JP5650010B2 - 工作機械において被加工物を保持するための被加工物保持具 - Google Patents

Description

本発明は、工作機械において被加工物を保持するための請求項１に記載の形式の被加工物保持具に関する。

加工の公差、工具の摩耗、または温度の影響を補償するために、いわゆる工具補正システムによってドリル、フライス盤、またはのみ（ｃｕｔｔｉｎｇ ｃｈｉｓｅｌｓ）などの工具を微調節することが、従来技術から知られている。
従来技術の工具補正システムは、例えば、いずれもマイクロメートルの精度で、工具を回転軸に対して傾斜させることを可能にし、あるいは別のやり方で微調節することを可能にしている。
そのような工具を微調節するための工具補正システムの従来技術に関しては、ＤＥ４００００５２Ｃ２と、ＤＥ４２１８４６６Ｃ２と、ＤＥ１９６１１７０８Ｃ２とが参照される。
しかしながら、従来技術の工具補正システムは、単に工具そのものの調節を可能にしているにすぎない。
すなわち、これらの従来技術の工具補正システムでは、製造公差および工具の摩耗あるいは温度関連の変動を補償すべくマイクロメートル範囲で被加工物を調節することが不可能である。

さらに、今日では、例えば、ＤＥ２０２００４０１５０９７Ｕ１に開示されているように、製造モジュールに関する新規な考え方が被加工物をいくつかの工程にて加工するために使用されている。
これらの新規な工作機械は、スピンドルまたは他の工具などといった複数の固定かつ異なる配置の要素を例えば、Ｕ字形のフレームに搭載して備えている。
さらに、これらの新規な工作機械は、複数の軸上を移動することができるので、被加工物を１つの工具から次の工具へと移送することができる被加工物キャリアを備えている。
この製造モジュールの新規な考え方においては、今や工具は移動しないままで、被加工物、もしくは、被加工物キャリアまたは被加工物保持具が移動する。
そのような製造モジュールは、存在する工具の数に対応して、莫大な数の従来技術の工具補正システムを使用しなければならないと考えられる。
これは、コストおよび利用可能な設置空間の両方に関して不都合である。

本発明の目的は、工作機械において被加工物を保持するための被加工物保持具であって、製造公差、摩耗、および温度関連の変動などの加工公差を補正または補償するために、被加工物の位置をマイクロメートル範囲のきわめて細かく補正することができる被加工物保持具を提供することにある。

この目的は、請求項１の特徴によって達成される。

従属請求項が、本発明の好都合なさらなる実施例に関する。

本発明によれば、工作機械において被加工物を保持するための被加工物保持具が、中央の貫通穴を有している環状本体の形態で提供される。
この環状本体が、材料の除去によって得られた少なくとも１つの弱体化領域と、該弱体化領域に対応付けられ、加圧流体を充てんすることができる少なくとも１つの圧力室とを備えている。
前記少なくとも１つの弱体化領域が、前記環状本体の軸方向および／または半径方向の弾性変形を可能にするような寸法および配置とされている。
「弱体化領域に対応付けられた圧力室」とは、圧力室が、弱体化領域に対して、圧力室を加圧することによって前記環状本体を軸方向および／または半径方向に特定的に弾性変形させることができるようなやり方で配置されていることを意味する。
これは、被加工物を保持する環状本体が最終的にばねのように機能する所定の弱体化領域を有するので、基本的に剛体である環状本体に特定の弾性を付与することを意味する。
このようにして、環状本体の弱体化領域および剛体領域の特別な配置および構成を利用することによって、環状本体（したがって、環状の本体に保持された被加工物）が加圧状態で弾性的に移動する環状の本体の所定の位置決め方向を精密に設定することが可能である。

本発明による被加工物保持具は、この種の被加工物保持具のなかで初めて、弱体化領域および対応付けられる圧力室の配置および形状に応じて、被加工物の位置を軸方向の１つの軸、または軸方向および半径方向の２つの軸、あるいは軸方向および２つの直交する半径方向の３つの軸に沿って調節することができる。
弱体化領域を非対称にすることによって、環状本体の傾きまたは枢動を可能にもする。

結果として、本発明による被加工物保持具は、刃の摩耗、工具の最初の設定の公差、切断インサートの公差、温度の変動、および被加工物保持具の高さのオフセットの補償を好都合にする。
すなわち、本発明の被加工物保持具は、自動生産において寸法精度を維持するために、機械加工の際に必要な外乱の補償を確実にする。

本発明による被加工物保持具のさらなる利点は、加工機の稼働停止時間および切り替え時間を短縮でき、製造コストを下げることができると同時に、最適な製造品質水準を維持できる点にある。
本発明の被加工物保持具は、マイクロメートル範囲の精密な微調整が必要とされる連続生産において好ましく使用される。

念のため、前記環状本体が機械加工の際に被加工物を所定の制度で配置および位置決めできるように充分に剛体であるように、少なくとも１つまたは複数の弱体化領域を形成すべきであることをここで指摘しておかなければならない。
すなわち、前記環状本体の少なくとも１つまたは複数の弱体化領域を、工具による被加工物の通常の機械加工時に生じる力が作用したときに決して環状本体に変形が生じることがないように、形成しなければならない。
しかしながら、他方では、このことは、製造公差を補償するために環状本体を所定の仕方で弾性的に変形させるための力を被加工物の機械加工の際に作用する力に比べて、より強くする必要があり、とくには大幅に強くする必要があることを意味する。
これが、環状本体または被加工物保持具の所定の特定的な微調節を実現するために提供すべき油圧制御圧力が１００〜３００ｂａｒの間の値にも達する理由である。

すでに述べたように、環状本体は、被加工物を取り付けるため、または工具固定システムを収容するための貫通穴を有している。
この目的のため、好ましくは前記中央の貫通穴にスリーブが設けられ、このスリーブが固定手段によって環状本体に着脱可能に取り付けられる。
前記被加工物を前記被加工物保持具に取り付けるために、締め付けボルトを前記スリーブに通すことができる。
さらに、被加工物固定システムを前記環状本体に浮動的に取り付けてもよい。

本発明の第１実施例によれば、前記環状本体は、その外周面に２つの弱体化領域を備えており、すなわち第１凹所および該第１凹所から軸方向に離れて位置している第２凹所を備えている。
これら２つの凹所は、リング状で前記環状本体の全周を巡って延びると同時に、溝状に内半径方向の内部に向かって延びている。
これら２つの溝状の凹所に圧力室が対応付けられており、この圧力室が、軸方向について見たときに、前記溝状の第１凹所および溝状の第２凹所の間に配置されている。
第１凹所および第２凹所と同様に、圧力室も、リング状に前記本体の全周を巡って延びる溝状の凹所を構成している。
しかしながら、前記第１凹所および第２凹所と対照的に、前記圧力室（または、第３凹所）は、貫通穴に対して溝状に半径方向の外側に向かって延びている。
さらに、この圧力室（または、第３凹所）は、前記貫通穴に対して液密に封止されている。
弱体化領域および対応付けられた圧力室の特定の位置および設計の結果として、環状の本体が、加圧流体が圧力室に作用するときに専ら軸方向に膨張する。
すなわち、第１の実施例の被加工物保持具は、環状本体へと接続された被加工物を軸方向に微調節することを可能にする。

前記第１凹所および第２凹所は、好ましくは、半径方向の深さが異なっている。
これは、より高い弾性を有利に保証するので、被加工物保持具の環状本体における極端なピーク応力を防止する。

有利合には、第３凹所は、充てん要素によって貫通穴に対して液密にシールされている。
充てん要素によって第３凹所を液密に封止することは、充てん要素が圧力室のサイズを小さくして必要な流体の量を少なくする単純な手段を構成する点で有利合であることが分かる。

本発明の第２実施例においては、環状本体が、４つの弱体化領域を備えており、すなわち環状本体の外周面の２つの正反対に位置する矩形の凹所と、環状本体を貫いて環状本体の周方向に延びている２つの二連Ｓ字形切込とを備えている。
２つの矩形凹所および２つの二連Ｓ字形切込は、軸方向について見たときに、切込が矩形凹所の高さに配置され、周方向について見たときに、二連Ｓ字形切込の各々が２つの正反対に位置する矩形凹所の間に位置するように、配置されている。
圧力室が、２つの矩形凹所にそれぞれ対応付けられている。
これらの圧力室は、半径方向について見たときに、それぞれの矩形凹所と中央の貫通穴との間に位置する凹所の形態で設けられている。
凹所の形態の２つの圧力室の各々に、加圧流体を作用させることができ、半径方向に変位させることができるピストンが収容されている。
ここでは、２つの正反対に位置する矩形凹所に２つの二連Ｓ字形切込を組み合わせてなる形態である適切に定められた弱体化領域が、やはり一種のばねを形成し、実際には剛体である環状本体に半径方向に特定程度の弾性を付与する。
結果として、加圧流体が２つのピストンに作用するとき、前記環状本体が、矩形の凹所の表面の法線の方向に、特定の半径方向に変形する。
このようにして、本発明の第２実施例である被加工物保持具は、特定の半径方向について環状本体（したがって、この環状の本体に保持された被加工物）の微調節を可能にする。

当然ながら、上述の第１実施例および第２実施例を組み合わせることも考えられる。
その場合、環状の本体が、第１実施例のように形成された環状本体部分を有するとともに、この本体部分から軸方向に離間して、第２実施例のように形成された環状本体部分を有すると考えられる。
結果として得られる環状本体は、軸方向および半径方向の両方について被加工物の特定的な微調節を可能にする。

本発明の第３実施例においては、環状本体が、第２実施例においてすでに説明した４つの弱体化領域および対応付けられた２つの圧力室の他に、４つの追加弱体化領域および２つの追加圧力室を有している。
これら４つの追加の弱体化領域および２つの追加圧力室は、設計については第２実施例において上述した弱体化領域および圧力室と同一であるが、それらから軸方向に離され、それらに対して９０°回転させられて位置している。
最初の４つの弱体化領域および最初の４つの弱体化領域から９０°だけずらされている４つの追加弱体化領域の各々がばねのように機能するため、環状本体が、２つの直交する半径方向に或る程度の弾性を有する。
これは、特定の圧力がピストンに作用するとき、前記環状本体が互いに直交する２つの半径方向に弾性変形できるので、環状本体に保持された被加工物について、互いに直交する特定の２つの半径方向に微調節が可能であることを意味する。

念のため、上述した本発明の第２実施例および第３実施例において、用語「弱体化領域」が、正反対に位置する矩形の凹所および環状の本体に（例えば、ワイヤカットＥＤＭによって）二連Ｓ字形に形成された切込の両方を指し、上述のばね効果が、これらの特別な弱体化領域の組み合わせの結果であることを指摘しておかなければならない。

第３実施例も、当然ながら、第１実施例と組み合わせることが可能であり、得られる環状本体は、第１実施例のように形成された環状の本体部分を有するとともに、この本体部分から軸方向に離間して、第３実施例のように形成された環状本体部分を有する。
結果として、環状本体が、軸方向および互いに直交する２つの特定の半径方向の両方について、被加工物の微調節を可能にする。

弱体化領域を非対称な形態で設けることも考えられる。
弱体化領域が非対称に形成される場合、被加工物保持具を前記環状本体の長手軸に対して対称および非対称に配置された傾斜軸または首振り軸を中心にして偏向させることができる。

本発明のさらなる利点、特徴、および考えられる応用を図面に示されている実施例と関連づけて、以下の説明から理解することができる。

次に、本発明を図面に示した実施例を参照しつつ、さらに詳しく説明する。

本明細書、特許請求の範囲、および図面の全体を通して使用されている用語および関連の参照番号は、後述の符号の説明に記載のとおりである。

軸方向に微調節することができる本発明による被加工物保持具の第１実施例の断面図である。 軸方向および半径方向の両方に微調節することができる本発明による被加工物保持具の第２実施例の断面図である。 図２の被加工物保持具の側面図である。 図３の被加工物保持具の斜め上方からの図である。 図４の被加工物保持具の底面図である。 軸方向および互いに直交する２つの半径方向に微調節することができる本発明による被加工物保持具の第３実施例の断面図である。 図６の被加工物保持具の側面図である。 図７の被加工物保持具の斜め上方からの図である。 図８の被加工物保持具の底面図である。 被加工物補正システムの構造の概略図である。

不要な繰り返しを避けるために、すべての同一な部分および部品には、さらなる区別が必要または妥当でない限りは、以下の説明および図面の全体を通して、同じ参照番号が付される。

図１は、軸方向ａに微調節が可能である本発明による被加工物保持具１０の第１の実施例の概略的な断面図である。
被加工物保持具１０は、環状本体１２の形態をとっており、中央の貫通穴１４を有している。

前記環状本体１２は、その外周面１６に、弱体化領域１８および弱体化領域
２０を有している。
これら２つの弱体化領域は、互いに軸方向ａに間隔を空けて位置しており、リング状に環状本体の１２の全周を巡って延びかつ溝状に半径方向の内側に向かって延びている凹所１８、２０として形成されている。
第１凹所１８、すなわち軸方向ａについて見たときの上側の凹所は、半径方向ｒについて見たときの深さが、第２凹所２０、すなわち下側の凹所よりも大きい。

さらに、圧力室が、第１の凹所１８と第２の凹所２０との間に設けられている。
この圧力室は、貫通穴１４の方向から見たときに、リング状に環状本体１２の全周を巡って延びかつ溝状に外側へと向かって半径方向の外側に向かって延びている第３凹所２２の形態をとっている。

必要とされる加圧流体の量を少なくするため、ならびに第３凹所２２または圧力室２２を中央の貫通穴１４に対して液密に封止するために、充てん要素２４が、前記第３凹所２２に収容されている。
さらに図１から理解されるとおり、充てん要素２４の存在ゆえに、実際の圧力室２２は、第２凹所２０の底よりも上方から第１凹所１８のリングのほぼ中央まで広がる狭い領域を占めるだけである。

さらに、前記環状本体１２は、前記圧力室２２へと有効に接続された加圧流体チャネル２６と、前記圧力室へと有効に接続された空気逃がしねじ２８とを有している。

さらに、スリーブ３０が、ねじ３２によって前記環状の本体１２の中央の貫通穴１４に取り付けられており、例えば、被加工物を前記被加工物保持具１０へと取り付けるために、ボルトを前記スリーブ３０に通すことができる。

第１凹所１８および第２凹所２０は、それらの特有の配置および設計によりばねのように作用し、実際は剛体である環状本体１２に、軸方向ａの特定の弾性を与える。
加圧流体が、加圧流体チャネル２６を介して圧力室２２へと供給されると、環状の本体１２が、あらかじめ定められた仕方で軸方向ａに膨張する。
結果として、前記被加工物保持具１０と接続された被加工物（ここでは、分かりやすくするために図示されていない）も、軸方向ａに微調節される。

本発明による被加工物保持具１０の第２の実施例が、概略的に図２〜５に示されている。

第１実施例と同様、第２実施例の被加工物保持具１０は、図２に見られるように、環状本体１２の形態であって、環状本体１２を貫いて中央の貫通穴１４が延びている。

さらに図２から理解され、特には図３からも理解されるとおり、環状本体１２を軸方向ａについて見たときに、２つの部位に区分することができ、すなわち第１実施例に従って形成され、すでに上述したやり方で環状本体１２の軸方向の調節を可能にする上部と、下部（その機能は、次に後述される）とに区分することができる。

軸方向ａについて見たときの前記環状の本体１２の下部は、合計４つの弱体化領域を有しており、すなわちその外周面１６において正反対に位置する２つの矩形の凹所３４、３６（図２ならびに図３および図４を参照）と、該環状本体１２を貫いて周方向に２つの二連Ｓ字形に延びている２つの切込３８、４０とを有している。
２つの正反対に位置する矩形凹所３４、３６および２つの二連Ｓ字形切込３８、４０は、軸方向ａについて見たときに、二連Ｓ字形切込３８および二連Ｓ字形切込４０が矩形凹所３４および矩形凹所３６の高さにほぼ位置し、二連Ｓ字形切込３８および二連Ｓ字形切込４０の各々が矩形凹所３４および矩形凹所３６の間を周方向に延びるように配置されている。
二連Ｓ字形切込３８および二連Ｓ字形切込４０は、例えば、ワイヤカットＥＤＭによって環状本体１２に形成される。
矩形の凹所３４および矩形凹所３６が、二連Ｓ字形切込３８および二連Ｓ字形切込４０との組み合わせにおいて、実際には剛体である環状本体１２の下部を半径方向ｒについてより弾性的にする一種のばねを構成する。
半径方向の位置決め方向は、対向する矩形凹所３４および矩形凹所３６の表面の法線の方向である。

図２からさらに理解されるとおり、圧力室が、矩形凹所３４および矩形凹所３６の両方にそれぞれ対応付けられている。
２つの圧力室の各々が、半径方向ｒについて見たときに、矩形の凹所３４、３６と貫通穴１４との間に位置する凹所４２および凹所４４として形成されている。
これら凹所４２および凹所４４または凹所によって形成された圧力室４２および圧力室４４の内部に、加圧流体の作用を受けて半径方向ｒに変位することができるピストン４６およびピストン４８がそれぞれ取り付けられている。

加圧流体が前記ピストン４６およびピストン４８に作用し、ピストン４６およびピストン４８を半径方向ｒに移動させるとき、環状本体１２が一定の仕方で半径方向に膨張する。
結果として、前記被加工物保持具１０へと接続された被加工物（ここでは、分かりやすくするために図示されていない）も、半径方向ｒに微調節される。

すでに上述したように、環状本体１２の上部は第１実施例に従って形成されているため、第２実施例の被加工物保持具は、被加工物の調節を軸方向ａ（前記環状本体の上部）および半径方向ｒ（前記環状本体１２の下部）の両方について可能にする。
ここでもやはり、前記貫通穴１４にスリーブ３０が取り付けられており、このスリーブ３０が、被加工物を取り付けるためのチャネル、あるいは空気およびエネルギーを通すためのチャネルを含んでいる。

本発明による被加工物保持具の第３実施例が、図６〜９に示されている。

図７および図８に見て取ることができるとおり、環状本体１２を軸方向ａについて見たときに、やはり下部および上部に区分することができる。

ここで、矩形凹所３４および矩形凹所３６と二連Ｓ字形切込３８および二連Ｓ字形切込４０とを有する環状本体１２の上部の設計は、第２の実施例の環状本体１２の下部と基本的に同一であり、したがってすでに説明したように、環状本体の半径方向の調節を可能にする。

図６、図７および図８から知れるとおり、第３実施例の環状本体１２の下部は、今や４つの追加弱体化領域を有しており、すなわち２つの追加矩形凹所５０、５２と、２つのさらなる二連Ｓ字形切込５４、５６とを有している。
追加凹所５０および追加凹所５２ならびに追加二連Ｓ字形切込５４および追加二連Ｓ字形切込５６は、第２実施例に関して上述したものと同様に設計されているが、それらから軸方向に離され、かつそれらに対して９０°だけ回転している。
さらに、追加矩形凹所５０および追加矩形凹所５２に、それぞれが凹所の形態であって、ピストン６２およびピストン６４を含んでいる追加圧力室５８および追加圧力室６０が、すでに上述したやり方で対応付けられている。
これらのさらなる凹所５０およびさらなる凹所５２が、さらなる凹所５４およびさらなる凹所５６との組み合わせにおいて、やはりばねのように働き、実際には剛体である環状の本体１２の下部に半径方向ｒ（すなわち、対向する追加矩形凹所５０、５２の表面の法線の方向）の特定の弾性を付与する。

これにより、第３実施例の被加工物保持具１０を互いに直角に延びる２つの半径方向について、所定のやり方で調節することができる。

さらに、第３実施例では、第１実施例の軸方向に調節することができる部分を追加することによって補うので、３つの軸に沿った調節が可能となり、すなわち軸方向および互いに直交する２つの半径方向に調節が可能となる被加工物保持具を得ることができる。

本発明の被加工物保持具１０を使用する被加工物補正システムの概略図が、図１０に示されている。

被加工物保持具１０の弾性領域が、加圧流体の作用によって特定の明確な仕方で変形する。
そのような変形が、この被加工物保持具１０に保持された被加工物を軸方向に持ち上げ、これによって製造公差などを補償することができる。
このシステムは、遊びが存在せず、保守をあまり必要としない。
通常の移動範囲は、０．１〜０．２ｍｍ程度であり、位置決めの精度は、マイクロメートルの範囲である。
図１０から理解されるとおり、このシステムは、０〜４ｂａｒの間の空気制御圧力を出力するＩ／Ｐコンバータ６６によって作動する。
次いで、この圧力が、空気圧−油圧コンバータ６８によって相応に高い油圧へと変換される。
代案として、このシステム、油圧動力ユニットおよびサーボバルブを介して作動してもよい。

制御圧力の設定および被加工物の位置調節のための制御信号は、空気プラグゲージ７２およびＩ／Ｐ測定トランスデューサ７４からの入力データに基づいて補正を自動的に計算し、制御圧力の設定のためのそれぞれの値を出力する測定／制御コンピュータ７０から与えられる。

代案として、制御圧力の設定および被加工物の位置調節のための制御信号を手作業での測定後に制御コンピュータへと入力してもよい。

１０ ・・・ 被加工物保持具
１２ ・・・ 環状本体
１４ ・・・ 貫通穴
１６ ・・・ 環状本体の外周面
１８ ・・・ 弱体化領域／第１凹所
２０ ・・・ 弱体化領域／第２凹所
２２ ・・・ 圧力室／第３凹所
２４ ・・・ 充てん要素
２６ ・・・ 加圧流体チャネル
２８ ・・・ 空気逃がしねじ
３０ ・・・ スリーブ
３２ ・・・ 固定手段／ねじ
３４ ・・・ 弱体化領域／矩形の凹所
３６ ・・・ 弱体化領域／矩形の凹所
３８ ・・・ 弱体化領域／二連Ｓ字形の切り込み
４０ ・・・ 弱体化領域／二連Ｓ字形の切り込み
４２ ・・・ 圧力室／凹所
４４ ・・・ 圧力室／凹所
４６ ・・・ ピストン
４８ ・・・ ピストン
５０ ・・・ 追加弱体化領域／追加矩形凹所
５２ ・・・ 追加弱体化領域／追加矩形凹所
５４ ・・・ 追加弱体化領域／追加二連Ｓ字形切込
５６ ・・・ 追加弱体化領域／追加二連Ｓ字形切込
５８ ・・・ 追加圧力室／追加凹所
６０ ・・・ 追加圧力室／追加凹所
６２ ・・・ ピストン
６４ ・・・ ピストン
６６ ・・・ Ｉ／Ｐコンバータ
６８ ・・・ 圧力トランスデューサ
７０ ・・・ 測定／制御コンピュータ
７２ ・・・ 空気圧測定センサ
７４ ・・・ Ｉ／Ｐ測定トランスデューサ
ａ ・・・ 軸方向
ｒ ・・・ 半径方向

Claims (7)

1. 被加工物を保持する貫通穴（１４）を中央に形成した環状本体（１２）が、材料の除去によって得られた弱体化領域（１８、２０）と前記弱体化領域（１８、２０）に対応付けられて加圧流体を充てんする圧力室（２２）とを有し、前記弱体化領域（１８、２０）が、前記圧力室（２２）に圧力を充てんしたときに前記環状本体（１２）を弾性的に変形自在とする寸法および配置となるように構成されて、工作機械において被加工物を保持して前記環状本体（１２）の弾力的な変形により被加工物を保持するための位置を微調整する被加工物保持具（１０）であって、
   前記環状本体（１２）の外周面（１６）に設けられる弱体化領域（１８、２０）が、溝状に半径方向（ｒ）の内側に向かって延びかつリング状に環状本体（１２）の全周を巡って延びているとともに互いに軸方向（ａ）に間隔を空けて位置している第１凹所（１８）および第２凹所（２０）であり、
   前記第１凹所（１８）および第２凹所（２０）へ対応付けられた圧力室（２２）が、前記軸方向（ａ）について見たときに前記溝状の第１凹所（１８）および溝状の第２凹所（２０）の間に位置し、前記貫通穴（１４）から出発して溝状に半径方向（ｒ）の外側に向かって延びる第３凹所（２２）として形成されるとともにリング状に前記環状本体（１２）の全周を巡って延びた状態で前記貫通穴（１４）に関して液密に封止され、
   前記環状本体（１２）が、軸方向（ａ）へ弾性的に変形自在となっていることを特徴とする被加工物保持具。
2. 前記環状本体（１２）へ固定手段（３２）を介して着脱自在に接続されるスリーブ（３０）が、前記貫通穴（１４）に取り付けられていることを特徴とする請求項１記載の被加工物保持具。
3. 前記第１凹所（１８）および第２凹所（２０）が、前記半径方向（ｒ）について見たときに異なる深さを有していることを特徴とする請求項１または請求項２記載の被加工物保持具。
4. 前記第３凹所（２２）が、前記貫通穴（１４）に関して充てん要素（２４）によって液密に封止されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の被加工物保持具。
5. 被加工物を保持する貫通穴（１４）を中央に形成した環状本体（１２）が、材料の除去によって得られた弱体化領域（１８、２０；３４、３６、３８、４０）と前記弱体化領域（１８、２０；３４、３６、３８）に対応付けられて加圧流体を充てんする圧力室（２２）とを有し、前記弱体化領域（１８、２０；３４、３６、３８、４０）が、前記圧力室（２２；４２、４４）に圧力を充てんしたときに前記環状本体（１２）を弾性的に変形自在とする寸法および配置となるように構成されて、工作機械において被加工物を保持して前記環状本体（１２）の弾力的な変形により被加工物を保持するための位置を微調整する被加工物保持具（１０）であって、
   前記環状本体（１２）の外周面（１６）に設けられる弱体化領域（１８、２０；３４、３６、３８、４０）が、溝状に半径方向（ｒ）の内側に向かって延びかつリング状に環状本体（１２）の全周を巡って延びているとともに互いに軸方向（ａ）に間隔を空けて位置している第１凹所（１８）および第２凹所（２０）と、２つの正反対に位置する矩形凹所（３４、３６）ならびに前記環状本体（１２）の周方向について見たときに２つの矩形凹所（３４、３６）の間にそれぞれ位置した状態で前記環状本体（１２）を貫き且つ前記環状本体（１２）の周方向に延びている２つの二連Ｓ字形切込（３８、４０）であり、
   前記第１凹所（１８）と第２凹所（２０）へ対応付けられた圧力室（２２）が、前記軸方向（ａ）について見たときに前記溝状の第１凹所（１８）および溝状の第２凹所（２０）の間に位置し、前記貫通穴（１４）から出発して溝状に半径方向（ｒ）の外側に向かって延びる第３凹所（２２）として形成されるとともにリング状に前記環状本体（１２）の全周を巡って延びた状態で前記貫通穴（１４）に関して液密に封止され、
   前記２つの矩形凹所（３４、３６）にそれぞれ対応付けられた圧力室（４２、４４）が、前記半径方向（ｒ）について見たときに前記矩形凹所（３４、３６）と前記貫通穴（１４）との間にそれぞれ設けられた凹所であり、
   前記圧力室（４２、４４）に加圧流体を充てんして半径方向（ｒ）へ前記環状本体（１２）を変位自在なピストン（４６、４８）が、前記圧力室（４２、４４）にそれぞれ収容され、
   前記環状本体（１２）が、軸方向（ａ）および半径方向（ｒ）へ弾性的に変形自在となっていることを特徴とする被加工物保持具。
6. 被加工物を保持する貫通穴（１４）を中央に形成した環状本体（１２）が、材料の除去によって得られた弱体化領域（５０、５２、５４、５６）と前記弱体化領域（５０、５２、５４、５６）に対応付けられて加圧流体を充てんする圧力室（５８、６０）とを有し、前記弱体化領域（５０、５２、５４、５６）が、前記圧力室（５８、６０）に圧力を充てんしたときに前記環状本体（１２）を弾性的に変形自在とする寸法および配置となるように構成されて、工作機械において被加工物を保持して前記環状本体（１２）の弾力的な変形により被加工物を保持するための位置を微調整する被加工物保持具（１０）であって、
   前記環状本体（１２）の外周面（１６）に設けられる弱体化領域（５０、５２、５４、５６）が、２つの正反対に位置する追加矩形凹所（５０、５２）、ならびに、前記環状本体（１２）の周方向について見たときに２つの追加矩形凹所（５０、５２）の間にそれぞれ設けられた状態で環状本体（１２）を貫き且つ前記環状本体（１２）の周方向に延びている２つの追加二連Ｓ字形切込（５４、５６）であり、
   ２つの追加圧力室（５８、６０）が、前記半径方向（ｒ）について見たときに前記２つの追加矩形凹所（５０、５２）に割り当てられた状態で追加矩形凹所（５０、５２）と貫通穴（１４）との間にそれぞれ広がる凹所であり、
   前記追加圧力室（５８、６０）の各々に加圧流体を充てんした状態で半径方向（ｒ）に変位自在なピストン（６２、６４）が、前記追加圧力室（５８、６０）に収容され、
   前記追加矩形凹所（５０、５２）、追加二連Ｓ字形切込（５４、５６）、および、圧力室（４２、４４）を構成している追加凹所（５８、６０）が、前記矩形凹所（３４、３６）、二連Ｓ字形切込（３８、４０）、および、圧力室（４２、４４）を構成している凹所（４２、４４）から軸方向に離れているとともにこれらに対して９０°回転されて位置し、
   前記環状本体（１２）が、軸方向（ａ）および半径方向（ｒ）へ弾性的に変形自在となっていることを特徴とする被加工物保持具。
7. 前記環状本体（１２）へ固定手段（３２）を介して着脱自在に接続されるスリーブ（３０）が、前記貫通穴（１４）に取り付けられていることを特徴とする請求項６記載の被加工物保持具。

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