿度、紫外線光量、試験時間等)が入力される。
紫外線照射器7は、金属製の筐体22を有している。筐体22は、底面開放直方体形状の光源ケース体20と、上面及び底面開放の補助反射板収容ケース体21とを備え、光源ケース体20の底面側に補助反射板収容ケース体21がラッチ23で連結されている。光源ケース体20には、底面側に紫外線を放射する光源ユニット24が配置され、当該光源ユニット24の底面側には平板状の薄膜フィルタ25が配置されている。
薄膜フィルタ25は、耐候性試験に求められる紫外領域の波長の光を透過する紫外線透過フィルタであって、紫外線に対して透明な石英ガラス板の表面に例えば誘電体多層膜等の耐熱性に優れた紫外線透過フィルタ材を形成したものである。光源ユニット24の放射光は薄膜フィルタ25を通ることで所定の紫外域成分に変換されて、補助反射板収容ケース体21に導かれる。
光源ユニット24は、紫外線ランプ30(図2)、水冷ジャケット31(図2)、主反射板32、水冷機構33、ヒートシンク34、及び送風機39(図2)を備えている。
紫外線ランプ30は、図2に示すように、直管形の例えばメタルハライドランプであって、横長の(正面からみて左右に伸びる)水冷ジャケット31内に配置されている。水冷ジャケット31は石英ガラス製の二重管からなり外管と内管の間に二重管の一方端から冷却水が導入され、他方端から排出されるようになされている。紫外線ランプ30は、水冷ジャケット31の内管内の中空部分に挿入配置されている。
また光源ユニット24の両端には端板35が配置され、各端板35には、上記水冷ジャケット31の挿入開口37が設けられたジャケット支持板36が設けられ、これらジャケット支持板36によって水冷ジャケット31が両端支持される。また、挿入開口37を通じて水冷ジャケット31内の紫外線ランプ30が挿脱自在に成されている。
主反射板32は、断面略U字状に形成され紫外線ランプ30に沿って延在する反射板であって、両端の端板35の間に紫外線ランプ30の両側から上側を包囲するように設けられ、紫外線ランプ30を挟んで反対側(下側(底側))に配置されている上記薄膜フィルタ25に向けて光を反射する。この主反射板32は、主として紫外成分の光を反射し、また赤外成分の光を吸収する光学特性を有し、金属の基材の反射側表面を赤外線や熱線を吸収する、特殊な蒸着法で形成した金属薄膜等で構成した熱線吸収膜で覆い、当該熱線吸収膜の上に紫外成分を反射する誘電体多層膜を設けた、いわゆるメタルダイクロイックミラーにより構成されている。
なお、上記ポンプ14には水冷ジャケット31も接続されており、当該ポンプ14によって水冷ジャケット31の冷却水も循環されている。
この温度評価試験は、紫外線ランプ30のランプ電力を6kW、水冷ジャケット31及び水冷パイプ40を循環する冷却水温度を30℃としたときに、送風機39の送風動作の有無、及び、光源ケース体20から補助反射板収容ケース体21への通風の有無を変えて試験したものである。なお、本実施形態の主反射板32の耐熱温度は最大200℃であり、この温度を超えると熱損傷や変形が生じ得る。また、ランプ電力、及び冷却水温度といった熱的条件は、送風機39で送風した状態でランプ電力、冷却水温度、及び冷却水量を変えて各測定点の温度を測定する予備実験を行い、当該予備実験において、主反射板32の耐熱温度を超えない範囲で比較的高い温度が測定されたときの条件を採用した。
またテスト3は、テスト1において、光源ケース体20から補助反射板収容ケース体21への通風を有りにして紫外線ランプ30を点灯したものである。
これらテスト1及びテスト3のいずれにおいても、主反射板32の温度は全ての測定点(1)〜(9)で耐熱温度以下に抑えられている。特に、紫外線ランプ30の中央近傍であって送風機39によって筐体22の中の熱が直接吹き付けられる測定点(6)においても良好に温度が抑えられている。
これらテスト1及びテスト2の比較によれば、送風機39により筐体22内で空気を循環させて主反射板32を冷却し、当該主反射板32を経由して熱を回収した空気M4をヒートシンク34に吹き付け水冷機構33(水冷パイプ40)に回収させることで、当該主反射板32の熱を水冷機構33に効率良く回収させ温度を適正な温度に維持できることが分かる。
図6に示すように、テスト1及びテスト3を比較すると、光源ケース体20から補助反射板収容ケース体21に通風を行うことで、補助反射板26の温度が低下して冷却されていることが分かる。
上述の通り、光源ケース体20から補助反射板収容ケース体21に通風を行っても、主反射板32の冷却性を維持できることから、補助反射板収容ケース体21に通風することで、主反射板32及び補助反射板26の両方が効率良く冷却されることが分かる。
詳述すると、紫外線照射器7は、耐候性試験装置1の正面側の側面である開閉扉12に隣接して配置しているため、紫外線照射器7の筐体22の温度が高くなると、開閉扉12までも温度が上昇し、安易に触れることができなくなる。
これに対して、本実施形態では、紫外線照射器7の各部の熱は水冷機構33により効率良く回収されて水タンク13等の外部に排出されるため、紫外線照射器7の筐体22の温度も抑えられ、結果として、耐候性試験装置1の装置筐体2の温度も抑えられる。
また紫外線照射器7の温度が抑えられ、また熱を水冷機構33で外部に排出するため、当該紫外線照射器7を組み込む耐候性試験装置1では、紫外線照射器7の熱対策をする必要がなく、装置構成を簡易かつ低コストにできる。
しかしながら、紫外線照射器7の重量は大きく、取り外し、組み込みのために上げ下ろしする際には危険が伴い、またランプ交換作業に多大な時間を要する、という問題がある。
これに対して、本実施形態の耐候性試験装置1は、紫外線照射器7を組み込んだまま紫外線ランプ30の交換を可能にしている。
すなわち、紫外線照射器7にあっては、図7に示すように、端部の端板35の挿入開口37から紫外線ランプ30が挿脱自在に構成され、また耐候性試験装置1にあっては、装置筐体2の側面2Aに、組み込まれた紫外線照射器7の端板35の対面箇所に開口50が設けられ、この開口50にランプ交換用扉51を取り付ける構成としている。
特に、本実施形態の紫外線照射器7では、水冷ジャケット31内部に色ガラスフィルタを配置するのではなく、当該色ガラスフィルタよりも紫外線に対して劣化しづらい薄膜フィルタ25を用いる構成としているため、紫外線ランプ30の交換時には、従来のように水冷ジャケット31の交換が不要となり、しかも当該紫外線ランプ30のみを耐候性試験装置1のランプ交換用扉51から簡単に交換することができる。
この構成により、水冷機構33によって主反射板32の熱が回収されて筐体22の外に排出されるため主反射板32の熱損傷や熱変形を防止することができ、さらに筐体22内の雰囲気の熱が水冷機構33にヒートシンク34を介して回収されるため、筐体22内の温度上昇を緩和して適正な温度に維持できる。
この構成により、筐体22の中の雰囲気の熱をヒートシンク34を通じて効率良く水冷機構33に伝え外部に排出することができ、筐体22の中の温度上昇をより効率良く抑えられる。
これにより、主反射板32の全長に亘って幅広く風を送り、またヒートシンク34で効率良く熱を回収させることができる。
この構成により、主反射板32に加えて補助反射板26も効率良く冷却できる。
この構成により、薄膜フィルタ25を透過せずに反射された赤外線や紫外線ランプ30が放射する赤外線が主反射板32で吸収され、筐体22への赤外線の照射量が抑えられるため当該筐体22の温度上昇を抑制できる。
これにより、紫外線照射器7にあっては熱が水冷機構33により効率良く回収されことで、耐候性試験装置1に与える熱的な負荷が小さく、試料室5の温度等に悪影響を及ぼすことがなく、また耐候性試験装置1の冷却性能を向上させる必要もないため、紫外線照射器7の組み込みが容易となる。
また、水冷パイプ40を用いた水冷に代えて、例えばヒートパイプ等の任意の熱回収機構を用いても良いことは勿論である。
2 装置筐体
5 試料室
7 紫外線照射器
13 水タンク
14 ポンプ
20 光源ケース体
21 補助反射板収容ケース体
22 筐体
24 光源ユニット
25 薄膜フィルタ(紫外線透過フィルタ)
26 補助反射板
28 紫外線照射口
30 紫外線ランプ
31 水冷ジャケット
32 主反射板(反射板)
33 水冷機構(熱回収機構)
34 ヒートシンク(伝熱体)
35 端板
36 ジャケット支持板
37 挿入開口
39 送風機
39A 吸込側
39B 吹出側
40 水冷パイプ
45 空気導入口
46 空気排出口
47 吹出開口
50 開口
51 ランプ交換用扉
S 試料
Claims (5)
- 水冷ジャケットに収めた紫外線ランプと、前記紫外線ランプの光を反射する反射板とを筐体に収め、前記紫外線ランプの直射光、及び前記反射板の反射光を照射する紫外線照射器において、
前記反射板の上面に設けられ、当該反射板の熱を回収して前記筐体の外に排出する水冷機構と、
前記水冷機構に密着させて設けられ、前記筐体内の雰囲気の熱を前記水冷機構に伝熱して当該水冷機構に回収させるヒートシンクと、を備え、
前記筐体の紫外線照射口と前記紫外線ランプとの間に、前記紫外線ランプの直射光、及び前記反射板の反射光のうち所定の紫外域成分を透過する紫外線透過フィルタを備え、なおかつ、前記反射板が少なくとも前記所定の紫外域以外の光を吸収する
ことを特徴とする紫外線照射器。 - 前記筐体の中で空気を循環させて前記反射板を冷却する送風機を備え、
前記送風機は、前記反射板を経由して前記反射板の熱を回収した空気を吸い込み前記ヒートシンクに吹き付けることを特徴とする請求項1に記載の紫外線照射器。 - 前記紫外線ランプは管状を成し、
前記反射板、及び前記ヒートシンクは、前記紫外線ランプに沿って延在し、
前記送風機は、前記ヒートシンクの延在方向に直交する方向から前記ヒートシンクに風を吹き付けることを特徴とする請求項2に記載の紫外線照射器。 - 前記筐体の紫外線照射口と前記紫外線ランプとの間に照度分布調整用の補助反射板を備え、前記筐体内を循環する空気が前記補助反射板を経由して冷却し前記送風機に吸い込まれることを特徴とする請求項2または3に記載の紫外線照射器。
- 試料を収める試料室が設けられ、
請求項1乃至4のいずれかに記載の紫外線照射器が組み込み自在に設けられ、前記試料室の試料に前記紫外線照射器の紫外線を照射することを特徴とする紫外線照射装置。
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CN201210063655.4A CN102682868B (zh) | 2011-03-16 | 2012-03-12 | 紫外线照射器及使用该紫外线照射器的紫外线照射装置 |
KR1020120026544A KR20120106619A (ko) | 2011-03-16 | 2012-03-15 | 자외선 조사기 및 이를 사용하는 자외선 조사 장치 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101785055B1 (ko) * | 2015-09-24 | 2017-10-13 | (주)세명백트론 | 냉각효율 강화로 경화 품질이 우수한 uv 조사장치 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6326584B2 (ja) * | 2016-03-31 | 2018-05-23 | スガ試験機株式会社 | 耐候性試験機 |
JP6686800B2 (ja) * | 2016-08-31 | 2020-04-22 | ウシオ電機株式会社 | 光学測定器 |
CN108318414A (zh) * | 2018-04-04 | 2018-07-24 | 长安大学 | 一种模拟光-热-水耦合作用的紫外老化环境箱 |
KR102246188B1 (ko) * | 2019-10-17 | 2021-04-29 | 한국우시오 (주) | 자외선 조사 장치 |
CN112414934B (zh) * | 2020-12-15 | 2022-11-11 | 苏州文正纺织科技有限公司 | 一种抗紫外透湿面料的高效检测*** |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60176244U (ja) * | 1984-04-28 | 1985-11-21 | 日本電池株式会社 | 水冷式紫外線照射装置 |
US5326542A (en) * | 1992-10-01 | 1994-07-05 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Method and apparatus for sterilizing cartons |
JPH06267509A (ja) | 1993-03-10 | 1994-09-22 | Iwasaki Electric Co Ltd | 紫外線照射用光源 |
JP3522333B2 (ja) * | 1993-06-29 | 2004-04-26 | 岩崎電気株式会社 | 紫外線照射装置 |
JPH09210897A (ja) | 1996-01-30 | 1997-08-15 | Iwasaki Electric Co Ltd | 耐候性試験装置 |
GB9607129D0 (en) * | 1996-04-04 | 1996-06-12 | Gew Ec Ltd | Uv dryer with improved reflector |
JPH10104151A (ja) * | 1996-09-27 | 1998-04-24 | Iwasaki Electric Co Ltd | 耐候性試験装置 |
GB2336895A (en) * | 1998-04-30 | 1999-11-03 | Gew | UV dryer with shaped reflector surface |
JP2000231199A (ja) | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 露光装置 |
GB2360084B (en) * | 2000-03-08 | 2004-04-21 | Nordson Corp | Lamp assembly |
JP4626056B2 (ja) * | 2000-12-26 | 2011-02-02 | 岩崎電気株式会社 | 紫外線照射装置 |
JP2002278078A (ja) | 2001-03-19 | 2002-09-27 | Toshiba Corp | シャドウマスク用露光装置 |
JP2002292825A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Iwasaki Electric Co Ltd | 紫外線照射装置 |
WO2002102418A2 (en) * | 2001-06-15 | 2002-12-27 | Uv-Solutions, Llc. | Method and apparatus for sterilizing or disinfecting a region on a patient |
KR20050082853A (ko) * | 2004-02-20 | 2005-08-24 | 삼성전자주식회사 | 프로젝터 시스템의 광원 유닛 및 이를 이용한디스플레이장치 |
JP4424296B2 (ja) * | 2005-10-13 | 2010-03-03 | ウシオ電機株式会社 | 紫外線照射装置 |
JP5195750B2 (ja) * | 2007-04-25 | 2013-05-15 | 株式会社Gsユアサ | 光源装置 |
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CN101533753B (zh) * | 2008-03-11 | 2012-01-25 | 优志旺电机株式会社 | 高压放电灯以及光照射装置 |
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Cited By (1)
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KR101785055B1 (ko) * | 2015-09-24 | 2017-10-13 | (주)세명백트론 | 냉각효율 강화로 경화 품질이 우수한 uv 조사장치 |
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