JP5081174B2 - センサ及びフローセンサ - Google Patents
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Description
1の内壁面が平滑な面とされていることで、ガラスチップ3の外側から流量検出部10の観察が容易となり、例えば100μm程度の微小な塵埃等がガスに混じって流路11内に浸入して流量検出部10に付着した場合でも外部から直接観察することが可能となる。これにより、フローセンサ1の異常を迅速に検知することが可能となる。
Claims (1)
- センサチップとガラス製のカバー部材とを接合して構成されたフローセンサであり、
前記センサチップは、基板に流量検出部と前記流量検出部の両側に延出された信号取り出し配線部とが形成されたものであって、
前記カバー部材は、前記センサチップと接合する面の中央に長手方向に沿って前記流量検出部上に被測定流体を流すための流路と、前記流路の直交方向に位置する側壁それぞれに切欠部とが形成されたものであるフローセンサにおいて、
前記信号取り出し配線部の一方ならびに他方の先端は、それぞれの延出方向に形成されている前記切欠部に位置し、
前記カバー部材には前記信号取り出し配線部の延出方向に沿って溝が形成され、
前記信号取り出し配線部は前記溝に挿通されており、
前記カバー部材の溝と前記検出部の信号取り出し配線との隙間が低融点ガラスにより埋められ、
それ以外の接合領域が陽極接合により接合されることを特徴とするフローセンサ。
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