JP5643626B2 - 荷電粒子線レンズ - Google Patents
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(第一の実施の形態)
図1と図2を用いて、本発明の第一の実施の形態を説明する。図1において、(a)は、図1(b)のP−P’線における、荷電粒子源から放射された電子線などの荷電粒子線の光学特性を制御する荷電粒子線レンズの断面図、(b)は荷電粒子線レンズの上面図である。また、図2は、静電引力による変形を低減する本実施の形態の薄膜の応力の方向を示す断面概略図である。図1(a)に示すように、本実施の形態の荷電粒子線レンズは、レンズの光軸方向に沿って電極2A、2B、2Cとスペーサ1A、1Bを交互に挟んだ積層構造を有している。スペーサ1A、1Bは複数の電極2A、2B、2Cを機械的に離間して支持している。また、スペーサ1A、1Bは絶縁体で形成されており、電極2A、2B、2Cの間を電気的に絶縁している。そして、図1(b)の破線の内側で示す領域はスペーサが存在せず、電極2A、2B、2Cは、空隙を介した対向電極を形成している。
図3と図4を用いて本発明の第二の実施の形態を説明する。図3において、(a)は、図3(b)のP−P’線における荷電粒子線レンズの断面図、(b)は荷電粒子線レンズの上面図である。また、図4は、本実施の形態の静電引力による電極変形を低減する薄膜の応力の方向と電圧印加前の電極形状を示す断面概略図である。尚、前述の実施の形態と同じ機能を有する個所には、同じ記号を付し、詳しい説明を省略する。
図7を用いて本発明の第三の実施の形態を説明する。図7において、(a)は、荷電粒子線レンズの図7(b)のP−P’線における断面図、(b)は荷電粒子線レンズの上面図である。尚、前述の実施の形態と同じ機能を有する個所には、同じ記号を付し、詳しい説明を省略する。
図9を用いて本発明の第四の実施の形態を説明する。図9において、(a)は、荷電粒子線レンズの断面図、(b)と(c)は、荷電粒子線レンズの2つの例の上面図である。尚、前述の実施の形態と同じ機能を有する個所には、同じ記号を付し、詳しい説明を省略する。
Claims (9)
- 荷電粒子源から放射された荷電粒子線の光学特性を制御する荷電粒子線レンズであって、
当該荷電粒子線レンズの光軸方向に沿って空隙を介して設けられた複数の対向電極を有し、
前記複数の対向電極は、前記光軸方向に当該対向電極を貫通する少なくとも1つの荷電粒子線通過用の開口をそれぞれ有すると共に、少なくとも1つの表面に薄膜を有し、
前記薄膜は、前記光学特性を制御するための電圧を前記対向電極に印加することで生じる前記対向電極の変形を低減する残留応力を有するように形成されていることを特徴とする荷電粒子線レンズ。 - 前記薄膜は、前記光軸方向に沿って最も外側にある前記対向電極の少なくとも1つの表面に形成されることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線レンズ。
- 前記対向電極の表面に形成された前記薄膜は、該対向電極より小さい領域に配されることを特徴とする請求項1または2に記載の荷電粒子線レンズ。
- 前記対向電極の表面に形成された前記薄膜は、複数の部分に分割されていることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の荷電粒子線レンズ。
- 前記複数の対向電極は、それぞれ外周が固定され、
前記対向電極の表面に形成された前記薄膜は、中心部と、該対向電極の表面の中心から前記外周へ向かう方向に前記中心部から離間して形成された帯形状部とを有することを特徴とする請求項4に記載の荷電粒子線レンズ。 - 前記複数の対向電極は、それぞれ複数の前記開口を有し、
複数の荷電粒子線の光学特性を制御するレンズアレイとして構成されていることを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の荷電粒子線レンズ。 - 前記薄膜は、電気伝導性膜で覆われていることを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載の荷電粒子線レンズ。
- 前記電気伝導性膜は、前記対向電極より大きい領域に配されることを特徴とする請求項7に記載の荷電粒子線レンズ。
- 前記対向電極はシリコンで形成され、前記薄膜はシリコン酸化膜で形成されていることを特徴とする請求項1から8の何れか1項に記載の荷電粒子線レンズ。
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