JP5697165B2 - 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法 - Google Patents
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Description
以上のように、下方のコア部堆積用バーナからその上方に設置されたクラッド部堆積用バーナにかけて段階的に堆積体の外径を太らせ、回転させつつ上方に引き上げながらスート堆積体を製造している。
このため、外径変動の修正に要する加工コストに鑑み、長手の径変動率の最大値が0.35%以下のものまでを修正加工の対象としている。なお、径変動率は、下記[数1]式で算出した。
[数1] 径変動率=(D−Davg)/Davg ×100(%)
ここで、Dは堆積体の各点での外径、Davgはスート堆積体の定常堆積部分の外径の平均値である。
また、外径変動を修正すると、コア部直径と母材外径の比が変動することになり、光ファイバの光学特性が長手方向で変動してしまうという問題があった。
図1は、多孔質ガラス堆積体4の製造方法を説明するスート堆積体先端部の部分概略縦断面図であり、中心のコア部を堆積するためのコア部堆積用バーナ1、第1クラッド部を堆積するための第1クラッド部堆積用バーナ2、第2クラッド部を堆積するための第2クラッド部堆積用バーナ3を用いた方法で説明する。
このような従来からの条件のもとで、製造中のスート堆積層の先端部を観察すると、第1クラッド部堆積用バーナ火炎と第2クラッド部堆積用バーナ火炎との干渉は少なく、スート堆積層先端部の縦断面形状には、両バーナ火炎の境界近傍において凸部が形成される。図1において、第1クラッド堆積層(b)は、その形状を表したものでもある。
したがって、周期的な外形変動を抑制した多孔質ガラス堆積体を歩留よく製造するためには、図1の(b)に示すような凸部の形成を防止することが重要であることが分かった。以上の検討により、本発明を完成させるに至った。
以下、この点について図2を用いてさらに詳細に説明する。
例えば、第1クラッド部堆積用バーナのガス流量を調整したり、第2クラッド部堆積用バーナの位置を下方に移動し、第1クラッド部堆積用バーナとの火炎の干渉を起こりやすくしたりすることで、第1クラッド層の密度を高めて凸部の形成を抑えることできる。
以下、本発明について、実施例及び比較例を挙げてさらに詳細に説明する。
コア部堆積用バーナに、酸素7.0L/min、水素4.9L/min、アルゴン0.9L/min、四塩化ケイ素0.34L/min及び四塩化ゲルマニウム11.5mL/minを供給し、第1クラッド部堆積用バーナには、酸素14L/min、水素14L/min、アルゴン2.2L/min及び四塩化ケイ素0.60L/minを供給し、第2クラッド部堆積用バーナには、酸素30L/min、水素45L/min、アルゴン5L/min、さらに四塩化ケイ素2.0L/minを供給して、スートの堆積を行った。
すなわち、第1クラッド部堆積用バーナの火炎と、第2クラッド部堆積用バーナの火炎とが、適度に干渉するように条件を調整した。具体的には、まず、第1クラッド部堆積用バーナを上方に移動したり、第2クラッド部堆積用バーナを下方に移動したりすることで、上記2つのバーナ間の距離を縮めた。また、各堆積層のスート密度が低い場合、堆積層自体が、第1クラッド部堆積用バーナでは上方への火炎の流れの、第2クラッド部堆積用バーナでは下方への火炎の流れの障害となりうるため、堆積層のスート密度が適切になるように、水素供給量を増加したり、四塩化ケイ素供給量を低減したりした。前記したように、第1クラッド部堆積用バーナは、コア堆積層の屈折率分布調整の役割も有しているため、バーナのガス条件、位置はコア堆積層の屈折率分布に悪影響を及ぼさない範囲で行う必要がある。
コア部堆積用バーナに対するガス条件及びバーナ位置などは実施例1と同一とし、第1クラッド部堆積用バーナには、酸素14L/min、水素14L/min、アルゴン2.2L/min、四塩化ケイ素0.57L/minを流し、第2クラッド部堆積用バーナには、酸素30L/min、水素45L/min、アルゴン5L/min、四塩化ケイ素2.0L/minを流して、スートの堆積を行った。
コア部堆積用バーナ、第1クラッド部堆積用バーナ及び第2クラッド部堆積用バーナのガス条件は実施例1と同一にし、第2クラッド部堆積用バーナの位置を、第1クラッド部堆積用バーナと平行に上方に5.0mm移動してスートの堆積を行った。
2 第1クラッド部堆積用バーナ、
3 第2クラッド部堆積用バーナ、
4 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体、
(a) コア部堆積層、
(b) 第1クラッド部堆積層、
(c) 第2クラッド部堆積層。
Claims (1)
- 複数のバーナに、原料と共に燃焼ガス及び助燃性ガスを供給し、出発材をその軸方向に引き上げながら該出発材上にスートを堆積させる光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法において、堆積中、スート堆積層先端部を撮影し、該先端部の縦断面形状の輪郭線の各点における傾斜値(mm/mm)を求め、第1クラッド部堆積用バーナにより形成された第1クラッド堆積層と、第2クラッド部堆積用バーナにより形成された第2クラッド堆積層との近傍に生ずる前記傾斜値の極大値が6.6以下となるように、前記第1クラッド部堆積用バーナ及び第2クラッド部堆積用バーナに供給されるガス条件やバーナ位置を調整することを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20190041906A (ko) | 2017-10-13 | 2019-04-23 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 다공질 유리 모재의 제조 장치 및 제조 방법 |
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