JP5677109B2 - インクジェット記録ヘッド用基板、インクジェット記録ヘッド及び記録装置 - Google Patents
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Description
以下、上述したインクジェット記録ヘッド用基板200の構成について説明する。
第1の導電層340や第2の導電層170に用いられるAl等からなる導電材料は、インクなどの溶液に溶解し易い。そのため、少なくとも第1の導電層340や第2の導電層170に比べて、インクによって溶解され難い腐食防止材料であって、導電性を有する材料を隔絶層として用いる。
1、高融点材料であること、
2、比抵抗が1000〜2000μΩ・cm程度の高抵抗化可能な材料であること、
3、温度による抵抗率変化が起きないこと、
4、熱的安定性が高いこと。
次に、インクジェット記録ヘッド用基板200の製造方法を順に説明する。まず、図3(a)に示すように、Si基板100上に、N+領域301、熱酸化膜層110、第1の蓄熱層130、第2の蓄熱層150が積層されている基板を用意する。
次に、実施形態2について説明する。図7(a)は、図4に示すインクジェット記録ヘッド用基板200における領域Cの拡大図の一例である。当該基板200の製造に用いられる材料及び構成に関しては、実施形態1と同様である部分は省略する。
Claims (9)
- インクを吐出するための熱エネルギーを発生する発熱素子に対して、発熱に必要な電力を供給するための一対の個別導電層と、
前記一対の個別導電層の一方に電流を供給するための第1の共通導電層と、
前記一対の個別導電層の他方から前記電流を受けるための第2の共通導電層と、
前記一対の個別導電層の一方と前記第1の共通導電層とを電気的に接続する第1の接続部と、
前記一対の個別導電層の他方と前記第2の共通導電層とを電気的に接続する第2の接続部と、を具備し、
前記第1の接続部は、前記一対の個別導電層、前記第1の共通導電層及び前記第2の共通導電層に用いられる材料に比べてインクへの溶解度が低く且つ導電性を有する材料からなる第1の隔絶層であって、前記一対の個別導電層の一方と前記第1の共通導電層との間の経路に前記一対の個別導電層の一方の側でのインクによる溶解が前記第1の共通導電層の側に伝わるのを抑止するように配された第1の隔絶層を含んでおり、
前記第2の接続部は、前記材料からなる第2の隔絶層であって、前記一対の個別導電層の他方と前記第2の共通導電層との間の経路に前記一対の個別導電層の他方の側でのインクによる溶解が前記第2の共通導電層の側に伝わるのを抑止するように配された第2の隔絶層を含んでいる
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド用基板。 - 前記発熱素子は、通電により発熱する発熱抵抗層で設けられており、
前記発熱抵抗層、前記第1の隔絶層及び前記第2の隔絶層は、同じ材料で構成される
ことを特徴とする請求項1記載のインクジェット記録ヘッド用基板。 - 前記発熱抵抗層、前記第1の隔絶層及び前記第2の隔絶層は、連続した一層として設けられる
ことを特徴とする請求項2記載のインクジェット記録ヘッド用基板。 - 前記発熱抵抗層の材料は、
Ta、Nb及びHfの少なくとも1つを含有する単体金属又は合金である
ことを特徴とする請求項2又は3記載のインクジェット記録ヘッド用基板。 - 前記第2の共通導電層と前記一対の個別導電層の他方とは、
前記発熱素子に通電するか否かを決定するためのスイッチング素子を介して接続されている
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド用基板。 - 前記第1の共通導電層と前記一対の個別導電層の一方とは、
前記発熱素子に通電するか否かを決定するための第1のスイッチング素子を介して接続されており、
前記第2の共通導電層と前記一対の個別導電層の他方とは、
前記発熱素子に通電するか否かを決定するための第2のスイッチング素子を介して接続されている
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド用基板。 - 前記一対の個別導電層は、複数設けられ、
前記第1の共通導電層は、複数の前記一対の個別配線の一方と接続され、
前記第2の共通導電層は、複数の前記一対の個別配線の他方と接続される
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド用基板。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド用基板を用いたインクジェット記録ヘッド。
- 請求項6に記載のインクジェット記録ヘッド用基板を用いたインクジェット記録ヘッドと、
前記第1のスイッチング素子及び前記第2のスイッチング素子を制御する制御手段と、
前記発熱素子に対応して設けられた吐出口からインクが吐出されているか否かを検出する検出手段と
を具備し、
前記制御手段は、
前記検出手段によりインクが吐出されていないと検知された場合、前記発熱素子に接続された前記第1のスイッチング素子又は前記第2のスイッチング素子の少なくとも一方をOFF状態にするように制御する
ことを特徴とするインクジェット記録装置。
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