JP5682378B2 - Leak test equipment - Google Patents

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Description

本発明は、リークテスト装置に関し、詳しくは、気密性が要求される機械部品等の被検査物に生じた漏れ欠陥を検出する技術に関する。   The present invention relates to a leak test apparatus, and more particularly, to a technique for detecting a leak defect generated in an object to be inspected such as a machine part requiring airtightness.

従来から、気密性が要求されるアクスルケースやシリンダブロック等の機械部品であるワークに対して、該ワークに生じた漏れ欠陥を検出するためのリークテスト装置が知られている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。   2. Description of the Related Art Conventionally, a leak test apparatus is known for detecting a leak defect generated in a workpiece, which is a mechanical part such as an axle case or a cylinder block that requires airtightness (for example, Patent Documents). 1 and Patent Document 2).

特開２００２−３２８０６６号公報JP 2002-328066 A 特開２００５−３３７９０６号公報JP 2005-337906 A

前記特許文献１に記載のリークテスト装置（漏れ試験装置）には、ワークに形成される油孔や水孔等の穿孔を閉塞するために、ワークの各面に対応してマスキング治具（マスキングユニット）が設けられている。また、マスキング治具のそれぞれに、駆動手段である油圧ジャッキや油圧シリンダ等のシリンダが備えられており、マスキング治具がワークに形成される穿孔を開閉する方向へ進退可能に構成されている。   In the leak test apparatus (leak test apparatus) described in Patent Document 1, a masking jig (masking) is provided corresponding to each surface of the work in order to close the perforations such as oil holes and water holes formed in the work. Unit). Each of the masking jigs is provided with a cylinder such as a hydraulic jack or a hydraulic cylinder as a driving means, and the masking jig is configured to be able to advance and retreat in a direction to open and close a hole formed in the workpiece.

そして、マスキング治具をワークに近接させ、マスキング治具でワークの穿孔を閉塞した状態で、リークテストを行うのである。つまり、リークテストにおける反力受けの構造として、それぞれのマスキング治具に対応して配設した油圧ジャッキや油圧シリンダ等の駆動手段を用いているのである。   Then, the leak test is performed in a state where the masking jig is brought close to the workpiece and the drilling of the workpiece is closed with the masking jig. That is, as a reaction force receiving structure in the leak test, a driving means such as a hydraulic jack or a hydraulic cylinder arranged corresponding to each masking jig is used.

しかし、前記リークテスト装置においては、ワークの各面に対応するマスキング治具のそれぞれに駆動手段が備えられるため、これらの駆動手段が多数必要となるとともに、大容量の油圧ポンプユニットが必要となる。その結果、マスキング治具における反力受けの構造が全体的に複雑化、大型化し、コストの増加に繋がるという問題がある。   However, in the leak test apparatus, since each of the masking jigs corresponding to each surface of the workpiece is provided with driving means, a large number of these driving means are required and a large-capacity hydraulic pump unit is required. . As a result, there is a problem that the structure of the reaction force receiving in the masking jig becomes complicated and large as a whole, leading to an increase in cost.

また、前記リークテスト装置においては、ワークに合わせたマスキング治具を専用に設計し、マスキング治具ごとに駆動手段を配設する構成とすることにより、容易に段取り替えが出来ない構造となっている。即ち、ワークの種類を変更する際に、マスキング治具と駆動手段とを同時に交換する必要があるため、段取り替えの作業が複雑となり、作業時間が延びるという問題がある。   In the leak test apparatus, a masking jig suitable for the workpiece is designed for exclusive use, and a driving means is provided for each masking jig, so that the setup cannot be easily changed. Yes. That is, when changing the type of the workpiece, it is necessary to replace the masking jig and the driving means at the same time, so that there is a problem that the setup change work becomes complicated and the work time is extended.

一方、前記特許文献２に記載のリークテスト装置（漏れ検査装置）には、特許文献１と同様にマスキング治具（マスキングユニット）が設けられており、マスキング治具のうち１個又は２個に、駆動手段であるシリンダが備えられている。そして、このシリンダによる駆動力の方向を、リンク機構等を用いて変換することにより、他のマスキング治具を駆動させる構成としている。   On the other hand, the leak test apparatus (leakage inspection apparatus) described in Patent Document 2 is provided with a masking jig (masking unit) similarly to Patent Document 1, and one or two of the masking jigs are provided. A cylinder as a driving means is provided. The direction of the driving force by the cylinder is converted by using a link mechanism or the like to drive another masking jig.

しかし、前記リークテスト装置においては、シリンダの駆動力の方向を変換するためのリンク機構の構成が複雑であり、設備が大掛かりとなっている。また、部品点数が多くなることから、設備コストの増加に繋がる。
また、前記リークテスト装置においても、駆動手段及びリンク機構はワークの形状等に対応して構成されているため、容易に段取り替えが出来ない構造となっている。 However, in the leak test apparatus, the structure of the link mechanism for changing the direction of the driving force of the cylinder is complicated, and the equipment is large. Moreover, since the number of parts increases, it leads to the increase in equipment cost.
Also in the leak test apparatus, the drive means and the link mechanism are configured to correspond to the shape of the workpiece and so on, so that the setup cannot be easily changed.

そこで本発明は、上記現状に鑑み、シンプルな構成とすることによりコストが削減できるとともに、簡易な構成でワークの種類を変更する際の段取り替えを行うことができる、リークテスト装置を提供するものである。   Therefore, in view of the above-described situation, the present invention provides a leak test apparatus that can reduce the cost by adopting a simple configuration and can perform setup change when changing the type of workpiece with a simple configuration. It is.

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。   The problem to be solved by the present invention is as described above. Next, means for solving the problem will be described.

即ち、請求項１においては、複数の面に開口部を有するワークに対して、該ワークにおける各面の開口部を閉塞部材にて閉塞した状態で、前記ワークのリークテストを行う、リークテスト装置であって、第一閉塞部材と、前記第一閉塞部材と対向して、前記第一閉塞部材に対して近接離間可能に配設された、第二閉塞部材と、前記第二閉塞部材を、前記第一閉塞部材の方向に近接離間させる、第一駆動手段と、第二閉塞部材が第一閉塞部材に対して近接離間する方向と直交する方向へ、互いに近接離間するようにスライド可能に、対向して配設された、少なくとも一対の第三閉塞部材と、第二閉塞部材が第一閉塞部材に対して近接離間する方向と同じ方向に移動可能に配設されるとともに、その先端部には、先端に向かうに従って互いの距離が大きくなるように傾斜した摺動面が形成され、前記第三閉塞部材を前記摺動面で摺動させることにより、前記対向して配設された第三閉塞部材を互いに近接離間する方向へスライドさせる、少なくとも一対のくさび部材と、前記くさび部材を、第二閉塞部材が第一閉塞部材に対して近接離間する方向と同じ方向に移動させる、第二駆動手段と、を備え、第一閉塞部材及び第二閉塞部材の間であって、対向して配設された第三閉塞部材の間に、前記ワークを配置した状態で、前記第一駆動手段により第二閉塞部材を第一閉塞部材に近接させるとともに、前記第二駆動手段によりくさび部材を移動させて第三閉塞部材を互いに近接させることにより、前記ワークにおける各面の開口部を閉塞するものである。 That is, in claim 1, a leak test apparatus for performing a leak test on a workpiece having openings on a plurality of surfaces in a state in which the openings on the surfaces of the workpiece are closed by a closing member. a is a first closure member, opposite to the first closed infarction member, the brought close separably disposed relative to the first closing member, a second closing member, said second closure member Slidably close to and away from each other in a direction perpendicular to the direction in which the first closing member is moved toward and away from the first closing member. The at least one pair of third closing members disposed opposite to each other and the second closing member are disposed so as to be movable in the same direction as the direction in which the second closing member approaches and separates from the first closing member; The distance from each other towards the tip A sliding surface inclined so as to be larger is formed, and the third closing member disposed so as to slide is moved toward and away from each other by sliding the third closing member on the sliding surface. A first closing member comprising: at least a pair of wedge members; and second driving means for moving the wedge member in the same direction as a direction in which the second closing member approaches and separates from the first closing member. And the second closing member to the first closing member by the first driving means in a state where the workpiece is arranged between the third closing members disposed opposite to each other. At the same time, the wedge members are moved by the second driving means to bring the third closing members close to each other, thereby closing the openings on the surfaces of the workpiece.

請求項２においては、前記第一駆動手段は、斜面形状を備える第一カム、及び、前記第一カムの斜面形状に応じて移動する第一ロッドで構成される第一カム機構であり、前記第二駆動手段は、前記第一カムと異なる斜面形状を備える第二カム、及び、前記第二カムの斜面形状に応じて移動する第二ロッドで構成される第二カム機構であり、前記第一カム及び第二カムは同一の駆動機構によって駆動されるものである。   In claim 2, the first drive means is a first cam mechanism including a first cam having a slope shape, and a first rod that moves according to the slope shape of the first cam, The second drive means is a second cam mechanism comprising a second cam having a slope shape different from the first cam, and a second rod that moves according to the slope shape of the second cam, The first cam and the second cam are driven by the same drive mechanism.

請求項３においては、パレット本体と、該パレット本体に配設される前記第二閉塞部材及び前記第三閉塞部材と、が一体的に構成される治具パレットと、前記第一駆動手段の駆動により前記第一閉塞部材の方向に近接離間するプレートと、を備え、前記ワークを前記パレット本体に載置した状態で、前記パレット本体を前記プレートの上面に配置可能とすることにより、前記治具パレットが前記リーク装置本体に対して着脱可能とされるものである。 In Claim 3, the pallet main body, the jig | tool pallet comprised integrally with said 2nd closing member and said 3rd closing member arrange | positioned in this pallet main body, The drive of said 1st drive means The plate close to and away from the first closing member, and the pallet body can be disposed on the upper surface of the plate in a state where the workpiece is placed on the pallet body. The pallet can be attached to and detached from the leak device body .

請求項４においては、複数の面に開口部を有するワークに対して、該ワークにおける各面の開口部を閉塞部材にて閉塞した状態で、前記ワークのリークテストを行う、リークテスト装置であって、第一閉塞部材と、前記第一閉塞部材と対向して、前記第一閉塞部材に対して近接離間可能に配設された、第二閉塞部材と、前記第二閉塞部材を、前記第一閉塞部材の方向に近接離間させる、第一駆動手段と、第二閉塞部材が第一閉塞部材に対して近接離間する方向と同じ方向に移動可能に、互いに対向して配設された、少なくとも一対の摺動部材と、互いに対向して配設されるとともに、その第一閉塞部材側の端部又は第二閉塞部材側の端部には、第一閉塞部材と第二閉塞部材とが互いに近接する方向に向かうに従って距離が大きくなるように傾斜した摺動面が互いに背向して形成され、前記摺動部材の先端部が前記摺動面で摺動することにより、第二閉塞部材が第一閉塞部材に対して近接離間する方向と直交する方向へ、互いに近接離間するようにスライド可能に構成された、少なくとも一対の第三閉塞部材と、前記摺動部材を、第二閉塞部材が第一閉塞部材に対して近接離間する方向と同じ方向に移動させる、第二駆動手段と、を備え、第一閉塞部材及び第二閉塞部材の間であって、対向して配設された第三閉塞部材の間に、前記ワークを配置した状態で、前記第一駆動手段により第二閉塞部材を第一閉塞部材に近接させるとともに、前記第二駆動手段により摺動部材を移動させて第三閉塞部材を互いに近接させることにより、前記ワークにおける各面の開口部を閉塞するものである。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a leak test apparatus for performing a leak test on a workpiece having openings on a plurality of surfaces in a state where the openings on the surfaces of the workpiece are closed with a closing member. Te, a first closure member, opposite to the first closed infarction member, the brought close separably disposed relative to the first closing member, a second closing member, said second closure member, wherein The first driving means, which is moved closer to and away from the first closing member, and the second closing member are arranged opposite to each other so as to be movable in the same direction as the first closing member. At least a pair of sliding members are disposed opposite to each other, and a first closing member and a second closing member are provided at an end portion on the first closing member side or an end portion on the second closing member side. Inclined so that the distance increases as you approach each other The sliding surfaces are formed so as to face each other, and the tip of the sliding member slides on the sliding surface, so that the second closing member is orthogonal to the direction in which the second closing member approaches and separates from the first closing member. The at least one pair of third closing members configured to be slidable toward and away from each other in the direction to be moved, and the sliding member are the same as the direction in which the second closing member is moved closer to and away from the first closing member. A second driving means for moving the workpiece in a direction between the first closing member and the second closing member, wherein the workpiece is disposed between the third closing members disposed opposite to each other. Then, the first driving means brings the second closing member close to the first closing member, and the second driving means moves the sliding member to bring the third closing members close to each other, whereby Which closes the opening of the surface .

請求項５においては、前記第一駆動手段は、斜面形状を備える第一カム、及び、前記第一カムの斜面形状に応じて移動する第一ロッドで構成される第一カム機構であり、前記第二駆動手段は、前記第一カムと異なる斜面形状を備える第二カム、及び、前記第二カムの斜面形状に応じて移動する第二ロッドで構成される第二カム機構であり、前記第一カム及び第二カムは同一の駆動機構によって駆動されるものである。   In Claim 5, said 1st drive means is the 1st cam mechanism comprised by the 1st rod which moves according to the 1st cam provided with slope shape, and the slope shape of said 1st cam, The second drive means is a second cam mechanism comprising a second cam having a slope shape different from the first cam, and a second rod that moves according to the slope shape of the second cam, The first cam and the second cam are driven by the same drive mechanism.

請求項６においては、パレット本体と、該パレット本体に配設される前記第二閉塞部材及び前記第三閉塞部材と、が一体的に構成される治具パレットと、前記第一駆動手段の駆動により前記第一閉塞部材の方向に近接離間するプレートと、を備え、前記ワークを前記パレット本体に載置した状態で、前記パレット本体を前記プレートの上面に配置可能とすることにより、前記治具パレットが前記リーク装置本体に対して着脱可能とされるものである。 In Claim 6, the pallet main body, the jig | tool pallet comprised integrally with the said 2nd closing member and said 3rd closing member arrange | positioned in this pallet main body, The drive of said 1st drive means The plate close to and away from the first closing member, and the pallet body can be disposed on the upper surface of the plate in a state where the workpiece is placed on the pallet body. The pallet can be attached to and detached from the leak device body .

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。   As effects of the present invention, the following effects can be obtained.

本発明により、リークテスト装置において、シンプルな構成とすることによりコストが削減できるとともに、簡易な構成でワークの種類を変更する際の段取り替えを行うことができる。   According to the present invention, in the leak test apparatus, the cost can be reduced by adopting a simple configuration, and the setup can be changed when changing the type of workpiece with a simple configuration.

第一実施形態に係るリークテスト装置を示した正面図。The front view which showed the leak test apparatus which concerns on 1st embodiment. 同じくリークテスト装置を示した左側面図。The left view which similarly showed the leak test apparatus. （ａ）、（ｂ）はそれぞれ治具パレットを示した正面図。(A), (b) is the front view which each showed the jig | tool palette. 同じく治具パレットを示した平面図。The top view which similarly showed the jig | tool palette. リークテストを行う場合の動作フローチャートを示した図。The figure which showed the operation | movement flowchart in the case of performing a leak test. （ａ）、（ｂ）はそれぞれ、位置決めピンの嵌入状態におけるリークテスト装置を示した左側面図、及び、正面図。(A), (b) is the left view and the front view which respectively showed the leak test apparatus in the insertion state of the positioning pin. （ａ）、（ｂ）はそれぞれ、ワーク側面のマスキング状態におけるリークテスト装置を示した左側面図、及び、正面図。(A), (b) is the left view and the front view which respectively showed the leak test apparatus in the masking state of a workpiece | work side surface. （ａ）、（ｂ）はそれぞれ、ワーク上下面のマスキング状態におけるリークテスト装置を示した左側面図、及び、正面図。(A), (b) is the left view and the front view which respectively showed the leak test apparatus in the masking state of a workpiece | work upper and lower surface. （ａ）、（ｂ）はそれぞれ、第二実施形態に係るリークテスト装置を示した左側面図、及び、正面図。(A), (b) is the left view and the front view which respectively showed the leak test apparatus which concerns on 2nd embodiment. 第三実施形態に係るリークテスト装置を示した正面図。The front view which showed the leak test apparatus which concerns on 3rd embodiment. 同じくリークテスト装置を示した左側面図。The left view which similarly showed the leak test apparatus.

次に、発明の実施の形態を説明する。
なお、本発明の技術的範囲は以下の実施形態に限定されるものではなく、本明細書及び図面に記載した事項から明らかになる本発明が真に意図する技術的思想の範囲全体に、広く及ぶものである。 Next, embodiments of the invention will be described.
It should be noted that the technical scope of the present invention is not limited to the following embodiments, and is widely applied to the entire scope of technical ideas that the present invention truly intends, as will be apparent from the matters described in the present specification and drawings. It extends.

［リークテスト装置１０］
まず始めに、本発明の第一実施形態に係るリークテスト装置１０の概略について、図１及び図２を用いて説明する。なお、本明細書においては説明の便宜上、図１における上側及び下側を、それぞれリークテスト装置１０の上方及び下方とし、同じく左側及び右側を、それぞれリークテスト装置１０の左側方及び右側方とし、同じく紙面奥側及び紙面手前側を、それぞれリークテスト装置１０の前方及び後方として説明する。また、図１及び図２には方向を示す矢印を示している。 [Leak test apparatus 10]
First, an outline of the leak test apparatus 10 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. In this specification, for convenience of explanation, the upper side and the lower side in FIG. 1 are the upper and lower sides of the leak test apparatus 10, respectively, and the left side and the right side are the left side and the right side of the leak test apparatus 10, respectively. Similarly, the back side and the front side of the paper will be described as the front and rear of the leak test apparatus 10, respectively. Moreover, the arrow which shows a direction is shown in FIG.1 and FIG.2.

本実施形態に係るリークテスト装置１０は、図１及び図２に示す如く、複数の面に開口部を有するアクスルケースであるワークＷに対して、ワークＷにおける各面の開口部を閉塞した状態でリークテストを行うものである。本実施形態においてはワークＷをアクスルケースとして説明するが、その対象は限定されるものではなく、気密性が要求される機械部品全般に適用することが可能である。   As shown in FIGS. 1 and 2, the leak test apparatus 10 according to the present embodiment closes the openings on each surface of the workpiece W with respect to the workpiece W that is an axle case having openings on a plurality of surfaces. This is a leak test. In the present embodiment, the workpiece W is described as an axle case, but the object is not limited and can be applied to all mechanical parts that require airtightness.

リークテスト装置１０は、平面視で略長方形の板状部材であるベッド１１と、ベッド１１の上方に配置され、ベッド１１と略同形状の天板１３とが、複数のシャフト１２・１２・・・によって連結されて、そのフレームとして構成されている。本実施形態においては、ベッド１１及び天板１３は、それぞれの平面視における四隅に貫装された四本のシャフト１２・１２・・・によって連結される構成としている。しかし、シャフト１２・１２・・・の本数は限定されるものではなく、例えば３本のシャフト１２・１２・・・でリークテスト装置１０のフレームを構成することも可能である。   The leak test apparatus 10 includes a bed 11 that is a substantially rectangular plate member in plan view, and a top plate 13 that is disposed above the bed 11 and has substantially the same shape as the bed 11. -It is connected by and is configured as its frame. In the present embodiment, the bed 11 and the top plate 13 are configured to be connected by four shafts 12, 12,. However, the number of the shafts 12, 12... Is not limited. For example, the frame of the leak test apparatus 10 can be constituted by three shafts 12, 12.

ベッド１１と天板１３との間に、カム部２０、下側ユニット部３０、くさびユニット部４０、上側ユニット部５０、上面マスキング部６０、及び、治具パレット７０等が主な構成要素として配設されている。そして、図１及び図２に示す如く、ワークＷを治具パレット７０に載置した状態で、ワークＷのリークテストを行うように構成されているのである。なお、図１においては説明の便宜上、治具パレット７０における前後部分を省略して記載している。同様に、図２においては、治具パレット７０における左右部分を省略して記載している。以下、それぞれの構成要素について順に説明する。   Between the bed 11 and the top plate 13, a cam part 20, a lower unit part 30, a wedge unit part 40, an upper unit part 50, an upper surface masking part 60, a jig pallet 70, etc. are arranged as main components. It is installed. Then, as shown in FIGS. 1 and 2, the workpiece W is configured to perform a leak test in a state where the workpiece W is placed on the jig pallet 70. In FIG. 1, the front and rear portions of the jig pallet 70 are omitted for convenience of explanation. Similarly, in FIG. 2, the left and right portions of the jig pallet 70 are omitted. Hereinafter, each component will be described in order.

カム部２０は、駆動シリンダ２１、第一カム２６、第二カム２７、第一ロッド２８、及び、第二ロッド２９等で構成される。
詳細には、駆動シリンダ２１は左側方にロッド２２を延出して、ベッド１１の右端で前後方向中途部に配設される。また、ベッド１１の中央部には、左右方向に向けてレール２３・２３が敷設され、レール２３・２３に対してスライド可能にガイド２４・２４が連結されている。ガイド２４・２４の上面にはカムベース２５が配設され、カムベース２５には、斜面形状を備える第一カム２６が後側に、第一カム２６とは異なる斜面形状を備える第二カム２７が前側に並設されている。本実施形態における第一カム２６には、図１に示す如く、右上方に傾斜する２段階の斜面が形成されている。また、第二カムには、正面視において第一カム２６に形成される２段階の斜面の間を通るように、右上方に傾斜する斜面が形成されている。なお、本実施形態における第一カム２６及び第二カム２７は、斜面の傾斜角度が同じになるように形成されている。 The cam portion 20 includes a drive cylinder 21, a first cam 26, a second cam 27, a first rod 28, a second rod 29, and the like.
Specifically, the drive cylinder 21 extends from the rod 22 to the left side, and is disposed in the middle in the front-rear direction at the right end of the bed 11. Further, rails 23 and 23 are laid in the center portion of the bed 11 in the left-right direction, and guides 24 and 24 are slidably connected to the rails 23 and 23. A cam base 25 is disposed on the upper surfaces of the guides 24, 24. The cam base 25 has a first cam 26 having a sloped shape on the rear side and a second cam 27 having a sloped shape different from the first cam 26 on the front side. Are installed side by side. As shown in FIG. 1, the first cam 26 in the present embodiment is formed with a two-step inclined surface that is inclined to the upper right. In addition, the second cam is formed with a slope inclined upward to the right so as to pass between two slopes formed in the first cam 26 in a front view. Note that the first cam 26 and the second cam 27 in the present embodiment are formed so that the inclination angles of the inclined surfaces are the same.

そして、カムベース２５、第一カム２６、及び、第二カム２７は、その右側面がロッド２２の左端部と連結されている。つまり、マスキングカムである第一カム２６、及び、第二カム２７は、駆動シリンダ２１の駆動によってロッド２２が左右方向に伸縮することにより、レール２３・２３の上で左右方向にスライドするように配設されているのである。   The right side surfaces of the cam base 25, the first cam 26, and the second cam 27 are connected to the left end portion of the rod 22. That is, the first cam 26 and the second cam 27 that are masking cams slide in the left and right directions on the rails 23 and 23 when the rod 22 expands and contracts in the left and right directions by driving the drive cylinder 21. It is arranged.

第一ロッド２８及び第二ロッド２９の下端には、それぞれ第一ローラー２８ａ及び第二ローラー２９ａが回動自在に配設されている。そして、第一ローラー２８ａが第一カム２６と、第二ローラー２９ａが第二カム２７とそれぞれ当接するように、第一ロッド２８及び第二ロッド２９が配設されている。つまり、前記の如く第一カム２６及び第二カム２７が左右方向にスライドすると、第一ローラー２８ａ及び第二ローラー２９ａがそれぞれの斜面の形状にあわせて転がり、第一ロッド２８及び第二ロッド２９が上下に移動するように構成されているのである（図６から図８を参照）。
つまり、第一ロッド２８及び第二ロッド２９は、第一カム２６及び第二カム２７が駆動されると、第一カム２６及び第二カム２７の斜面形状に応じて移動する。 A first roller 28a and a second roller 29a are rotatably disposed at the lower ends of the first rod 28 and the second rod 29, respectively. The first rod 28 and the second rod 29 are disposed so that the first roller 28 a contacts the first cam 26 and the second roller 29 a contacts the second cam 27, respectively. That is, as described above, when the first cam 26 and the second cam 27 slide in the left-right direction, the first roller 28a and the second roller 29a roll in accordance with the shape of each inclined surface, and the first rod 28 and the second rod 29 Is configured to move up and down (see FIGS. 6 to 8).
That is, when the first cam 26 and the second cam 27 are driven, the first rod 28 and the second rod 29 move in accordance with the slope shapes of the first cam 26 and the second cam 27.

下側ユニット部３０は、下側プレート３１、位置決めピン３３、及び、ブロック３５等で構成される。
詳細には、下側プレート３１は平面視で略長方形の板状部材であり、その四隅に下側ガイド３２・３２・・・を介してシャフト１２・１２・・・が貫装されている。つまり、下側プレート３１はシャフト１２・１２・・・に沿って上下方向に移動可能に配設されている。ここで、下側プレート３１の中央部下面には、第一ロッド２８の上面が連結されている。これにより、第一ロッド２８が前記の如く駆動シリンダ２１の駆動によって上下に移動すると、下側プレート３１も上下に移動するように構成されているのである。 The lower unit portion 30 includes a lower plate 31, positioning pins 33, a block 35, and the like.
In detail, the lower plate 31 is a substantially rectangular plate-like member in plan view, and shafts 12, 12... Are inserted through the lower guides 32, 32. That is, the lower plate 31 is disposed so as to be movable in the vertical direction along the shafts 12. Here, the upper surface of the first rod 28 is connected to the lower surface of the central portion of the lower plate 31. Thus, when the first rod 28 is moved up and down by driving the drive cylinder 21 as described above, the lower plate 31 is also moved up and down.

下側プレート３１の上面における左前側中途部には、上方に突出した位置決めピン３３が配設される。位置決めピン３３の上端部３３ａは位置決めピン３３よりも幾分細く形成されている。
また、下側プレート３１の上面で第一ロッド２８の上方に位置する部分には、上方に突出した円柱状のブロック３５が配設されている。そして、下側プレート３１におけるブロック３５の前方には開口部が形成され、その開口部には第二ロッド２９の上部が挿通されている。 A positioning pin 33 projecting upward is disposed in the middle part on the left front side on the upper surface of the lower plate 31. The upper end portion 33 a of the positioning pin 33 is formed somewhat narrower than the positioning pin 33.
In addition, a columnar block 35 protruding upward is disposed on a portion of the upper surface of the lower plate 31 positioned above the first rod 28. An opening is formed in front of the block 35 in the lower plate 31, and the upper part of the second rod 29 is inserted through the opening.

さらに、下側プレート３１の左前側中途部及び右後側中途部には、上下方向に孔が開口されている。そして、それぞれの孔が開口された部分における下側には、孔の内径と略同一の内径となるように形成された円筒状のポールガイド３７・３７が配設されている。
これらの位置決めピン３３、ブロック３５、及び、ポールガイド３７・３７は、下側プレート３１の上下動に伴って、下側プレート３１と一体的に上下動する。 Furthermore, holes are opened in the vertical direction in the left front halfway portion and the right rear halfway portion of the lower plate 31. Cylindrical pole guides 37 and 37 formed so as to have an inner diameter substantially the same as the inner diameter of the holes are disposed below the portions where the respective holes are opened.
The positioning pins 33, the block 35, and the pole guides 37 and 37 move up and down integrally with the lower plate 31 as the lower plate 31 moves up and down.

くさびユニット部４０は、くさびプレート４１、ポール４２・４２、及び、下部くさび４４・４４・・・等で構成される。
詳細には、くさびプレート４１は平面視で下側プレート３１よりも小さい略長方形に形成された板状部材であり、その中央部下面には、第二ロッド２９の上面が連結されている。これにより、第二ロッド２９が前記の如く駆動シリンダ２１の駆動によって上下に移動すると、くさびプレート４１も上下に移動するように構成されているのである。 The wedge unit 40 includes a wedge plate 41, poles 42 and 42, lower wedges 44, 44, and the like.
Specifically, the wedge plate 41 is a plate-like member formed in a substantially rectangular shape smaller than the lower plate 31 in plan view, and the upper surface of the second rod 29 is connected to the lower surface of the central portion thereof. As a result, when the second rod 29 is moved up and down by driving the drive cylinder 21 as described above, the wedge plate 41 is also moved up and down.

くさびプレート４１の下面における左前側中途部及び右後側中途部には、下側プレート３１に配設されたポールガイド３７・３７と対向する位置に、下方に突出したポール４２・４２が配設されている。そして、ポール４２・４２は下側プレート３１及びポールガイド３７・３７に対して上下方向に摺動可能に挿通されている。これにより、くさびプレート４１の下側プレート３１に対する水平方向の相対位置が固定されるのである。   Poles 42 and 42 projecting downward are disposed at positions facing the pole guides 37 and 37 disposed on the lower plate 31 at the left front halfway portion and the right rear halfway portion on the lower surface of the wedge plate 41. Has been. The poles 42 and 42 are inserted into the lower plate 31 and the pole guides 37 and 37 so as to be slidable in the vertical direction. Thereby, the horizontal relative position with respect to the lower plate 31 of the wedge plate 41 is fixed.

くさびプレート４１における位置決めピン３３及びブロック３５と対向する部分には、これらを上下方向に挿通することができるように開口部が形成されている。つまり、くさびプレート４１に形成された開口部に位置決めピン３３及びブロック３５が挿通されることにより、それぞれが上下動する際に互いに干渉しないように構成されているのである。   An opening is formed in a portion of the wedge plate 41 facing the positioning pin 33 and the block 35 so that these can be inserted in the vertical direction. That is, the positioning pin 33 and the block 35 are inserted into the opening formed in the wedge plate 41 so that they do not interfere with each other when they move up and down.

くさびプレート４１における前後左右の四箇所の端部には、くさびホルダ４３・４３・・・が配設され、上方に突出する下部くさび４４・４４・・・がくさびホルダ４３・４３・・・のそれぞれに配設されている。下部くさび４４・４４・・・の先端部には、上側の先端に向かうに従って、対向する下部くさび４４との距離が大きくなるように傾斜した摺動面４４ａが形成されている。換言すれば、下部くさび４４の先端部には、内側から外側に向かって高くなるように形成された摺動面４４ａが形成されているのである。
なお、本実施形態においては、下部くさび４４・４４・・・は、くさびプレート４１における四箇所に配設される構成としたが、下部くさび４４は少なくとも一対あればよく、ワークＷの開口部の位置関係によればくさびプレート４１における前後端のみ、又は左右端のみに配設する構成とすることも可能である。
これらのポール４２・４２、及び、下部くさび４４・４４・・・等は、くさびプレート４１の上下動に伴って、くさびプレート４１と一体的に上下動する。 In the wedge plate 41, wedge holders 43, 43,... Are arranged at four ends of the front, rear, left and right, and lower wedges 44, 44,. It is arranged in each. A sliding surface 44a is formed at the tip of the lower wedges 44, 44... So that the distance from the opposing lower wedge 44 increases toward the upper tip. In other words, a sliding surface 44 a formed so as to increase from the inside toward the outside is formed at the tip of the lower wedge 44.
In the present embodiment, the lower wedges 44, 44... Are arranged at four locations on the wedge plate 41. However, at least a pair of lower wedges 44 are required, and the lower wedges 44, 44. According to the positional relationship, the wedge plate 41 may be disposed only at the front and rear ends or only at the left and right ends.
These poles 42, 42 and lower wedges 44, 44... Move up and down integrally with the wedge plate 41 as the wedge plate 41 moves up and down.

上側ユニット部５０は、上側プレート５１、上側ガイド５２・５２・・・、及び、当接部材５３等で構成される。
詳細には、上側プレート５１は下側プレート３１とほぼ同形状の板状部材であり、上側ガイド５２・５２・・・を介してその四隅にシャフト１２・１２・・・が貫装されている。そして、上側プレート５１は図示しないストッパにより、図１及び図２に示す位置から下方への移動が規制されている。つまり、上側プレート５１は、ストッパより上側の範囲をシャフト１２・１２・・・に沿って上下方向に移動可能に配設されている。ここで、上側プレート５１の中央部下面には、ブロック３５と対向する位置に当接部材５３が配設されている。そして、下側プレート３１の上昇によりブロック３５が当接部材５３と当接すると、上側プレート５１が下側プレート３１によって押し上げられるのである。 The upper unit portion 50 includes an upper plate 51, upper guides 52, 52, and a contact member 53.
In detail, the upper plate 51 is a plate-like member having substantially the same shape as the lower plate 31, and shafts 12, 12... Are inserted through the upper guides 52, 52. . The upper plate 51 is restricted from moving downward from the position shown in FIGS. 1 and 2 by a stopper (not shown). That is, the upper plate 51 is disposed so as to be movable in the vertical direction along the shafts 12, 12... Here, a contact member 53 is disposed on the lower surface of the central portion of the upper plate 51 at a position facing the block 35. When the block 35 comes into contact with the contact member 53 as the lower plate 31 rises, the upper plate 51 is pushed up by the lower plate 31.

上側プレート５１における位置決めピン３３及び下部くさび４４・４４・・・と対向する部分には、これらを上下方向に挿通することができるように開口部５１ａ及び開口部５１ｂ・５１ｂ・・・が形成されている。つまり、開口部５１ａ及び開口部５１ｂ・５１ｂ・・・に位置決めピン３３及び下部くさび４４・４４・・・が挿通されることにより、それぞれが上下動する際に互いに干渉しないように構成されているのである。   In the upper plate 51, the opening 51a and the openings 51b, 51b,... Are formed at portions of the upper plate 51 that face the positioning pins 33 and the lower wedges 44, 44,. ing. In other words, the positioning pin 33 and the lower wedges 44, 44, ... are inserted into the opening 51a and the openings 51b, 51b, so that they do not interfere with each other when they move up and down. It is.

上面マスキング部６０は、上面マスキング治具６２、上部くさび６４・６４・・・等で構成される。
詳細には、天板１３の下面略中央部から下方に突出して治具支持部６１が配設され、治具支持部６１の下端に上面マスキング治具６２が配設されるのである。また、天板１３の下面における、下部くさび４４・４４・・・と対向する四箇所の部分から下方に突出してくさび支持部６３・６３・・・が配設され、突出したくさび支持部６３・６３・・・下端に上部くさび６４・６４・・・が配設されるのである。上部くさび６４は、内側から外側に向かって低くなるように形成された摺動面が形成されている。 The upper surface masking section 60 is composed of an upper surface masking jig 62, upper wedges 64, 64.
More specifically, a jig support 61 is disposed so as to protrude downward from the substantially lower center of the top plate 13, and an upper surface masking jig 62 is disposed at the lower end of the jig support 61. In addition, wedge support portions 63, 63,... Are protruded downward from four portions facing the lower wedges 44, 44,. 63... Upper wedges 64, 64. The upper wedge 64 has a sliding surface formed so as to be lowered from the inside toward the outside.

天板１３の下面後部には、治具支持部６５が下方に向かって延出される。そして、治具支持部６５から前方に向かって、前後方向にスライド可能に構成された後面マスキング治具プレート６６が配設される。そして、後面マスキング治具プレート６６の前面に、後面マスキング治具６７が配設されるのである。なお、治具支持部６５は図示しないスライド機構により、左右方向（図２における紙面奥行方向）にスライド可能に構成されている。   A jig support portion 65 extends downward from the rear surface of the top plate 13. A rear masking jig plate 66 configured to be slidable in the front-rear direction from the jig support 65 toward the front is disposed. A rear masking jig 67 is disposed on the front surface of the rear masking jig plate 66. The jig support 65 is configured to be slidable in the left-right direction (the depth direction in FIG. 2) by a slide mechanism (not shown).

［治具パレット７０］
治具パレット７０は、図１及び図２に示す如く、ワークＷが載置された状態で、上側プレート５１の上面に配置される。つまり、治具パレット７０は、上側プレート５１の上下動に伴って上下動し、上面マスキング治具６２に対して近接離間するのである。以下、治具パレット７０について図３及び図４を用いて説明する。なお、図３（ａ）及び（ｂ）においては、治具パレット７０における前側（紙面手前側）の部分を省略して記載している [Jig pallet 70]
As shown in FIGS. 1 and 2, the jig pallet 70 is disposed on the upper surface of the upper plate 51 with the workpiece W placed thereon. That is, the jig pallet 70 moves up and down as the upper plate 51 moves up and down and moves closer to and away from the upper surface masking jig 62. Hereinafter, the jig pallet 70 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. 3A and 3B, the front side (front side of the paper) of the jig pallet 70 is omitted.

治具パレット７０は、パレット本体７１、下面マスキング治具７２・７２・・・、側面マスキング治具プレート７４・７４・・・、側面マスキング治具７７・７７・・・等で構成される。
パレット本体７１は直方体状の箱体であり、ワークＷを載置できるように上面が水平に構成されている。 The jig pallet 70 includes a pallet main body 71, lower surface masking jigs 72, 72, etc., side masking jig plates 74, 74, etc., side masking jigs 77, 77,.
The pallet main body 71 is a rectangular parallelepiped box, and the upper surface is horizontally configured so that the workpiece W can be placed thereon.

下面マスキング治具７２・７２・・・は複数の略円柱状部材であり、パレット本体７１の上面から上方に向けて突出するように、上面マスキング治具６２と対向して配設される。そして、ワークＷを載置した際に、ワークＷの下面に形成された開口部を閉塞するように構成されている。つまり、下面マスキング治具７２・７２・・・はワークＷの下面における開口部の大きさや形状に対応して形成されているのである。
また、パレット本体７１の下面には、後述するように位置決めピン３３の上端部３３ａを下方から挿入できるように位置決め孔７１ａが形成されている。さらに、パレット本体７１の左前部には、エアーの供給源に接続されるエアー配管と治具パレット７０との断続を行うためのエアー接続用カプラーユニット８０が配設されている。 The lower surface masking jigs 72, 72,... Are a plurality of substantially cylindrical members, and are arranged to face the upper surface masking jig 62 so as to protrude upward from the upper surface of the pallet main body 71. And when the workpiece | work W is mounted, it is comprised so that the opening part formed in the lower surface of the workpiece | work W may be obstruct | occluded. That is, the lower surface masking jigs 72, 72,... Are formed corresponding to the size and shape of the opening on the lower surface of the workpiece W.
In addition, a positioning hole 71a is formed in the lower surface of the pallet main body 71 so that the upper end portion 33a of the positioning pin 33 can be inserted from below as will be described later. Furthermore, an air connection coupler unit 80 for connecting and disconnecting the air pipe connected to the air supply source and the jig pallet 70 is disposed at the left front portion of the pallet main body 71.

側面マスキング治具プレート７４・７４・・・及び側面マスキング治具７７・７７・・・はスライダ７３・７３・・・を介してパレット本体７１における左右両側及び前側の三箇所の下部に配設される。
具体的には、スライダ７３・７３・・・はスライド機構であり、パレット本体７１の下部において、各側面マスキング治具プレート７４・７４・・・が配設されるパレット本体７１の各辺と直交する方向（内外方向・図３（ｂ）及び図４（ｂ）の矢印β参照）にスライド可能に配設される。つまり、左右両側のマスキング治具７７・７７が近接離間するようにスライド可能に互いに対向して配設されている。また、前側のマスキング治具７７と後面マスキング治具６７が近接離間してスライド可能に互いに対向して配設されている。なお、スライダ７３・７３・・・は普段は図示しない付勢手段によって外側（パレット本体７１から遠ざかる方向）に付勢されている。 The side masking jig plates 74, 74... And the side masking jigs 77, 77... Are arranged at three lower portions on the left and right sides and the front side of the pallet body 71 through sliders 73. The
Specifically, the sliders 73, 73... Are slide mechanisms, and are orthogonal to the sides of the pallet main body 71 where the side masking jig plates 74, 74. It is slidably arranged in the direction (inside and outside direction, see arrow β in FIGS. 3B and 4B). In other words, the masking jigs 77 on the left and right sides are slidably disposed so as to be close to and away from each other. Further, a front masking jig 77 and a rear masking jig 67 are arranged so as to be close to each other and slidable so as to face each other. The sliders 73, 73,... Are normally urged outward (in a direction away from the pallet main body 71) by urging means (not shown).

スライダ７３・７３・・・の外側下部には、側面マスキング治具プレート７４・７４・・・が、その下端に位置する回動軸７４ａを介して側方に回動可能に立設されている。側面マスキング治具プレート７４・７４・・・は、バネ７８・７８・・・によって内側（パレット本体７１に近づく方向）に付勢されている。このように構成することにより、ワークＷをパレット本体７１に載置する際に、側面マスキング治具プレート７４・７４・・・を図３（ａ）に示す如く外側に押し広げて、内側に突出して配設された側面マスキング治具７７・７７・・・とワークＷとが干渉しないように構成されている。
また、スライダ７３・７３・・・の外側端部には下部摺動部材７５・７５・・・が配設されている。さらに、側面マスキング治具プレート７４・７４・・・の上端部外側には、上部摺動部材７６・７６・・・が配設されている。 The side masking jig plates 74, 74,... Are erected on the outer lower part of the sliders 73, 73,. . The side masking jig plates 74, 74,... Are biased inwardly (in a direction approaching the pallet main body 71) by springs 78, 78,. With this configuration, when the workpiece W is placed on the pallet main body 71, the side masking jig plates 74, 74,... Are pushed outward as shown in FIG. The side masking jigs 77, 77,... Arranged in this manner and the workpiece W are configured not to interfere with each other.
Further, lower sliding members 75, 75,... Are disposed at outer end portions of the sliders 73, 73,. Further, upper sliding members 76, 76,... Are disposed outside the upper end portions of the side masking jig plates 74, 74,.

側面マスキング治具７７・７７・・・は複数の棒状部材であり、側面マスキング治具プレート７４・７４・・・の内側の面から内側（パレット本体７１の方向）に向けて突出するように配設される。そして、ワークＷをパレット本体７１に載置し、後述するように下部摺動部材７５・７５・・・を下部くさび４４・４４・・・の摺動面４４ａで摺動させて、側面マスキング治具７７・７７・・・を内側に（図３（ｂ）及び図４（ｂ）中の矢印βの方向に）スライドさせることにより、その先端部がワークＷの側面に形成された開口部を閉塞するように構成されている。つまり、側面マスキング治具７７・７７・・・は、内側にスライドした際にワークＷの開口部を閉塞するように、ワークＷの側面における開口部の大きさや形状に対応して形成されているのである。   The side masking jigs 77, 77... Are a plurality of rod-shaped members arranged so as to protrude from the inner surface of the side masking jig plates 74, 74,. Established. Then, the workpiece W is placed on the pallet main body 71, and the lower sliding members 75, 75... Are slid on the sliding surfaces 44a of the lower wedges 44, 44. By sliding the tools 77, 77... Inwardly (in the direction of arrow β in FIGS. 3B and 4B), the opening portion whose tip is formed on the side surface of the workpiece W is opened. It is configured to close. That is, the side masking jigs 77, 77... Are formed corresponding to the size and shape of the opening on the side surface of the workpiece W so as to close the opening of the workpiece W when slid inward. It is.

［リークテスト方法］
上記の如く構成されたリークテスト装置１０においてリークテストを行う手順を、図５から図８を用いて説明する。
まず、ステップＳ０１においては、治具パレット７０にワークＷが搬入される。具体的には、図示しない搬入装置に、リークテストを行うワークＷに対応した治具パレット７０が配置される。そして、治具パレット７０のパレット本体７１にワークＷが位置決めされて配置されるのである。この際、図３（ａ）中の鎖線に示す如く、側面マスキング治具プレート７４・７４・・・が外側に押し広げられ、内側に突出して配設された側面マスキング治具７７・７７・・・とワークＷとが干渉しないように配置されるのである。その後、図３（ａ）中の矢印αに示す如く、側面マスキング治具プレート７４・７４・・・は、バネ７８・７８・・・の弾性力によって内側に起こされる。 [Leak test method]
A procedure for performing a leak test in the leak test apparatus 10 configured as described above will be described with reference to FIGS.
First, in step S01, the workpiece W is carried into the jig pallet 70. Specifically, a jig pallet 70 corresponding to the workpiece W to be subjected to the leak test is arranged in a loading device (not shown). Then, the workpiece W is positioned and arranged on the pallet main body 71 of the jig pallet 70. At this time, as shown by a chain line in FIG. 3A, the side masking jig plates 74, 74,... Are spread outward and protruded inward. -And the workpiece W are arranged so as not to interfere with each other. 3A, the side masking jig plates 74, 74... Are raised inward by the elastic force of the springs 78, 78.

次に、ステップＳ０２においては、搬入装置によってワークＷを載置した治具パレット７０が移動され、リークテスト装置１０の上側プレート５１の上面に配置される。この際、図２に示す治具支持部６５がスライド機構によって右側方（図２における紙面奥行方向）がスライドされることにより、治具パレット７０が上側プレート５１の上に載置される際に遮られない構成としている。その後、治具支持部６５が左側方にスライドされることにより、リークテスト装置１０は図１及び図２に示す状態となる。   Next, in step S <b> 02, the jig pallet 70 on which the workpiece W is placed is moved by the carry-in device and is disposed on the upper surface of the upper plate 51 of the leak test apparatus 10. At this time, when the jig pallet 70 is placed on the upper plate 51 by sliding the jig support portion 65 shown in FIG. 2 on the right side (the depth direction in FIG. 2) by the slide mechanism. The structure is unobstructed. Thereafter, the jig test portion 65 is slid leftward, whereby the leak test apparatus 10 is in the state shown in FIGS.

次に、ステップＳ０３においては、図６（ｂ）中の矢印Ａ１に示す如く、駆動シリンダ２１が駆動されてロッド２２が左側方に伸長されることにより、マスキングカムである第一カム２６及び第二カム２７が動作し、左側方にスライドされる。   Next, in step S03, as indicated by an arrow A1 in FIG. 6B, the drive cylinder 21 is driven and the rod 22 is extended to the left, whereby the first cam 26, which is a masking cam, and the first cam. The two cams 27 operate and are slid leftward.

次に、ステップＳ０４において、第一カム２６が左側方にスライドすると、第一ローラー２８ａが第一カム２６の斜面の形状にあわせて転がり、第一ロッド２８が上方に移動する。なお、この段階では、第二ローラー２９ａはまだ第二カム２７の斜面に到達していないため、上方に移動することはない。
そして、図６（ａ）及び（ｂ）中の矢印Ａ２に示す如く、第一ロッド２８が前記の如く駆動シリンダ２１の駆動によって上方に移動することにより、下側プレート３１が上昇するのである。 Next, in step S04, when the first cam 26 slides to the left side, the first roller 28a rolls according to the shape of the slope of the first cam 26, and the first rod 28 moves upward. At this stage, since the second roller 29a has not yet reached the slope of the second cam 27, it does not move upward.
Then, as indicated by an arrow A2 in FIGS. 6 (a) and 6 (b), the first rod 28 moves upward by driving the drive cylinder 21 as described above, whereby the lower plate 31 rises.

次に、ステップＳ０５においては、図６（ａ）及び（ｂ）中の矢印Ａ３に示す如く、位置決めピン３３が下側プレート３１の上昇に伴って上昇する。そして、位置決めピン３３の上端部３３ａがパレット本体７１の位置決め孔７１ａに下方から挿入されることにより、治具パレット７０がリークテスト装置１０において位置決めされるのである。   Next, in step S05, the positioning pin 33 rises as the lower plate 31 rises, as indicated by an arrow A3 in FIGS. 6 (a) and 6 (b). The jig pallet 70 is positioned in the leak test apparatus 10 by inserting the upper end portion 33 a of the positioning pin 33 into the positioning hole 71 a of the pallet main body 71 from below.

次に、ステップＳ０６においては、図７（ｂ）中の矢印Ｂ１に示す如く、駆動シリンダ２１が駆動されてロッド２２が左側方にさらに伸長されることにより、マスキングカムである第一カム２６及び第二カム２７が動作し、さらに左側方にスライドされる。
そして、第二カム２７が左側方にスライドすると、第二ローラー２９ａが第二カム２７の斜面の形状にあわせて転がり、第二ロッド２９が上方に移動する。なお、この段階では、第一ローラー２８ａは第一カム２６のうち水平部分に到達しているため、上方に移動することはない。
さらに、第二ロッド２９が前記の如く駆動シリンダ２１の駆動によって上方に移動することにより、図７（ａ）及び（ｂ）中の矢印Ｂ２に示す如く、くさびプレート４１が上昇するのである。 Next, in step S06, as indicated by an arrow B1 in FIG. 7B, the drive cylinder 21 is driven and the rod 22 is further extended to the left, whereby the first cam 26, which is a masking cam, The second cam 27 operates and is further slid leftward.
And if the 2nd cam 27 slides to the left side, the 2nd roller 29a will roll according to the shape of the slope of the 2nd cam 27, and the 2nd rod 29 will move upwards. At this stage, since the first roller 28a has reached the horizontal portion of the first cam 26, it does not move upward.
Further, as the second rod 29 is moved upward by driving the drive cylinder 21 as described above, the wedge plate 41 is raised as shown by the arrow B2 in FIGS. 7 (a) and 7 (b).

次に、ステップＳ０７においては、下部摺動部材７５・７５・・・及び後面マスキング治具プレート６６を下部くさび４４・４４・・・で摺動させて、図７（ａ）及び（ｂ）中の矢印Ｂ３及び矢印Ｂ４に示す如く、側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７を内側にスライドさせる。これにより、それぞれの先端部でワークＷの側面に形成された開口部をマスキングするのである。   Next, in step S07, the lower sliding members 75, 75... And the rear masking jig plate 66 are slid by the lower wedges 44, 44. The side masking jigs 77, 77... And the rear masking jig 67 are slid inward as indicated by arrows B3 and B4. Thereby, the opening part formed in the side surface of the workpiece | work W in each front-end | tip part is masked.

次に、ステップＳ０８においては、図８（ｂ）中の矢印Ｃ１に示す如く、駆動シリンダ２１が駆動されてロッド２２が左側方にさらに伸長されることにより、マスキングカムである第一カム２６及び第二カム２７が動作し、さらに左側方にスライドされる。
そして、第一カム２６及び第二カム２７が左側方にスライドすると、第一ローラー２８ａ及び第二ローラー２９ａがともに第一カム２６及び第二カム２７の斜面の形状にあわせて転がり上方に移動する。
さらに、第一ロッド２８が駆動シリンダ２１の駆動によって上方に移動することにより、図８（ａ）及び（ｂ）中の矢印Ｃ２に示す如く、下側プレート３１が上昇するのである。そして、下側プレート３１の上昇によりブロック３５が当接部材５３と当接し、上側プレート５１が下側プレート３１によって押し上げられ、図８（ａ）及び（ｂ）中の矢印Ｃ３に示す如く、上昇するのである。
また、第二ロッド２９が駆動シリンダ２１の駆動によって上方に移動することにより、くさびプレート４１についても、図８（ａ）及び（ｂ）中の矢印Ｃ４に示す如く上昇する。このため、側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７を内側によるワークＷの側面のマスキング状態は維持されている。 Next, in step S08, as indicated by an arrow C1 in FIG. 8B, the drive cylinder 21 is driven and the rod 22 is further extended to the left, whereby the first cam 26, which is a masking cam, The second cam 27 operates and is further slid leftward.
When the first cam 26 and the second cam 27 slide to the left, both the first roller 28a and the second roller 29a roll upward in accordance with the shape of the slope of the first cam 26 and the second cam 27. .
Further, when the first rod 28 is moved upward by driving the drive cylinder 21, the lower plate 31 is raised as shown by an arrow C2 in FIGS. 8 (a) and 8 (b). Then, as the lower plate 31 rises, the block 35 comes into contact with the contact member 53, and the upper plate 51 is pushed up by the lower plate 31, and as shown by an arrow C3 in FIGS. 8 (a) and 8 (b). To do.
Further, when the second rod 29 is moved upward by driving the drive cylinder 21, the wedge plate 41 is also raised as shown by an arrow C4 in FIGS. 8 (a) and 8 (b). For this reason, the masking state of the side surface of the workpiece W by the inside of the side masking jigs 77, 77... And the rear masking jig 67 is maintained.

次に、ステップＳ０９においては、上側プレート５１の上昇により、上面マスキング治具６２と下面マスキング治具７２・７２・・・とでワークＷを挟むことで、ワークＷの上下面に形成された開口部をマスキングするのである。
同時に、上部くさび６４・６４・・・において、上部摺動部材７６・７６・・・及び後面マスキング治具プレート６６の上端部を上方に摺動させることにより、側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７に対する内側へのマスキングをより強くするのである。 Next, in step S09, the opening formed on the upper and lower surfaces of the workpiece W by sandwiching the workpiece W between the upper surface masking jig 62 and the lower surface masking jigs 72, 72. The part is masked.
At the same time, in the upper wedges 64, 64..., By sliding the upper sliding members 76, 76... And the upper end of the rear masking jig plate 66 upward, the side masking jigs 77, 77,. -And the masking inward with respect to the rear surface masking jig 67 is made stronger.

次に、ステップＳ１０においては、上記の如くワークＷの各面における開口部をマスキングした状態で、エアー接続用カプラーユニット８０を介してワークＷに圧縮ガス（エアー）を封入して、リーク測定のテストを行うのである。   Next, in step S10, with the openings on each surface of the workpiece W masked as described above, compressed gas (air) is sealed into the workpiece W via the air connection coupler unit 80, and leakage measurement is performed. Do the test.

次に、ステップＳ１１においては、駆動シリンダ２１が駆動されてロッド２２が右側方に短縮されることにより、マスキングカムである第一カム２６及び第二カム２７が動作し、右側方にスライドされる。これにより、ステップＳ１２からステップＳ１７においては、前記ステップＳ０４からステップＳ０９の動作が逆に行われる。   Next, in step S11, when the drive cylinder 21 is driven and the rod 22 is shortened to the right side, the first cam 26 and the second cam 27 which are masking cams are operated and slid to the right side. . Thereby, in steps S12 to S17, the operations in steps S04 to S09 are performed in reverse.

その後、ステップＳ１８において、搬出装置によってワークＷを載置した治具パレット７０が移動され、リークテスト装置１０の上側プレート５１のから搬出される。そして、ステップＳ１９において、治具パレット７０からワークＷが搬出されるのである。
これらのステップＳ１１からステップＳ１９については、実質的にはステップＳ０１からステップＳ０９の手順を逆に行うものであるため、その詳細な説明は省略する。 Thereafter, in step S <b> 18, the jig pallet 70 on which the workpiece W is placed is moved by the carry-out device, and is carried out from the upper plate 51 of the leak test device 10. In step S19, the workpiece W is unloaded from the jig pallet 70.
About these steps S11 to S19, since the procedure of step S01 to step S09 is substantially reversed, the detailed description is abbreviate | omitted.

本実施形態に係るリークテスト装置１０においては上記の如く構成することにより、複数の面に開口部を有するワークＷに対して、ワークＷにおける各面の開口部を閉塞した状態でリークテストを行うのである。
具体的には、リークテスト装置１０は、第一閉塞部材である上面マスキング治具６２と、上面マスキング治具６２と対向して、上面マスキング治具６２に対して上下に近接離間可能に配設された、第二閉塞部材である下面マスキング治具７２・７２・・・と、を備えている。そして、下面マスキング治具７２・７２・・・を、上面マスキング治具６２の方向に近接離間させるために、斜面形状を備える第一カム２６、及び、第一ロッド２８で構成される第一カム機構を第一駆動手段として備えるのである。 The leak test apparatus 10 according to the present embodiment is configured as described above, and performs a leak test on a workpiece W having openings on a plurality of surfaces in a state where the openings on the surfaces of the workpiece W are closed. It is.
Specifically, the leak test apparatus 10 is disposed so as to be close to and away from the upper surface masking jig 62 so as to face the upper surface masking jig 62 and the upper surface masking jig 62 as the first closing member. , Which is a second closing member. In order to move the lower surface masking jigs 72, 72... To and away from each other in the direction of the upper surface masking jig 62, the first cam 26 having a slope shape and the first cam composed of the first rod 28. The mechanism is provided as the first drive means.

また、下面マスキング治具７２・７２・・・が上面マスキング治具６２に対して近接離間する方向と直交する方向である水平方向に、互いに対向して近接離間可能にスライド可能に配設された、第三閉塞部材である側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７を備えている。また、上下方向に移動可能に配設されるとともに、その先端部には、先端に向かうに従って互いの距離が大きくなるように傾斜した摺動面４４ａが形成され、側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７を摺動面４４ａで摺動させることにより、側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７を互いの方向にスライドさせる下部くさび４４・４４・・・を備えている。そして、下部くさび４４・４４・・・を、上下方向に移動させるために、第一カム２６と斜面の角度が異なる斜面形状を備える第二カム２７、及び、第二ロッド２９で構成される第二カム機構を第二駆動手段として備えるのである。   In addition, the lower surface masking jigs 72, 72,... Are slidably disposed so as to be close to and away from each other in a horizontal direction that is orthogonal to the direction of approaching and separating from the upper surface masking jig 62. , Which are third closing members, and a rear surface masking jig 67 are provided. Further, a sliding surface 44a that is disposed so as to be movable in the vertical direction and that is inclined so that the distance from each other increases toward the distal end is formed, and the side masking jigs 77, 77, .. and the lower mask 44 that slides the side masking jigs 77, 77... And the rear masking jig 67 in the direction of each other by sliding the rear masking jig 67 on the sliding surface 44a.・ Equipped with In order to move the lower wedges 44, 44... In the up-down direction, a second cam 27 having a slope shape with a slope angle different from that of the first cam 26 and a second rod 29 is provided. A two-cam mechanism is provided as the second drive means.

そして、上面マスキング治具６２及び下面マスキング治具７２・７２・・・の間であって対向する側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７の間に、ワークＷを配置した状態で、第一カム機構により下面マスキング治具７２・７２・・・を上面マスキング治具６２に近接させるとともに、第二カム機構により下部くさび４４・４４・・・を移動させて側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７を互いに近接させることにより、ワークＷにおける各面の開口部を閉塞するのである。   In addition, the workpiece W is disposed between the upper side masking jig 62 and the lower side masking jigs 72, 72... In this state, the lower face masking jigs 72, 72... Are brought close to the upper face masking jig 62 by the first cam mechanism, and the lower wedges 44, 44. 77, 77... And the rear masking jig 67 are brought close to each other to close the openings on the respective surfaces of the workpiece W.

上記の如く構成することにより、ワークＷの各面に対応するマスキング治具のそれぞれに駆動手段が備えられる構成ではなく、リークテストにおける反力を構造全体で受けることにより、駆動手段を第一駆動手段と第二駆動手段の二つに集約している。つまり、駆動手段の数を低減させることができることから、マスキング治具における反力受けの構造を全体的に簡素化、小型化して、コストを下げることが可能となるのである。
本実施形態では第一駆動手段である第一カム機構と、第二駆動手段である第二カム機構と、を同一の駆動機構である駆動シリンダ２１で駆動することにより、駆動手段の集約化をより進めた構成としている。 By configuring as described above, the driving means is not provided in each masking jig corresponding to each surface of the workpiece W, but the driving means is first driven by receiving the reaction force in the leak test in the entire structure. The means and the second driving means are summarized. In other words, since the number of driving means can be reduced, the structure of the reaction force receiver in the masking jig can be simplified and miniaturized as a whole, and the cost can be reduced.
In the present embodiment, the first cam mechanism that is the first drive means and the second cam mechanism that is the second drive means are driven by the drive cylinder 21 that is the same drive mechanism, thereby integrating the drive means. It has a more advanced structure.

また、ワークＷに合わせてマスキング治具ごとに駆動手段を配設する構成ではないため、容易に段取り替えを行うことができる。即ち、ワークＷの種類を変更する際に、マスキング治具と駆動手段とを同時に交換するが必要がないため、段取り替えの作業が簡易となり、作業時間を短縮することができるのである。   Further, since the driving means is not provided for each masking jig in accordance with the workpiece W, the setup can be easily changed. That is, when the type of the workpiece W is changed, it is not necessary to replace the masking jig and the driving means at the same time. Therefore, the setup change work is simplified and the work time can be shortened.

また、本実施形態においては、駆動シリンダ２１の駆動力の方向を変換するためにくさび機構を用いているため、構成がシンプルであり、設備が大掛かりとなることがない。また、部品を抑えることができるため、設備コストが増加することもない。   Moreover, in this embodiment, since the wedge mechanism is used to change the direction of the driving force of the drive cylinder 21, the configuration is simple and the equipment does not become large. Further, since the number of components can be suppressed, the equipment cost does not increase.

さらに、本実施形態に係るリークテスト装置１０においては、ワークＷを載置した状態で、リークテスト装置１０の本体に対して着脱可能な治具パレット７０を備え、下面マスキング治具７２・７２・・・及び側面マスキング治具７７・７７・・・は、治具パレット７０に一体的に配設される構成としている。   Furthermore, the leak test apparatus 10 according to the present embodiment includes a jig pallet 70 that can be attached to and detached from the main body of the leak test apparatus 10 with the workpiece W placed thereon, .. And the side masking jigs 77, 77... Are integrally arranged on the jig pallet 70.

上記の如く構成することにより、ワークＷの種類を変更する際に、段取り替えを行うことがより簡易となる。つまり、側面マスキング治具７７・７７・・・や下面マスキング治具７２・７２・・・はワークＷの開口部の大きさや形状に対応して形成されているため、治具パレット７０をワークＷの種類に対応して変更するだけで、段取り替えが可能となるのである。   By configuring as described above, when changing the type of the workpiece W, it becomes easier to perform the setup change. That is, the side masking jigs 77, 77... And the bottom masking jigs 72, 72... Are formed corresponding to the size and shape of the opening of the workpiece W. It is possible to change the set-up by simply changing it according to the type.

［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態に係るリークテスト装置１１０の概略について、図９（ａ）及び（ｂ）を用いて説明する。なお、以下に記載する実施形態について、既出の実施形態と同じ構成については同符号を付して、その詳細な説明を省略することとする。 [Second Embodiment]
Next, an outline of the leak test apparatus 110 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, about embodiment described below, the same code | symbol shall be attached | subjected about the same structure as previous embodiment, and the detailed description shall be abbreviate | omitted.

本実施形態に係るリークテスト装置１１０においては、下面マスキング治具７２・７２・・・を、上面マスキング治具６２の方向に近接離間させるために、第一駆動シリンダ１２２を第一駆動手段として備える。また、下部くさび４４・４４・・・を、上下方向に移動させるために、第二駆動シリンダ１２３を第二駆動手段として備えるのである。   In the leak test apparatus 110 according to the present embodiment, the first drive cylinder 122 is provided as the first drive means in order to move the lower surface masking jigs 72, 72. . In order to move the lower wedges 44, 44... In the vertical direction, the second drive cylinder 123 is provided as second drive means.

そして、上面マスキング治具６２及び下面マスキング治具７２・７２・・・の間であって対向する側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７の間に、ワークＷを配置した状態で、第一駆動シリンダ１２２における第一シリンダロッド１２４を伸張させ、第一ロッド１２８を上昇させる。これにより下面マスキング治具７２・７２・・・を上面マスキング治具６２に近接させるのである。一方、第二駆動シリンダ１２３における第二シリンダロッド１２５を伸張させ、第二ロッド１２９を上昇させる。これにより下部くさび４４・４４・・・を移動させて側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７を互いに近接させることにより、ワークＷにおける各面の開口部を閉塞するのである。   In addition, the workpiece W is disposed between the upper side masking jig 62 and the lower side masking jigs 72, 72... In this state, the first cylinder rod 124 in the first drive cylinder 122 is extended, and the first rod 128 is raised. As a result, the lower surface masking jigs 72, 72... On the other hand, the second cylinder rod 125 in the second drive cylinder 123 is extended, and the second rod 129 is raised. As a result, the lower wedges 44, 44... Are moved to bring the side masking jigs 77, 77... And the rear masking jig 67 close to each other, thereby closing the openings on the respective surfaces of the workpiece W. .

本実施形態においても上記の如く構成することにより、リークテストにおける反力を構造全体で受けて、駆動手段を第一駆動手段と第二駆動手段の二つに集約している。つまり、駆動手段の数を低減させることができることから、マスキング治具における反力受けの構造を全体的に簡素化、小型化して、コストを下げることが可能となるのである。   Also in the present embodiment, by configuring as described above, the reaction force in the leak test is received by the entire structure, and the driving means is concentrated into the first driving means and the second driving means. In other words, since the number of driving means can be reduced, the structure of the reaction force receiver in the masking jig can be simplified and miniaturized as a whole, and the cost can be reduced.

［第三実施形態］
次に、本発明の第三実施形態に係るリークテスト装置２１０の概略について、図１０及び図１１を用いて説明する。 [Third embodiment]
Next, an outline of the leak test apparatus 210 according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

本実施形態に係るリークテスト装置２１０は、図１０及び図１１に示す如く、前記第一実施形態に係るリークテスト装置１０における、くさびユニット部４０、上面マスキング部６０、及び、治具パレット７０に対応する箇所に、摺動ユニット部２４０、上面マスキング部２６０、及び、治具パレット２７０がそれぞれ配設されている。そして、第一実施形態と同様に、図１０及び図１１に示す如く、ワークＷを治具パレット２７０に載置した状態で、ワークＷのリークテストを行うように構成されているのである。なお、図１０においては説明の便宜上、治具パレット２７０における前後部分を省略して記載している。同様に、図１１においては、治具パレット２７０における左右部分を省略して記載している。   As shown in FIGS. 10 and 11, the leak test apparatus 210 according to the present embodiment includes a wedge unit section 40, an upper surface masking section 60, and a jig pallet 70 in the leak test apparatus 10 according to the first embodiment. The sliding unit portion 240, the upper surface masking portion 260, and the jig pallet 270 are disposed at corresponding locations. As in the first embodiment, as shown in FIGS. 10 and 11, the workpiece W is configured to perform a leak test in a state where the workpiece W is placed on the jig pallet 270. In FIG. 10, the front and rear portions of the jig pallet 270 are omitted for convenience of explanation. Similarly, in FIG. 11, the left and right portions of the jig pallet 270 are omitted.

本実施形態における摺動ユニット部２４０は、プレート４１、ポール４２・４２、及び、下部摺動部材２４４・２４４・・・等で構成される。
詳細には、プレート４１は平面視で下側プレート３１よりも小さい略長方形に形成された板状部材であり、その中央部下面には、第二ロッド２９の上面が連結されている。これにより、第二ロッド２９が前記の如く駆動シリンダ２１の駆動によって上下に移動すると、プレート４１も上下に移動するように構成されているのである。 The sliding unit 240 in this embodiment includes a plate 41, poles 42 and 42, lower sliding members 244, 244, etc.
Specifically, the plate 41 is a plate-like member formed in a substantially rectangular shape smaller than the lower plate 31 in plan view, and the upper surface of the second rod 29 is connected to the lower surface of the central portion. Thus, when the second rod 29 is moved up and down by driving the drive cylinder 21 as described above, the plate 41 is also moved up and down.

プレート４１の下面における左前側中途部及び右後側中途部には、下側プレート３１に配設されたポールガイド３７・３７と対向する位置に、下方に突出したポール４２・４２が配設されている。そして、ポール４２・４２は下側プレート３１及びポールガイド３７・３７に対して上下方向に摺動可能に挿通されている。これにより、プレート４１の下側プレート３１に対する水平方向の相対位置が固定されるのである。   Poles 42 and 42 projecting downward are disposed at positions facing the pole guides 37 and 37 disposed on the lower plate 31 in the left front middle part and right rear middle part on the lower surface of the plate 41. ing. The poles 42 and 42 are inserted into the lower plate 31 and the pole guides 37 and 37 so as to be slidable in the vertical direction. Thereby, the horizontal relative position with respect to the lower plate 31 of the plate 41 is fixed.

プレート４１における位置決めピン３３及びブロック３５と対向する部分には、これらを上下方向に挿通することができるように開口部が形成されている。つまり、プレート４１に形成された開口部に位置決めピン３３及びブロック３５が挿通されることにより、それぞれが上下動する際に互いに干渉しないように構成されているのである。   An opening is formed in a portion of the plate 41 facing the positioning pin 33 and the block 35 so that these can be inserted in the vertical direction. That is, the positioning pin 33 and the block 35 are inserted into the opening formed in the plate 41 so that they do not interfere with each other when they move up and down.

プレート４１における前後左右の四箇所の端部には、ホルダ４３・４３・・・が配設され、上方に突出する下部摺動部材２４４・２４４・・・がホルダ４３・４３・・・のそれぞれに配設されている。下部摺動部材２４４・２４４・・・の先端部は、互いに対向する側が曲面形状に形成されている。
なお、本実施形態においては、下部摺動部材２４４・２４４・・・は、プレート４１における四箇所に配設される構成としたが、下部摺動部材２４４は少なくとも一対あればよく、ワークＷの開口部の位置関係によればプレート４１における前後端のみ、又は左右端のみに配設する構成とすることも可能である。また、下部摺動部材２４４・２４４・・・に代えて、下方に突出する摺動部材を上側（上面マスキング治具６２の側）に配設することも可能である。
これらのポール４２・４２、及び、下部摺動部材２４４・２４４・・・等は、プレート４１の上下動に伴って、プレート４１と一体的に上下動する。 The holders 43, 43,... Are disposed at the four ends of the plate 41 in the front, rear, left, and right, and the lower sliding members 244, 244,. It is arranged. The tip portions of the lower sliding members 244, 244... Are formed in curved surfaces on the sides facing each other.
In this embodiment, the lower sliding members 244, 244... Are arranged at four locations on the plate 41. However, at least a pair of the lower sliding members 244 may be provided, Depending on the positional relationship of the openings, the plate 41 may be disposed only at the front and rear ends or only at the left and right ends. In addition, instead of the lower sliding members 244, 244..., A sliding member protruding downward can be disposed on the upper side (on the upper surface masking jig 62 side).
These poles 42, 42, lower sliding members 244, 244, etc. move up and down integrally with the plate 41 as the plate 41 moves up and down.

上面マスキング部２６０は、上面マスキング治具６２、上部摺動部材２６４・２６４・・・等で構成される。
詳細には、天板１３の下面略中央部から下方に突出して治具支持部６１が配設され、治具支持部６１の下端に上面マスキング治具６２が配設されるのである。また、天板１３の下面における、下部摺動部材２４４・２４４・・・と対向する四箇所の部分から下方に突出して支持部６３・６３・・・が配設され、突出した支持部６３・６３・・・下端に上部摺動部材２６４・２６４・・・が配設されるのである。上部摺動部材２６４・２６４・・・の先端部は、互いに対向する側が曲面形状に形成されている。 The upper surface masking portion 260 includes an upper surface masking jig 62, upper sliding members 264, 264, etc.
More specifically, a jig support 61 is disposed so as to protrude downward from the substantially lower center of the top plate 13, and an upper surface masking jig 62 is disposed at the lower end of the jig support 61. Further, support portions 63, 63,... Are disposed to protrude downward from four portions facing the lower sliding members 244, 244,. 63... Upper sliding members 264, 264. The tip portions of the upper sliding members 264, 264,... Are formed with curved surfaces on the sides facing each other.

天板１３の下面後部には、治具支持部６５が下方に向かって延出される。そして、治具支持部６５から前方に向かって、前後方向にスライド可能に構成された後面マスキング治具プレート６６が配設される。そして、後面マスキング治具プレート６６の前面に、後面マスキング治具６７が配設されるのである。なお、治具支持部６５は図示しないスライド機構により、左右方向（図１１における紙面奥行方向）にスライド可能に構成されている。   A jig support portion 65 extends downward from the rear surface of the top plate 13. A rear masking jig plate 66 configured to be slidable in the front-rear direction from the jig support 65 toward the front is disposed. A rear masking jig 67 is disposed on the front surface of the rear masking jig plate 66. Note that the jig support portion 65 is configured to be slidable in the left-right direction (the depth direction in FIG. 11) by a slide mechanism (not shown).

［治具パレット２７０］
治具パレット２７０は、図１０及び図１１に示す如く、ワークＷが載置された状態で、上側プレート５１の上面に配置される。つまり、治具パレット２７０は、上側プレート５１の上下動に伴って上下動し、上面マスキング治具６２に対して近接離間するのである。
治具パレット２７０は、第一実施形態に係るリークテスト装置１０における治具パレット７０の構成に加えて、スライダ７３・７３・・・の外側端部に下部摺動面２７５・２７５・・・が、側面マスキング治具プレート７４・７４・・・の上端部外側には、上部摺動面２７６・２７６・・・が配設されている。また、後面マスキング治具プレート６６にも同様に、その下端部に下部摺動面２７５が、上端部に上部摺動面２７６が配設されている。 [Jig pallet 270]
As shown in FIGS. 10 and 11, the jig pallet 270 is disposed on the upper surface of the upper plate 51 with the workpiece W placed thereon. In other words, the jig pallet 270 moves up and down as the upper plate 51 moves up and down and moves closer to and away from the upper surface masking jig 62.
In addition to the configuration of the jig pallet 70 in the leak test apparatus 10 according to the first embodiment, the jig pallet 270 has lower sliding surfaces 275, 275,. The upper sliding surfaces 276, 276,... Are disposed outside the upper end portions of the side masking jig plates 74, 74,. Similarly, the rear masking jig plate 66 has a lower sliding surface 275 at its lower end and an upper sliding surface 276 at its upper end.

具体的には、それぞれの下部摺動面２７５・２７５・・・は、第二閉塞部材である下面マスキング治具７２・７２・・・が第一閉塞部材である上面マスキング治具６２に対して近接する方向に向かうに従って距離が大きくなるように傾斜して、互いに背向して（下部摺動面２７５・２７５・・・が下方外側に向かうように）形成されるのである。
また、上部摺動面２７６・２７６・・・は、第二閉塞部材である下面マスキング治具７２・７２・・・が第一閉塞部材である上面マスキング治具６２に対して近接する方向に向かうに従って距離が小さくなるように傾斜して、互いに背向して（上部摺動面２７６・２７６・・・が上方外側に向かうように）形成されるのである。
なお、本実施形態では、上部摺動面２７６・２７６・・・及び下部摺動面２７５・２７５・・・は、それぞれ第三閉塞部材である側面マスキング治具７７・７７・・・における上面マスキング治具６２側の端部、及び、下面マスキング治具７２・７２・・・側の端部のそれぞれに形成する構成としているが、何れか一方のみを形成する構成とすることも可能である。 Specifically, each of the lower sliding surfaces 275, 275,... Has a lower masking jig 72, 72, which is the second closing member, with respect to the upper masking jig 62, which is the first closing member. Inclined so that the distance increases toward the approaching direction, and they are formed so as to face each other (so that the lower sliding surfaces 275, 275, ... are directed downward and outward).
Further, the upper sliding surfaces 276, 276... Are directed in a direction in which the lower surface masking jigs 72, 72. Accordingly, they are formed so that the distance becomes smaller and they face each other (the upper sliding surfaces 276, 276... Face upward).
In this embodiment, the upper sliding surfaces 276, 276... And the lower sliding surfaces 275, 275... Are masked on the upper surfaces of the side masking jigs 77, 77. Although it is set as the structure formed in each of the edge part by the side of the jig | tool 62, and the edge part by the side of the lower surface masking jig | tool 72 * 72 ..., it is also possible to set it as the structure which forms only any one.

［リークテスト方法］
上記の如く構成されたリークテスト装置２１０においてリークテストを行う際は、前記第一実施形態に係るリークテスト装置１０におけるステップ０１からステップ０５と略同一の手順を踏んで行う。 [Leak test method]
When performing a leak test in the leak test apparatus 210 configured as described above, the leak test apparatus 10 according to the first embodiment is performed by following substantially the same procedure as steps 01 to 05.

そして、第一実施形態におけるステップＳ０６の段階で、第二ロッド２９が駆動シリンダ２１の駆動によって上方に移動することにより、プレート４１が上昇するのである。   Then, at the stage of step S06 in the first embodiment, the second rod 29 is moved upward by driving the drive cylinder 21, so that the plate 41 is raised.

次に、第一実施形態におけるステップＳ０７においては、下部摺動面２７５・２７５・・・を下部摺動部材２４４・２４４・・・で摺動させて、側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７を内側にスライドさせる。詳細には、下部摺動面２７５・２７５・・・と上部摺動面２７６・２７６・・・とを、下部摺動部材２４４・２４４・・・と上部摺動部材２６４・２６４・・・とで上下から挟み込むことにより、くさび機構により水平方向内向きの力に変換し、側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７を内側にスライドさせるのである。これにより、それぞれの先端部でワークＷの側面に形成された開口部をマスキングするのである。
即ち、本実施形態におけるリークテスト装置２１０は、くさび作用を発生させる摺動面が治具パレット２７０の側に形成されている点が、第一実施形態に係るリークテスト装置１０と相違するのである。
以降、ステップＳ０８からステップＳ１９は第一実施形態と略同一であるため、省略する。 Next, in step S07 in the first embodiment, the lower sliding surfaces 275, 275... Are slid by the lower sliding members 244, 244. Then, the rear masking jig 67 is slid inward. Specifically, the lower sliding surfaces 275, 275,... And the upper sliding surfaces 276, 276, etc., the lower sliding members 244, 244, and the upper sliding members 264, 264,. Is converted into a horizontal inward force by the wedge mechanism, and the side masking jigs 77, 77... And the rear masking jig 67 are slid inward. Thereby, the opening part formed in the side surface of the workpiece | work W in each front-end | tip part is masked.
That is, the leak test apparatus 210 according to this embodiment is different from the leak test apparatus 10 according to the first embodiment in that a sliding surface that generates a wedge action is formed on the jig pallet 270 side. .
Henceforth, since step S08 to step S19 is substantially the same as 1st embodiment, it abbreviate | omits.

本実施形態に係るリークテスト装置２１０においては上記の如く構成することにより、複数の面に開口部を有するワークＷに対して、ワークＷにおける各面の開口部を閉塞した状態でリークテストを行うのである。
具体的には、リークテスト装置２１０は、第一閉塞部材である上面マスキング治具６２と、上面マスキング治具６２と対向して、上面マスキング治具６２に対して上下に近接離間可能に配設された、第二閉塞部材である下面マスキング治具７２・７２・・・と、を備えている。そして、下面マスキング治具７２・７２・・・を、上面マスキング治具６２の方向に近接離間させるために、斜面形状を備える第一カム２６、及び、第一ロッド２８で構成される第一カム機構を第一駆動手段として備えるのである。 The leak test apparatus 210 according to the present embodiment is configured as described above, and performs a leak test on a workpiece W having openings on a plurality of surfaces in a state where the openings on the surfaces of the workpiece W are closed. It is.
Specifically, the leak test apparatus 210 is disposed so as to be close to and away from the upper surface masking jig 62 so as to face the upper surface masking jig 62 and the upper surface masking jig 62 as the first closing member. , Which is a second closing member. In order to move the lower surface masking jigs 72, 72... To and away from each other in the direction of the upper surface masking jig 62, the first cam 26 having a slope shape and the first cam composed of the first rod 28. The mechanism is provided as the first drive means.

また、リークテスト装置２１０は、下面マスキング治具７２・７２・・・が上面マスキング治具６２に対して近接離間する方向と同じ方向に移動可能に互いに対向して配設された下部摺動部材２４４・２４４・・・を備えている。さらに、リークテスト装置２１０は、互いに対向して配設されるとともに、その下端部及び上端部には、下面マスキング治具７２・７２・・・が上面マスキング治具６２に対して近接する方向に向かうに従って、対向する互いの距離が大きくなるように傾斜した下部摺動面２７５・２７５・・・、及び、対向する互いの距離が小さくなるように傾斜した上部摺動面２７６・２７６・・・が形成され、下部摺動部材２４４・２４４・・・及び上部摺動部材２６４・２６４・・・の先端部が下部摺動面２７５・２７５・・・、及び、上部摺動面２７６・２７６・・・で摺動することにより、水平方向へ互いに近接離間するようにスライド可能に構成された、第三閉塞部材である側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７を備えている。
そして、下部摺動部材２４４・２４４・・・を、上下方向に移動させるために、第一カム２６と斜面の角度が異なる斜面形状を備える第二カム２７、及び、第二ロッド２９で構成される第二カム機構を第二駆動手段として備えるのである。 In addition, the leak test apparatus 210 includes a lower sliding member disposed so as to face each other so that the lower surface masking jigs 72, 72. 244, 244... Further, the leak test apparatus 210 is disposed so as to face each other, and the lower surface masking jigs 72, 72... The lower sliding surfaces 275, 275, etc., which are inclined so that the distance between the opposing surfaces increases as they go, and the upper sliding surfaces 276, 276, which are inclined so that the distance between the opposing surfaces become smaller. The lower sliding members 244, 244... And the upper sliding members 264, 264... And the lower sliding surfaces 275, 275. The side masking jigs 77, 77... And the rear masking jig 67, which are third closing members, are configured to be slidable so as to be close to and away from each other in the horizontal direction by sliding at. Eteiru.
In order to move the lower sliding members 244, 244... In the vertical direction, the first cam 26 and the second rod 27 having a slope shape with different slope angles and the second rod 29 are configured. The second cam mechanism is provided as second drive means.

そして、上面マスキング治具６２及び下面マスキング治具７２・７２・・・の間であって対向する側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７の間に、ワークＷを配置した状態で、第一カム機構により下面マスキング治具７２・７２・・・を上面マスキング治具６２に近接させるとともに、第二カム機構により下部摺動部材２４４・２４４・・・を移動させて側面マスキング治具７７・７７・・・及び後面マスキング治具６７を互いに近接させることにより、ワークＷにおける各面の開口部を閉塞するのである。   In addition, the workpiece W is disposed between the upper side masking jig 62 and the lower side masking jigs 72, 72... In this state, the lower surface masking jigs 72, 72... Are brought close to the upper surface masking jig 62 by the first cam mechanism, and the lower sliding members 244, 244. The jigs 77, 77... And the rear masking jig 67 are brought close to each other to close the openings of the respective surfaces of the workpiece W.

上記の如く構成することにより、ワークＷの各面に対応するマスキング治具のそれぞれに駆動手段が備えられる構成ではなく、リークテストにおける反力を構造全体で受けることにより、駆動手段を第一駆動手段と第二駆動手段の二つに集約している。つまり、駆動手段の数を低減させることができることから、マスキング治具における反力受けの構造を全体的に簡素化、小型化して、コストを下げることが可能となるのである。
本実施形態では第一駆動手段である第一カム機構と、第二駆動手段である第二カム機構と、を同一の駆動機構である駆動シリンダ２１で駆動することにより、駆動手段の集約化をより進めた構成としている。 By configuring as described above, the driving means is not provided in each masking jig corresponding to each surface of the workpiece W, but the driving means is first driven by receiving the reaction force in the leak test in the entire structure. The means and the second driving means are summarized. In other words, since the number of driving means can be reduced, the structure of the reaction force receiver in the masking jig can be simplified and miniaturized as a whole, and the cost can be reduced.
In the present embodiment, the first cam mechanism that is the first drive means and the second cam mechanism that is the second drive means are driven by the drive cylinder 21 that is the same drive mechanism, thereby integrating the drive means. It has a more advanced structure.

また、ワークＷに合わせてマスキング治具ごとに駆動手段を配設する構成ではないため、容易に段取り替えを行うことができる。即ち、ワークＷの種類を変更する際に、マスキング治具と駆動手段とを同時に交換するが必要がないため、段取り替えの作業が簡易となり、作業時間を短縮することができるのである。   Further, since the driving means is not provided for each masking jig in accordance with the workpiece W, the setup can be easily changed. That is, when the type of the workpiece W is changed, it is not necessary to replace the masking jig and the driving means at the same time. Therefore, the setup change work is simplified and the work time can be shortened.

また、本実施形態においては、駆動シリンダ２１の駆動力の方向を変換するためにくさび機構を用いているため、構成がシンプルであり、設備が大掛かりとなることがない。また、部品を抑えることができるため、設備コストが増加することもない。   Moreover, in this embodiment, since the wedge mechanism is used to change the direction of the driving force of the drive cylinder 21, the configuration is simple and the equipment does not become large. Further, since the number of components can be suppressed, the equipment cost does not increase.

さらに、本実施形態に係るリークテスト装置２１０においては、ワークＷを載置した状態で、リークテスト装置２１０の本体に対して着脱可能な治具パレット２７０を備え、下面マスキング治具７２・７２・・・及び側面マスキング治具７７・７７・・・は、治具パレット２７０に一体的に配設される構成としている。   Furthermore, the leak test apparatus 210 according to the present embodiment includes a jig pallet 270 that can be attached to and detached from the main body of the leak test apparatus 210 with the workpiece W placed thereon, .. And the side masking jigs 77, 77... Are integrally arranged on the jig pallet 270.

上記の如く構成することにより、ワークＷの種類を変更する際に、段取り替えを行うことがより簡易となる。つまり、側面マスキング治具７７・７７・・・や下面マスキング治具７２・７２・・・はワークＷの開口部の大きさや形状に対応して形成されているため、治具パレット２７０をワークＷの種類に対応して変更するだけで、段取り替えが可能となるのである。   By configuring as described above, when changing the type of the workpiece W, it becomes easier to perform the setup change. In other words, the side masking jigs 77, 77... And the bottom masking jigs 72, 72... Are formed according to the size and shape of the opening of the workpiece W. It is possible to change the set-up by simply changing it according to the type.

なお、本実施形態に係るリークテスト装置２１０においても、前記第二実施形態に係るリークテスト装置１１０と同様に、下面マスキング治具７２・７２・・・を、上面マスキング治具６２の方向に近接離間させるために第一駆動シリンダ１２２を第一駆動手段として備え、下部摺動部材２４４・２４４・・・を、上下方向に移動させるために第二駆動シリンダ１２３を第二駆動手段として備える構成とすることも可能である（図９を参照）。   In the leak test apparatus 210 according to this embodiment, the lower surface masking jigs 72, 72... Are close to the upper surface masking jig 62 in the same manner as the leak test apparatus 110 according to the second embodiment. The first drive cylinder 122 is provided as the first drive means for separating, and the second drive cylinder 123 is provided as the second drive means for moving the lower sliding members 244, 244. It is also possible (see FIG. 9).

１０ リークテスト装置
４４ 下部くさび
６２ 上面マスキング治具
７２ 下面マスキング治具
７７ 側面マスキング治具
Ｗ ワーク
10 Leak Test Equipment 44 Lower Wedge 62 Upper Masking Jig 72 Lower Masking Jig 77 Side Masking Jig W Workpiece

Claims (6)

複数の面に開口部を有するワークに対して、該ワークにおける各面の開口部を閉塞部材にて閉塞した状態で、前記ワークのリークテストを行う、リークテスト装置であって、
第一閉塞部材と、
前記第一閉塞部材と対向して、前記第一閉塞部材に対して近接離間可能に配設された、第二閉塞部材と、
前記第二閉塞部材を、前記第一閉塞部材の方向に近接離間させる、第一駆動手段と、
第二閉塞部材が第一閉塞部材に対して近接離間する方向と直交する方向へ、互いに近接離間するようにスライド可能に、対向して配設された、少なくとも一対の第三閉塞部材と、
第二閉塞部材が第一閉塞部材に対して近接離間する方向と同じ方向に移動可能に配設されるとともに、その先端部には、先端に向かうに従って互いの距離が大きくなるように傾斜した摺動面が形成され、前記第三閉塞部材を前記摺動面で摺動させることにより、前記対向して配設された第三閉塞部材を互いに近接離間する方向へスライドさせる、少なくとも一対のくさび部材と、
前記くさび部材を、第二閉塞部材が第一閉塞部材に対して近接離間する方向と同じ方向に移動させる、第二駆動手段と、を備え、
第一閉塞部材及び第二閉塞部材の間であって、対向して配設された第三閉塞部材の間に、前記ワークを配置した状態で、前記第一駆動手段により第二閉塞部材を第一閉塞部材に近接させるとともに、前記第二駆動手段によりくさび部材を移動させて第三閉塞部材を互いに近接させることにより、前記ワークにおける各面の開口部を閉塞する、
ことを特徴とする、リークテスト装置。 With respect to a work having openings on a plurality of surfaces, a leak test apparatus for performing a leak test on the work in a state where the openings on each surface of the work are closed with a closing member,
A first closure member;
Opposite to the first closed infarction member, disposed so as to be close and away from the said first closure member, and a second closure member,
First driving means for causing the second closing member to approach and separate in the direction of the first closing member;
At least a pair of third closing members disposed so as to be slidable so as to be close to and away from each other in a direction orthogonal to the direction in which the second closing member is close to and away from the first closing member;
The second closing member is disposed so as to be movable in the same direction as the direction in which the second closing member approaches and separates from the first closing member, and the tip portion of the sliding member is inclined so that the distance from each other increases toward the tip. At least a pair of wedge members that have a moving surface and slide the third closing member disposed opposite to each other in a direction of approaching and separating from each other by sliding the third closing member on the sliding surface. When,
A second driving means for moving the wedge member in the same direction as the direction in which the second closing member approaches and separates from the first closing member; and
In a state where the workpiece is arranged between the first closing member and the second closing member and between the third closing members disposed opposite to each other, the second driving member is moved by the first driving means. Close to one closing member, and move the wedge member by the second driving means to close the third closing member to each other, thereby closing the opening of each surface of the workpiece;
The leak test apparatus characterized by the above-mentioned. 前記第一駆動手段は、斜面形状を備える第一カム、及び、前記第一カムの斜面形状に応じて移動する第一ロッドで構成される第一カム機構であり、
前記第二駆動手段は、前記第一カムと異なる斜面形状を備える第二カム、及び、前記第二カムの斜面形状に応じて移動する第二ロッドで構成される第二カム機構であり、
前記第一カム及び第二カムは同一の駆動機構によって駆動される、
ことを特徴とする、請求項１に記載のリークテスト装置。 The first driving means is a first cam mechanism including a first cam having a slope shape, and a first rod that moves according to the slope shape of the first cam,
The second drive means is a second cam mechanism comprising a second cam having a slope shape different from the first cam, and a second rod that moves according to the slope shape of the second cam,
The first cam and the second cam are driven by the same drive mechanism,
The leak test apparatus according to claim 1, wherein: パレット本体と、該パレット本体に配設される前記第二閉塞部材及び前記第三閉塞部材と、が一体的に構成される治具パレットと、前記第一駆動手段の駆動により前記第一閉塞部材の方向に近接離間するプレートと、を備え、
前記ワークを前記パレット本体に載置した状態で、前記パレット本体を前記プレートの上面に配置可能とすることにより、前記治具パレットが前記リーク装置本体に対して着脱可能とされる、
ことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載のリークテスト装置。 A jig pallet in which a pallet body, the second closing member and the third closing member disposed in the pallet body are integrally formed, and the first closing member driven by the first driving means A plate that is closely spaced in the direction of
With the work placed on the pallet body, the jig pallet can be attached to and detached from the leak device body by allowing the pallet body to be disposed on the upper surface of the plate.
The leak test apparatus according to claim 1, wherein the leak test apparatus is characterized in that: 複数の面に開口部を有するワークに対して、該ワークにおける各面の開口部を閉塞部材にて閉塞した状態で、前記ワークのリークテストを行う、リークテスト装置であって、
第一閉塞部材と、
前記第一閉塞部材と対向して、前記第一閉塞部材に対して近接離間可能に配設された、第二閉塞部材と、
前記第二閉塞部材を、前記第一閉塞部材の方向に近接離間させる、第一駆動手段と、
第二閉塞部材が第一閉塞部材に対して近接離間する方向と同じ方向に移動可能に、互いに対向して配設された、少なくとも一対の摺動部材と、
互いに対向して配設されるとともに、その第一閉塞部材側の端部又は第二閉塞部材側の端部には、第一閉塞部材と第二閉塞部材とが互いに近接する方向に向かうに従って距離が大きくなるように傾斜した摺動面が互いに背向して形成され、前記摺動部材の先端部が前記摺動面で摺動することにより、第二閉塞部材が第一閉塞部材に対して近接離間する方向と直交する方向へ、互いに近接離間するようにスライド可能に構成された、少なくとも一対の第三閉塞部材と、
前記摺動部材を、第二閉塞部材が第一閉塞部材に対して近接離間する方向と同じ方向に移動させる、第二駆動手段と、を備え、
第一閉塞部材及び第二閉塞部材の間であって、対向して配設された第三閉塞部材の間に、前記ワークを配置した状態で、前記第一駆動手段により第二閉塞部材を第一閉塞部材に近接させるとともに、前記第二駆動手段により摺動部材を移動させて第三閉塞部材を互いに近接させることにより、前記ワークにおける各面の開口部を閉塞する、
ことを特徴とする、リークテスト装置。 With respect to a work having openings on a plurality of surfaces, a leak test apparatus for performing a leak test on the work in a state where the openings on each surface of the work are closed with a closing member,
A first closure member;
Opposite to the first closed infarction member, disposed so as to be close and away from the said first closure member, and a second closure member,
First driving means for causing the second closing member to approach and separate in the direction of the first closing member;
At least a pair of sliding members disposed opposite to each other so as to be movable in the same direction as the direction in which the second closing member approaches and separates from the first closing member;
The first closing member side end or the second closing member side end is disposed so as to face each other, and the distance as the first closing member and the second closing member approach each other. The sliding surfaces inclined so as to be large are formed so as to face each other, and the distal end portion of the sliding member slides on the sliding surface, whereby the second closing member moves relative to the first closing member. At least a pair of third closing members configured to be slidable so as to be close to and away from each other in a direction orthogonal to the direction of approaching and separating; and
A second driving means for moving the sliding member in the same direction as the direction in which the second closing member approaches and separates from the first closing member; and
In a state where the workpiece is arranged between the first closing member and the second closing member and between the third closing members disposed opposite to each other, the second driving member is moved by the first driving means. Close to one closing member, and move the sliding member by the second driving means to bring the third closing member close to each other, thereby closing the openings on each surface of the workpiece;
The leak test apparatus characterized by the above-mentioned. 前記第一駆動手段は、斜面形状を備える第一カム、及び、前記第一カムの斜面形状に応じて移動する第一ロッドで構成される第一カム機構であり、
前記第二駆動手段は、前記第一カムと異なる斜面形状を備える第二カム、及び、前記第二カムの斜面形状に応じて移動する第二ロッドで構成される第二カム機構であり、
前記第一カム及び第二カムは同一の駆動機構によって駆動される、
ことを特徴とする、請求項４に記載のリークテスト装置。 The first driving means is a first cam mechanism including a first cam having a slope shape, and a first rod that moves according to the slope shape of the first cam,
The second drive means is a second cam mechanism comprising a second cam having a slope shape different from the first cam, and a second rod that moves according to the slope shape of the second cam,
The first cam and the second cam are driven by the same drive mechanism,
The leak test apparatus according to claim 4, wherein: パレット本体と、該パレット本体に配設される前記第二閉塞部材及び前記第三閉塞部材と、が一体的に構成される治具パレットと、前記第一駆動手段の駆動により前記第一閉塞部材の方向に近接離間するプレートと、を備え、
前記ワークを前記パレット本体に載置した状態で、前記パレット本体を前記プレートの上面に配置可能とすることにより、前記治具パレットが前記リーク装置本体に対して着脱可能とされる、
ことを特徴とする、請求項４又は請求項５に記載のリークテスト装置。 A jig pallet in which a pallet body, the second closing member and the third closing member disposed in the pallet body are integrally formed, and the first closing member driven by the first driving means A plate that is closely spaced in the direction of
With the work placed on the pallet body, the jig pallet can be attached to and detached from the leak device body by allowing the pallet body to be disposed on the upper surface of the plate.
The leak test apparatus according to claim 4, wherein the leak test apparatus is characterized in that:
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