JP5657998B2 - 液滴塗布装置及び液滴塗布方法 - Google Patents
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Description
前記塗布対象物が載置されるステージと、
前記溶液の液滴を駆動素子の駆動により吐出孔から吐出する塗布ヘッドと、
前記ステージと前記塗布ヘッドとを前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に沿って相対移動させる移動装置と、
前記駆動素子に前記液滴の吐出に必要な駆動電圧を与える制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記ステージと前記塗布ヘッドとを相対移動させて前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に対して前記液滴を前記吐出孔から前記相対移動方向に沿って同じ吐出量で複数滴吐出させるとき、前記塗布ヘッドによる前記液滴の吐出開始から所定吐出回数分の前記駆動電圧を前記所定吐出回数より後の前記駆動電圧よりも増加させて前記駆動素子に与えることである。
前記塗布対象物が載置されるステージと、
前記溶液の液滴を駆動素子の駆動により吐出孔から吐出する塗布ヘッドと、
前記ステージと前記塗布ヘッドとを前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に沿って相対移動させる移動装置と、
前記駆動素子に前記液滴の吐出に必要な駆動電圧を与える制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記ステージと前記塗布ヘッドとを相対移動させて前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に対して前記液滴を前記吐出孔から前記相対移動方向に沿って複数滴吐出させるとき、前記塗布ヘッドによる前記液滴の吐出開始から所定吐出回数分の前記駆動電圧を、当該所定吐出回数分の液滴の吐出に対して予め設定された駆動電圧よりも増加させて前記駆動素子に与えることである。
前記塗布対象物が載置されるステージと、前記溶液の液滴を駆動素子の駆動により吐出孔から吐出する塗布ヘッドとを前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に沿って相対移動させ、前記駆動素子に前記液滴の吐出に必要な駆動電圧を与えるステップを有し、
前記与えるステップでは、前記ステージと前記塗布ヘッドとを相対移動させて前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に対して前記液滴を前記吐出孔から前記相対移動方向に沿って同じ吐出量で複数滴吐出するとき、前記塗布ヘッドによる前記液滴の吐出開始から所定吐出回数分の前記駆動電圧を前記所定吐出回数より後の前記駆動電圧よりも増加させて前記駆動素子に与えることである。
前記塗布対象物が載置されるステージと、前記溶液の液滴を駆動素子の駆動により吐出孔から吐出する塗布ヘッドとを前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に沿って相対移動させ、前記駆動素子に前記液滴の吐出に必要な駆動電圧を与えるステップを有し、
前記与えるステップでは、前記ステージと前記塗布ヘッドとを相対移動させて前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に対して前記液滴を前記吐出孔から前記相対移動方向に沿って複数滴吐出するとき、前記塗布ヘッドによる前記液滴の吐出開始から所定吐出回数分の前記駆動電圧を、当該所定吐出回数分の吐出に対して予め設定された駆動電圧よりも増加させて前記駆動素子に与えることである。
本発明の第1の実施形態について図面を参照して説明する。
本発明の第2の実施形態について図3を参照して説明する。
なお、本発明に係る前述の実施形態は例示であり、発明の範囲はそれらに限定されない。前述の実施形態は種々変更可能であり、例えば、前述の実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素が削除されても良く、さらに、異なる実施形態に係る構成要素が適宜組み合わされても良い。
2 ステージ
3 ステージ搬送部(移動装置)
5 塗布ヘッド
6 制御部
6c 色度計(検出部)
14 圧電素子(駆動素子)
Claims (8)
- 揮発性を有する溶媒を含む溶液の液滴を塗布対象物の塗布面に向けて吐出し、前記塗布面に塗布膜を形成する液滴塗布装置であって、
前記塗布対象物が載置されるステージと、
前記溶液の液滴を駆動素子の駆動により吐出孔から吐出する塗布ヘッドと、
前記ステージと前記塗布ヘッドとを前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に沿って相対移動させる移動装置と、
前記駆動素子に前記液滴の吐出に必要な駆動電圧を与える制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記ステージと前記塗布ヘッドとを相対移動させて前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に対して前記液滴を前記吐出孔から前記相対移動方向に沿って同じ吐出量で複数滴吐出させるとき、前記塗布ヘッドによる前記液滴の吐出開始から所定吐出回数分の前記駆動電圧を前記所定吐出回数より後の前記駆動電圧よりも増加させて前記駆動素子に与えることを特徴とする液滴塗布装置。 - 揮発性を有する溶媒を含む溶液の液滴を塗布対象物の塗布面に向けて吐出し、前記塗布面に塗布膜を形成する液滴塗布装置であって、
前記塗布対象物が載置されるステージと、
前記溶液の液滴を駆動素子の駆動により吐出孔から吐出する塗布ヘッドと、
前記ステージと前記塗布ヘッドとを前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に沿って相対移動させる移動装置と、
前記駆動素子に前記液滴の吐出に必要な駆動電圧を与える制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記ステージと前記塗布ヘッドとを相対移動させて前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に対して前記液滴を前記吐出孔から前記相対移動方向に沿って複数滴吐出させるとき、前記塗布ヘッドによる前記液滴の吐出開始から所定吐出回数分の前記駆動電圧を、当該所定吐出回数分の液滴の吐出に対して予め設定された駆動電圧よりも増加させて前記駆動素子に与えることを特徴とする液滴塗布装置。 - 前記塗布対象物に対して吐出された液滴の吐出量に関する情報を取得する検出部をさらに備え、
前記制御部は、前記検出部により取得された前記液滴の吐出量に関する情報に基づいて、前記増加量を調整することを特徴とする請求項1または2に記載の液滴塗布装置。 - 前記制御部は、前記塗布ヘッドによる前記塗布対象物に対する一連の塗布動作中において、前記塗布ヘッドによる液滴の吐出を中断した後再び吐出開始するときには、当該吐出開始前における前記塗布ヘッドの吐出中断時間に応じて、当該塗布対象物に対する1回目の吐出開始における前記増加量を調整して用いることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の液滴塗布装置。
- 揮発性を有する溶媒を含む溶液の液滴を塗布対象物の塗布面に向けて吐出し、前記塗布面に塗布膜を形成する液滴塗布方法であって、
前記塗布対象物が載置されるステージと、前記溶液の液滴を駆動素子の駆動により吐出孔から吐出する塗布ヘッドとを前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に沿って相対移動させ、前記駆動素子に前記液滴の吐出に必要な駆動電圧を与えるステップを有し、
前記与えるステップでは、前記ステージと前記塗布ヘッドとを相対移動させて前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に対して前記液滴を前記吐出孔から前記相対移動方向に沿って同じ吐出量で複数滴吐出するとき、前記塗布ヘッドによる前記液滴の吐出開始から所定吐出回数分の前記駆動電圧を前記所定吐出回数より後の前記駆動電圧よりも増加させて前記駆動素子に与えることを特徴とする液滴塗布方法。 - 揮発性を有する溶媒を含む溶液の液滴を塗布対象物の塗布面に向けて吐出し、前記塗布面に塗布膜を形成する液滴塗布方法であって、
前記塗布対象物が載置されるステージと、前記溶液の液滴を駆動素子の駆動により吐出孔から吐出する塗布ヘッドとを前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に沿って相対移動させ、前記駆動素子に前記液滴の吐出に必要な駆動電圧を与えるステップを有し、
前記与えるステップでは、前記ステージと前記塗布ヘッドとを相対移動させて前記ステージ上の前記塗布対象物の塗布面に対して前記液滴を前記吐出孔から前記相対移動方向に沿って複数滴吐出するとき、前記塗布ヘッドによる前記液滴の吐出開始から所定吐出回数分の前記駆動電圧を、当該所定吐出回数分の吐出に対して予め設定された駆動電圧よりも増加させて前記駆動素子に与えることを特徴とする液滴塗布方法。 - 前記塗布対象物に対して吐出された液滴の吐出量に関する情報を取得するステップをさらに有し、
前記与えるステップでは、前記取得するステップにより取得された前記液滴の吐出量に関する情報に基づいて、前記増加量を調整することを特徴とする請求項5または6に記載の液滴塗布方法。 - 前記与えるステップでは、前記塗布ヘッドによる前記塗布対象物に対する一連の塗布動作中において、前記塗布ヘッドによる液滴の吐出を中断した後再び吐出開始するときには、当該吐出開始前における前記塗布ヘッドの吐出中断時間に応じて、当該塗布対象物に対する1回目の吐出開始における前記増加量を調整して用いることを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載の液滴塗布方法。
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