JP5703224B2 - 有機材料のための蒸発器、及び、蒸発器を用いて基板を有機材料で被覆するための方法 - Google Patents
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- 有機材料を気化させるための蒸発器であって、
被覆すべき基板に向けられるように構成されるノズルを有する第1のチャンバーと、
前記有機材料を気化させるためのチャンバー壁を有する少なくとも1つの第2のチャンバーと、
気化有機材料を前記少なくとも1つの第2のチャンバーから前記第1のチャンバーへ案内するための少なくとも1つの蒸気チャネルと、
前記少なくとも1つの第2のチャンバーに接続された真空ポンプと、を備え、
前記第1のチャンバーは、あたかも前記有機材料が前記第1のチャンバー内で気化されるかのように提供される第1の仮想昇華表面に対応する前記ノズルに気化有機材料を提供するように構成され、
前記少なくとも1つの第2のチャンバーの1つまたは複数のチャンバーは、操作の間は、結合した第2の昇華表面積を提供するように構成され、当該結合した第2の昇華表面積は、前記少なくとも1つの第2のチャンバーの昇華表面積の合計であり、1つの第2のチャンバーの昇華表面積は、前記有機材料に覆われ、操作の間に前記有機材料の昇華温度まで加熱される、前記1つの第2のチャンバーの前記チャンバー壁の表面積に対応し、
前記結合した第2の昇華表面積は、前記第1の仮想昇華表面の少なくとも70パーセントに相当する、蒸発器。 - 前記結合した第2の昇華表面積は、前記第1の仮想昇華表面の少なくとも90パーセントに相当する、請求項1に記載の蒸発器。
- 前記ノズルの開口は、1000mmと3500mmとの間の長手方向の長さLを有する、請求項1または2に記載の蒸発器。
- 前記第1の仮想昇華表面は、170mmの長さの第1の寸法および前記ノズルと同じ長さの第2の寸法によって提供される、請求項3に記載の蒸発器。
- 昇華表面は、気化させるべき有機材料によって覆われ、前記有機材料がその表面から気化されるように加熱デバイスによって加熱される前記第1または第2のチャンバーの1つの表面である、請求項1ないし4のいずれか一項に記載の蒸発器。
- 弁は、前記少なくとも1つの第2のチャンバーから前記第1のチャンバーへの気化有機材料の流量を調整するために前記チャネルに配置される、請求項1ないし5のいずれか一項に記載の蒸発器。
- 前記少なくとも1つの第2のチャンバーから前記第1のチャンバーへの前記気化有機材料の流量を制御するように構成されるコントローラをさらに含む、請求項6に記載の蒸発器。
- 少なくとも1つの加熱器は、デバイスを昇華温度に加熱するために、蒸気チャネル、前記第1のチャンバー、弁、およびそれらの組合せから成る群から選択される前記1つのデバイスに配置される、請求項1ないし7のいずれか一項に記載の蒸発器。
- 前記少なくとも1つの第2のチャンバーは、互いに分離された少なくとも2つのチャンバーを含み、前記少なくとも1つの第2のチャンバーの各チャンバーは、前記第1のチャンバーと流体接続する、請求項1ないし8のいずれか一項に記載の蒸発器。
- 前記第1のチャンバーおよび前記ノズルは、大気より低い圧力の筐体に設置され、前記少なくとも1つの第2のチャンバーは、前記筐体の外部に設置される、請求項1ないし9のいずれか一項に記載の蒸発器。
- 前記ノズルの開口は、1000mmと3500mmとの間の長手方向の長さLを有する、請求項1ないし10のいずれか一項に記載の蒸発器。
- 第1のチャンバーおよび少なくとも1つの第2のチャンバーを有する蒸発器を用いて基板を有機材料で被覆するための方法であって、
操作の間は第2の昇華表面積を有する前記少なくとも1つの第2のチャンバーで前記有機材料を昇華させるステップであって、結合した第2の昇華表面積が、前記少なくとも1つの第2のチャンバーの昇華表面積の合計であり、1つの第2のチャンバーの昇華表面積は、前記有機材料に覆われ、操作の間に前記有機材料の昇華温度まで加熱される、前記1つの第2のチャンバーの前記チャンバー壁の表面積に対応する、ステップと、
前記昇華有機材料を前記少なくとも1つの第2のチャンバーから前記第1のチャンバーへ少なくとも1つの蒸気チャネルを介して案内するステップであって、前記第1のチャンバーは、前記昇華有機材料を前記基板に堆積させるために前記基板に向けられるノズルを有し、前記第1のチャンバーは、あたかも前記有機材料が前記第1のチャンバー内で気化されるかのように提供される第1の仮想昇華表面に対応する前記ノズルに気化有機材料を提供するように構成され、前記結合した第2の昇華表面積は、前記第1の仮想昇華表面の少なくとも70パーセントに相当する、ステップと、
真空ポンプを稼働し、前記第2のチャンバー内に真空を生成するステップと、
を備える、方法。 - 有機材料の流量は、前記昇華有機材料を前記少なくとも1つの第2のチャンバーから前記第1のチャンバーへ案内するためのチャネルに配置される弁を調整することによって、または前記少なくとも1つの第2のチャンバーにおける前記有機材料を昇華させるための加熱デバイスの温度を調整することによって、またはそれらの組合せによって制御される、請求項12に記載の方法。
- 有機材料の流量は、前記少なくとも1つの第2のチャンバーの昇華表面を調整することによって制御される、請求項12ないし13のいずれか一項に記載の方法。
- メラミンを気化させるための蒸発器であって、
被覆すべき基板に向けられるように構成されるノズルを有する第1のチャンバーと、
前記メラミンを気化させるための少なくとも1つの第2のチャンバーと、
気化メラミンを前記少なくとも1つの第2のチャンバーから前記第1のチャンバーへ案内するための少なくとも1つの蒸気チャネルであって、前記少なくとも1つの第2のチャンバーの1つまたは複数のチャンバーは、0.34m2以上の結合した昇華表面積を有する、少なくとも1つの蒸気チャネルと、
前記少なくとも1つの第2のチャンバーに接続された真空ポンプと、
を備える、蒸発器。
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