JP5638344B2 - フローセンサ - Google Patents
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Description
20…基板
20a…第1基板
20b…第2基板
21…検出部
22…ヒータ(抵抗素子)
23…上流側温度センサ(抵抗素子)
24…下流側温度センサ(抵抗素子)
28…上流側貫通孔
29…下流側貫通孔
30…上部流路形成部材
31a…第1流路
40…下部流路形成部材
41a…第2流路
201a…第1凹部
201b…第2凹部
Claims (6)
- 所定の腐食性物質に対して耐食性を有する第1及び第2の基板と、
前記第1の基板の一方の面に設けられ、流体の速度を検出するための検出部と、を備え、
前記検出部が前記第1及び第2の基板によって被覆されるように、前記第1の基板の一方の面と前記第2の基板の他方の面とが接合されており、
前記第1及び第2の基板の材料は、それぞれガラス又はサファイアである
ことを特徴とするフローセンサ。 - 前記第1の基板の他方の面に第1の凹部を有し、
前記第2の基板の一方の面における前記第1の凹部に対向する位置に第2の凹部を有し、
前記検出部は前記第1の凹部と前記第2の凹部との間に配置される
ことを特徴とする請求項1に記載のフローセンサ。 - 前記検出部は、前記流体を加熱するヒータと、前記ヒータによって生ずる前記流体の温度差を測定するように構成された測温ユニットを含む
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のフローセンサ。 - 前記測温ユニットは、前記ヒータに対して上流側と下流側とにそれぞれ配置される複数の温度センサを有する
ことを特徴とする請求項3に記載のフローセンサ。 - 前記第1及び第2の基板には、前記検出部に対して上流側に形成される上流側貫通孔と、前記検出部に対して下流側に形成される下流側貫通孔と、が設けられている
ことを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載のフローセンサ。 - 前記第1の基板の他方の面及び前記第2の基板の一方の面のうちの少なくとも一方の面側に、前記流体が流通する流路を形成するように設けられた流路形成部材を更に備え、
前記流路形成部材は、前記所定の腐食性物質に対して耐食性を有する
ことを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載のフローセンサ。
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JP2010239717A JP5638344B2 (ja) | 2010-10-26 | 2010-10-26 | フローセンサ |
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Family Applications (1)
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