JP5667732B1 - 無機膜及び積層体 - Google Patents
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Abstract
Description
n1の値としては有機物であるn0との屈折率差を小さくするために1.7以下であることが好ましく、1.6以下であることが特に好ましい。また、n2の値としては特に限定はされないが、ガスバリア性を得るために材料を選択した場合、1.7より大きな値であることが好ましく、1.8以上であることがより好ましい。
n4の値としては有機物である樹脂層14の屈折率n5との屈折率差を小さくするために1.7以下であることが好ましく、1.6以下であることが特に好ましい。
SiZnSnOガスバリア膜において、高いガスバリア性、屈曲性を得るためには、ZnとSnの総和に対するSnの重量比Xsが、70>Xs>0を満たしていることが好ましく、50≧Xs>0を満たしていることがより好ましく、30>Xs≧5を満たしていることがさらに好ましく、10≧Xs≧5を満たしていることが最も好ましい。
また、AlZnSnOガスバリア膜において、高いガスバリア性、屈曲性を得るためには、ZnとSnの総和に対するSnの重量比Xsが、50≧Xs>0を満たしていることが好ましく、50>Xs>0を満たしていることがより好ましく、30≧Xs>0を満たしていることがさらに好ましく、30≧Xs≧10を満たしていることが最も好ましい。
積層体としてバリアフィルムを作製した。バリアフィルムの基材としてPETフィルム(東レ社製、商品名:「ルミラー50T60」)を用いた。
次に、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン80重量部、テトラエトキシシラン53重量部、チタニウムテトラブトキシド30重量部及び水4.9重量部含む組成物に、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モリフォリノプロパン−1−オン(チバ・スペシャリティーケミカルズ社製、商品名:「イルガキュア907」)0.1重量部を加えて、9Wの紫外線ランプを用いて紫外線を15分間照射して予備重合を行った。この組成物をグラビアコーターにより上記基材の一面に塗布し、塗布した組成物に電子線照射装置(ESI社製、製品名:「EC300/165/800」)を用いて、加速電圧175kV、照射線量150kGyの条件で電子線を照射することによって、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランのラジカル重合を行ってラジカル重合体を形成した後、電子線照射を行った組成物を一面に有するポリエチレンテレフタレートフィルムを45℃、相対湿度65%RHの環境下に1時間放置し、加水分解及び脱水縮合反応を促進することにより上記ラジカル重合体の主鎖間を架橋するテトラエトキシシランの脱水縮合物を形成し、平坦化層(厚み8μm)を得た。
ガスバリア層を図3に示すRtoRスパッタリング装置31を用いて形成した。本装置は巻出し巻き取り室32と成膜室40により構成されている。巻出し巻き取り室32には巻出し軸33、巻き取り軸34、ガイドロール35及び36及びキャンロール37が備えられていて、真空ポンプ38により排気され減圧状態になる。巻出し軸33には基材となるフィルム原反が取り付けられ、フィルム原反から巻き出された基材フィルム30はガイドロール35、キャンロール37及びガイドロール36を経て巻き取り軸34に巻き取られる。また、成膜室40にはターゲット41及び42が備えられバイポーラー電源43に接続されている。このバイポーラー電源43によりターゲット41とターゲット42に交互にパルス電力を供給することができる。さらに、成膜室40にはアルゴンガス供給ライン44と酸素ガス供給ライン45が接続されていて、成膜室40内にアルゴンガス及び酸素ガスを供給することができる。成膜室40にも真空ポンプ39が接続されていて、成膜室内を減圧することができる。成膜室40を減圧後、アルゴンガス及び酸素ガスを所定の流量で供給し、さらに、ターゲット41、ターゲット42に電力を供給することにより、該ターゲットとキャンロール37間の空間にプラズマを形成することができる。このプラズマによりターゲット41及びターゲット42を構成している材料が、該ターゲット表面から弾き出される。そして、弾き出された材料がキャンロール37面上を通過する基材表面に堆積し、薄膜を形成する。バイポーラー電源43はターゲット41とターゲット42に供給するパルス数比を任意に制御することができる。パルス数比を制御することにより、ターゲット41表面から弾き出され基材上に堆積する材料の量とターゲット42表面から弾き出され基材フィルム30上に堆積する材料の量の比をコントロールすることができる。ターゲット41とターゲット42に異なる材料を選択した場合、パルス数比を制御することにより基材フィルム30上に堆積する合金酸化物の組成を制御することができる。
平坦化層が片面に形成された基材フィルムを巻出し軸33にセットし、さらにターゲット41としてSiを、ターゲット42としてZnSn合金(Zn:Sn=70:30wt%)ターゲットを取り付けた。RtoRスパッタリング装置31を真空ポンプ38及び真空ポンプ39により排気し、3.0×10−4Paまで減圧した。その後、基材フィルムを巻出し軸33から巻き取り軸34の方向にガイドロール35、キャンロール37、ガイドロール36を通る経路で搬送しながら、成膜室40において以下に示す条件で平坦化層上にSiZnSnO薄膜を形成し、屈折率傾斜膜Aを得た。
基材搬送速度:0.1m/分,張力100N,キャンロール冷却温度:10℃
アルゴンガス流量:80sccm,酸素ガス流量:80sccm
電源出力:5kW、電力パルス比:ターゲット41:ターゲット42=3:1
次に、屈折率傾斜膜Aが形成され、巻き取り軸34に巻き取られた基材フィルムを巻き取り軸34から巻出し軸33の方向に搬送しながら、屈折率傾斜膜Aの表面に成膜条件Aに示す条件でSiZnSnO膜を形成し、屈折率傾斜膜Bを得た。
屈折率傾斜膜Bの表面に粘着材(積水化学工業社製、商品名:「ダブルタックテープ」、品番:5405A、厚み50μm)を貼付し、樹脂層を得た。
粘着材を貼付した後、ETFE(テトラフルオロエチレンとエチレンの共重合体)フィルム(旭硝子社製、商品名:「アフレックス」、厚み100μm)と貼合しガスバリアフィルム1を作製した。
屈折率傾斜膜A及び屈折率傾斜膜Bの成膜条件Aにおいて基材フィルム搬送条件を0.075m/分としたこと以外は、実施例1と同様としてガスバリアフィルム2を作製した。
屈折率傾斜膜A及び屈折率傾斜膜Bの成膜条件Aにおいて基材フィルム搬送条件を0.2m/分としたこと以外は、実施例1と同様としてガスバリアフィルム3を作製した。
屈折率傾斜膜A及び屈折率傾斜膜Bの成膜条件Aにおいてターゲット41としてSiを、ターゲット42としてZnSn合金(Zn:Sn=90:10wt%)ターゲットを取り付けたこと以外は、実施例1と同様としてガスバリアフィルム4を作製した。
屈折率傾斜膜A及び屈折率傾斜膜Bの成膜条件Aにおいてターゲット41としてSiを、ターゲット42としてZnSn合金(Zn:Sn=95:5wt%)ターゲットを取り付けたこと以外は、実施例1と同様としてガスバリアフィルム5を作製した。
屈折率傾斜膜A及び屈折率傾斜膜Bの成膜条件Aにおいてターゲット41としてSiを、ターゲット42としてZnSn合金(Zn:Sn=30:70wt%)ターゲットを取り付けたこと以外は、実施例1と同様としてガスバリアフィルム6を作製した。
屈折率傾斜膜A及び屈折率傾斜膜Bの成膜条件Aにおいてターゲット41としてAlを、ターゲット42としてZnSn合金(Zn:Sn=70:30wt%)ターゲットを取り付け、基材フィルム搬送条件を0.05m/分としたこと以外は、実施例1と同様としてガスバリアフィルム7を作製した。
屈折率傾斜膜A及び屈折率傾斜膜Bの成膜条件Aにおいてターゲット41としてAlを、ターゲット42としてZnSn合金(Zn:Sn=90:10wt%)ターゲットを取り付け、基材フィルム搬送条件を0.05m/分としたこと以外は、実施例1と同様としてガスバリアフィルム8を作製した。
屈折率傾斜膜A及び屈折率傾斜膜Bの成膜条件Aにおいてターゲット41としてAlを、ターゲット42としてZnSn合金(Zn:Sn=50:50wt%)ターゲットを取り付け、基材フィルム搬送条件を0.05m/分としたこと以外は、実施例1と同様としてガスバリアフィルム9を作製した。
屈折率傾斜膜A及び屈折率傾斜膜Bの成膜条件Aにおいて基材フィルム搬送条件を0.15m/分としたこと以外は、実施例1と同様としてガスバリアフィルム10を作製した。
屈折率傾斜膜A及び屈折率傾斜膜Bの成膜条件Aにおいてターゲット41としてSiを、ターゲット42としてZnSn合金(Zn:Sn=50:50wt%)ターゲットを取りつけたこと以外は、実施例1と同様としてガスバリアフィルム11を作製した。
屈折率傾斜膜Aの成膜条件Aにおいてターゲット41としてAlを、ターゲット42としてZnSn合金(Zn:Sn=90:10wt%)ターゲットを取り付け、基材フィルム搬送条件を0.05m/分とし、さらに屈折率傾斜膜Bの成膜条件Aにおいてターゲット41としてSiを、ターゲット42としてZnSn合金(Zn:Sn=90:10wt%)ターゲットを取り付け、基材フィルム搬送条件を0.15m/分としたこと以外は、実施例1と同様としてガスバリアフィルム12を作製した。
ターゲット41及びターゲット42にZnSn合金(Zn:Sn=70:30wt%)を取り付けた。成膜条件Bに示す条件で平坦化層上にガスバリア層としてZnSnO膜を形成し、ガスバリアフィルム13を作製した。
基材搬送速度:0.1m/分,張力100N,キャンロール冷却温度:10℃
アルゴンガス流量:80sccm,酸素ガス流量:80sccm
電源出力:5kW、電力パルス比:ターゲット:ターゲット=1:1
得られたガスバリアフィルムのガスバリア性を評価するために、差圧式透湿度測定装置(GTRテック社製、品番:GTR−300XASC)により40℃,90%の条件で水蒸気透過率を測定した。
ガスバリアフィルムの透明性の評価については、全光線透過率をヘイズメーター(東洋精機製作所社製、商品名:「ヘイズガード2」)によりJIS K7361に基づいて透過率を測定した。
ガスバリアフィルムの屈曲性はJIS C5016に示されている耐屈曲性試験に基づいて行った。得られたガスバリアフィルムを耐屈曲性試験装置の固定板と可動板に屈曲半径が5mmとなるように固定し、ストローク120mm、繰り返し屈曲回数を10000として試験を行い、試験後の水蒸気透過率で評価した。
ガスバリアフィルムの各層の屈折率は反射分光膜厚計(大塚電子社製、FE−3000)にて測定した。
試料表面にカーボンを蒸着後、FIBにより薄膜切片を作製し、透過型電子顕微鏡FE−TEM(日本電子社製:JEM−2010FEF)によりEDS線分析により測定した。
ガスバリア性、透明性、屈曲性評価結果を表1及び表2に示す。
水蒸気透過率:WVTR(g/m2/day)
WVTR<1.0×10−3…A
1.0×10−3≦WVTR<5.0×10−3…B
5.0×10−3≦WVTR<1.0×10−2…C
WVTR≧1.0×10−2…D
耐屈曲性試験後の水蒸気透過率:B−WVTR(g/m2/day)
B−WVTR<1.0×10−3…A
1.0×10−3≦B−WVTR<5.0×10−3…B
5.0×10−3≦B−WVTR<1.0×10−2…C
B−WVTR≧1.0×10−2…D
12…平坦化層
13…無機膜
13a…屈折率傾斜膜
13b…屈折率傾斜膜
14…樹脂層
30…基材フィルム
31…RtoRスパッタリング装置
32…巻出し巻き取り室
33…巻出し軸
34…巻き取り軸
35…ガイドロール
36…ガイドロール
37…キャンロール
38…真空ポンプ
39…真空ポンプ
40…成膜室
41…ターゲット
42…ターゲット
43…バイポーラー電源
44…アルゴンガス供給ライン
45…酸素ガス供給ライン
Claims (7)
- 無機材料からなり、一方面から他方面に向かって、屈折率がn1からn2(n1<n2)に連続的に変化し、機能性膜である屈折率傾斜膜Aと、無機材料からなり、一方面から他方面に向かって、屈折率がn3からn4(n4<n3)に連続的に変化し、機能性膜である屈折率傾斜膜Bとを備え、屈折率傾斜膜Aの屈折率がn2である側の面に、屈折率傾斜膜Bが前記屈折率がn3である面側から直接または間接的に接するように積層されており、n2とn3との差が0.1以下であって、
前記無機材料が、SiとAlのうちの少なくとも一方と、Znと、Snとを含む複酸化物である、無機膜。 - 前記屈折率傾斜膜Aと、屈折率傾斜膜Bのうち少なくとも一方が、Si、Zn及びSnを含む複酸化物からなることを特徴とする、請求項1に記載の無機膜。
- 前記Si、Zn及びSnを含む複酸化物においてZnとSnの総和に対するSnの比Xsが70>Xs>0を満たす、請求項2に記載の無機膜。
- 前記屈折率傾斜膜Aと、屈折率傾斜膜Bのうち少なくとも一方が、Al、Zn及びSnを含む複酸化物からなることを特徴とする、請求項1に記載の無機膜。
- 前記屈折率傾斜膜Aが、Al、Zn及びSnを含む複酸化物からなり、前記屈折率傾斜膜Bが、Si、Zn及びSnを含む複酸化物からなることを特徴とする、請求項1に記載の無機膜。
- 有機膜上に請求項1〜5のいずれか一項に記載の無機膜が形成されており、有機膜の屈折率をn0としたときにn0≦n1である、積層体。
- 前記無機膜上に樹脂層が形成されており、樹脂層の屈折率をn5としたときにn4≧n5である、請求項6に記載の積層体。
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