JP5631954B2 - Liquid crystal display - Google Patents

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本発明は,液晶表示装置に係り,特に配向膜に光の照射で配向制御能を付与した液晶表示パネルを具備した液晶表示装置に関する。   The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a liquid crystal display device provided with a liquid crystal display panel in which an alignment film is provided with an alignment control ability by light irradiation.

液晶表示装置では画素電極および薄膜トランジスタ(TFT)等がマトリクス状に形成されたTFT基板と、TFT基板に対向して、TFT基板の画素電極と対応する場所にカラーフィルタ等が形成された対向基板が設置され、TFT基板と対向基板の間に液晶が挟持されている。そして液晶分子による光の透過率を画素毎に制御することによって画像を形成している。   In a liquid crystal display device, there are a TFT substrate in which pixel electrodes and thin film transistors (TFTs) are formed in a matrix, and a counter substrate in which color filters are formed at locations corresponding to the pixel electrodes of the TFT substrate, facing the TFT substrate. The liquid crystal is sandwiched between the TFT substrate and the counter substrate. An image is formed by controlling the light transmittance of the liquid crystal molecules for each pixel.

液晶表示装置はフラットで軽量であることから、TV等の大型表示装置から、携帯電話やDSC(Digital Still Camera)等、色々な分野で用途が広がっている。一方、液晶表示装置では視野角特性が問題である。視野角特性は、画面を正面から見た場合と、斜め方向から見た場合に、輝度が変化したり、色度が変化したりする現象である。視野角特性は、液晶分子を水平方向の電界によって動作させるIPS(In Plane Switching)方式が優れた特性を有している。   Since the liquid crystal display device is flat and lightweight, the application is expanding in various fields such as a large display device such as a TV, a mobile phone, and a DSC (Digital Still Camera). On the other hand, viewing angle characteristics are a problem in liquid crystal display devices. The viewing angle characteristic is a phenomenon in which luminance changes or chromaticity changes when the screen is viewed from the front and when viewed from an oblique direction. The viewing angle characteristic is excellent in an IPS (In Plane Switching) system in which liquid crystal molecules are operated by a horizontal electric field.

液晶表示装置に使用する配向膜を配向処理すなわち配向制御能を付与する方法として,従来技術としてラビングで処理する方法がある。このラビングによる配向処理は,配向膜を布で擦ることで配向処理を行うものであるが,一方,配向膜に非接触で配向制御能を付与する光配向法という手法がある。IPS方式はプレティルト角が必要無いために、光配向法を適用することが出来る。   As a method for imparting an alignment treatment, that is, an alignment control ability, to an alignment film used in a liquid crystal display device, there is a conventional method of rubbing. The alignment treatment by rubbing is performed by rubbing the alignment film with a cloth. On the other hand, there is a technique called a photo-alignment method that imparts alignment control ability to the alignment film in a non-contact manner. Since the IPS method does not require a pretilt angle, a photo-alignment method can be applied.

「特許文献1」には紫外線に代表される光の照射による光分解型の光配向処理が開示されており,光分解型の光配向処理においては(1)画素部の複雑な段差構造に起因する配向乱れを低減し,(2)ラビングによる配向処理における静電気による薄膜トランジスタの破損,ラビング布の毛先の乱れや塵による配向乱れを原因とする表示不良を解決し,均質な配向制御能を得るために要する頻繁なラビング布の交換によるプロセスの煩雑さ,を解決することが記載されている。   “Patent Document 1” discloses a photo-decomposition type photo-alignment process by irradiation of light typified by ultraviolet rays. In photo-decomposition type photo-alignment process, (1) due to a complicated step structure of a pixel portion. (2) Resolve display defects caused by damage to thin-film transistors due to static electricity in rubbing alignment, rubbing of rubbing cloth tips, or alignment disturbance due to dust, and obtain uniform alignment control capability. It is described that the complexity of the process due to frequent replacement of the rubbing cloth required for this purpose is solved.

また、「特許文献2」には、配向膜を2層構造とし、上層に光配向可能な配向膜を形成し、下層に、光配向はできないが、上層よりも体積抵抗の低い配向膜を形成することによって、残像の消失時間を短くした構成が記載されている。「特許文献3」には、光配向において問題となる方位角アンカリング強度の測定方法が記載されている。   In “Patent Document 2”, the alignment film has a two-layer structure, an alignment film capable of photo-alignment is formed in the upper layer, and an alignment film that cannot be photo-aligned in the lower layer but has a lower volume resistance than the upper layer is formed. Thus, a configuration in which the afterimage disappearance time is shortened is described. “Patent Document 3” describes a method of measuring the azimuth anchoring strength, which is a problem in photo-alignment.

特開2004−206091号公報JP 2004-206091 A 特願2008−235900号公報Japanese Patent Application No. 2008-235900 特開2003−57147号公報JP 2003-57147 A

配向膜への配向制御能の付与という点において,光配向処理はラビング処理と比較すると,一般的には配向安定性が低いということが知られている。配向安定性が低いと,初期配向方向が変動し,表示不良の原因となる。特に,高い配向安定性が要求される横電界方式の液晶表示パネルを用いた液晶表示装置では配向安定性が低いことで残像に象徴される表示不良が発生し易い。   It is known that the optical alignment process generally has lower alignment stability than the rubbing process in terms of imparting alignment control ability to the alignment film. If the alignment stability is low, the initial alignment direction fluctuates, causing display defects. In particular, in a liquid crystal display device using a horizontal electric field type liquid crystal display panel that requires high alignment stability, a display defect symbolized by an afterimage tends to occur due to low alignment stability.

光配向処理ではラビング処理のような高分子の主鎖を延伸し,直線状にする工程がLCDプロセス中に存在しない。そのため,光配向処理においては偏光が照射されたポリイミドに代表される合成高分子の配向膜が,当該偏光方向と平行する方向で主鎖が切断されることで、当該偏光方向と直交する方向に一軸異方性が付与される。液晶分子は、切断されずに直線上に伸びて残った長い主鎖方向に沿って配向するが,この主鎖の長さが短くなると,一軸異方性が低下し,液晶との相互作用が弱くなって配向安定性が低下するために,前記した残像が発生し易くなる。   In the photo-alignment process, there is no step in the LCD process that stretches the main chain of the polymer and makes it linear, as in the rubbing process. Therefore, in the photo-alignment treatment, the alignment layer of a synthetic polymer represented by polyimide irradiated with polarized light is cut in a direction perpendicular to the polarization direction by cutting the main chain in a direction parallel to the polarization direction. Uniaxial anisotropy is imparted. The liquid crystal molecules are aligned along the long main chain direction that remains on the straight line without being cut, but as the main chain length decreases, the uniaxial anisotropy decreases and the interaction with the liquid crystal is reduced. Since it becomes weak and the alignment stability is lowered, the above-mentioned afterimage is likely to occur.

従って,配向膜の一軸異方性を向上させ,配向安定性を向上させるためには,配向膜の分子量を大きくすることが必要であるが,これを解決する手法として,ポリアミド酸エステルをイミド化した光配向膜材料を使用することが出来る。これによると,ポリアミド酸エステル材料では,従来のポリアミド酸材料で起こっていたようなイミド化反応時のジアミンと酸無水物への分解反応を伴わず,イミド化後も分子量を大きく保つことができ,ラビング処理並みの配向安定性を得ることができる。   Therefore, in order to improve the uniaxial anisotropy of the alignment film and improve the alignment stability, it is necessary to increase the molecular weight of the alignment film. The photo-alignment film material can be used. According to this, the polyamic acid ester material does not undergo a decomposition reaction into a diamine and an acid anhydride during the imidation reaction that occurs in the conventional polyamic acid material, and can maintain a large molecular weight after imidization. , Orientation stability equivalent to rubbing treatment can be obtained.

また,ポリアミド酸エステル材料においては,その化学構造中にカルボン酸を含有しないため,ポリアミド酸材料と比較してLCDの電圧保持率が上がり,長期信頼性の向上も確保することができる。   In addition, since the polyamic acid ester material does not contain a carboxylic acid in its chemical structure, the voltage holding ratio of the LCD is higher than that of the polyamic acid material, and improvement in long-term reliability can be ensured.

一方、光配向を用いた液晶表示装置では、長時間動作を行うと、液晶の初期配向の方向が液晶表示装置の製造当初からの方向と、ずれてきてしまい、この原因によって残像が生ずる。これをAC残像と称する。このような残像発生の原因は、配向膜の方位角アンカリング強度が弱いからであることがわかった。したがって、AC残像は非可逆的であり、回復はできない。なお、方位角アンカリング強度は、液晶分子を初期の配向方向から方位角方向にずれにくくさせる強度のことである。   On the other hand, in a liquid crystal display device using photo-alignment, when the operation is performed for a long time, the initial alignment direction of the liquid crystal is deviated from the direction from the beginning of the manufacture of the liquid crystal display device, resulting in an afterimage. This is called an AC afterimage. It was found that the cause of such afterimage generation was that the azimuth anchoring strength of the alignment film was weak. Therefore, the AC afterimage is irreversible and cannot be recovered. The azimuth anchoring strength is strength that makes liquid crystal molecules difficult to shift from the initial alignment direction to the azimuth direction.

一方、配向膜に電荷が蓄積することによって生ずる残像もある。これをDC残像と称している。DC残像は可逆的であり、時間が経過すると消失する。   On the other hand, there is also an afterimage caused by accumulation of charges in the alignment film. This is called a DC afterimage. The DC afterimage is reversible and disappears over time.

本発明の課題は、光配向方式において、配向膜の方位角アンカリング強度を向上し、いわゆるAC残像を生じさせないことである。また、本発明の目的は、同時に、いわゆるDC残像を生じさせないか、生じても短時間で消失させることである。   An object of the present invention is to improve the azimuth anchoring strength of the alignment film in the photo-alignment method, so as not to generate a so-called AC afterimage. It is also an object of the present invention to not cause a so-called DC afterimage or to eliminate it in a short time even if it occurs.

本発明は上記問題を克服するものであり、具体的な手段は次のとおりである。すなわち、液晶を配向させる配向膜を2層構造とし、液晶と接する上層を光配向膜とし、基板側の下層を高膜強度配向膜とする。上層の光配向膜は、シクロブタンを含むポリアミド酸エステルを80%以上含むポリアミド酸エステルを前駆体として形成し、下層の高膜強度配向膜はポリアミド酸を前駆体として形成する。   The present invention overcomes the above problems, and specific means are as follows. That is, the alignment film for aligning the liquid crystal has a two-layer structure, the upper layer in contact with the liquid crystal is the photo-alignment film, and the lower layer on the substrate side is the high film strength alignment film. The upper photo-alignment film is formed using a polyamic acid ester containing 80% or more of a polyamic acid ester containing cyclobutane as a precursor, and the lower high-strength alignment film is formed using a polyamic acid as a precursor.

このような2層となった配向膜を乾燥、焼成した後、偏光紫外線を照射することによって光配向膜を光配向させ、その後、紫外線を照射した基板を加熱することによって配向膜を完成する。   After the two-layer alignment film is dried and baked, the photo-alignment film is photo-aligned by irradiating polarized ultraviolet rays, and then the substrate irradiated with the ultraviolet rays is heated to complete the alignment film.

光配向膜におけるイミド化率は50%以上である。また、配向膜全体における光配向膜の割合は30%から60%である。上層の光配向膜の体積抵抗率は、下層の高膜強度配向膜の抵抗率よりも大きい。   The imidation ratio in the photo-alignment film is 50% or more. The ratio of the photo-alignment film in the entire alignment film is 30% to 60%. The volume resistivity of the upper photo-alignment film is larger than the resistivity of the lower high-strength alignment film.

本発明の他の構成としては、上層の光配向膜は、シクロブタンを含むポリアミド酸を80%以上含むポリアミド酸を前駆体として形成し、下層の高膜強度配向膜はシクロブタンを含まないポリアミド酸を前駆体として形成する。製造プロセスは上記と同様である。   As another configuration of the present invention, the upper photo-alignment film is formed using a polyamic acid containing 80% or more of polyamic acid containing cyclobutane as a precursor, and the lower high-strength alignment film is made of polyamic acid containing no cyclobutane. Form as a precursor. The manufacturing process is the same as above.

本発明のさらに他の構成としては、上層の光配向膜は、シクロブタンを含むポリアミド酸エステルを80%以上含むポリアミド酸エステルを前駆体として形成し、下層の高膜強度配向膜はシクロブタンを含まないポリアミド酸エステルを前駆体として形成する。製造プロセスは上記と同様である。   As still another configuration of the present invention, the upper photo-alignment film is formed using a polyamic acid ester containing 80% or more of a polyamic acid ester containing cyclobutane as a precursor, and the lower high-film strength alignment film does not contain cyclobutane. A polyamic acid ester is formed as a precursor. The manufacturing process is the same as above.

本発明によれば、配向膜を液晶と接する側の光配向膜と基板側の高膜強度配向膜の2層構造としているので、方位角アンカリング強度が強く、長期間動作後においても残像の少ない液晶表示装置を光配向によって実現することが出来る。   According to the present invention, since the alignment film has a two-layer structure of the photo-alignment film on the side in contact with the liquid crystal and the high-strength alignment film on the substrate side, the azimuth anchoring strength is strong, and afterimages are generated even after long-term operation. A small number of liquid crystal display devices can be realized by photo-alignment.

また、本発明によれば、紫外線によって光配向をさせた後、基板を所定の温度で加熱するので、配向膜の機械的な強度を劣化させることがないので、配向膜のアンカリング強度を大きくすることが出来る。   In addition, according to the present invention, since the substrate is heated at a predetermined temperature after photo-alignment with ultraviolet rays, the mechanical strength of the alignment film is not deteriorated, so that the anchoring strength of the alignment film is increased. I can do it.

IPS方式の液晶表示装置の断面図である。1 is a cross-sectional view of an IPS liquid crystal display device. 図1の画素電極の平面図である。It is a top view of the pixel electrode of FIG. 本発明による配向膜の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the alignment film by this invention. 光配向膜の原理を示す図である。It is a figure which shows the principle of a photo-alignment film. 本発明の配向膜の断面図である。It is sectional drawing of the alignment film of this invention. シクロブタンを含むポリアミド酸エステルの化学式である。It is a chemical formula of a polyamic acid ester containing cyclobutane. シクロブタンを含むポリアミド酸の化学式である。It is a chemical formula of a polyamic acid containing cyclobutane. 光配向の配向膜形成プロセスである。This is a photo-alignment alignment film forming process. 方位角アンカリング強度と残像の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between an azimuth anchoring intensity | strength and an afterimage. 配向膜の構成と形成プロセスと方位角アンカリング強度の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the structure of an alignment film, a formation process, and an azimuth anchoring intensity | strength. 光配向膜のプロセス条件と方位角アンカリング強度の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the process conditions of an optical alignment film, and an azimuth anchoring intensity | strength. DC残像の評価パターンである。It is a DC afterimage evaluation pattern. DC残像の評価結果である。It is an evaluation result of DC afterimage.

以下の実施例により本発明の内容を詳細に説明する。   The contents of the present invention will be described in detail by the following examples.

図1はIPS方式の液晶表示装置の表示領域における構造を示す断面図である。IPS方式の液晶表示装置の電極構造は種々のものが提案され、実用化されている。図1の構造は、現在広く使用されている構造であって、簡単に言えば、平面ベタで形成された対向電極108の上に絶縁膜を挟んで櫛歯状の画素電極110が形成されている。そして、画素電極110と対向電極108の間の電圧によって液晶分子301を回転させることによって画素毎に液晶層300の光の透過率を制御することにより画像を形成するものである。以下に図1の構造を詳しく説明する。なお、本発明は、図1の構成を例にとって説明するが、図1以外のIPSタイプの液晶表示装置にも適用することが出来る。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing a structure in a display region of an IPS liquid crystal display device. Various electrode structures of IPS liquid crystal display devices have been proposed and put into practical use. The structure shown in FIG. 1 is a structure that is widely used at present. To put it simply, a comb-like pixel electrode 110 is formed on a counter electrode 108 formed of a flat solid with an insulating film interposed therebetween. Yes. Then, an image is formed by controlling the light transmittance of the liquid crystal layer 300 for each pixel by rotating the liquid crystal molecules 301 by the voltage between the pixel electrode 110 and the counter electrode 108. The structure of FIG. 1 will be described in detail below. Although the present invention will be described by taking the configuration of FIG. 1 as an example, it can also be applied to IPS type liquid crystal display devices other than FIG.

図1において、ガラスで形成されるTFT基板100の上に、ゲート電極101が形成されている。ゲート電極101は走査線と同層で形成されている。ゲート電極101はAlNd合金の上にMoCr合金が積層されている。   In FIG. 1, a gate electrode 101 is formed on a TFT substrate 100 made of glass. The gate electrode 101 is formed in the same layer as the scanning line. The gate electrode 101 has a MoCr alloy laminated on an AlNd alloy.

ゲート電極101を覆ってゲート絶縁膜102がSiNによって形成されている。ゲート絶縁膜102の上に、ゲート電極101と対向する位置に半導体層103がa−Si膜によって形成されている。a−Si膜はプラズマCVDによって形成される。a−Si膜はTFTのチャネル部を形成するが、チャネル部を挟んでa−Si膜上にソース電極104とドレイン電極105が形成される。なお、a−Si膜とソース電極104あるいはドレイン電極105との間には図示しないn+Si層が形成される。半導体層とソース電極104あるいはドレイン電極105とのオーミックコンタクトを取るためである。   A gate insulating film 102 is formed of SiN so as to cover the gate electrode 101. A semiconductor layer 103 is formed of an a-Si film on the gate insulating film 102 at a position facing the gate electrode 101. The a-Si film is formed by plasma CVD. The a-Si film forms the channel portion of the TFT, and the source electrode 104 and the drain electrode 105 are formed on the a-Si film with the channel portion interposed therebetween. Note that an n + Si layer (not shown) is formed between the a-Si film and the source electrode 104 or the drain electrode 105. This is for making ohmic contact between the semiconductor layer and the source electrode 104 or the drain electrode 105.

ソース電極104は映像信号線が兼用し、ドレイン電極105は画素電極110と接続される。ソース電極104もドレイン電極105も同層で同時に形成される。本実施例では、ソース電極104あるいはドレイン電極105はMoCr合金で形成される。ソース電極104あるいはドレイン電極105の電気抵抗を下げたい場合は、例えば、AlNd合金をMoCr合金でサンドイッチした電極構造が用いられる。   The source electrode 104 is also used as a video signal line, and the drain electrode 105 is connected to the pixel electrode 110. The source electrode 104 and the drain electrode 105 are simultaneously formed in the same layer. In this embodiment, the source electrode 104 or the drain electrode 105 is made of a MoCr alloy. In order to reduce the electrical resistance of the source electrode 104 or the drain electrode 105, for example, an electrode structure in which an AlNd alloy is sandwiched between MoCr alloys is used.

TFTを覆って無機パッシベーション膜106がSiNによって形成される。無機パッシベーション膜106はTFTの、特にチャネル部を不純物401から保護する。無機パッシベーション膜106の上には有機パッシベーション膜107が形成される。有機パッシベーション膜107はTFTの保護と同時に表面を平坦化する役割も有するので、厚く形成される。厚さは1μmから4μmである。   An inorganic passivation film 106 is formed of SiN so as to cover the TFT. The inorganic passivation film 106 protects the TFT, particularly the channel portion, from the impurities 401. An organic passivation film 107 is formed on the inorganic passivation film 106. The organic passivation film 107 has a role of flattening the surface at the same time as protecting the TFT, and thus is formed thick. The thickness is 1 μm to 4 μm.

有機パッシベーション膜107には感光性のアクリル樹脂、シリコン樹脂、あるいはポリイミド樹脂等が使用される。有機パッシベーション膜107には、画素電極110とドレイン電極105が接続する部分にスルーホール111を形成する必要があるが、有機パッシベーション膜107は感光性なので、フォトレジストを用いずに、有機パッシベーション膜107自体を露光、現像して、スルーホール111を形成することが出来る。   A photosensitive acrylic resin, silicon resin, polyimide resin, or the like is used for the organic passivation film 107. In the organic passivation film 107, it is necessary to form a through hole 111 at a portion where the pixel electrode 110 and the drain electrode 105 are connected. However, since the organic passivation film 107 is photosensitive, the organic passivation film 107 is not used without using a photoresist. The through hole 111 can be formed by exposing and developing itself.

有機パッシベーション膜107の上には対向電極108が形成される。対向電極108は透明導電膜であるITO(Indium Tin Oxide)を表示領域全体にスパッタリングすることによって形成される。すなわち、対向電極108は面状に形成される。対向電極108を全面にスパッタリングによって形成した後、画素電極110とドレイン電極105を導通するためのスルーホール111部だけは対向電極108をエッチングによって除去する。   A counter electrode 108 is formed on the organic passivation film 107. The counter electrode 108 is formed by sputtering ITO (Indium Tin Oxide), which is a transparent conductive film, over the entire display region. That is, the counter electrode 108 is formed in a planar shape. After the counter electrode 108 is formed on the entire surface by sputtering, the counter electrode 108 is removed by etching only in the through hole 111 portion for conducting the pixel electrode 110 and the drain electrode 105.

対向電極108を覆って上部絶縁膜109がSiNによって形成される。上部絶縁膜109が形成された後、エッチングによってスルーホール111を形成する。この上部絶縁膜109をレジストにして無機パッシベーション膜106をエッチングしてスルーホール111を形成する。その後、上部絶縁膜109およびスルーホール111を覆って画素電極110となるITOをスパッタリングによって形成する。スパッタリングしたITOをパターニングして画素電極110を形成する。画素電極110となるITOはスルーホール111にも被着される。スルーホール111において、TFTから延在してきたドレイン電極105と画素電極110が導通し、映像信号が画素電極110に供給されることになる。   An upper insulating film 109 is formed of SiN so as to cover the counter electrode 108. After the upper insulating film 109 is formed, a through hole 111 is formed by etching. The through hole 111 is formed by etching the inorganic passivation film 106 using the upper insulating film 109 as a resist. Thereafter, ITO that becomes the pixel electrode 110 covering the upper insulating film 109 and the through hole 111 is formed by sputtering. The pixel electrode 110 is formed by patterning the sputtered ITO. ITO serving as the pixel electrode 110 is also deposited on the through hole 111. In the through hole 111, the drain electrode 105 extending from the TFT and the pixel electrode 110 become conductive, and a video signal is supplied to the pixel electrode 110.

図2に画素電極110の1例を示す。画素電極110は、櫛歯状の電極である。櫛歯と櫛歯の間にスリット112が形成されている。画素電極110の下方には、平面状の対向電極108が形成されている。画素電極110に映像信号が印加されると、スリット112を通して対向電極108との間に生ずる電気力線によって液晶分子301が回転する。これによって液晶層300を通過する光を制御して画像を形成する。   FIG. 2 shows an example of the pixel electrode 110. The pixel electrode 110 is a comb-like electrode. A slit 112 is formed between the comb teeth. A planar counter electrode 108 is formed below the pixel electrode 110. When a video signal is applied to the pixel electrode 110, the liquid crystal molecules 301 are rotated by electric lines of force generated between the counter electrode 108 through the slit 112. As a result, light passing through the liquid crystal layer 300 is controlled to form an image.

図1はこの様子を断面図として説明したものである。櫛歯状の電極と櫛歯状の電極の間は図1に示すスリット112となっている。対向電極108には一定電圧が印加され、画素電極110には映像信号による電圧が印加される。画素電極110に電圧が印加されると図1に示すように、電気力線が発生して液晶分子301を電気力線の方向に回転させてバックライトからの光の透過を制御する。画素毎にバックライトからの透過が制御されるので、画像が形成されることになる。   FIG. 1 illustrates this as a cross-sectional view. A slit 112 shown in FIG. 1 is formed between the comb-shaped electrode and the comb-shaped electrode. A constant voltage is applied to the counter electrode 108, and a voltage based on a video signal is applied to the pixel electrode 110. When a voltage is applied to the pixel electrode 110, as shown in FIG. 1, the lines of electric force are generated, and the liquid crystal molecules 301 are rotated in the direction of the lines of electric force to control the transmission of light from the backlight. Since transmission from the backlight is controlled for each pixel, an image is formed.

図1の例では、有機パッシベーション膜107の上に、面状に形成された対向電極108が配置され、上部絶縁膜109の上に櫛歯電極110が配置されている。しかしこれとは逆に、有機パッシベーション膜107の上に面状に形成された画素電極110を配置し、上部絶縁膜109の上に櫛歯状の対向電極108が配置される場合もある。   In the example of FIG. 1, a counter electrode 108 formed in a planar shape is disposed on the organic passivation film 107, and a comb electrode 110 is disposed on the upper insulating film 109. However, conversely, the pixel electrode 110 formed in a planar shape may be disposed on the organic passivation film 107, and the comb-like counter electrode 108 may be disposed on the upper insulating film 109.

画素電極110の上には液晶分子301を配向させるための配向膜113が形成されている。本発明においては、配向膜113は、液晶層300と接する光配向膜1131と、光配向膜1131の下層に形成される高膜強度配向膜1132の2層構造となっている。配向膜の113の構成については、後で詳細に説明する。   An alignment film 113 for aligning liquid crystal molecules 301 is formed on the pixel electrode 110. In the present invention, the alignment film 113 has a two-layer structure of a photo-alignment film 1131 in contact with the liquid crystal layer 300 and a high-strength alignment film 1132 formed under the photo-alignment film 1131. The configuration of the alignment film 113 will be described in detail later.

図1において、液晶層300を挟んで対向基板200が設置されている。対向基板200の内側には、カラーフィルタ201が形成されている。カラーフィルタ201は画素毎に、赤、緑、青のカラーフィルタ201が形成されており、カラー画像が形成される。カラーフィルタ201とカラーフィルタ201の間にはブラックマトリクス202が形成され、画像のコントラストを向上させている。なお、ブラックマトリクス202はTFTの遮光膜としての役割も有し、TFTに光電流が流れることを防止している。   In FIG. 1, a counter substrate 200 is provided with a liquid crystal layer 300 interposed therebetween. A color filter 201 is formed inside the counter substrate 200. The color filter 201 is formed with red, green, and blue color filters 201 for each pixel, and a color image is formed. A black matrix 202 is formed between the color filters 201 to improve the contrast of the image. Note that the black matrix 202 also has a role as a light shielding film of the TFT, and prevents a photocurrent from flowing through the TFT.

カラーフィルタ201およびブラックマトリクス202を覆ってオーバーコート膜203が形成されている。カラーフィルタ201およびブラックマトリクス202の表面は凹凸となっているために、オーバーコート膜203によって表面を平らにしている。   An overcoat film 203 is formed to cover the color filter 201 and the black matrix 202. Since the surface of the color filter 201 and the black matrix 202 is uneven, the surface is flattened by the overcoat film 203.

オーバーコート膜203の上には、液晶の初期配向を決めるための配向膜113が形成されている。対向基板側の配向膜113もTFT基板側の配向膜113と同様に、液晶層300と接する光配向膜1131と、光配向膜1131の下層に形成される低抵抗配向膜1132の2層構造となっている。なお、図1はIPSであるから、対向電極108はTFT基板100側に形成されており、対向基板200側には形成されていない。   On the overcoat film 203, an alignment film 113 for determining the initial alignment of the liquid crystal is formed. Similarly to the alignment film 113 on the TFT substrate side, the alignment film 113 on the counter substrate side has a two-layer structure of a photo-alignment film 1131 in contact with the liquid crystal layer 300 and a low-resistance alignment film 1132 formed under the photo-alignment film 1131. It has become. 1 is IPS, the counter electrode 108 is formed on the TFT substrate 100 side, and is not formed on the counter substrate 200 side.

図1に示すように、IPSでは、対向基板200の内側には導電膜が形成されていない。そうすると、対向基板200の電位が不安定になる。また、外部からの電磁ノイズが液晶層300に侵入し、画像に対して影響を与える。このような問題を除去するために、対向基板200の外側に表面導電膜210が形成される。表面導電膜210は、透明導電膜であるITOをスパッタリングすることによって形成される。   As shown in FIG. 1, in IPS, a conductive film is not formed inside the counter substrate 200. Then, the potential of the counter substrate 200 becomes unstable. Further, external electromagnetic noise enters the liquid crystal layer 300 and affects the image. In order to eliminate such a problem, a surface conductive film 210 is formed outside the counter substrate 200. The surface conductive film 210 is formed by sputtering ITO, which is a transparent conductive film.

図3は本発明による配向膜113を示す模式図である。図3(a)は配向膜113の平面透視図、図3(b)は断面斜視図である。本発明の配向膜113は2層構造となっており、液晶層と接する上側は光配向膜1131であり、下側は高膜強度配向膜1132となっている。   FIG. 3 is a schematic view showing an alignment film 113 according to the present invention. 3A is a plan perspective view of the alignment film 113, and FIG. 3B is a cross-sectional perspective view. The alignment film 113 of the present invention has a two-layer structure. The upper side in contact with the liquid crystal layer is a photo-alignment film 1131, and the lower side is a high film strength alignment film 1132.

ポリアミド酸エステルの分子式は化学式(1)によって表される。   The molecular formula of the polyamic acid ester is represented by the chemical formula (1).

Figure 0005631954
Figure 0005631954

化学式(1)において、R1は、それぞれ独立に炭素数1〜8のアルキル基であり、R2は、それぞれ独立に水素原子、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、フェニル基、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシ基、ビニル基(−(CH2)m−CH=CH2,m=0,1,2)又はアセチル基(−(CH2)m−C≡CH,m=0,1,2)であり、Arは芳香族化合物である。 In the chemical formula (1), each R1 is independently an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, and each R2 is independently a hydrogen atom, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, a phenyl group, or a carbon atom having 1 to 6 carbon atoms. An alkyl group, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a vinyl group (— (CH 2) m —CH═CH 2, m = 0, 1, 2) or an acetyl group (— (CH 2) m —C≡CH, m = 0 , 1, 2), and Ar is an aromatic compound.

なお、化学式(1)は、シクロブタンを含むポリアミド酸エステルであるが、シクロブタンを含まないポリアミド酸エステルも存在する。しかし、光配向させることが出来るのは、シクロブタンを含むポリアミド酸エステルであるので、シクロブタンを含むポリアミド酸エステルは80%以上である必要がある。   The chemical formula (1) is a polyamic acid ester containing cyclobutane, but there are also polyamic acid esters not containing cyclobutane. However, since the polyamic acid ester containing cyclobutane can be photo-aligned, the polyamic acid ester containing cyclobutane needs to be 80% or more.

図3におけるポリアミド酸の分子式は化学式(2)によって表される。化学式(2)はシクロブタンを含まないポリアミド酸の構造例である。   The molecular formula of the polyamic acid in FIG. 3 is represented by chemical formula (2). Chemical formula (2) is an example of a polyamic acid structure that does not contain cyclobutane.

Figure 0005631954
Figure 0005631954

化学式(2)において、R2は、それぞれ独立に水素原子、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、フェニル基、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシ基、ビニル基(−(CH2)m−CH=CH2,m=0,1,2)又はアセチル基(−(CH2)m−C≡CH,m=0,1,2)であり、Arは芳香族化合物である。 In the chemical formula (2), each R2 independently represents a hydrogen atom, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, a phenyl group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a vinyl group (-( CH2) m-CH = CH2, m = 0,1,2) or an acetyl group (-(CH2) m-C≡CH, m = 0,1,2), and Ar is an aromatic compound.

なお、化学式(2)は、化学式(1)と異なり、シクロブタンを含んでいない。高膜強度配向膜は光配向をする必要が無いので、シクロブタンは必要が無い。逆に化学式(2)はシクロブタンが無いので、紫外線の影響を受けにくい。その他に、化学式(1)と化学式(2)が異なる点は、化学式(2)においては、ポリアミド酸エステルを示す化学式(1)において、R1がHに置き換わっている点である。   Note that, unlike the chemical formula (1), the chemical formula (2) does not include cyclobutane. Since the high film strength alignment film does not need to be photo-aligned, cyclobutane is not necessary. On the other hand, since chemical formula (2) has no cyclobutane, it is hardly affected by ultraviolet rays. In addition, the difference between the chemical formula (1) and the chemical formula (2) is that in the chemical formula (2), R1 is replaced with H in the chemical formula (1) indicating the polyamic acid ester.

図3(a)は透視図であるから光配向膜における光分解性ポリマー10と高膜強度配向膜における非光分解性ポリマー11が透視して見えている。図3(b)において、配向膜113は図1における画素電極110あるいは有機パッシベーション膜107の上に形成されている。図3(b)では配向膜113は画素電極110の上に形成されるとしている。上側の光配向膜1131の厚さt1は50nm程度、下側の高膜強度配向膜1132の厚さt2は50nm程度である。光配向膜1131と高膜強度配向膜1132の境界は明確ではないので、点線で記載している。   Since FIG. 3A is a perspective view, the photodegradable polymer 10 in the photoalignment film and the non-photodegradable polymer 11 in the high film strength alignment film are seen through. In FIG. 3B, the alignment film 113 is formed on the pixel electrode 110 or the organic passivation film 107 in FIG. In FIG. 3B, the alignment film 113 is formed on the pixel electrode 110. The upper photoalignment film 1131 has a thickness t1 of about 50 nm, and the lower high film strength alignment film 1132 has a thickness t2 of about 50 nm. Since the boundary between the photo-alignment film 1131 and the high-strength alignment film 1132 is not clear, it is indicated by a dotted line.

図4は光配向膜1131によって液晶を配向させるための原理を示す模式図である。図4において、高膜強度配向膜1132は省略されている。図4(a)は光配向膜1131が塗布された状態を示している。光配向膜1131は光分解性ポリマー10によって形成されている。   FIG. 4 is a schematic diagram showing the principle for aligning the liquid crystal by the photo-alignment film 1131. In FIG. 4, the high film strength alignment film 1132 is omitted. FIG. 4A shows a state where the photo-alignment film 1131 is applied. The photo-alignment film 1131 is formed of the photodegradable polymer 10.

図4(a)に示す光配向膜1131に対し、横方向に偏光された紫外線を例えば、6J/cmのエネルギーで照射する。そうすると、光配向膜1131において偏光された紫外線の偏光方向の光分解性ポリマー10は、図4(b)に示すように、紫外線によって破壊される。すなわち、紫外線の偏光方向に沿って紫外線による切断部15が形成される。そうすると、液晶分子は図4(b)における矢印Aの方向に配向されることになる。 The photo-alignment film 1131 shown in FIG. 4A is irradiated with UV light polarized in the lateral direction with an energy of, for example, 6 J / cm 2 . Then, the photodegradable polymer 10 in the polarization direction of the ultraviolet light polarized in the photo-alignment film 1131 is destroyed by the ultraviolet light as shown in FIG. That is, the cut part 15 by ultraviolet rays is formed along the polarization direction of ultraviolet rays. Then, the liquid crystal molecules are aligned in the direction of arrow A in FIG.

図4に示すように、光分解性ポリマー10の主鎖が短いと一軸異方性が低下し、液晶との相互作用が弱くなって配向性が低下する。したがって、図4(b)において、光配向後においても、光分解性ポリマー10が矢印Aの方向にできるだけ長く伸びていることが望ましい。つまり、配向膜113の一軸異方性を向上させ、配向安定性を向上させるためには、配向膜113の分子量を大きくする必要がある。   As shown in FIG. 4, when the main chain of the photodegradable polymer 10 is short, the uniaxial anisotropy is lowered, the interaction with the liquid crystal is weakened, and the orientation is lowered. Therefore, in FIG. 4B, it is desirable that the photodegradable polymer 10 extends in the direction of arrow A as long as possible even after photo-alignment. That is, in order to improve the uniaxial anisotropy of the alignment film 113 and improve the alignment stability, it is necessary to increase the molecular weight of the alignment film 113.

配向膜113における分子量としては、数平均分子量によって評価することが出来る。数平均分子量は、配向膜113に種々の分子量のポリマーが存在している場合、その平均的な分子量である。光配向膜1131においては、十分な配向安定性を得るためには、数平均分子量は5000以上であることが必要である。   The molecular weight in the alignment film 113 can be evaluated by the number average molecular weight. The number average molecular weight is an average molecular weight when polymers having various molecular weights exist in the alignment film 113. In the photo-alignment film 1131, the number average molecular weight needs to be 5000 or more in order to obtain sufficient alignment stability.

このような、大きな数平均分子量の光配向膜1131を得るためには、ポリアミド酸エステルをイミド化したものを用いることが出来る。ポリアミド酸エステルの構造は、先に示した化学式(1)に示すとおりである。   In order to obtain such a photo-alignment film 1131 having a large number average molecular weight, an imidized polyamic acid ester can be used. The structure of the polyamic acid ester is as shown in the chemical formula (1) shown above.

ポリアミド酸エステルの特徴は、化学式(1)におけるR1である。ポリアミド酸エステルにおいては、R1はCnH2n−1であり、nが1以上である。ポリアミド酸エステルを光配向膜1131の前駆体として用いると、従来のポリアミド酸材料で起こっていたようなイミド化反応時のジアミンと酸無水物への分解反応を伴わず、イミド化後も分子量を大きく保つことができ、ラビング処理並みの配向安定性を得ることができる。   The characteristic of the polyamic acid ester is R1 in the chemical formula (1). In the polyamic acid ester, R1 is CnH2n-1, and n is 1 or more. When the polyamic acid ester is used as a precursor of the photo-alignment film 1131, it does not involve a decomposition reaction into a diamine and an acid anhydride at the time of an imidization reaction that has occurred in a conventional polyamic acid material, and the molecular weight after imidization is also reduced. It can be kept large, and alignment stability equivalent to the rubbing treatment can be obtained.

しかし、光配向膜は紫外線によって、主鎖が特定方向において破壊されるので、膜強度が低下する。配向膜の方位角アンカリング強度の劣化は、配向膜の機械的な強度に関係することが発明者の研究によって明らかになった。そこで、配向膜を2層構造とし、下層に高膜強度配向膜を配置し、上層に光配向膜を配置することによって配向膜全体の膜強度を上げることが配向膜の方位角アンカリング強度向上に効果的である。   However, since the main chain of the photo-alignment film is broken by ultraviolet rays in a specific direction, the film strength is lowered. The inventors' research has revealed that the deterioration of the azimuthal anchoring strength of the alignment film is related to the mechanical strength of the alignment film. Therefore, it is possible to improve the azimuth anchoring strength of the alignment film by increasing the film strength of the entire alignment film by arranging the alignment film in a two-layer structure, placing a high-strength alignment film in the lower layer, and arranging a photo-alignment film in the upper layer. It is effective.

図5は2層配向膜を形成する方法を示す断面模式図である。2層構造の配向膜113を形成するために、配向膜113形成プロセスを増やすことなく行うことが出来る。すなわち、図5(a)に示すように、光分解性ポリマー10と高膜強度配向膜を形成するポリマー11を混合した材料を基板に塗布すると、レベリング効果によって図5(b)に示すように、基板と馴染みやすい材料が下層に形成され、他の材料が上に形成される、いわゆる相分離を生ずる。   FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a method for forming a two-layer alignment film. In order to form the alignment film 113 having a two-layer structure, the alignment film 113 can be formed without increasing the number of processes. That is, as shown in FIG. 5A, when a material in which the photodegradable polymer 10 and the polymer 11 that forms the high-strength alignment film are mixed is applied to the substrate, as shown in FIG. A material that is compatible with the substrate is formed in the lower layer, and other materials are formed on the lower layer, so-called phase separation occurs.

本実施例において、基板に相当するのは、画素電極110を形成するITOまたは、有機パッシベーション膜107である。ポリアミド酸はポリアミド酸エステルに比較して極性が高く(表面エネルギーが大きく)ITOあるいは有機パッシベーション膜107と馴染みやすいので、常にポリアミド酸が下層となる。本発明ではポリアミド酸によって形成される高膜強度配向膜の数平均分子量がポリアミド酸エステルによって形成される光配向膜の数平均分子量よりも大きいので、極性または表面エネルギーの効果に加えて、相分離をさらに容易に生ずることが出来る。2層の配向膜のうち、光配向膜1131の占める割合は、配向膜全体の30%以上で、60%以下である。これは、一つには光配向膜を十分に上層に配置させるためと、一つには2層の配向膜を塗布した後に相分離を起こしやすいからである。   In this embodiment, the substrate corresponds to the ITO or the organic passivation film 107 that forms the pixel electrode 110. Since the polyamic acid has a higher polarity (higher surface energy) than the polyamic acid ester and is easily compatible with the ITO or the organic passivation film 107, the polyamic acid is always the lower layer. In the present invention, since the number average molecular weight of the high-strength alignment film formed by the polyamic acid is larger than the number average molecular weight of the photo-alignment film formed by the polyamic acid ester, in addition to the effect of polarity or surface energy, phase separation Can be more easily generated. In the two alignment films, the proportion of the photo-alignment film 1131 is 30% or more and 60% or less of the entire alignment film. This is because, in part, the photo-alignment film is sufficiently disposed in the upper layer, and in part, phase separation is likely to occur after the two-layer alignment film is applied.

このようにして形成された樹脂膜に200℃程度の熱を加えてイミド化する。イミド化は下層のポリアミド酸1132、上層のポリアミド酸エステル1131の両者に対して同時に行われる。したがって、1層の配向膜113形成と同じ工程によって2層の配向膜113形成を行うことが出来る。   The resin film thus formed is imidized by applying heat of about 200 ° C. Imidization is performed simultaneously on both the lower polyamic acid 1132 and the upper polyamic acid ester 1131. Therefore, the two-layer alignment film 113 can be formed by the same process as the formation of the one-layer alignment film 113.

上層の光配向膜1131は配向特性を安定化するために、光分解性ポリマー10の光分解効率を高くする必要があるので、イミド化率は高くする必要がある。これはイミド化していないと光分解反応が起こりにくいからである。一般的に、ポリアミド酸エステルはイミド化しにくいため、イミド化を補助する目的で、イミド化促進剤を添加剤として加えてもよい。光配向膜1131におけるイミド化率は50%以上であり、より好ましくは70%以上である。この残りは、前駆体としてのポリアミド酸エステルが光配向膜1131に存在することになる。   Since the upper photo-alignment film 1131 needs to increase the photodecomposition efficiency of the photodegradable polymer 10 in order to stabilize the alignment characteristics, it is necessary to increase the imidization rate. This is because if not imidized, the photodecomposition reaction hardly occurs. In general, since a polyamic acid ester is difficult to imidize, an imidization accelerator may be added as an additive for the purpose of assisting imidization. The imidation ratio in the photo-alignment film 1131 is 50% or more, more preferably 70% or more. The remainder is that the polyamic acid ester as a precursor is present in the photo-alignment film 1131.

一方、下層の高膜強度配向膜1132は液晶の光配向特性とは関係が無いので、イミド化率は特に規定する必要は無い。すなわち、イミド化の条件は、上層のポリアミド酸エステルのイミド化を主眼に設定すればよい。   On the other hand, since the lower high-strength alignment film 1132 is not related to the photo-alignment characteristics of the liquid crystal, it is not necessary to define the imidization rate. That is, the imidization condition may be set mainly on imidization of the upper polyamic acid ester.

配向膜113の上層と下層の境界は明確ではない。図5ではこの境界を点線で示している。図5(b)において、上層の光配向膜1131はポリアミド酸エステルで構成されているが、図6に示すような、シクロブタンを有するポリアミド酸エステルが全体の80%以上を占める。すなわち、ポリアミド酸エステルにおいて、シクロブタンが偏光紫外線によって分解されることによって光配向特性を生ずるので、シクロブタンを有するポリアミド酸エステルの割合が多くなることは必須である。   The boundary between the upper layer and the lower layer of the alignment film 113 is not clear. In FIG. 5, this boundary is indicated by a dotted line. In FIG. 5B, the upper photo-alignment film 1131 is made of a polyamic acid ester, but the polyamic acid ester having cyclobutane as shown in FIG. 6 accounts for 80% or more of the whole. That is, in the polyamic acid ester, cyclobutane is decomposed by polarized ultraviolet rays to produce photo-alignment characteristics. Therefore, it is essential that the proportion of the polyamic acid ester having cyclobutane is increased.

一方、下層の高膜強度配向膜1132は、ポリアミド酸によって形成されているが、図7に示すシクロブタンを有するポリアミド酸は無いことが望ましい。代わりに化学式(2)で示されるような、シクロブタンを含まないポリアミド酸が使用される。すなわち、光配向後も配向膜全体として機械的な強度を保つためには、下層の高膜強度配向膜は紫外線によって分解されないほうがよいからである。   On the other hand, the lower high-strength alignment film 1132 is formed of polyamic acid, but it is desirable that there is no polyamic acid having cyclobutane shown in FIG. Instead, a polyamic acid containing no cyclobutane as shown in the chemical formula (2) is used. That is, in order to maintain the mechanical strength of the entire alignment film even after photo-alignment, the lower high-strength alignment film should not be decomposed by ultraviolet rays.

このように、2層の配向膜の特徴は、上層の光配向膜1131がシクロブタンを多く含み、下層の高膜強度配向膜1132はシクロブタンを含まないように形成されていることである。つまり、光配向膜1131の液晶と接する側は多くのシクロブタンを含み、高膜強度配向膜1132の画素電極あるいは有機パッシベーション膜と接する側はシクロブタンをほとんど含まないということになる。   As described above, the two-layer alignment film is characterized in that the upper photo-alignment film 1131 includes a large amount of cyclobutane, and the lower high-strength alignment film 1132 does not include cyclobutane. That is, the side of the photo-alignment film 1131 in contact with the liquid crystal contains a lot of cyclobutane, and the side of the high-strength alignment film 1132 in contact with the pixel electrode or the organic passivation film contains almost no cyclobutane.

以上のように、配向膜113の前駆体として、上層をシクロブタンを多く含むポリアミド酸エステルによって形成し、下層をシクロブタンを含まないポリアミド酸によって形成しても、光配向を行うための後工程によっては、配向膜全体として、機械的な強度が劣化する場合が生ずる。   As described above, even if the upper layer is formed of a polyamic acid ester containing a large amount of cyclobutane and the lower layer is formed of a polyamic acid containing no cyclobutane as a precursor of the alignment film 113, depending on the subsequent steps for performing photo-alignment, The mechanical strength of the alignment film as a whole may deteriorate.

図8は、光配向のプロセスを示すフローチャートである。図8において、配向膜を塗布した後、乾燥させる。乾燥させるまでに、配向膜は、光配向膜1131と高膜強度配向膜1132の2層に相分離する。その後、配向膜を焼成して、イミド化する。その後光配向を行うが、従来は、基板を200℃程度に加熱した状態で直線偏光紫外線を照射して光配向をおこなっていた。しかし、基板を加熱しながら紫外線照射を行うと配向膜の下層である高膜強度配向膜も紫外線によって光分解を生じ、膜硬度が低下してしまう。   FIG. 8 is a flowchart showing a photo-alignment process. In FIG. 8, the alignment film is applied and then dried. Before drying, the alignment film is phase-separated into two layers, a photo-alignment film 1131 and a high-strength alignment film 1132. Thereafter, the alignment film is baked and imidized. Thereafter, photo-alignment is performed. Conventionally, photo-alignment is performed by irradiating linearly polarized ultraviolet rays while the substrate is heated to about 200 ° C. However, when ultraviolet irradiation is performed while heating the substrate, the high-strength alignment film, which is the lower layer of the alignment film, is also photodegraded by ultraviolet light, and the film hardness decreases.

これに対して、本発明は、図8の右側の点線で囲んだ部分に示すように、基板を加熱せずに、偏光紫外線を照射し、その後、基板を加熱する工程としている。このような工程とすることによって、下層の高膜強度配向膜が紫外線によって光分解をすることを防止することが出来、配向膜全体として必要な膜強度を保つことが出来る。   In contrast, in the present invention, as shown in a portion surrounded by a dotted line on the right side of FIG. 8, the substrate is not irradiated with polarized ultraviolet rays, and then the substrate is heated. By setting it as such a process, it can prevent that a high-strength alignment film of a lower layer carries out photodegradation with an ultraviolet-ray, and can maintain the film | membrane intensity | strength required as the whole alignment film.

以上のような構成によって、配向膜の初期の方位角アンカリング強度を向上させることが出来る。図9は、方位角アンカリング強度と残像輝度変化率の関係を示すものである。方位角アンカリング強度の測定方法は、「特許文献3」に記載の方法を用いた。図9において、横軸は方位角アンカリング強度であり、単位は10−3J/mである。縦軸は残像輝度変化率である。残像輝度変化率は、例えば、図12に示すようなチェッカーフラグパターンを12時間表示し、その後、灰色ベタの中間調に戻す。中間調の階調は64/256である。この時、チェッカーフラグパターンの明るい部分と暗い部分の輝度比が残像輝度変化率である。 With the above configuration, the initial azimuth anchoring strength of the alignment film can be improved. FIG. 9 shows the relationship between the azimuth anchoring intensity and the afterimage luminance change rate. As a method for measuring the azimuth anchoring strength, the method described in “Patent Document 3” was used. In FIG. 9, the horizontal axis is the azimuth anchoring strength, and the unit is 10 −3 J / m 2 . The vertical axis represents the afterimage luminance change rate. As the afterimage luminance change rate, for example, a checker flag pattern as shown in FIG. 12 is displayed for 12 hours, and then returned to a gray solid halftone. The halftone gradation is 64/256. At this time, the luminance ratio between the bright portion and the dark portion of the checker flag pattern is the afterimage luminance change rate.

図9において、残像輝度変化率が1%以下であれば、残像が見えないとしてよい。図9において、残像が見えないようにするためには、方位角アンカリング強度が3.5×10−3J/m以上である必要がある。 In FIG. 9, if the afterimage luminance change rate is 1% or less, the afterimage may not be visible. In FIG. 9, the azimuth anchoring strength needs to be 3.5 × 10 −3 J / m 2 or more in order to prevent the afterimage from being seen.

図10は、配向膜の構成および光配向のプロセスによる方位角アンカリング強度の比較をした結果の表である。図10において、配向膜の構造を従来のように1層構造とした場合と、2層構造にした場合を比較している。また、光配向のプロセスにおいて、基板の加熱と紫外線の照射を同時に行う場合と、紫外線照射の後、基板を加熱する場合とで比較している。   FIG. 10 is a table showing a result of comparison of the azimuth anchoring strength by the alignment film structure and the photo-alignment process. In FIG. 10, the case where the alignment film has a single-layer structure as compared with the conventional structure and the case where the alignment film has a two-layer structure are compared. In the photo-alignment process, a comparison is made between the case where the substrate is heated and irradiated with ultraviolet rays simultaneously and the case where the substrate is heated after ultraviolet irradiation.

図10に示すように、目標値である、方位角アンカリング強度が3.5×10−3J/mであることを満足する条件は、配向膜が2層構造で、紫外線照射後に基板を加熱するプロセスを用いた場合のみである。すなわち、本発明を用いることによって、光配向方式において、実質的に残像の問題を解決した液晶表示装置を実現することが出来る。 As shown in FIG. 10, the condition that satisfies the target value of azimuth anchoring strength of 3.5 × 10 −3 J / m 2 is that the alignment film has a two-layer structure and the substrate after ultraviolet irradiation. This is only when the process of heating is used. That is, by using the present invention, it is possible to realize a liquid crystal display device that substantially solves the afterimage problem in the photo-alignment method.

このように、光配向のプロセス条件によって残像を対策した配向膜を得ることができる。図11は残像を生じないためのプロセス裕度を評価した結果を示す表である。図11において、紫外線(UV)照射量、紫外線照射後の加熱温度、紫外線照射から基板加熱までの時間をパラメータとして、方位角アンカリング強度を比較している。   In this way, an alignment film in which an afterimage is taken into account depending on the process conditions of photo-alignment can be obtained. FIG. 11 is a table showing the results of evaluating the process margin for preventing afterimages. In FIG. 11, the azimuth anchoring intensity is compared using the amount of ultraviolet (UV) irradiation, the heating temperature after ultraviolet irradiation, and the time from ultraviolet irradiation to substrate heating as parameters.

図11において、紫外線の条件は、波長230〜330nm全ての波長を積算したエネルギーである。また、紫外線は偏光紫外線を用いるが、偏光方向とそれに直角方向の紫外線強度の比(消光比)は波長230〜330nmの範囲において、15:1以上である。   In FIG. 11, the condition of ultraviolet rays is energy obtained by integrating all wavelengths of 230 to 330 nm. In addition, polarized ultraviolet rays are used as the ultraviolet rays, and the ratio (extinction ratio) between the polarization direction and the ultraviolet intensity perpendicular to the polarization direction is 15: 1 or more in the wavelength range of 230 to 330 nm.

図11において、条件Aは、紫外線の照射量は2000〜5000mJ/cmであり、紫外線照射後に基板を加熱する温度は、230℃以上であり、紫外線照射後、基板を加熱するまでの時間は1時間以内である。条件Bは、紫外線の照射量は1000〜7000mJc/mであり、紫外線照射後に基板を加熱する温度は、200℃以上であり、紫外線照射後、基板を加熱するまでの時間は24時間以内である。条件Cは、紫外線の照射量は500〜8000mJ/cmであり、紫外線照射後に基板を加熱する温度は、150℃以上であり、紫外線照射後、基板を加熱するまでの時間は168時間以内である。 In FIG. 11, the condition A is that the ultraviolet irradiation amount is 2000 to 5000 mJ / cm 2 , the temperature at which the substrate is heated after the ultraviolet irradiation is 230 ° C. or more, and the time until the substrate is heated after the ultraviolet irradiation is Within 1 hour. Condition B is that the amount of ultraviolet irradiation is 1000 to 7000 mJc / m 2 , the temperature at which the substrate is heated after ultraviolet irradiation is 200 ° C. or more, and the time until the substrate is heated after ultraviolet irradiation is within 24 hours. is there. Condition C is that the amount of UV irradiation is 500 to 8000 mJ / cm 2 , the temperature at which the substrate is heated after UV irradiation is 150 ° C. or more, and the time until the substrate is heated after UV irradiation is within 168 hours. is there.

図11における条件Aが方位角アンカリング強度を最も大きくすることが出来、方位角アンカリング強度は4.2である。次いで条件Bがアンカリング強度4.0で、条件Cが方位角アンカリング強度3.5である。条件Aによって光配向することが望ましいが、製造ラインの要請によって、条件Aによって光配向出来ない場合もあるが、少なくとも、条件Cレベル以上の光配向条件を確保する必要がある。   Condition A in FIG. 11 can maximize the azimuth anchoring strength, and the azimuth anchoring strength is 4.2. Next, Condition B has an anchoring strength of 4.0, and Condition C has an azimuth anchoring strength of 3.5. Although it is desirable that the photo-alignment is performed according to the condition A, there are cases where the photo-alignment cannot be performed according to the condition A depending on the demand of the production line.

以上の実施例では、上層の光配向膜としてシクロブタンを有するポリアミド酸エステルが80%以上であるポリアミド酸エステルを用い、下層の高膜強度配向膜としてシクロブタンを有しないポリアミド酸を用いた配向膜について説明した。しかし、本発明は、これに限らず、上層にシクロブタンを有するポリアミド酸エステルが80%以上であるポリアミド酸エステルを用い、下層にシクロブタンを有しないポリアミド酸エステルを用いた配向膜によっても、光配向のプロセスとして、紫外線照射後に基板を加熱することによって、所定の効果を得ることが出来る。   In the above examples, an alignment film using a polyamic acid ester having 80% or more of a polyamic acid ester having cyclobutane as an upper photo-alignment film and a polyamic acid having no cyclobutane as a lower high-strength alignment film is used. explained. However, the present invention is not limited to this, and photo-alignment is also possible by an alignment film using a polyamic acid ester having 80% or more of the polyamic acid ester having cyclobutane in the upper layer and a polyamic acid ester having no cyclobutane in the lower layer. In this process, a predetermined effect can be obtained by heating the substrate after the ultraviolet irradiation.

また、上層にシクロブタンを有するポリアミド酸が80%以上であるポリアミド酸を用い、下層にシクロブタンを有しないポリアミド酸を用いた配向膜によっても、光配向のプロセスとして、紫外線照射後に基板を加熱することによって、所定の効果を得ることが出来る。   In addition, the substrate is heated after UV irradiation as a photo-alignment process using an alignment film using a polyamic acid having a cyclobutane of 80% or more in the upper layer and a polyamic acid having no cyclobutane in the lower layer. Thus, a predetermined effect can be obtained.

実施例1においては、配向膜の構成と光配向のプロセスについて、主としていわゆるAC残像に対する効果について説明した。本発明の構成は、AC残像に限らず、いわゆるDC残像に対しても効果を上げることが出来る。   In the first embodiment, the effect on the so-called AC afterimage has been mainly described with respect to the configuration of the alignment film and the process of photoalignment. The configuration of the present invention is not limited to AC afterimages, but can also be effective for so-called DC afterimages.

DC残像は、配向膜の特定の場所に電荷が蓄積することによって生ずる現象である。したがって、電荷が消失すると残像も消失するので、可逆的な現象である。DC残像が生じないようにするには、配向膜に蓄積した電荷を速やかに消失させる構成とすること、または、そもそも配向膜に電荷が蓄積しない構成とすることが考えられる。   The DC afterimage is a phenomenon caused by the accumulation of electric charges at a specific location of the alignment film. Therefore, when the electric charge disappears, the afterimage disappears, which is a reversible phenomenon. In order to prevent a DC afterimage from occurring, it is conceivable to adopt a configuration in which charges accumulated in the alignment film are quickly lost, or a configuration in which charges are not accumulated in the alignment film in the first place.

まず、蓄積した電荷が速やかに消失する構成について説明する。DC残像は次のようにして評価した。すなわち、図12に示すような白黒による8×8のチェッカーフラグパターンを12時間表示し、その後、灰色ベタの中間調に戻す。中間調の階調は、64/256である。中間調に戻してから10分後、チェッカーフラグパターンが認識出来ればNGであり、認識できなければOKである。   First, a configuration in which accumulated charges disappear quickly will be described. The DC afterimage was evaluated as follows. That is, an 8 × 8 checker flag pattern in black and white as shown in FIG. 12 is displayed for 12 hours, and then returned to a gray solid halftone. The halftone gradation is 64/256. Ten minutes after returning to the halftone, if the checker flag pattern can be recognized, it is NG, and if not, it is OK.

本発明の配向膜は、実施例1で説明したように、上層の光配向膜と下層の高膜強度配向膜とから構成されている。本実施例においては、高膜強度配向膜に対して、体積抵抗を1014Ωcm以下、好ましくは1013Ωcm以下とする。すなわち、上層の光配向膜の体積抵抗よりも1桁以上小さくする。この体積抵抗値は、配向膜にバックライトの光が照射されている状態で得られる体積抵抗値であってもよい。これによって、配向膜にチャージした電荷を速やかに放出させる。 As described in Example 1, the alignment film of the present invention is composed of an upper photo-alignment film and a lower high-strength alignment film. In this embodiment, the volume resistance is set to 10 14 Ωcm or less, preferably 10 13 Ωcm or less, with respect to the high-strength alignment film. That is, the volume resistance of the upper photo-alignment film is made one digit or more smaller. The volume resistance value may be a volume resistance value obtained in a state where the alignment film is irradiated with backlight light. Thereby, the charge charged in the alignment film is quickly released.

図13はこのような2層構造の配向膜と、従来の1層の配向膜の場合とで、DC残像を比較した場合の評価結果である。図13において、横軸は、灰色ベタの中間調に戻したあとの時間である。縦軸は、残像のレベルである。縦軸において、RRは中間調に戻したときに、チェッカーフラグパターンが良く見える状態であり、NGである。Rは中間調い戻した時にチェッカーフラグパターンが薄いが見える状態である。   FIG. 13 shows the evaluation results when DC afterimages are compared between the alignment film having such a two-layer structure and the conventional one-layer alignment film. In FIG. 13, the horizontal axis represents the time after returning to a gray solid halftone. The vertical axis represents the afterimage level. On the vertical axis, RR is a state in which the checker flag pattern is clearly visible when the tone is returned to the halftone, and is NG. R is a state in which the checker flag pattern is thin but visible when halftone is restored.

図13において、曲線Aが本発明による配向膜を使用した場合のDC残像特性である。また、曲線Bが配向膜として光配向膜1層のみを使用した場合のDC残像特性の例である。   In FIG. 13, a curve A is a DC afterimage characteristic when the alignment film according to the present invention is used. Curve B is an example of DC afterimage characteristics when only one photo-alignment film is used as the alignment film.

中間調に戻したときに、残像のレベルがRであっても、これが短時間に消失すれば、実用上は問題ないといえる。光配向膜1層の場合は、中間調に戻したときのレベルRが長時間続くので、実用上問題が残る。一方、本発明による2層構造の配向膜113では、DC残像が急激に減少し、中間調に戻したあと、17分程度で、DC残像は完全に消滅する。   Even if the afterimage level is R when the halftone is restored, it can be said that there is no practical problem if it disappears in a short time. In the case of a single photo-alignment film, the level R at the time of returning to the halftone continues for a long time, so that there remains a practical problem. On the other hand, in the alignment film 113 having a two-layer structure according to the present invention, the DC afterimage rapidly decreases, and after returning to the halftone, the DC afterimage disappears completely in about 17 minutes.

このように、光配向膜1層の場合と本発明の配向膜の場合の大きな違いは、光配向膜1層の場合は、DC残像が長く続くのに対して、本発明の配向膜を使用すると、DC残像が急激に減少するということである。図13において、本発明によれば、DC残像は中間調に戻してから10分後にはDC残像は25%以下になるのに対して、光配向膜1層の場合は、同じ時間のDC残像は90%以上である。   Thus, the major difference between the case of the photo-alignment film 1 layer and the case of the alignment film of the present invention is that, in the case of the photo-alignment film 1 layer, the DC afterimage continues for a long time, whereas the alignment film of the present invention is used. Then, the DC afterimage is suddenly reduced. In FIG. 13, according to the present invention, the DC afterimage becomes 25% or less after 10 minutes from returning to the halftone, whereas in the case of one photo-alignment film, the DC afterimage of the same time is used. Is 90% or more.

DC残像を対策する他の方法は、一定のパターンを長時間表示しても配向膜に電荷蓄積しない構成とすることである。これは、配向膜の体積抵抗を極端に大きくすることによって実現することが出来る。本発明では、これを実現するために、配向膜を2層構造として、上層に光配向膜を形成し、下層に高膜強度配向膜を形成し、下層の体積抵抗率を上層の体積抵抗率よりも大きくする構成とする。上層の光配向膜は光配向特性の制約があって、体積抵抗を変化させる自由度は小さい。これに対して下層の高膜強度配向膜は体積抵抗を変化させる自由度を大きくすることが出来る。   Another method for dealing with the DC afterimage is a configuration in which charge is not accumulated in the alignment film even if a certain pattern is displayed for a long time. This can be realized by extremely increasing the volume resistance of the alignment film. In the present invention, in order to realize this, the alignment film has a two-layer structure, the photo-alignment film is formed in the upper layer, the high-film strength alignment film is formed in the lower layer, and the volume resistivity of the lower layer is changed to the volume resistivity of the upper layer It is set as the structure made larger. The upper photo-alignment film is limited in photo-alignment characteristics, and the degree of freedom to change the volume resistance is small. On the other hand, the lower high-strength alignment film can increase the degree of freedom in changing the volume resistance.

高膜強度配向膜の体積抵抗を1015Ωcmよりも大きくすると、配向膜全体として電気抵抗が大きくなり、配向膜やパッシベ−ション膜上に電荷が蓄積しにくくなる。光配向膜としてのポリアミド酸エステルの体積抵抗は1015オームcm程度と大きいので、下層の高膜強度配向膜の体積抵抗を1015オームcmよりも大きくすることによって、さらに配向膜上に電荷が蓄積しにくくなる。 When the volume resistance of the high-strength alignment film is larger than 10 15 Ωcm, the electric resistance of the alignment film as a whole increases, and charges are difficult to accumulate on the alignment film or the passivation film. The volume resistivity of the polyamic acid ester as a light alignment film is as large as about 10 15 ohm cm, by greater than 10 15 ohm cm volume resistivity of the lower layer of the high film strength oriented film, more charges on the alignment film It becomes difficult to accumulate.

実施例1および実施例2で説明した2層配向膜の構成をまとめると次のようになる。上層を光配向膜とし、下層を高膜強度配向膜とする構成として、上層にポリアミド酸エステルを用い、下層にポリアミド酸を用い、上層におけるシクロブタンを含むポリアミド酸エステルの含有量を80%以上とする。上層のイミド化率が50%以上である。このような構成において、DC残像を小さくするために、下層の体積抵抗率を上層の体積抵抗率よりも小さくする。   The configuration of the two-layer alignment film described in Example 1 and Example 2 is summarized as follows. The upper layer is a photo-alignment film, and the lower layer is a high-strength alignment film. Polyamide acid ester is used for the upper layer, polyamic acid is used for the lower layer, and the content of the polyamic acid ester containing cyclobutane in the upper layer is 80% or more. To do. The imidation ratio of the upper layer is 50% or more. In such a configuration, in order to reduce the DC afterimage, the volume resistivity of the lower layer is made smaller than the volume resistivity of the upper layer.

他の2層配向膜の構成例としては、上層にポリアミド酸を用い、下層にポリアミド酸を用い、上層におけるシクロブタンを含むポリアミド酸の含有量を80%以上とする。上層のイミド化率が50%以上である。このような構成において、DC残像を小さくするために、下層の体積抵抗率を上層の体積抵抗率よりも小さくする。   As another structural example of the two-layer alignment film, polyamic acid is used for the upper layer, polyamic acid is used for the lower layer, and the content of polyamic acid containing cyclobutane in the upper layer is 80% or more. The imidation ratio of the upper layer is 50% or more. In such a configuration, in order to reduce the DC afterimage, the volume resistivity of the lower layer is made smaller than the volume resistivity of the upper layer.

さらに他の2層配向膜の構成例としては、上層にポリアミド酸エステルを用い、下層にポリアミド酸エステルを用い、上層におけるシクロブタンを含むポリアミド酸エステルの含有量を80%以上とする。上層のイミド化率が50%以上である。このような構成において、DC残像を生じないようにするために、下層の体積抵抗率を上層の体積抵抗率よりも大きくする。   As another structural example of the two-layer alignment film, a polyamic acid ester is used for the upper layer, a polyamic acid ester is used for the lower layer, and the content of the polyamic acid ester containing cyclobutane in the upper layer is 80% or more. The imidation ratio of the upper layer is 50% or more. In such a configuration, the volume resistivity of the lower layer is made larger than the volume resistivity of the upper layer in order not to generate a DC afterimage.

以上の説明は、TFT基板100側の配向膜113について説明したが、対向基板200側の配向膜113についても同様である。対向基板200側の配向膜113は、オーバーコート膜203の上に形成されるが、この場合も、高膜強度配向膜1132を形成する非光分解性ポリマー11がオーバーコート膜203と馴染みが強いために、レベリングによって高膜強度配向膜1132がオーバーコート膜203側に形成され、その上に光配向膜1131が形成されることになる。さらに、高膜強度配向膜の数平均分子量が光配向膜よりも大きいので、相分離がより生じやすい。   Although the above description has been made on the alignment film 113 on the TFT substrate 100 side, the same applies to the alignment film 113 on the counter substrate 200 side. The alignment film 113 on the counter substrate 200 side is formed on the overcoat film 203. In this case, the non-photodegradable polymer 11 forming the high film strength alignment film 1132 is also familiar with the overcoat film 203. Therefore, the high film strength alignment film 1132 is formed on the overcoat film 203 side by leveling, and the photo alignment film 1131 is formed thereon. Furthermore, since the number average molecular weight of the high film strength alignment film is larger than that of the photo alignment film, phase separation is more likely to occur.

10…光分解性ポリマー、 11…非光分解性ポリマー、 15…紫外線による切断部、 100…TFT基板、 101…ゲート電極、 102…ゲート絶縁膜、 103…半導体層、 104…ソース電極、 105…ドレイン電極、 106…無機パッシベーション膜、 107…有機パッシベーション膜、 108…対向電極、 109…上部絶縁膜、 110…画素電極、 111…スルーホール、 112…スリット、 113…配向膜、 200…対向基板、 201…カラーフィルタ、 202…ブラックマトリクス、 203…オーバーコート膜、 210…表面導電膜、 300…液晶層、 301…液晶分子、 1131…光配向膜、 1132…高膜強度配向膜   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Photodegradable polymer, 11 ... Non-photodegradable polymer, 15 ... Cutting part by ultraviolet rays, 100 ... TFT substrate, 101 ... Gate electrode, 102 ... Gate insulating film, 103 ... Semiconductor layer, 104 ... Source electrode, 105 ... Drain electrode, 106 ... inorganic passivation film, 107 ... organic passivation film, 108 ... counter electrode, 109 ... upper insulating film, 110 ... pixel electrode, 111 ... through hole, 112 ... slit, 113 ... alignment film, 200 ... counter substrate, DESCRIPTION OF SYMBOLS 201 ... Color filter, 202 ... Black matrix, 203 ... Overcoat film, 210 ... Surface conductive film, 300 ... Liquid crystal layer, 301 ... Liquid crystal molecule, 1131 ... Photo-alignment film, 1132 ... High-strength alignment film

Claims (10)

画素電極とTFTを有する画素の上に配向膜が形成されたTFT基板と、前記TFT基板に対向し、配向膜が形成された対向基板と、前記TFT基板の配向膜と前記対向基板の配向膜の間に液晶が挟持された液晶表示装置であって、
前記TFT基板の前記配向膜と前記対向基板の前記配向膜のうちの少なくとも一方の前記配向膜は液晶層と接する第1の配向膜と、前記第1の配向膜の下層に形成され、前記液晶層と接しない第2の配向膜によって構成され、
前記第1の配向膜はシクロブタンを有するポリアミド酸エステルが80%以上であるポリアミド酸エステルを前駆体として形成され、
前記第2の配向膜はシクロブタンを有しないポリアミド酸を前駆体として形成され、
前記配向膜における前記第1の配向膜の割合は、30%〜60%であり、
前記第1の配向膜は光配向処理されていることを特徴とする液晶表示装置。
A TFT substrate having an alignment film formed on a pixel electrode and a pixel having a TFT, a counter substrate facing the TFT substrate and having an alignment film formed thereon, an alignment film of the TFT substrate, and an alignment film of the counter substrate a liquid crystal display device in which liquid crystal is sandwiched between,
The alignment film of at least one of the alignment film of the TFT substrate and the alignment film of the counter substrate is formed in a first alignment film in contact with a liquid crystal layer and a lower layer of the first alignment film, and the liquid crystal A second alignment film not in contact with the layer;
The first alignment film is formed with a polyamic acid ester having 80% or more of a polyamic acid ester having cyclobutane as a precursor,
The second alignment film is formed using polyamic acid having no cyclobutane as a precursor,
The ratio of the first alignment film in the alignment film is 30% to 60%,
The liquid crystal display device, wherein the first alignment film is subjected to photo-alignment treatment.
前記第1の配向膜のイミド化率は、50%以上であることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。   The liquid crystal display device according to claim 1, wherein an imidization ratio of the first alignment film is 50% or more. 前記第1の配向膜の体積抵抗率は、前記第2の配向膜の体積抵抗率よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。   The liquid crystal display device according to claim 1, wherein a volume resistivity of the first alignment film is larger than a volume resistivity of the second alignment film. 画素電極とTFTを有する画素の上に配向膜が形成されたTFT基板と、前記TFT基板に対向し、配向膜が形成された対向基板と、前記TFT基板の配向膜と前記対向基板の配向膜の間に液晶が挟持された液晶表示装置であって、
少なくともTFT基板の前記配向膜は液晶層と接する第1の配向膜と、前記第1の配向膜の下層に形成され、前記液晶層と接しない第2の配向膜によって構成され、
前記第1の配向膜はシクロブタンを有するポリアミド酸が80%以上であるポリアミド酸を前駆体として形成され、
前記第2の配向膜はシクロブタンを有しないポリアミド酸を前駆体として形成され、
前記配向膜における前記第1の配向膜の割合は、30%〜60%であり、
第1の配向膜のイミド化率は、50%以上であり、
前記第1の配向膜の体積抵抗率は、前記第2の配向膜の体積抵抗率よりも大きく、
前記第1の配向膜は光配向処理されていることを特徴とする液晶表示装置。
A TFT substrate having an alignment film formed on a pixel electrode and a pixel having a TFT, a counter substrate facing the TFT substrate and having an alignment film formed thereon, an alignment film of the TFT substrate, and an alignment film of the counter substrate A liquid crystal display device in which a liquid crystal is sandwiched between
At least the alignment film of the TFT substrate is formed of a first alignment film that is in contact with the liquid crystal layer, and a second alignment film that is formed below the first alignment film and is not in contact with the liquid crystal layer.
The first alignment film is formed using a polyamic acid having a cyclobutane-containing polyamic acid of 80% or more as a precursor,
The second alignment film is formed using polyamic acid having no cyclobutane as a precursor,
The ratio of the first alignment film in the alignment film is 30% to 60%,
The imidation ratio of the first alignment film is 50% or more,
The volume resistivity of the first alignment film is greater than the volume resistivity of the second alignment film,
The liquid crystal display device, wherein the first alignment film is subjected to photo-alignment treatment.
画素電極とTFTを有する画素の上に配向膜が形成されたTFT基板と、前記TFT基板に対向し、配向膜が形成された対向基板と、前記TFT基板の配向膜と前記対向基板の配向膜の間に液晶が挟持された液晶表示装置であって、
少なくともTFT基板の前記配向膜は液晶層と接する第1の配向膜と、前記第1の配向膜の下層に形成され、前記液晶層と接しない第2の配向膜によって構成され、
前記第1の配向膜はシクロブタンを有するポリアミド酸エステルが80%以上であるポリアミド酸エステルを前駆体として形成され、
前記第2の配向膜はシクロブタンを有しないポリアミド酸エステルを前駆体として形成され、
前記配向膜における前記第1の配向膜の割合は、30%〜60%であり、
第1の配向膜のイミド化率は、50%以上であり、
前記第2の配向膜の体積抵抗率は、前記第1の配向膜の体積抵抗率よりも大きく、
前記第1の配向膜は光配向処理されていることを特徴とする液晶表示装置。
A TFT substrate having an alignment film formed on a pixel electrode and a pixel having a TFT, a counter substrate facing the TFT substrate and having an alignment film formed thereon, an alignment film of the TFT substrate, and an alignment film of the counter substrate A liquid crystal display device in which a liquid crystal is sandwiched between
At least the alignment film of the TFT substrate is formed of a first alignment film that is in contact with the liquid crystal layer, and a second alignment film that is formed below the first alignment film and is not in contact with the liquid crystal layer.
The first alignment film is formed with a polyamic acid ester having 80% or more of a polyamic acid ester having cyclobutane as a precursor,
The second alignment film is formed using a polyamic acid ester having no cyclobutane as a precursor,
The ratio of the first alignment film in the alignment film is 30% to 60%,
The imidation ratio of the first alignment film is 50% or more,
The volume resistivity of the second alignment film is greater than the volume resistivity of the first alignment film,
The liquid crystal display device, wherein the first alignment film is subjected to photo-alignment treatment.
画素電極と対向電極とTFTを有する画素の上に配向膜が形成されたTFT基板と、前記TFT基板に対向し、配向膜が形成された対向基板と、前記TFT基板の配向膜と前記対向基板の配向膜の間に液晶が挟持された液晶表示装置であって、
前記TFT基板の前記配向膜と前記対向基板の前記配向膜のうちの少なくとも一方の前記配向膜は液晶層と接する第1の配向膜と、前記第1の配向膜の下層に形成された第2の配向膜によって構成され、
前記第1の配向膜はシクロブタンを有するポリアミド酸エステルが80%以上であるポリアミド酸エステルを前駆体として形成され、
前記第2の配向膜はシクロブタンを有しないポリアミド酸を前駆体として形成され、
前記配向膜における前記第1の配向膜の割合は、30%〜60%であり、
前記第1の配向膜は光配向処理されていることを特徴とする液晶表示装置。
A TFT substrate in which an alignment film is formed on a pixel having a pixel electrode, a counter electrode, and a TFT, a counter substrate having an alignment film formed opposite to the TFT substrate, an alignment film of the TFT substrate, and the counter substrate A liquid crystal display device in which liquid crystal is sandwiched between the alignment films of
The alignment film of at least one of the alignment film of the TFT substrate and the alignment film of the counter substrate is a first alignment film in contact with the liquid crystal layer, and a second layer formed below the first alignment film. The alignment film of
The first alignment film is formed with a polyamic acid ester having 80% or more of a polyamic acid ester having cyclobutane as a precursor,
The second alignment film is formed using polyamic acid having no cyclobutane as a precursor,
The ratio of the first alignment film in the alignment film is 30% to 60%,
The liquid crystal display device, wherein the first alignment film is subjected to photo-alignment treatment.
前記第1の配向膜のイミド化率は、50%以上であることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。   The liquid crystal display device according to claim 1, wherein an imidization ratio of the first alignment film is 50% or more. 前記第1の配向膜の体積抵抗率は、前記第2の配向膜の体積抵抗率よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。   The liquid crystal display device according to claim 1, wherein a volume resistivity of the first alignment film is larger than a volume resistivity of the second alignment film. 画素電極と対向電極とTFTを有する画素の上に配向膜が形成されたTFT基板と、前記TFT基板に対向し、配向膜が形成された対向基板と、前記TFT基板の配向膜と前記対向基板の配向膜の間に液晶が挟持された液晶表示装置であって、
少なくともTFT基板の前記配向膜は液晶層と接する第1の配向膜と、前記第1の配向膜の下層に形成された第2の配向膜によって構成され、
前記第1の配向膜はシクロブタンを有するポリアミド酸が80%以上であるポリアミド酸を前駆体として形成され、
前記第2の配向膜はシクロブタンを有しないポリアミド酸を前駆体として形成され、
前記配向膜における前記第1の配向膜の割合は、30%〜60%であり、
第1の配向膜のイミド化率は、50%以上であり、
前記第1の配向膜の体積抵抗率は、前記第2の配向膜の体積抵抗率よりも大きく、
前記第1の配向膜は光配向処理されていることを特徴とする液晶表示装置。
A TFT substrate in which an alignment film is formed on a pixel having a pixel electrode, a counter electrode, and a TFT, a counter substrate having an alignment film formed opposite to the TFT substrate, an alignment film of the TFT substrate, and the counter substrate A liquid crystal display device in which liquid crystal is sandwiched between the alignment films of
At least the alignment film of the TFT substrate is composed of a first alignment film in contact with the liquid crystal layer and a second alignment film formed under the first alignment film,
The first alignment film is formed using a polyamic acid having a cyclobutane-containing polyamic acid of 80% or more as a precursor,
The second alignment film is formed using polyamic acid having no cyclobutane as a precursor,
The ratio of the first alignment film in the alignment film is 30% to 60%,
The imidation ratio of the first alignment film is 50% or more,
The volume resistivity of the first alignment film is greater than the volume resistivity of the second alignment film,
The liquid crystal display device, wherein the first alignment film is subjected to photo-alignment treatment.
画素電極と対向電極とTFTを有する画素の上に配向膜が形成されたTFT基板と、前記TFT基板に対向し、配向膜が形成された対向基板と、前記TFT基板の配向膜と前記対向基板の配向膜の間に液晶が挟持された液晶表示装置であって、
少なくともTFT基板の前記配向膜は液晶層と接する第1の配向膜と、前記第1の配向膜の下層に形成された第2の配向膜によって構成され、
前記第1の配向膜はシクロブタンを有するポリアミド酸エステルが80%以上であるポリアミド酸エステルを前駆体として形成され、
前記第2の配向膜はシクロブタンを有しないポリアミド酸エステルを前駆体として形成され、
前記配向膜における前記第1の配向膜の割合は、30%〜60%であり、
第1の配向膜のイミド化率は、50%以上であり、
前記第2の配向膜の体積抵抗率は、前記第1の配向膜の体積抵抗率よりも大きく、
前記第1の配向膜は光配向処理されていることを特徴とする液晶表示装置。
A TFT substrate in which an alignment film is formed on a pixel having a pixel electrode, a counter electrode, and a TFT, a counter substrate having an alignment film formed opposite to the TFT substrate, an alignment film of the TFT substrate, and the counter substrate A liquid crystal display device in which liquid crystal is sandwiched between the alignment films of
At least the alignment film of the TFT substrate is composed of a first alignment film in contact with the liquid crystal layer and a second alignment film formed under the first alignment film,
The first alignment film is formed with a polyamic acid ester having 80% or more of a polyamic acid ester having cyclobutane as a precursor,
The second alignment film is formed using a polyamic acid ester having no cyclobutane as a precursor,
The ratio of the first alignment film in the alignment film is 30% to 60%,
The imidation ratio of the first alignment film is 50% or more,
The volume resistivity of the second alignment film is greater than the volume resistivity of the first alignment film,
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