JP5630636B2 - Photosensitive resin composition, photosensitive film for permanent resist, method for forming resist pattern, printed wiring board and method for producing the same, surface protective film and interlayer insulating film - Google Patents

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、これを用いた永久レジスト用感光性フィルム、レジストパターンの形成方法、プリント配線板及びその製造方法、表面保護膜並び層間絶縁膜に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a photosensitive film for permanent resist using the same, a method for forming a resist pattern, a printed wiring board and a method for producing the same, a surface protective film, and an interlayer insulating film.

従来、各種電子機器の小型化、軽量化に伴い、プリント配線板や半導体素子を内蔵するパッケージ基板には、回路パターンを形成する目的で感光性のソルダーレジストが用いられている。ソルダーレジストはソルダリング工程ではんだが不必要な部分に付着するのを防ぐ保護膜として、また永久マスクとして必要不可欠な材料である。ソルダーレジストの材料としては、微細なパターンを形成するための、良好な現像性及び高い解像度といった優れた感光特性とともに、優れた絶縁材料としての、良好な電気絶縁性や高耐溶剤性、高耐アルカリ性等の特性が要求される。また、かかるソルダーレジストは、プリント配線板やパッケージ基板の一部材としての物理特性、例えば、高い引張り強度、伸び率及び耐電食性等も求められている。   Conventionally, with the miniaturization and weight reduction of various electronic devices, a photosensitive solder resist has been used for the purpose of forming a circuit pattern on a package substrate containing a printed wiring board or a semiconductor element. The solder resist is an indispensable material as a protective film for preventing the solder from adhering to unnecessary portions in the soldering process and as a permanent mask. The solder resist material has excellent photosensitive properties such as good developability and high resolution for forming fine patterns, as well as good electrical insulation, high solvent resistance, and high resistance as an excellent insulating material. Characteristics such as alkalinity are required. Such solder resists are also required to have physical properties as a member of a printed wiring board or a package substrate, such as high tensile strength, elongation rate, and electric corrosion resistance.

近年のはんだのＰｂフリー化に伴い、上記諸特性に加えて、特にパッケージ基板に用いるソルダーレジストには、２６０℃程度の高温環境下における優れたはんだ耐熱性や高耐熱衝撃性、及び高温高湿環境下においてもソルダーレジストとして安定に機能する優れた耐湿熱性も求められている。また、特に微細な開口パターンを要するパッケージ基板用のソルダーレジストには、例えば−５５℃〜１２５℃の温度サイクル試験（ＴＣＴ）に対する耐性（耐熱衝撃性）が要求されている。   With the recent Pb-free soldering, in addition to the above characteristics, especially solder resists used for package substrates have excellent solder heat resistance, high thermal shock resistance, and high temperature and high humidity in a high temperature environment of about 260 ° C. There is also a need for excellent moisture and heat resistance that functions stably as a solder resist even in the environment. Further, a solder resist for a package substrate that requires a particularly fine opening pattern is required to have resistance (thermal shock resistance) to a temperature cycle test (TCT) of, for example, −55 ° C. to 125 ° C.

ソルダーレジストをプリント配線板等に形成する方法としては、液状フォトレジストを用いる方法もあるが、生産効率及びレジスト膜厚の均一性の観点から、特許文献１に開示されているような、いわゆるドライフィルム（ドライフィルムレジスト）を用いる方法が主流となりつつある。また、作業環境保全、地球環境保全の点から、弱アルカリ溶液で現像可能なアルカリ現像型のものが主流になっている。   As a method of forming a solder resist on a printed wiring board or the like, there is a method using a liquid photoresist. From the viewpoint of production efficiency and uniformity of resist film thickness, so-called dry resist as disclosed in Patent Document 1 is also available. A method using a film (dry film resist) is becoming mainstream. Also, from the viewpoint of work environment conservation and global environment conservation, an alkali development type that can be developed with a weak alkaline solution has become mainstream.

特許文献２には、耐熱性、耐湿熱性、密着性、機械特性に優れた硬化膜を得ることができ、プリント配線板、高密度多層板、半導体パッケージ等の製造に好適に用いられる感光性樹脂組成物を提供することを意図して、エポキシ化合物（ａ）と不飽和モノカルボン酸とのエステル化物に飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られたカルボキシル基を有する感光性樹脂（Ａ）、カルボキシル基を有する感光性ポリアミド樹脂及びカルボキシル基を有する感光性ポリアミドイミド樹脂から選ばれる少なくとも１種の感光性樹脂（Ｂ）、エラストマー（Ｃ）、エポキシ硬化剤（Ｄ）、及び光重合開始剤（Ｅ）を含有する感光性樹脂組成物が提案されている。そして、この感光性樹脂組成物から形成されるソルダーレジストは耐溶剤性に優れていることが特許文献２に記載されている。   Patent Document 2 discloses a photosensitive resin that can obtain a cured film excellent in heat resistance, heat and humidity resistance, adhesion, and mechanical properties, and is suitably used for manufacturing printed wiring boards, high-density multilayer boards, semiconductor packages, and the like. Photosensitive resin having a carboxyl group obtained by reacting an esterified product of an epoxy compound (a) and an unsaturated monocarboxylic acid with a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride for the purpose of providing a composition (A), at least one photosensitive resin (B) selected from a photosensitive polyamide resin having a carboxyl group and a photosensitive polyamideimide resin having a carboxyl group, an elastomer (C), an epoxy curing agent (D), and light A photosensitive resin composition containing a polymerization initiator (E) has been proposed. And it is described in patent document 2 that the solder resist formed from this photosensitive resin composition is excellent in solvent resistance.

また、特許文献３には、塗布面に対する印刷性、耐熱性、塗布面との密着性、耐薬品性、耐溶剤性、電気特性、機械的特性等に優れたソルダーレジスト膜等を形成することができる感光性樹脂組成物等の提供等を意図して、（Ａ）特定構造を有するノボラックエポキシ樹脂及び特定構造を有するゴム変性ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂の混合物と前記混合物のエポキシ当量当たり０．２〜１．２モルのエチレン性不飽和カルボン酸との反応生成物と、上記混合物のエポキシ当量当たり０．２〜１．０モルの多塩基酸及び／又はその無水物との反応生成物であってカルボキシル基を有する感光性プレポリマー、（Ｂ）光重合性反応性希釈剤、（Ｃ）光重合開始剤、及び（Ｄ）熱硬化性成分を含有する感光性樹脂組成物が提案されている。   In Patent Document 3, a solder resist film having excellent printability, heat resistance, adhesion to the coated surface, chemical resistance, solvent resistance, electrical properties, mechanical properties, and the like is formed on the coated surface. In order to provide a photosensitive resin composition that can be used, (A) a mixture of a novolak epoxy resin having a specific structure and a rubber-modified bisphenol A type epoxy resin having a specific structure and 0.2 epoxy equivalent per epoxy equivalent of the mixture. Reaction product of -1.2 mol of ethylenically unsaturated carboxylic acid with 0.2-1.0 mol of polybasic acid and / or its anhydride per epoxy equivalent of the above mixture. A photosensitive resin composition containing a photosensitive prepolymer having a carboxyl group, (B) a photopolymerizable reactive diluent, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a thermosetting component has been proposed. .

さらに、特許文献４には、永久マスクレジストとしての可とう性、はんだ耐熱性及び耐薬品性を低下させずに、高い耐湿絶縁性を示す永久マスクレジストの提供を意図して、アルカリ現像後の水洗工程において、水洗用の水に２価のカルシウムイオンなどの２価の無機イオンを含有させる手段が開示されている。   Furthermore, Patent Document 4 discloses a permanent mask resist that exhibits high moisture resistance insulation without lowering flexibility, solder heat resistance, and chemical resistance as a permanent mask resist. In the rinsing step, means for incorporating divalent inorganic ions such as divalent calcium ions into water for rinsing is disclosed.

一方、従来、ソルダーレジストの材料として、優れた耐熱性及び機械特性を有するポリイミド前駆体を用いた感光性樹脂組成物が知られている（例えば、特許文献５参照）。   On the other hand, conventionally, a photosensitive resin composition using a polyimide precursor having excellent heat resistance and mechanical properties is known as a solder resist material (see, for example, Patent Document 5).

特開昭５４−１０１８号公報Japanese Patent Laid-Open No. 54-1018 特開平１１−２８８０８７号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-288087 特開平９−５９９７号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-5997 特開２００４−２５２４８５号公報JP 2004-252485 A 特開平１１−２１７４１４号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-217414

しかしながら、本発明者らは、上記特許文献２及び３に記載の従来の感光性樹脂組成物について詳細に検討を行ったところ、このような従来の感光性樹脂組成物から得られるソルダーレジストは、さらに優れた耐熱衝撃性の要求に充分対応できない可能性があることを見出した。   However, the present inventors have studied in detail the conventional photosensitive resin composition described in Patent Documents 2 and 3 above, the solder resist obtained from such a conventional photosensitive resin composition, Furthermore, it has been found that there is a possibility that it cannot sufficiently meet the demand for excellent thermal shock resistance.

また、本発明者らは、上記特許文献２及び３に記載の従来の感光性樹脂組成物からドライフィルムを形成すると、充分な貯蔵安定性が得られないことを見出した。例えば、特許文献２に開示される従来の感光性樹脂組成物は、（Ｄ）エポキシ硬化剤中のグリシジル基と、（Ａ）又は（Ｂ）の感光性樹脂中のカルボキシル基とが常温で反応してしまう。そのため、これを液状レジストの材料として用いる際には、（Ａ）及び（Ｂ）の感光性樹脂と（Ｄ）エポキシ硬化剤とをそれぞれ主剤と硬化剤とに分けた二液性のレジスト材料とすることにより、上述の反応を防止する。しかしながら、この感光性樹脂組成物をドライフィルムの材料として用いる場合、（Ａ）及び（Ｂ）の感光性樹脂と（Ｄ）エポキシ硬化剤とを同じフィルム中に配合することとなるため、得られるドライフィルム中で上述の反応が進行し、充分な貯蔵安定性を示し難くなる。特許文献３に開示される感光性樹脂組成物も同様な問題点が存在する。   In addition, the present inventors have found that when a dry film is formed from the conventional photosensitive resin compositions described in Patent Documents 2 and 3, sufficient storage stability cannot be obtained. For example, in the conventional photosensitive resin composition disclosed in Patent Document 2, (D) the glycidyl group in the epoxy curing agent and the carboxyl group in the photosensitive resin (A) or (B) react at room temperature. Resulting in. Therefore, when this is used as a liquid resist material, a two-part resist material in which the photosensitive resin (A) and (B) and the epoxy curing agent (D) are divided into a main agent and a curing agent, respectively. By doing so, the above reaction is prevented. However, when this photosensitive resin composition is used as a material for a dry film, the photosensitive resin of (A) and (B) and the (D) epoxy curing agent are blended in the same film. The above-described reaction proceeds in the dry film, and it becomes difficult to show sufficient storage stability. The photosensitive resin composition disclosed in Patent Document 3 has similar problems.

さらに、本発明者らは、上記特許文献４に開示された手段を用いると、耐電食性については一定の効果を奏するものの、耐熱衝撃性についてはまだ不充分であることを見出した。   Furthermore, the present inventors have found that using the means disclosed in the above-mentioned Patent Document 4, although there is a certain effect with respect to electric corrosion resistance, it is still insufficient with respect to thermal shock resistance.

一方、本発明者らは、特許文献５に記載されたようなポリイミド前駆体を用いた感光性樹脂組成物はヘプタン酸ジエタノールアミド５質量％と炭酸ナトリウム０．５質量％という高アルカリ濃度の条件で現像できるものであり、弱アルカリ性での現像性は不充分であることを見出した。   On the other hand, the present inventors have found that a photosensitive resin composition using a polyimide precursor as described in Patent Document 5 has a high alkali concentration condition of 5% by mass of heptanoic acid diethanolamide and 0.5% by mass of sodium carbonate. It was found that the developability with weak alkalinity is insufficient.

そこで、本発明は、充分に高い耐熱性及び耐熱衝撃性を備えたソルダーレジストを形成でき、かつ、充分に優れた貯蔵安定性を示すドライフィルムを形成できる、弱アルカリ現像可能な感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。本発明はまた、上記感光性樹脂組成物を用いた、永久レジスト用感光性フィルム、レジストパターンの形成方法、プリント配線板及びその製造方法、表面保護膜、並びに、層間絶縁膜を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention provides a weakly alkali developable photosensitive resin composition capable of forming a solder resist having sufficiently high heat resistance and thermal shock resistance and capable of forming a dry film exhibiting sufficiently excellent storage stability. The purpose is to provide goods. The present invention also provides a photosensitive film for a permanent resist, a method for forming a resist pattern, a printed wiring board and a method for manufacturing the same, a surface protective film, and an interlayer insulating film using the photosensitive resin composition. Objective.

本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、本発明で特定される感光性樹脂組成物を用いることにより、上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。本発明は、アルカリ水溶液で現像が可能であり、低温硬化性、高耐熱性及び耐熱衝撃性を満足する感光性樹脂組成物及びその用途を提供する。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that the above object can be achieved by using the photosensitive resin composition specified in the present invention, and the present invention has been completed. It was. The present invention provides a photosensitive resin composition that can be developed with an aqueous alkali solution and satisfies low-temperature curability, high heat resistance, and thermal shock resistance, and uses thereof.

すなわち、本発明は、
（Ａ）末端又は側鎖にマレイミド構造又はマレイミド前駆体構造を有するポリマー、
（Ｂ）光重合性化合物、
（Ｃ）光重合開始剤、
（Ｄ）アリル基を１分子中に２つ以上有するアリル化合物 及び
（Ｅ）マレイミド構造を１分子中に２つ以上有するマレイミド化合物を含有してなる感光性樹脂組成物に関する。

That is, the present invention
(A) a polymer having a maleimide structure or a maleimide precursor structure at the terminal or side chain;
(B) a photopolymerizable compound,
(C) a photopolymerization initiator,
(D) It relates to a photosensitive resin composition comprising an allyl compound having two or more allyl groups in one molecule, and (E) a maleimide compound having two or more maleimide structures in one molecule .

また、本発明は、前記（Ａ）成分が、末端がアミン構造のポリイミド前駆体に無水マレイン酸を付加したポリマーであり、その重量平均分子量が１万〜２０万である感光性樹脂組成物に関する。
また、本発明は、前記（Ｂ）成分及び／又は（Ｄ）成分が、イソシアヌレート環を有する化合物を含む感光性樹脂組成物に関する。
また、本発明は、支持体層と、前記の感光性樹脂組成物から形成された感光層とを備える、永久レジスト用感光性フィルムに関する。 The present invention also relates to a photosensitive resin composition in which the component (A) is a polymer obtained by adding maleic anhydride to a polyimide precursor having an amine structure at the end, and the weight average molecular weight thereof is 10,000 to 200,000. .
Moreover, this invention relates to the photosensitive resin composition in which the said (B) component and / or (D) component contain the compound which has an isocyanurate ring.
Moreover, this invention relates to the photosensitive film for permanent resists provided with a support body layer and the photosensitive layer formed from the said photosensitive resin composition.

また、本発明は、絶縁基板と前記絶縁基板上に形成された回路パターンを有する導体層とを備える積層基板の前記絶縁基板上に、前記導体層を覆うように、前記の感光性樹脂組成物を用いて感光層を積層し、前記感光層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成し、次いで、前記感光層の前記露光部以外の部分を除去することを特徴とする、レジストパターンの形成方法に関する。   Further, the present invention provides the above photosensitive resin composition so as to cover the conductor layer on the insulating substrate of a laminated substrate comprising an insulating substrate and a conductor layer having a circuit pattern formed on the insulating substrate. A photosensitive layer is laminated using, a predetermined portion of the photosensitive layer is irradiated with actinic rays to form an exposed portion, and then a portion other than the exposed portion of the photosensitive layer is removed. The present invention relates to a pattern forming method.

また、本発明は、絶縁基板と、前記絶縁基板上に形成された回路パターンを有する導体層と、前記導体層を覆うように前記の感光性樹脂組成物を用いて形成された永久レジスト層と、を備えるプリント配線板に関する。
また、本発明は、絶縁基板と、前記絶縁基板上に形成された回路パターンを有する導体層と、前記導体層を覆うように形成された永久レジスト層と、を備えるプリント配線板の製造方法であって、前記絶縁基板上に、前記導体層を覆うように、前記の感光性樹脂組成物を用いて感光層を積層し、前記感光層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成し、次いで、前記露光部以外の部分を除去することを特徴とする、プリント配線板の製造方法に関する。 The present invention also provides an insulating substrate, a conductor layer having a circuit pattern formed on the insulating substrate, and a permanent resist layer formed by using the photosensitive resin composition so as to cover the conductor layer. And a printed wiring board.
Moreover, this invention is a manufacturing method of a printed wiring board provided with an insulated substrate, the conductor layer which has the circuit pattern formed on the said insulated substrate, and the permanent resist layer formed so that the said conductor layer might be covered. Then, a photosensitive layer is laminated using the photosensitive resin composition so as to cover the conductor layer on the insulating substrate, and an exposed portion is formed by irradiating a predetermined portion of the photosensitive layer with actinic rays. Then, the present invention relates to a method for manufacturing a printed wiring board, wherein a portion other than the exposed portion is removed.

また、本発明は、前記の感光性樹脂組成物の硬化物からなる、表面保護膜に関する。
さらに、本発明は、前記の感光性樹脂組成物の硬化物からなる、層間絶縁膜に関する。 Moreover, this invention relates to the surface protection film which consists of hardened | cured material of the said photosensitive resin composition.
Furthermore, this invention relates to the interlayer insulation film which consists of hardened | cured material of the said photosensitive resin composition.

本発明によれば、充分に高い耐熱性及び耐熱衝撃性を備えたソルダーレジストを形成でき、かつ、充分に優れた貯蔵安定性を示すドライフィルムを形成できる、弱アルカリ現像可能な感光性樹脂組成物を提供することができる。また、本発明によれば、上記感光性樹脂組成物を用いた、永久レジスト用感光性フィルム、レジストパターンの形成方法、プリント配線板及びその製造方法、表面保護膜、並びに、層間絶縁膜を提供することができる。   According to the present invention, a weakly developable photosensitive resin composition capable of forming a solder resist having sufficiently high heat resistance and thermal shock resistance, and capable of forming a dry film exhibiting sufficiently excellent storage stability. Things can be provided. In addition, according to the present invention, there are provided a photosensitive film for a permanent resist, a method for forming a resist pattern, a printed wiring board and a method for producing the same, a surface protective film, and an interlayer insulating film using the photosensitive resin composition. can do.

本発明の永久レジスト用感光性フィルムの一実施形態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows one Embodiment of the photosensitive film for permanent resists of this invention. 本発明のプリント配線板の一実施形態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows one Embodiment of the printed wiring board of this invention. 本発明のプリント配線板の製造方法の一実施形態を示す模式工程図である。It is a schematic process drawing which shows one Embodiment of the manufacturing method of the printed wiring board of this invention. 本発明の感光性樹脂組成物の硬化物を層間絶縁膜として用いた半導体パッケージの一例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows an example of the semiconductor package which used the hardened | cured material of the photosensitive resin composition of this invention as an interlayer insulation film.

以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一要素には同一符号を付すこととし、重複する説明は省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。さらに、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。また、本明細書における「（メタ）アクリル酸」とは「アクリル酸」及びそれに対応する「メタクリル酸」を意味し、「（メタ）アクリレート」とは「アクリレート」及びそれに対応する「メタクリレート」を意味する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as necessary. In the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. Further, the positional relationship such as up, down, left and right is based on the positional relationship shown in the drawings unless otherwise specified. Further, the dimensional ratios in the drawings are not limited to the illustrated ratios. In the present specification, “(meth) acrylic acid” means “acrylic acid” and “methacrylic acid” corresponding thereto, and “(meth) acrylate” means “acrylate” and “methacrylate” corresponding thereto. means.

［（Ａ）末端又は側鎖にマレイミド構造又はマレイミド前駆体構造を有するポリマー］
本発明における（Ａ）のポリマーは、末端又は側鎖にマレイミド構造又はマレイミド前駆体構造を有するポリマーである。その骨格構造には特に制限はなく、ポリイミド前駆体、ポリベンゾオキサゾール前駆体、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等が挙げられるが、耐熱性等の面でポリイミド前駆体、ポリベンゾオキサゾール前駆体、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミドが好ましく、ポリイミド前駆体及びポリベンゾオキサゾール前駆体がより好ましく、中でもポリイミド前駆体が好ましく、特にポリイミド前駆体としてのポリアミド酸の構造が好ましい。この理由は、加熱によってアミド酸がイミド化し、イミド環を形成すること、末端のマレイミド又はマレイミド前駆体が、アリル化合物と架橋構造を形成することから耐熱性（耐熱分解性や高温における耐変形性）が高いためである。また、ポリイミド前駆体は構造中にアミド結合を有するため、種々の材料に対する接着力が高い。さらに、構造中にカルボキシル基を有するため、感光性樹脂組成物のベースポリマーとして用いた場合に、弱アルカリ水溶液で現像することが可能である。その結果、本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、充分に高い耐熱性及び耐熱衝撃性を備えたソルダーレジストを形成できる。また、本発明の感光性樹脂組成物やこれを使用したドライフィルムは貯蔵安定性が高く、長時間保存した後でも塗膜性、硬化膜の解像度及び耐熱性等の諸特性を充分良好に維持することができる。特にポリイミド前駆体としてのポリアミド酸は諸特性のバランスに優れ、好ましい。
末端又は側鎖にマレイミド構造又はマレイミド前駆体構造の導入は特に制限されない。例えば、末端がアミン構造のポリイミド前駆体（ポリアミド酸等）に無水マレイン酸を付加する手法を採用することができる。これにより末端にマレイミド前駆体の構造が導入され、これは加熱により閉環してマレイミド構造となる。 [(A) Polymer having maleimide structure or maleimide precursor structure at terminal or side chain]
The polymer (A) in the present invention is a polymer having a maleimide structure or a maleimide precursor structure at the terminal or side chain. The skeleton structure is not particularly limited, and examples include polyimide precursors, polybenzoxazole precursors, polyamides, polyamideimides, polyimides, phenol resins, epoxy resins, acrylic resins, etc., but polyimide precursors in terms of heat resistance and the like. , Polybenzoxazole precursors, polyamides, polyamideimides, and polyimides are preferable, polyimide precursors and polybenzoxazole precursors are more preferable, polyimide precursors are particularly preferable, and the structure of polyamic acid as the polyimide precursor is particularly preferable. The reason for this is that amidic acid is imidized by heating to form an imide ring, and the terminal maleimide or maleimide precursor forms a cross-linked structure with an allyl compound, so heat resistance (heat decomposition resistance and deformation resistance at high temperatures). ) Is high. In addition, since the polyimide precursor has an amide bond in the structure, the adhesive strength to various materials is high. Further, since it has a carboxyl group in the structure, it can be developed with a weak alkaline aqueous solution when used as a base polymer of the photosensitive resin composition. As a result, if the photosensitive resin composition of the present invention is used, a solder resist having sufficiently high heat resistance and thermal shock resistance can be formed. In addition, the photosensitive resin composition of the present invention and the dry film using the same have high storage stability, and maintain various properties such as coating properties, cured film resolution and heat resistance even after long-term storage. can do. In particular, polyamic acid as a polyimide precursor is preferable because of its excellent balance of various properties.
Introduction of a maleimide structure or a maleimide precursor structure at the terminal or side chain is not particularly limited. For example, a technique of adding maleic anhydride to a polyimide precursor having a terminal amine structure (polyamide acid or the like) can be employed. As a result, the structure of the maleimide precursor is introduced at the end, which is closed by heating to become a maleimide structure.

ポリアミド酸は、一般にテトラカルボン酸二無水物とジアミンとを反応させて得ることができる。また、ポリベンゾオキサゾール前駆体としてのポリヒドロキシアミドは、一般に、ジカルボン酸又はその誘導体とジヒドロキシジアミン（通常、芳香環にアミノ基が結合し、そのオルト位に水酸基が結合した構造を２組有するもの）とを反応させて得ることができる。これらのポリマー及びその製造法は、既に知られている種々のもの及び方法が使用できる。
以下、ポリイミド前駆体について、詳述する。
前記テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、１，２，３，４−ベンゼンテトラカルボン酸無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸無水物、２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸無水物（４，４’−オキシジフタル酸二無水物）、２，３’，４，４’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３’，４’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸無水物、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、３，４，９，１０−ペリレンテトラカルボン酸二無水物等の芳香族テトラカルボン酸二無水物やシクロブタンテトラカルボン酸二無水物等の脂肪族テトラカルボン酸二無水物が挙げられる。こらは、１種を単独で又は２種以上併用して使用してもよい。 Polyamic acid can generally be obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride and diamine. In addition, polyhydroxyamides as polybenzoxazole precursors are generally dicarboxylic acids or derivatives thereof and dihydroxydiamine (usually those having two sets of structures in which an amino group is bonded to an aromatic ring and a hydroxyl group is bonded to its ortho position. ) And can be obtained. As these polymers and their production methods, various known methods and methods can be used.
Hereinafter, the polyimide precursor will be described in detail.
Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 1,2,3,4-benzenetetracarboxylic anhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic anhydride. 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic Acid dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyl ether tetracarboxylic acid anhydride (4,4′-oxydiphthalic acid dianhydride), 2,3 ′, 4,4′-biphenyl ether tetracarboxylic acid Dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-diphenylsulfonetetracarboxylic anhydride, 2,3,6,7-naphthalene Tetracarboxylic dianhydride, 1 2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic dianhydride, 3,4, Examples thereof include aromatic tetracarboxylic dianhydrides such as 9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride and aliphatic tetracarboxylic dianhydrides such as cyclobutanetetracarboxylic dianhydride. These may be used alone or in combination of two or more.

また、ジアミン成分としては、例えば、ポリオキシアルキレンジアミン（三井化学ファイン株式会社製、商品名：「ジェファーミン」）、［３，４−ビス（１−アミノヘプチル）−６−ヘキシル−５−（１−オクテニル）］シクロヘキセン（コグニスジャパン社製、商品名「バーサミン５５１」）、１，４−ビス（１，１−ジメチル−５−アミノペンチル）ベンゼン、１，４−ビス（２−メトキシ−４−アミノペンチル）ベンゼン、前記芳香族炭化水素構造を有するジアミン化合物として、例えば、４，４’−ジアミノジベンジルスルホキシド、ビス（４−アミノフェニル）ジエチルシラン、ビス（４−アミノフェニル）ジフェニルシラン、ビス（４−アミノフェニル）エチルホスフィンオキシド、ビス（４−アミノフェニル）フェニルホスフィンオキシド、ビス（４−アミノフェニル）−Ｎ−フェニルアミン、ビス（４−アミノフェニル）−Ｎ−メチルアミン、１，２−ジアミノナフタレン、１，４−ジアミノナフタレン、１，５−ジアミノナフタレン、１，６−ジアミノナフタレン、１，７−ジアミノナフタレン、１，８−ジアミノナフタレン、２，３−ジアミノナフタレン、２，６−ジアミノナフタレン、１，４−ジアミノ−２−メチルナフタレン、１，５−ジアミノ−２−メチルナフタレン、１，３−ジアミノ−２−フェニルナフタレン、３，３’−ジヒドロキシ−４，４’−ジアミノビフェニル、３，３’−ジクロロ−４，４’−ジアミノビフェニル、２，４−ジアミノトルエン、２，５−ジアミノトルエン、２，６−ジアミノトルエン、３，５−ジアミノトルエン、１−メトキシ−２，４−ジアミノベンゼン、１，３−ジアミノ−４，６−ジメチルベンゼン、１，４−ジアミノ−２，５−ジメチルベンゼン、１，４−ジアミノ−２−メトキシ−５−メチルベンゼン、１，４−ジアミノ−２，３，５，６−テトラメチルベンゼン、ｏ−キシレンジアミン、ｍ−キシレンジアミン、ｐ−キシレンジアミン、９，１０−ビス（４−アミノフェニル）アントラセン、４−アミノフェニル−３−アミノベンゾエート、１，１−ビス（４−アミノフェニル）−１−フェニル−２，２，２−トリフルオロエタン、１，１−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］−１−フェニル−２，２，２−トリフルオロエタン、１，３−ビス（３−アミノフェニル）デカフルオロプロパン、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、１，４−ビス（３−アミノフェニル）ブタン−１−エン−３−イン、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、３，３’−ジメチル−４，４’−ジアミノジフェニルメタン、３，３’，５，５’−テトラメチル−４，４’−ジアミノジフェニルメタン、３，３’，５，５’−テトラエチル−４，４’−ジアミノジフェニルメタン、３，３’−ジメチル−５，５’−ジエチル−４，４’−ジアミノジフェニルメタン、３，３’−ジメトキシ−４，４’−ジアミノジフェニルメタン、３，３’ジエトキシ−４，４’−ジアミノジフェニルメタン、ビス（３−アミノフェニル）エーテル、ビス（４−アミノフェニル）エーテル、３，４’−ジアミノジフェニルエーテル、３，３’−ジエチル−４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、３，３’−ジメトキシ−４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］エーテル、３，３’−ジメチル−４，４’−ジアミノジフェニルスルホン、３，３’−ジエチル−４，４’−ジアミノジフェニルスルホン、３，３’−ジメトキシ−４，４’−ジアミノジフェニルスルホン、３，３’−ジエトキシ−４，４’−ジアミノジフェニルスルホン、３，３’−ジメチル−４，４’−ジアミノジフェニルプロパン、３，３’−ジエチル−４，４’−ジアミノジフェニルプロパン、３，３’−ジメトキシ−４，４’−ジアミノジフェニルプロパン、３，３’−ジエトキシ−４，４’−ジアミノジフェニルプロパン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、１，３−ビス（４−アミノフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−アミノフェニル）プロパン、４，４’−ジアミノジフェニルスルフィド、３，３’−ジメチル−４，４’−ジアミノジフェニルスルフィド、３，３’−ジエチル−４，４’−ジアミノジフェニルスルフィド、３，３’−ジメトキシ−４，４’−ジアミノジフェニルスルフィド、３，３’−ジエトキシ−４，４’−ジアミノジフェニルスルフィド、２，４’−ジアミノジフェニルスルフィド、ｍ−フェニレンジアミン、ｐ−フェニレンジアミン、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，２−ビス（４−アミノフェニル）エタン、１，２−ビス（４−アミノフェニル）エタン、ビス（３−アミノフェニル）スルホン、ビス（４−アミノフェニル）スルホン、ビス（４−トルイジン）スルホン、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、９，９−ビス（４−アミノフェニル）フルオレン、４，４’−ジアミノビフェニル、９，９−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］フルオレン、９，９−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］フルオレン、３，３’−ジアミノビフェニル、３，３’−ジメチル−４，４’−ジアミノビフェニル、３，４’−ジメチル−４，４’−ジアミノビフェニル、３，３’−ジメトキシ−４，４’−ジアミノビフェニル、４，４’−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、３，３’−ジアミノベンゾフェノン、４，４’−ジアミノベンゾフェノン、２，２−ビス（４−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（３−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２−（３−アミノフェニル）−２−（４−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、１，３−ビス（３−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（３−アミノ−４−メチルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（５−アミノ−４−メチルフェニル）ヘキサフルオロプロパン等が挙げられる。これらのジアミン成分は、１種を単独で又は２種以上併用して使用してもよい。
これらの中で、エーテル結合やイソプロピリデンビス（ｐ−フェニレンオキシ）構造を有するものが好ましい。 Examples of the diamine component include polyoxyalkylene diamine (manufactured by Mitsui Chemicals Fine Co., Ltd., trade name: “Jeffamine”), [3,4-bis (1-aminoheptyl) -6-hexyl-5- ( 1-octenyl)] cyclohexene (manufactured by Cognis Japan, trade name “Versamine 551”), 1,4-bis (1,1-dimethyl-5-aminopentyl) benzene, 1,4-bis (2-methoxy-4) -Aminopentyl) benzene, the diamine compound having an aromatic hydrocarbon structure, for example, 4,4'-diaminodibenzyl sulfoxide, bis (4-aminophenyl) diethylsilane, bis (4-aminophenyl) diphenylsilane, Bis (4-aminophenyl) ethylphosphine oxide, bis (4-aminophenyl) phenylphosphine Oxide, bis (4-aminophenyl) -N-phenylamine, bis (4-aminophenyl) -N-methylamine, 1,2-diaminonaphthalene, 1,4-diaminonaphthalene, 1,5-diaminonaphthalene, 1, , 6-Diaminonaphthalene, 1,7-diaminonaphthalene, 1,8-diaminonaphthalene, 2,3-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 1,4-diamino-2-methylnaphthalene, 1,5-diamino 2-methylnaphthalene, 1,3-diamino-2-phenylnaphthalene, 3,3′-dihydroxy-4,4′-diaminobiphenyl, 3,3′-dichloro-4,4′-diaminobiphenyl, 2,4 -Diaminotoluene, 2,5-diaminotoluene, 2,6-diaminotoluene, 3,5-diaminotoluene, 1-methoxy Cis-2,4-diaminobenzene, 1,3-diamino-4,6-dimethylbenzene, 1,4-diamino-2,5-dimethylbenzene, 1,4-diamino-2-methoxy-5-methylbenzene, 1,4-diamino-2,3,5,6-tetramethylbenzene, o-xylenediamine, m-xylenediamine, p-xylenediamine, 9,10-bis (4-aminophenyl) anthracene, 4-aminophenyl -3-aminobenzoate, 1,1-bis (4-aminophenyl) -1-phenyl-2,2,2-trifluoroethane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1 -Phenyl-2,2,2-trifluoroethane, 1,3-bis (3-aminophenyl) decafluoropropane, 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) Nyl) hexafluoropropane, 1,4-bis (3-aminophenyl) butan-1-ene-3-yne, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3 ′, 5,5′-tetraethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethyl-5, 5′-diethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′diethoxy-4,4′-diaminodiphenylmethane, bis (3-aminophenyl) ether Bis (4-aminophenyl) ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diethyl-4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′- Dimethoxy-4,4′-diaminodiphenyl ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,3′-diethyl-4,4 '-Diaminodiphenylsulfone, 3,3'-dimethoxy-4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diethoxy-4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-dimethyl-4,4'- Diaminodiphenylpropane, 3,3′-diethyl-4,4′-diaminodiphenylpropane, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminodiphenylpropane, 3,3′-diethoxy-4,4′-diaminodiphenyl Propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis (4-aminophenyl) propane, 2,2 Bis (4-aminophenyl) propane, 4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diethyl-4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diethoxy-4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 2,4′-diaminodiphenyl sulfide, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,2-bis (4-aminophenyl) ethane, 1,2-bis (4-aminophenyl) ethane, bis (3-aminophenyl) sulfone, bis (4-aminophenyl) sulfone, bis (4-toluidine) sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) sulfone Nyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 4,4′-diaminobiphenyl, 9,9-bis [4- (4- Aminophenoxy) phenyl] fluorene, 9,9-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 3,3′-diaminobiphenyl, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 3, 4′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminobiphenyl, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 1,4-bis (4- Aminophenoxy) benzene, 3,3′-diaminobenzophenone, 4,4′-diaminobenzophenone, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, 2 2-bis (3-aminophenyl) hexafluoropropane, 2- (3-aminophenyl) -2- (4-aminophenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] Hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis (3-aminophenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis (3-amino-4-methyl) Phenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis (5-amino-4-methylphenyl) hexafluoropropane, and the like. These diamine components may be used alone or in combination of two or more.
Among these, those having an ether bond or an isopropylidenebis (p-phenyleneoxy) structure are preferable.

ポリアミド酸の合成において、通常、適当量の溶媒が用いられる。具体的には、例えば、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。塗膜の乾燥性をコントロールするため、これらの溶媒にポリマーが析出しない程度に揮発性の高い貧溶媒を組み合わせて使用できる。例えば、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン若しくはメチルシクロヘキサノン等のケトン化合物、トルエン、キシレン若しくはテトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素化合物、セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル若しくはトリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル化合物、上記グリコールエーテル化合物の酢酸エステル化合物等のエステル化合物、エチレングリコール若しくはプロピレングリコール等のアルコール化合物、又は、石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ若しくはソルベントナフサ等の石油系溶剤、これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。   In the synthesis of polyamic acid, an appropriate amount of solvent is usually used. Specific examples include dimethylformamide, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, and γ-butyrolactone. In order to control the drying property of the coating film, a poor solvent having high volatility can be used in combination with such a solvent so that the polymer does not precipitate. For example, ketone compounds such as methyl isobutyl ketone, cyclohexanone or methylcyclohexanone, aromatic hydrocarbon compounds such as toluene, xylene or tetramethylbenzene, cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol Monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, glycol ether compounds such as dipropylene glycol diethyl ether or triethylene glycol monoethyl ether, ester compounds such as acetate compounds of the above glycol ether compounds, alcohol compounds such as ethylene glycol or propylene glycol, Or petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha or sorbene Petroleum solvents such as naphtha, which may be used alone or in combination of two or more thereof.

本発明において、（Ａ）成分の重量平均分子量（Ｍｗ）は、感光性樹脂組成物のベースポリマーとして用いられるために、希アルカリ水溶液などの現像液による現像性、及び、引張強度、伸び率等の機械的特性の観点から、１０，０００〜２００，０００であることが好ましく、１５，０００〜１５０，０００であることがより好ましく、３０，０００〜１００，０００であることが特に好ましい。
重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定することができる（標準ポリスチレンによる換算）。好ましいＧＰＣの条件は以下のとおりである。 In the present invention, since the weight average molecular weight (Mw) of the component (A) is used as a base polymer of the photosensitive resin composition, developability with a developer such as dilute alkaline aqueous solution, tensile strength, elongation, etc. From the viewpoint of the mechanical properties, it is preferably 10,000 to 200,000, more preferably 15,000 to 150,000, and particularly preferably 30,000 to 100,000.
The weight average molecular weight (Mw) can be measured by gel permeation chromatography (GPC) (in terms of standard polystyrene). Preferred GPC conditions are as follows.

（ＧＰＣ条件）
ポンプ：日立 Ｌ−７１００型［株式会社日立製作所製］
検出器：ＵＶ 日立 Ｌ−４０００型ＵＶ［株式会社日立製作所製］
ＲＩ：日立 Ｌ−７４９０型［株式会社日立製作所製］
カラム：Ｇｅｌｐａｃｋ ＧＬ−Ｓ３００ＭＤＴ−５（計２本）（日立化成工業株式会社製、商品名）
カラムサイズ：直径８ｍｍ×３００ｍｍ
溶離液：ＤＭＦ／ＴＨＦ＝１／１＋リン酸０．０６Ｍ＋臭化リチウム０．０６Ｍ
試料濃度：５ｍｇ／１ｍＬ
注入量：５μＬ
圧力：３４３Ｐａ（３５ｋｇｆ／ｃｍ^２）
流量：１．０ｍＬ／分
本発明において（Ａ）アルカリ可溶性ポリマーは、一種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。 (GPC conditions)
Pump: Hitachi L-7100 [manufactured by Hitachi, Ltd.]
Detector: UV Hitachi L-4000 type UV [manufactured by Hitachi, Ltd.]
RI: Hitachi L-7490 type [manufactured by Hitachi, Ltd.]
Column: Gelpack GL-S300MDT-5 (two in total) (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name)
Column size: Diameter 8mm x 300mm
Eluent: DMF / THF = 1/1 + phosphoric acid 0.06M + lithium bromide 0.06M
Sample concentration: 5 mg / 1 mL
Injection volume: 5 μL
Pressure: 343 Pa (35 kgf / cm ² )
Flow rate: 1.0 mL / min In this invention, (A) alkali-soluble polymer can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

［（Ｂ）光重合性化合物］
（Ｂ）成分である光重合性化合物としては、特に限定されないが、分子内にエチレン性不飽和基を有するものが好ましく用いられる。例えば、分子内にアミド結合を有する（メタ）アクリレート化合物；ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物；多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物；グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物；分子内にウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノマー又はウレタンオリゴマーが挙げられ、これら以外にも、ノニルフェノキシポリオキシエチレンアクリレート；γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β’−（メタ）アクリロイルオキシアルキル−ｏ−フタレート等のフタル酸系化合物；（メタ）アクリル酸アルキルエステル、ＥＯ変性ノニルフェニル（メタ）アクリレート等が例示可能である。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。 [(B) Photopolymerizable compound]
Although it does not specifically limit as a photopolymerizable compound which is (B) component, What has an ethylenically unsaturated group in a molecule | numerator is used preferably. For example, a (meth) acrylate compound having an amide bond in the molecule; a bisphenol A (meth) acrylate compound; a compound obtained by reacting a polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid; a glycidyl group-containing compound , Compounds obtained by reacting β-unsaturated carboxylic acids; urethane monomers or urethane oligomers such as (meth) acrylate compounds having a urethane bond in the molecule; in addition to these, nonylphenoxy polyoxyethylene acrylate; Phthalic acid compounds such as γ-chloro-β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyalkyl-β ′-(meth) acryloyloxyalkyl-o-phthalate; ) Acrylic acid alkyl ester, EO-modified nonylpheny (Meth) acrylate or the like can be exemplified. These may be used alone or in combination of two or more.

これらのうち、（Ａ）ポリマーとの相溶性及び耐熱性の観点から、特にイソシアヌレート環を有する化合物が好ましく用いられる。   Among these, from the viewpoint of compatibility with (A) polymer and heat resistance, a compound having an isocyanurate ring is particularly preferably used.

ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリブトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of bisphenol A-based (meth) acrylate compounds include 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane and 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolypropoxy). ) Phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolybutoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxypolypropoxy) phenyl) propane, etc. Can be mentioned. These can be used alone or in combination of two or more.

２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘプタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシオクタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシノナエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシウンデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシドデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサデカエトキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane include 2,2-bis (4-((meth) acryloxydiethoxy) phenyl) propane, 2,2- Bis (4-((meth) acryloxytriethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetraethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth)) Acryloxypentaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyheptaethoxy) phenyl) propane 2,2-bis (4-((meth) acryloxyoctaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxy nonaethoxy) ) Phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyundecaethoxy) phenyl) propane, 2, 2-bis (4-((meth) acryloxydodecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytridecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4- ( (Meth) acryloxytetradecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexa) Decaethoxy) phenyl) propane and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

これらのうち、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−５００（製品名、新中村化学工業株式会社製）として商業的に入手可能であり、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−１３００（商品名、新中村化学工業株式会社製）として商業的に入手可能である。
これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。 Of these, 2,2-bis (4- (methacryloxypentaethoxy) phenyl) propane is commercially available as BPE-500 (product name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.). -Bis (4- (methacryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane is commercially available as BPE-1300 (trade name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.).
These can be used alone or in combination of two or more.

２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘプタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシオクタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシノナプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシウンデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシドデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサデカプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。   Examples of 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolypropoxy) phenyl) propane include 2,2-bis (4-((meth) acryloxydipropoxy) phenyl) propane, 2,2- Bis (4-((meth) acryloxytripropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetrapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth)) Acryloxypentapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyheptapropoxy) phenyl) propane 2,2-bis (4-((meth) acryloxyoctapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acrylic) Xinonapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydecapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyundecapropoxy) phenyl) propane 2,2-bis (4-((meth) acryloxydodecapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytridecapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis ( 4-((meth) acryloxytetradecapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypentadecapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth)) And acryloxyhexadecapropoxy) phenyl) propane. These may be used alone or in combination of two or more.

２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシオクタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxypolypropoxy) phenyl) propane include 2,2-bis (4-((meth) acryloxydiethoxyoctapropoxy) phenyl) propane, Examples include 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetraethoxytetrapropoxy) phenyl) propane and 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexaethoxyhexapropoxy) phenyl) propane. These can be used alone or in combination of two or more.

多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレン基の数が２〜１４でありプロピレン基の数が２〜１４であるポリエチレン・ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ・ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。   Examples of the compound obtained by reacting a polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid include, for example, polyethylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene groups and 2 to 14 propylene groups. Polypropylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene polypropylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene groups and 2 to 14 propylene groups, trimethylolpropane di (meth) acrylate, tri Methylolpropane tri (meth) acrylate, EO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, PO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO / PO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethanetri (meth) A Examples thereof include acrylate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. These may be used alone or in combination of two or more.

なお、「ＥＯ」とは「エチレンオキシド」のことをいい、「ＰＯ」とは「プロピレンオキシド」のことをいう。また、「ＥＯ変性」とはエチレンオキシドユニット（−ＣＨ_２−ＣＨ_２−Ｏ−）のブロック構造を有することを意味し、「ＰＯ変性」とはプロピレンオキシドユニット（−ＣＨ_２−ＣＨ（ＣＨ_３）−Ｏ−、−ＣＨ（ＣＨ_３）−ＣＨ_２−Ｏ−）のブロック構造を有することを意味する。 “EO” refers to “ethylene oxide”, and “PO” refers to “propylene oxide”. Further, “EO modified” means having a block structure of ethylene oxide units (—CH ₂ —CH ₂ —O—), and “PO modified” means propylene oxide units (—CH ₂ —CH (CH ₃ )). It means having a block structure of —O—, —CH (CH ₃ ) —CH ₂ —O—).

グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシ−プロピルオキシ）フェニル等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the compound obtained by reacting a glycidyl group-containing compound with an α, β-unsaturated carboxylic acid include trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate, 2,2-bis (4- (meth) acryloxy- 2-hydroxy-propyloxy) phenyl and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

α，β−不飽和カルボン酸としては、例えば（メタ）アクリル酸等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the α, β-unsaturated carboxylic acid include (meth) acrylic acid. These can be used alone or in combination of two or more.

ウレタンモノマーとしては、例えば、β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス（（メタ）アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソシアヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、ＥＯ又はＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of urethane monomers include (meth) acrylic monomers having an OH group at the β-position and diisocyanate compounds such as isophorone diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, 2,4-toluene diisocyanate, and 1,6-hexamethylene diisocyanate. Additional reaction products, tris ((meth) acryloxytetraethylene glycol isocyanate) hexamethylene isocyanurate, EO-modified urethane di (meth) acrylate, EO or PO-modified urethane di (meth) acrylate, and the like can be mentioned. These can be used alone or in combination of two or more.

さらに、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
これら（Ｂ）成分は、１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いられる。 Furthermore, examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, (meth) acrylic acid 2-ethylhexyl ester, and the like. It is done. These can be used alone or in combination of two or more.
These (B) components are used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

［（Ｃ）光重合開始剤］
（Ｃ）成分である光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン；Ｎ，Ｎ’−テトラアルキル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン；２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン；アルキルアントラキノン等のキノン類；ベンゾインアルキルエーテル等のベンゾインエーテル化合物；ベンゾイン、アルキルベンゾイン等のベンゾイン化合物；ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体；２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体；９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９’−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体；Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物、アシルフォスフィンオキサイド誘導体等が挙げられる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。 [(C) Photopolymerization initiator]
Examples of the photopolymerization initiator (C) include benzophenone; N, N′-tetraalkyl-4,4′-diaminobenzophenone; 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl). Aromatic ketones such as butanone-1,2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propanone-1; quinones such as alkylanthraquinones; benzoin ether compounds such as benzoin alkyl ethers; benzoin Benzoin compounds such as alkylbenzoin; benzyl derivatives such as benzyldimethyl ketal; 2,4,5-triarylimidazole dimer; 9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9′-acridinyl) heptane, etc. Acridine derivatives; N-phenylglycine, N-phenylglycine derivatives Coumarin compounds, acylphosphine oxide derivatives. These can be used singly or in combination of two or more.

［（Ｄ）アリル化合物］
（Ｄ）成分であるアリル化合物とは、分子構造中にアリル基を有する化合物であり、アリル基を１分子中に２つ以上有するものが好ましい。またこれらのうち、（Ａ）ポリマーとの相溶性、反応性、耐熱性等の観点から、特にイソシアヌレート環を有するアリル化合物が好ましく用いられる。
例えば、トリアリルイソシアヌレート、ジアリルモノグリシジルイソシアヌレート等が好ましいものとして挙げられる。 [(D) Allyl compound]
The (D) component allyl compound is a compound having an allyl group in the molecular structure, and preferably has two or more allyl groups in one molecule. Of these, allyl compounds having an isocyanurate ring are preferably used from the viewpoints of compatibility with (A) polymer, reactivity, heat resistance and the like.
For example, triallyl isocyanurate, diallyl monoglycidyl isocyanurate and the like are preferable.

［（Ｅ）マレイミド化合物］
（Ｅ）成分であるマレイミド化合物とは、上記（Ａ）成分とは異なるものであり、分子構造中にマレイミド構造を有する化合物であり、マレイミド構造を１分子中に２つ以上有するもの、例えばビスマレイミド化合物が好ましい。分子量は（Ａ）成分のような高分子のものではなく、例えば分子量が５０００以下のものが好ましい。
ビスマレイミド化合物の具体例としては、１−メチル−２，４−ビスマレイミドベンゼン、Ｎ，Ｎ’−ｍ−フェニレンビスマレイミド、Ｎ，Ｎ’−ｐ−フェニレンビスマレイミド、Ｎ，Ｎ’−ｍ−トルイレンビスマレイミド、Ｎ，Ｎ’−４，４’−ビフェニレンビスマレイミド、Ｎ，Ｎ’−４，４’−〔３，３’−ジメチル−ビフェニレン〕ビスマレイミド、Ｎ，Ｎ’−４，４’−〔３，３’−ジメチルジフェニルメタン〕ビスマレイミド、Ｎ，Ｎ’−４，４’−〔３，３’−ジエチルジフェニルメタン〕ビスマレイミド、Ｎ，Ｎ’−４，４’−ジフェニルメタンビスマレイミド、Ｎ，Ｎ’−４，４’−ジフェニルプロパンビスマレイミド、Ｎ，Ｎ’−４，４’−ジフェニルエーテルビスマレイミド、Ｎ，Ｎ’−３，３’−ジフェニルスルホンビスマレイミド、Ｎ，Ｎ’−４，４’−ジフェニルスルホンビスマレイミド、２，２−ビス〔４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス〔３−ｔ−ブチル−４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス〔３−ｓ−ブチル−４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕プロパン、１，１−ビス〔４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕デカン、１，１−ビス〔２−メチル−４−（４−マレイミドフェノキシ）−５−ｔ−ブチルフェニル〕−２−メチルプロパン、４，４’−シクロヘキシリデン−ビス〔１−（４−マレイミドフェノキシ）−２−（１，１−ジメチルエチル）ベンゼン〕、４，４’−メチレン−ビス〔１−（４−マレイミドフェノキシ）−２，６−ビス（１，１−ジメチルエチル）ベンゼン〕、４，４’−メチレン−ビス〔１−（４−マレイミドフェノキシ）−２，６−ジ−ｓ−ブチルベンゼン〕、４，４’−シクロヘキシリデン−ビス〔１−（４−マレイミドフェノキシ）−２−シクロヘキシルベンゼン、４，４’−メチレンビス〔１−（マレイミドフェノキシ）−２−ノニルベンゼン〕、４，４’−（１−メチルエチリデン）−ビス〔１−（マレイミドフェノキシ）−２，６−ビス（１，１−ジメチルエチル）ベンゼン〕、４，４’−（２−エチルヘキシリデン）−ビス〔１−（マレイミドフェノキシ）−ベンゼン〕、４，４’−（１−メチルヘプチリデン）−ビス〔１−（マレイミドフェノキシ）−ベンゼン〕、４，４’−シクロヘキシリデン−ビス〔１−（マレイミドフェノキシ）−３−メチルベンゼン〕、２，２−ビス〔４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス〔３−メチル−４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス〔３−メチル−４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス〔３，５−ジメチル−４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス〔３，５−ジメチル−４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス〔３−エチル−４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス〔３−エチル−４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、ビス〔３−メチル−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕メタン、ビス〔３，５−ジメチル−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕メタン、ビス〔３−エチル−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕メタン、３，８−ビス〔４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕−トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デカン、４，８−ビス〔４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕−トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デカン、３，９−ビス〔４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕−トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デカン、４，９−ビス〔４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕−トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デカン、１，８−ビス〔４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕メンタン、１，８−ビス〔３−メチル−４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕メンタン、１，８−ビス〔３，５−ジメチル−４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル〕メンタンなどを挙げることができる。これらのビスマレイミド化合物は常法により合成されてもよく、市販品を用いてもよい。 [(E) Maleimide compound]
The maleimide compound (E) is different from the component (A), is a compound having a maleimide structure in the molecular structure, and has two or more maleimide structures in one molecule, for example, bis Maleimide compounds are preferred. The molecular weight is not that of a polymer such as the component (A), and preferably has a molecular weight of 5000 or less.
Specific examples of the bismaleimide compound include 1-methyl-2,4-bismaleimide benzene, N, N′-m-phenylene bismaleimide, N, N′-p-phenylene bismaleimide, N, N′-m- Toluylene bismaleimide, N, N′-4,4′-biphenylenebismaleimide, N, N′-4,4 ′-[3,3′-dimethyl-biphenylene] bismaleimide, N, N′-4,4 '-[3,3'-dimethyldiphenylmethane] bismaleimide, N, N'-4,4'-[3,3'-diethyldiphenylmethane] bismaleimide, N, N'-4,4'-diphenylmethane bismaleimide, N, N′-4,4′-diphenylpropane bismaleimide, N, N′-4,4′-diphenyl ether bismaleimide, N, N′-3,3′-diphenylsulfone bismaleimide, N, N′-4 4′-diphenylsulfone bismaleimide, 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3-tert-butyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3-s-butyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 1,1-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] decane, 1,1-bis [2- Methyl-4- (4-maleimidophenoxy) -5-t-butylphenyl] -2-methylpropane, 4,4′-cyclohexylidene-bis [1- (4-maleimidophenoxy) -2- (1,1 -Dimethylethyl) benzene], 4,4'-methylene-bis [1- (4-maleimidophenoxy) -2,6-bis (1,1-dimethylethyl) benzene], 4,4 ' Methylene-bis [1- (4-maleimidophenoxy) -2,6-di-s-butylbenzene], 4,4′-cyclohexylidene-bis [1- (4-maleimidophenoxy) -2-cyclohexylbenzene, 4,4′-methylenebis [1- (maleimidophenoxy) -2-nonylbenzene], 4,4 ′-(1-methylethylidene) -bis [1- (maleimidophenoxy) -2,6-bis (1,1 -Dimethylethyl) benzene], 4,4 '-(2-ethylhexylidene) -bis [1- (maleimidophenoxy) -benzene], 4,4'-(1-methylheptylidene) -bis [1 -(Maleimidophenoxy) -benzene], 4,4′-cyclohexylidene-bis [1- (maleimidophenoxy) -3-methylbenzene], 2,2-bis [4- (4-maleimide) Phenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [3-methyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3-methyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] Hexafluoropropane, 2,2-bis [3,5-dimethyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3,5-dimethyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] Hexafluoropropane, 2,2-bis [3-ethyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3-ethyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, Bis [3-methyl- (4-maleimidophenoxy) phenyl] methane, bis [3,5-dimethyl- (4-male Imidophenoxy) phenyl] methane, bis [3-ethyl- (4-maleimidophenoxy) phenyl] methane, 3,8-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] -tricyclo [5.2.1.02, 6] Decane, 4,8-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] -tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 3,9-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl ] -Tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 4,9-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] -tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 1,8 -Bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] menthane, 1,8-bis [3-methyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] menthane, 1,8-bis [3,5- Such as methyl-4- (4-maleimide phenoxy) phenyl] menthane and the like. These bismaleimide compounds may be synthesized by a conventional method, or commercially available products may be used.

これらのビスマレイミド化合物の中で、有害物質の生成を一層抑制する観点からは、分子内にハロゲン原子を有しない化合物が好ましい。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。   Among these bismaleimide compounds, a compound having no halogen atom in the molecule is preferable from the viewpoint of further suppressing the generation of harmful substances. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

本発明においては、上記マレイミド構造を有する（Ａ）成分をベースポリマーとし、１２０〜２００℃の間で熱硬化反応可能な、アリル化合物とマレイミド化合物の組み合わせによる熱架橋システムを有するので、保存安定性、熱硬化性、耐熱性等の点で優れる。特に二官能以上のアリル化合物と二官能以上のマレイミド化合物の組み合わせがより好ましく、環構造を有するアリル化合物と環構造を有するマレイミド化合物の組み合わせがさらに好ましい。   In the present invention, the component (A) having the maleimide structure is used as a base polymer, and it has a thermal crosslinking system by a combination of an allyl compound and a maleimide compound capable of thermosetting reaction at 120 to 200 ° C. , Excellent in thermosetting and heat resistance. In particular, a combination of a bifunctional or higher allyl compound and a bifunctional or higher maleimide compound is more preferable, and a combination of an allyl compound having a ring structure and a maleimide compound having a ring structure is more preferable.

［その他の成分］
＜希釈剤＞
本発明の感光性樹脂組成物は、通常、希釈剤中に溶解又は分散された状態で、感光性フィルムの製造や、レジストパターンの形成等に用いられる。希釈剤としては、各成分を希釈できるものであれば特に限定されない。例えば、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、脂肪族アルコール、環式炭化水素、ケトン、ケトアルコール、アルキレングリコール、アルキレングリコールアルキルエーテル、それらのアセテート化合物、カルボン酸エステルが挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。 [Other ingredients]
<Diluent>
The photosensitive resin composition of the present invention is usually used for production of a photosensitive film, formation of a resist pattern, or the like in a state dissolved or dispersed in a diluent. The diluent is not particularly limited as long as each component can be diluted. Examples include N-methylpyrrolidone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, aliphatic alcohols, cyclic hydrocarbons, ketones, ketoalcohols, alkylene glycols, alkylene glycol alkyl ethers, acetate compounds thereof, and carboxylic acid esters. . These can be used alone or in combination of two or more.

脂肪族アルコールとしては、例えば、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、ｉｓｏ−プロパノール、ｎ−ブタノール、ｎ−ペンタノール及びｎ−ヘキサノールが挙げられる。環式炭化水素としては、例えば、ベンジルアルコール、シクロヘキサン及びトルエンが挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the aliphatic alcohol include methanol, ethanol, n-propanol, iso-propanol, n-butanol, n-pentanol, and n-hexanol. Examples of the cyclic hydrocarbon include benzyl alcohol, cyclohexane, and toluene. These can be used alone or in combination of two or more.

ケトンとしては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルプロピルケトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルペンチルケトン、メチルヘキシルケトン、エチルブチルケトン、ジブチルケトン、シクロペンタノン及びシクロヘキサノンが挙げられる。ケトアルコールとしては、例えば、ジアセトンアルコール、３−ヒドロキシ−２−ブタノン、４−ヒドロキシ−２−ペンタノン及び６−ヒドロキシ−２−ヘキサノンが挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the ketone include acetone, methyl ethyl ketone, methyl propyl ketone, diethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl pentyl ketone, methyl hexyl ketone, ethyl butyl ketone, dibutyl ketone, cyclopentanone and cyclohexanone. Examples of keto alcohols include diacetone alcohol, 3-hydroxy-2-butanone, 4-hydroxy-2-pentanone, and 6-hydroxy-2-hexanone. These can be used alone or in combination of two or more.

アルキレングリコールとしては、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール及びプロピレングリコールが挙げられる。アルキレングリコールアルキルエーテルとしては、例えば、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル、ジエチレングリコールジアルキルエーテル、トリエチレングリコールアルキルエーテル、プロピレングリコールアルキルエーテル及びジプロピレングリコールアルキルエーテルが挙げられ、より具体的には、例えば、３−メトキシ−１−ブタノール、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ及びブチルセロソルブが挙げられる。アルキレングリコール又はアルキレングリコールアルキルエーテルのアセテート化合物としては、上述のアルキレングリコール又はアルキレングリコールアルキルエーテルのアセテート化合物であればよく、例えば、エチレングリコールモノアセテート、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールモノアセテート、プロピレングリコールジアセテート、メチルセロソルブアセテート及びエチルセロソルブアセテートが挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the alkylene glycol include ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, tetraethylene glycol, and propylene glycol. Examples of the alkylene glycol alkyl ether include diethylene glycol monoalkyl ether, diethylene glycol dialkyl ether, triethylene glycol alkyl ether, propylene glycol alkyl ether and dipropylene glycol alkyl ether. More specifically, for example, 3-methoxy- Examples include 1-butanol, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol dibutyl ether, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, and butyl cellosolve. The acetate compound of alkylene glycol or alkylene glycol alkyl ether may be any of the above-mentioned alkylene glycol or alkylene glycol alkyl ether acetate compounds, such as ethylene glycol monoacetate, ethylene glycol diacetate, propylene glycol monoacetate, propylene glycol diacetate. Examples include acetate, methyl cellosolve acetate, and ethyl cellosolve acetate. These can be used alone or in combination of two or more.

カルボン酸エステルとしては、例えば、ギ酸エチル、ギ酸プロピル、ギ酸ブチル、ギ酸アミル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、酪酸メチル及び酪酸エチルが挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the carboxylic acid ester include ethyl formate, propyl formate, butyl formate, amyl formate, methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, methyl propionate, ethyl propionate, methyl butyrate and ethyl butyrate. These can be used alone or in combination of two or more.

＜染料、顔料、その他の成分＞
また、本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、マラカイトグリーン等の染料、トリブロモフェニルスルホン若しくはロイコクリスタルバイオレット等の光発色剤、熱発色防止剤若しくはｐ−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、フタロシアニングリーン若しくはフタロシアニンブルー等のフタロシアニン系、アゾ系等の有機顔料若しくは二酸化チタン等の無機顔料、シリカ、アルミナ、タルク、炭酸カルシウム若しくは硫酸バリウム等の無機顔料からなる充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料あるいはイメージング剤などを（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量１００質量部に対して各々０．０１〜２０質量部程度含有することができる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
なお、アクリル系共重合体、酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂等のアルカリ可溶性ポリマー成分を前記（Ａ）成分と共に併用することもできる。 <Dyes, pigments and other components>
In addition, the photosensitive resin composition of the present invention includes a dye such as malachite green, a photochromic agent such as tribromophenylsulfone or leucocrystal violet, a thermochromic inhibitor or p-toluenesulfonamide, if necessary. Plasticizer, phthalocyanine-based organic pigments such as phthalocyanine green or phthalocyanine blue, azo-based organic pigments, inorganic pigments such as titanium dioxide, fillers made of inorganic pigments such as silica, alumina, talc, calcium carbonate or barium sulfate, antifoaming agents , Flame retardants, stabilizers, adhesion promoters, leveling agents, peeling accelerators, antioxidants, fragrances, imaging agents, etc. are each added to the total amount of 100 parts by mass of component (A) and component (B). About 01 to 20 parts by mass can be contained. These can be used alone or in combination of two or more.
In addition, alkali-soluble polymer components such as acrylic copolymers and acid-modified vinyl group-containing epoxy resins can be used in combination with the component (A).

［各成分の含有量］
感光性樹脂組成物において、（Ａ）成分の含有割合は、その感光性樹脂組成物から形成される感光層を備える永久レジスト用感光性フィルムなどの感光性エレメントの端面からのしみ出しを防止する観点、及び、より優れた光感度、耐熱性及び耐熱衝撃性を得る観点から、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量１００質量部に対して、３０〜９０質量部であることが好ましく、４５〜７０質量部であることがより好ましい。 [Content of each component]
In the photosensitive resin composition, the content ratio of the component (A) prevents exudation from the end face of a photosensitive element such as a photosensitive film for a permanent resist having a photosensitive layer formed from the photosensitive resin composition. From a viewpoint and the viewpoint which acquires the more excellent photosensitivity, heat resistance, and thermal shock resistance, it is preferable that it is 30-90 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of (A) component and (B) component. More preferably, it is 45-70 mass parts.

（Ｂ）成分の含有割合は、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量１００質量部に対して、１０〜７０質量部であることが好ましく、３０〜５５質量部であることがより好ましい。この含有割合が１０質量部未満では、光感度が不充分となる傾向があり、７０質量部を超えると、得られる硬化物の耐熱性が低下する傾向がある。   The content ratio of the component (B) is preferably 10 to 70 parts by mass and more preferably 30 to 55 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). . If this content is less than 10 parts by mass, the photosensitivity tends to be insufficient, and if it exceeds 70 parts by mass, the heat resistance of the resulting cured product tends to decrease.

（Ｃ）成分の含有割合は、より優れた光感度、耐熱性及び耐熱衝撃性を得る観点から、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量１００質量部に対して、０．１〜２０質量部であることが好ましく、０．２〜１０質量部であることがより好ましい。   (C) The content rate of a component is 0.1-20 with respect to 100 mass parts of total amounts of (A) component and (B) component from a viewpoint of obtaining the more outstanding photosensitivity, heat resistance, and thermal shock resistance. It is preferable that it is a mass part, and it is more preferable that it is 0.2-10 mass parts.

（Ｄ）及び（Ｅ）成分の含有割合は、それぞれ（Ａ）成分１００質量部に対して、３〜２０質量部であることが好ましく、５〜１０質量部がより好ましい。３質量部未満では、ガラス転移温度以上の領域における線熱膨張係数が大きくなる傾向があり、２０質量部を超えると感光特性が低下（残渣）する傾向がある。   It is preferable that the content rate of (D) and (E) component is 3-20 mass parts with respect to 100 mass parts of (A) component, respectively, and 5-10 mass parts is more preferable. If it is less than 3 parts by mass, the linear thermal expansion coefficient tends to increase in the region above the glass transition temperature, and if it exceeds 20 parts by mass, the photosensitivity tends to decrease (residue).

本発明の感光性樹脂組成物によれば、良好な現像性及び高い解像度といった優れた感光特性を有し、べとつきの抑制された良好な塗膜を形成できる。これにより、充分に高い耐熱性及び耐熱衝撃性を備えたソルダーレジストを形成でき、しかも、充分に優れた貯蔵安定性を示すドライフィルムを形成できる。   According to the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to form a good coating film having excellent photosensitivity such as good developability and high resolution and suppressed stickiness. Thereby, it is possible to form a solder resist having sufficiently high heat resistance and thermal shock resistance, and it is possible to form a dry film exhibiting sufficiently excellent storage stability.

本発明の感光性樹脂組成物は、リジット配線板、フレキシブル配線板などのプリント配線板及びパッケージ基板などに備えられるソルダーレジストや層間絶縁膜、半導体の表面保護膜等に要求される特性や信頼性を満足することができる。そして、本実施形態の感光性樹脂組成物から得られるソルダーレジストは、耐熱衝撃性に充分優れていることに加えて、それと同様の要因により、耐アルカリ性、はんだ耐熱性、耐電解Ｎｉ／Ａｕめっき性、伸び率及び引張強度等の機械的特性、並びに、耐電食性にも優れている。   The photosensitive resin composition of the present invention has characteristics and reliability required for a solder resist, an interlayer insulating film, a semiconductor surface protective film, etc. provided in a printed wiring board such as a rigid wiring board and a flexible wiring board and a package substrate. Can be satisfied. The solder resist obtained from the photosensitive resin composition of the present embodiment is sufficiently excellent in thermal shock resistance, and in addition to alkali resistance, solder heat resistance, and electrolytic Ni / Au plating due to the same factors. It has excellent mechanical properties such as properties, elongation and tensile strength, and electric corrosion resistance.

［永久レジスト用感光性フィルム］
本発明の永久レジスト用感光性フィルムは、支持体層と、前記支持体層上に形成された上記感光性樹脂組成物を用いた感光層とを備えるものである。以下、本発明の永久レジスト用感光性フィルムの好適な実施形態について図１を参照しながら説明する。図１に示す永久レジスト用感光性フィルム１は、支持体層１１と、前記支持体層上に形成された上記感光性樹脂組成物を含有する感光層１２と、感光層１２上に積層された保護フィルム層１３とを備えるものである。 [Photosensitive film for permanent resist]
The photosensitive film for permanent resists of this invention is equipped with a support body layer and the photosensitive layer using the said photosensitive resin composition formed on the said support body layer. Hereinafter, a preferred embodiment of the photosensitive film for permanent resist of the present invention will be described with reference to FIG. A permanent resist photosensitive film 1 shown in FIG. 1 is laminated on a support layer 11, a photosensitive layer 12 containing the photosensitive resin composition formed on the support layer, and the photosensitive layer 12. The protective film layer 13 is provided.

感光層１２は、上述の感光性樹脂組成物を必要により溶剤（希釈剤）又は混合溶剤（希釈剤）に溶解して固形分３０〜７０質量％程度の溶液とした後に、かかる溶液を支持体層１１上に塗布して形成することが好ましい。感光層の厚みは、用途により異なるが、加熱及び／又は熱風吹き付けにより希釈剤を除去した乾燥後の厚みで、１０〜１００μｍであることが好ましく、２０〜６０μｍであることがより好ましい。この厚みが１０μｍ未満では工業的に塗工（塗布）困難な傾向があり、１００μｍを超えると、機械的特性等の物理特性及び解像度が低下する傾向にある。   The photosensitive layer 12 is prepared by dissolving the above-described photosensitive resin composition in a solvent (diluent) or a mixed solvent (diluent) as necessary to obtain a solution having a solid content of about 30 to 70% by mass, and then supporting the solution. It is preferably formed by coating on the layer 11. Although the thickness of a photosensitive layer changes with uses, it is the thickness after drying which removed the diluent by heating and / or hot air spraying, and it is preferable that it is 10-100 micrometers, and it is more preferable that it is 20-60 micrometers. If this thickness is less than 10 μm, it tends to be difficult to apply (apply) industrially, and if it exceeds 100 μm, physical properties such as mechanical properties and resolution tend to decrease.

保護フィルム層１３としては、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、テフロン（登録商標）フィルム、表面処理した紙等が挙げられる。保護フィルム層１３は、感光層１２と支持体層１１との接着力よりも感光層１２と保護フィルム層１３との接着力が小さいものであると好ましい。   Examples of the protective film layer 13 include a polyethylene film, a polypropylene film, a Teflon (registered trademark) film, and a surface-treated paper. The protective film layer 13 preferably has an adhesive force between the photosensitive layer 12 and the protective film layer 13 that is smaller than the adhesive force between the photosensitive layer 12 and the support layer 11.

永久レジスト用感光性フィルム１が備える支持体層１１としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムなどが挙げられる。   Examples of the support layer 11 included in the permanent resist photosensitive film 1 include polymer films having heat resistance and solvent resistance such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, and polyester.

支持体層１１の厚みは、５〜１００μｍであることが好ましく、１０〜３０μｍであることがより好ましい。この厚みが５μｍ未満では現像前に支持体層１１を永久レジスト用感光性フィルム１から剥離する際に当前記支持体が破れやすくなる傾向があり、また、１００μｍを超えると解像度及び可撓性が低下する傾向がある。本実施形態においては、上述したような支持体層としてポリエステル樹脂フィルムを用いて感光層１２を形成するので、支持体層１１の厚みが従来のものと比較してより厚い場合、例えば２５μｍ超、１００μｍ以下の場合であっても、その可撓性及び解像度を維持することができる。   The thickness of the support layer 11 is preferably 5 to 100 μm, and more preferably 10 to 30 μm. If the thickness is less than 5 μm, the support layer 11 tends to be easily broken when the support layer 11 is peeled off from the photosensitive film 1 for permanent resist before development, and if the thickness exceeds 100 μm, the resolution and flexibility are increased. There is a tendency to decrease. In this embodiment, since the photosensitive layer 12 is formed using a polyester resin film as the support layer as described above, when the support layer 11 is thicker than the conventional layer, for example, more than 25 μm, Even in the case of 100 μm or less, the flexibility and resolution can be maintained.

上述したような支持体層１１と感光層１２と保護フィルム層１３との３層からなる永久レジスト用感光性フィルム１は、例えば、そのまま貯蔵してもよく、又は保護フィルム層１３を介在させた上で巻芯にロール状に巻き取って保管することができる。   The photosensitive film 1 for permanent resist composed of three layers of the support layer 11, the photosensitive layer 12 and the protective film layer 13 as described above may be stored, for example, as it is, or the protective film layer 13 is interposed. It can be wound up in a roll form on the core and stored.

本実施形態の永久レジスト用感光性フィルムは、常温（２５℃）でベースポリマーと反応してしまう熱硬化剤を含まないため、長時間保存した後でも、塗膜性、硬化物の解像度及び耐熱衝撃性等の諸特性を充分良好に維持することができる充分な貯蔵安定性を示すことができる。また、感光層表面のべとつきが少ないことによって、高解像度かつ高密度のプリント配線板の効率的な生産を可能とする。   Since the photosensitive film for permanent resist of this embodiment does not contain a thermosetting agent that reacts with the base polymer at room temperature (25 ° C.), the coating property, the resolution of the cured product, and the heat resistance even after storage for a long time. Sufficient storage stability that can maintain various characteristics such as impact properties sufficiently satisfactorily can be exhibited. Further, since the surface of the photosensitive layer is less sticky, it is possible to efficiently produce a high-resolution and high-density printed wiring board.

［レジストパターンの形成方法］
本発明のレジストパターンの形成方法は、絶縁基板と前記絶縁基板上に形成された回路パターンを有する導体層とを備える積層基板の前記絶縁基板上に、前記導体層を覆うように上記感光性樹脂組成物を用いて感光層を積層し、前記感光層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成し、次いで、前記感光層の前記露光部以外の部分を除去することを特徴とする。 [Method of forming resist pattern]
According to another aspect of the present invention, there is provided a method for forming a resist pattern, the method comprising: forming the photosensitive resin on the insulating substrate of a laminated substrate including an insulating substrate and a conductor layer having a circuit pattern formed on the insulating substrate so as to cover the conductor layer. A photosensitive layer is laminated using the composition, an actinic ray is irradiated to a predetermined portion of the photosensitive layer to form an exposed portion, and then a portion other than the exposed portion of the photosensitive layer is removed. .

一実施形態では、上記感光性樹脂組成物を用いた感光層として、上記永久レジスト用感光性フィルムの感光層を用いる。
感光層の積層方法としては、上記永久レジスト用感光性フィルムにおける感光層を加熱しながら絶縁基板に圧着して積層する方法が挙げられる。なお、支持体層上に形成された感光層は、感光性樹脂組成物が溶剤等の揮発成分を含む場合は、一般に、溶剤の大部分が除去された後の成分からなる。また、永久レジスト用感光性フィルムが保護フィルム層を備える場合は、感光層の形成前に保護フィルム層を永久レジスト用感光性フィルムから剥離除去する。 In one Embodiment, the photosensitive layer of the said photosensitive film for permanent resists is used as a photosensitive layer using the said photosensitive resin composition.
Examples of the method for laminating the photosensitive layer include a method in which the photosensitive layer in the above-described permanent resist photosensitive film is laminated by pressing onto the insulating substrate while heating. In addition, when the photosensitive resin composition contains volatile components, such as a solvent, the photosensitive layer formed on the support layer generally comprises components after most of the solvent has been removed. Moreover, when the photosensitive film for permanent resist is provided with a protective film layer, the protective film layer is peeled off from the photosensitive film for permanent resist before forming the photosensitive layer.

感光層を積層する絶縁基板の表面は、通常導体層の面であるが、その導体層以外の面であってもよい。永久レジスト用感光性フィルムにおける感光層を加熱しながら絶縁基板に圧着して積層する場合、感光層の加熱温度は７０〜１１０℃とすることが好ましく、圧着圧力は０．１〜１．０ＭＰａ程度とすることが好ましく、周囲の気圧は４ｋＰａ以下とすることがより好ましいが、これらの条件には特に制限はない。また、感光層を上述のように７０〜１１０℃に加熱すれば、予め絶縁基板及び導体層を予熱処理することは必要ではないが、積層性をさらに向上させるために、それらの予熱処理を行うこともできる。   The surface of the insulating substrate on which the photosensitive layer is laminated is usually the surface of the conductor layer, but may be a surface other than the conductor layer. In the case where the photosensitive layer in the photosensitive film for permanent resist is heated and laminated on the insulating substrate while being laminated, the heating temperature of the photosensitive layer is preferably 70 to 110 ° C., and the pressure is about 0.1 to 1.0 MPa. The ambient pressure is more preferably 4 kPa or less, but these conditions are not particularly limited. Further, if the photosensitive layer is heated to 70 to 110 ° C. as described above, it is not necessary to pre-heat the insulating substrate and the conductor layer in advance. However, in order to further improve the laminating property, the pre-heat treatment is performed. You can also.

このようにして感光層の積層が完了した後、露光工程において感光層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成せしめる。露光部の形成方法としては、アートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線を画像状に照射する方法が挙げられる。この際、感光層上に存在する支持体層が透明の場合には、そのまま活性光線を照射することができるが、不透明の場合には、支持体層を除去した後に感光層に活性光線を照射する。   In this way, after the lamination of the photosensitive layer is completed, an exposure part is formed by irradiating a predetermined portion of the photosensitive layer with an actinic ray in an exposure step. Examples of the method for forming the exposed portion include a method of irradiating actinic rays in an image form through a negative or positive mask pattern called an artwork. At this time, if the support layer present on the photosensitive layer is transparent, it can be irradiated with actinic rays as it is, but if it is opaque, it is irradiated with actinic rays after removing the support layer. To do.

活性光線の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものが用いられる。また、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものも用いられる。   As the light source of actinic light, a known light source such as a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, or a xenon lamp that emits ultraviolet rays effectively is used. Moreover, what emits visible light effectively, such as a photographic flood light bulb and a solar lamp, is also used.

露光後、感光層上に支持体層が存在している場合には、支持体層を除去する。その後、ウエット現像等により感光層の露光部以外の部分を現像除去し、感光性樹脂組成物の硬化物からなるレジストパターンを形成する。ウエット現像の場合は、現像液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像する。なお、レジストパターン形成後に、０．２〜１０Ｊ／ｃｍ^２、好ましくは、１〜５Ｊ／ｃｍ^２の露光又は／及び１００〜２００℃、３０分〜１２時間、好ましくは、１００〜１７０℃、１５〜９０分の加熱（後加熱工程）による後硬化をさらに行ってもよい。 After the exposure, if a support layer is present on the photosensitive layer, the support layer is removed. Thereafter, a portion other than the exposed portion of the photosensitive layer is developed and removed by wet development or the like to form a resist pattern made of a cured product of the photosensitive resin composition. In the case of wet development, development is performed using a developer by a known method such as spraying, rocking immersion, brushing, or scraping. In addition, after forming the resist pattern, exposure of 0.2 to 10 J / cm ² , preferably 1 to 5 J / cm ² or / and 100 to 200 ° C., 30 minutes to 12 hours, preferably 100 to 170 ° C., 15 Post-curing by heating for 90 minutes (post-heating step) may be further performed.

現像処理に用いられる現像液は、露光部にダメージを与えず、未露光部を選択的に溶出するものであれば、特に制限はなく、アルカリ現像液が安全かつ安定であり、操作性が良好であるため、好ましく用いられる。アルカリ現像液としては、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、燐酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、４−ホウ酸ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、アンモニア、アミン類等の希アルカリ水溶液、あるいは希アルカリ水溶液と有機溶剤とのエマルジョン現像液を用いることもできる。例えば、２０〜５０℃の炭酸ナトリウムの希薄溶液（１〜５質量％水溶液）等が用いられる。   The developer used in the development process is not particularly limited as long as it does not damage the exposed area and selectively elutes the unexposed area. The alkaline developer is safe and stable, and has good operability. Therefore, it is preferably used. Examples of the alkaline developer include dilute alkaline aqueous solutions such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, sodium 4-borate, tetramethylammonium hydroxide, ammonia, and amines. Alternatively, an emulsion developer of a dilute alkaline aqueous solution and an organic solvent can be used. For example, a dilute solution (1 to 5% by mass aqueous solution) of sodium carbonate at 20 to 50 ° C. is used.

本実施形態のレジストパターンの形成方法によって得られるレジストパターンは、本発明の感光性樹脂組成物の硬化物（硬化膜）からなるものであり、回路配線を基板にはんだ付けした後のその回路配線の保護膜としても機能し、半導体パッケージ用の永久マスク（ソルダーレジスト）として有用である。また、半導体素子などの電子部品の層間絶縁膜及び／又は表面保護層として、さらにカバーコート層としても有用である。このレジストパターンは充分に高い耐熱衝撃性を示すほか、引張強度や伸び率等の機械的特性、電気絶縁性、耐湿熱性、耐アルカリ性、耐溶剤性、はんだ耐熱性及び耐電解Ｎｉ／Ａｕめっき性にも優れている。   The resist pattern obtained by the resist pattern forming method of the present embodiment is composed of a cured product (cured film) of the photosensitive resin composition of the present invention, and the circuit wiring after the circuit wiring is soldered to the substrate It is also useful as a permanent mask (solder resist) for semiconductor packages. Further, it is useful as an interlayer insulating film and / or a surface protective layer of an electronic component such as a semiconductor element, and further as a cover coat layer. This resist pattern exhibits sufficiently high thermal shock resistance, mechanical properties such as tensile strength and elongation, electrical insulation, wet heat resistance, alkali resistance, solvent resistance, solder heat resistance, and electrolytic Ni / Au plating resistance Also excellent.

また、上記レジストパターンを、例えばプリント配線板、フレキシブル配線板又は半導体パッケージ基板用のソルダーレジストとして用いる場合は、上述のレジストパターンの形成方法における現像終了後、はんだ耐熱性、耐薬品性等を向上させる目的で、高圧水銀ランプによる紫外線照射や加熱を行うことが好ましい。紫外線を照射させる場合は必要に応じてその照射量を調整することができ、例えば０．２〜１０Ｊ／ｃｍ^２程度の照射量で照射を行うこともできる。また、レジストパターンを加熱する場合は、１００〜１７０℃程度の範囲で１５〜９０分程行われることが好ましい。さらに紫外線照射と加熱とを同時に行うこともでき、いずれか一方を実施した後、他方を実施することもできる。紫外線の照射と加熱とを同時に行う場合、はんだ耐熱性、耐薬品性等を効果的に付与する観点から、６０〜１５０℃に加熱することがより好ましい。光照射及び加熱の両方の処理により得られるレジストパターンの場合、上述の効果を一層有効に発揮できる。 In addition, when the resist pattern is used as, for example, a solder resist for a printed wiring board, a flexible wiring board, or a semiconductor package substrate, the solder heat resistance, chemical resistance, etc. are improved after completion of development in the resist pattern forming method. For this purpose, it is preferable to perform ultraviolet irradiation or heating with a high-pressure mercury lamp. In the case of irradiating ultraviolet rays, the irradiation amount can be adjusted as necessary. For example, the irradiation can be performed at an irradiation amount of about 0.2 to 10 J / cm ² . Moreover, when heating a resist pattern, it is preferable to carry out for about 15 to 90 minutes in the range of about 100-170 degreeC. Furthermore, ultraviolet irradiation and heating can be performed at the same time, and after either one is performed, the other can be performed. When performing ultraviolet irradiation and heating simultaneously, it is more preferable to heat to 60 to 150 ° C. from the viewpoint of effectively imparting solder heat resistance, chemical resistance and the like. In the case of a resist pattern obtained by both light irradiation and heating, the above-described effects can be more effectively exhibited.

さらに、上記レジストパターンを、絶縁基板と、その絶縁基板上に形成された絶縁膜とを備えるパッケージ基板に用いることもできる。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物からなるレジストパターンを絶縁膜として用いればよい。このようにしてレジストパターンを備えた基板は、その後、半導体素子などの実装（例えば、ワイヤーボンディング、はんだ接続）がなされ、そして、パソコン等の電子機器へ装着される。   Further, the resist pattern can be used for a package substrate including an insulating substrate and an insulating film formed on the insulating substrate. In this case, a resist pattern made of a cured product of the photosensitive resin composition may be used as the insulating film. The substrate provided with the resist pattern in this manner is then mounted with a semiconductor element or the like (for example, wire bonding or solder connection), and is mounted on an electronic device such as a personal computer.

［プリント配線板及びその製造方法］
本発明のプリント配線板は、絶縁基板と、前記絶縁基板上に形成された回路パターンを有する導体層と、前記導体層を覆うように前記絶縁基板上に形成された上記感光性樹脂組成物の硬化物からなる永久レジスト層とを備えるものである。以下、本発明のプリント配線板の好適な実施形態について図２を参照しながら説明する。図２は、本実施形態のプリント配線板を示す模式断面図である。 [Printed wiring board and manufacturing method thereof]
The printed wiring board of the present invention includes an insulating substrate, a conductor layer having a circuit pattern formed on the insulating substrate, and the photosensitive resin composition formed on the insulating substrate so as to cover the conductor layer. And a permanent resist layer made of a cured product. Hereinafter, a preferred embodiment of the printed wiring board of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the printed wiring board of the present embodiment.

図２に示すプリント配線板２は、絶縁基板２２と、絶縁基板２２の一方面上に形成された回路パターンを有する導体層２３と、絶縁基板２２の他方面上に形成された回路パターンを有しない導体層２１と、回路パターンを有する導体層２３を覆うように絶縁基板２２上に形成されたソルダーレジスト２４１とを備えている。また、ソルダーレジスト２４１は、上記感光性樹脂組成物の硬化物からなり、ソルダーレジスト２４１は、回路パターンを有する導体層２３の少なくとも一部が露出するように開口部２６を有している。   The printed wiring board 2 shown in FIG. 2 has an insulating substrate 22, a conductor layer 23 having a circuit pattern formed on one surface of the insulating substrate 22, and a circuit pattern formed on the other surface of the insulating substrate 22. And a solder resist 241 formed on the insulating substrate 22 so as to cover the conductor layer 23 having a circuit pattern. The solder resist 241 is made of a cured product of the photosensitive resin composition, and the solder resist 241 has an opening 26 so that at least a part of the conductor layer 23 having a circuit pattern is exposed.

プリント配線板２は、開口部２６を有しているため、ＣＳＰやＢＧＡ等の実装部品を、回路パターンを有する導体層２３にはんだ等により接合することができ、いわゆる表面実装が可能となる。ソルダーレジスト２４１は、接合のためのはんだ付けの際に、導体層の不必要な部分にはんだが付着することを防ぐためのソルダーレジストとしての役割を有しており、また、実装部品接合後においては、導体層２３を保護するための永久マスクとして機能する。   Since the printed wiring board 2 has the opening 26, a mounting component such as CSP or BGA can be joined to the conductor layer 23 having a circuit pattern by solder or the like, and so-called surface mounting becomes possible. The solder resist 241 has a role as a solder resist for preventing the solder from adhering to unnecessary portions of the conductor layer during soldering for joining. Functions as a permanent mask for protecting the conductor layer 23.

次に、プリント配線板２の製造方法の一例について、概略的に説明する。図３は、図２に示したプリント配線板２の製造方法について模式的に示す工程図である。なお、図３（ａ）は一方面に回路パターンを有する導体層２３と他方面に回路パターンを有しない導体層２１とを備えるプリント配線板用基材３であり、図３（ｂ）、図３（ｃ）及び（ｄ）は、それぞれ絶縁基板２２上へ感光層１２を積層した後のプリント配線板用基材４、感光層１２へ活性光線を照射している様子及び現像後のプリント配線板２を示す。   Next, an example of a method for manufacturing the printed wiring board 2 will be schematically described. FIG. 3 is a process diagram schematically showing a method of manufacturing the printed wiring board 2 shown in FIG. FIG. 3A shows a printed wiring board substrate 3 including a conductor layer 23 having a circuit pattern on one side and a conductor layer 21 having no circuit pattern on the other side, and FIG. 3 (c) and 3 (d) show the printed wiring board substrate 4 after the photosensitive layer 12 is laminated on the insulating substrate 22, the state in which the photosensitive layer 12 is irradiated with actinic rays, and the printed wiring after development. The plate 2 is shown.

まず、両面金属張積層板（例えば、両面銅張積層板等）の片面をエッチングする公知の方法等により、図３（ａ）に示すように絶縁基板２２上に導体層２３のパターンを形成させ、導体層２３が形成されたプリント配線板用基材３を得る。次に、図３（ｂ）に示すように導体層２３が形成されたプリント配線板用基材３上に、導体層２３を覆うようにして本発明に係る感光性樹脂組成物からなる感光層１２を形成し、感光層１２が積層されたプリント配線板用基材４を得る。次に、図３（ｃ）に示すように積層された感光層１２に所定のパターンを有するフォトマスク５を介して活性光線を照射することにより感光層１２の所定部分を硬化させる。最後に、未露光部を除去（例えばアルカリ現像等）することによって、図３（ｄ）に示すように開口部２６を有するソルダーレジスト２４１を形成させることでプリント配線板２を得る。なお、ソルダーレジスト２４１は、感光性樹脂組成物が有機溶剤等の揮発成分を含有している場合は、かかる揮発成分の大部分が除去された後の感光性樹脂組成物の硬化物である。   First, the pattern of the conductor layer 23 is formed on the insulating substrate 22 as shown in FIG. 3A by a known method of etching one side of a double-sided metal-clad laminate (for example, a double-sided copper-clad laminate). Then, the printed wiring board substrate 3 on which the conductor layer 23 is formed is obtained. Next, as shown in FIG. 3B, a photosensitive layer made of the photosensitive resin composition according to the present invention on the printed wiring board substrate 3 on which the conductor layer 23 is formed so as to cover the conductor layer 23. 12 is obtained, and the printed wiring board substrate 4 on which the photosensitive layer 12 is laminated is obtained. Next, as shown in FIG. 3C, a predetermined portion of the photosensitive layer 12 is cured by irradiating the laminated photosensitive layer 12 with actinic rays through the photomask 5 having a predetermined pattern. Finally, the printed wiring board 2 is obtained by removing a non-exposed portion (for example, alkali development) to form a solder resist 241 having an opening 26 as shown in FIG. In addition, when the photosensitive resin composition contains volatile components, such as an organic solvent, the soldering resist 241 is a cured product of the photosensitive resin composition after most of the volatile components are removed.

なお、絶縁基板２２上への感光層１２の積層、活性光線の照射及び未露光部の除去は、上述のレジストパターンの形成方法における場合と同様の方法により行うことができる。   In addition, lamination | stacking of the photosensitive layer 12 on the insulated substrate 22, irradiation of actinic light, and removal of an unexposed part can be performed by the method similar to the case in the formation method of the above-mentioned resist pattern.

このようにして得られたプリント配線板２におけるソルダーレジスト２４１は、本実施形態の感光性樹脂組成物の硬化物（硬化膜）からなるものであり、充分に高い耐熱衝撃性を示すほか、引張強度や伸び率等の機械的特性、電気絶縁性、耐湿熱性、耐アルカリ性、耐溶剤性、はんだ耐熱性及び耐電解Ｎｉ／Ａｕめっき性にも優れている。このソルダーレジスト２４１は光照射及び加熱の両方の処理により得られるものであると、はんだ耐熱性、耐薬品性等の効果を一層有効に発揮できる。   The solder resist 241 in the printed wiring board 2 obtained in this way is made of a cured product (cured film) of the photosensitive resin composition of the present embodiment, and exhibits sufficiently high thermal shock resistance, as well as tensile strength. Excellent mechanical properties such as strength and elongation, electrical insulation, heat and humidity resistance, alkali resistance, solvent resistance, solder heat resistance and electrolytic Ni / Au plating resistance. If the solder resist 241 is obtained by both light irradiation and heating, effects such as solder heat resistance and chemical resistance can be more effectively exhibited.

［表面保護膜及び層間絶縁膜］
本発明の表面保護膜及び層間絶縁膜は、本発明の感光性樹脂組成物の硬化物（硬化膜）からなるものである。一実施形態では、表面保護膜及び層間絶縁膜は本発明のレジストパターンの形成方法によって、半導体素子の表面（表面保護膜）や、多層配線板や半導体パッケージなど層間（層間絶縁膜）に形成することができる。 [Surface protective film and interlayer insulating film]
The surface protective film and interlayer insulating film of the present invention are made of a cured product (cured film) of the photosensitive resin composition of the present invention. In one embodiment, the surface protective film and the interlayer insulating film are formed on the surface of the semiconductor element (surface protective film), and between the layers (interlayer insulating film) such as a multilayer wiring board and a semiconductor package by the resist pattern forming method of the present invention. be able to.

図４は本発明の感光性樹脂組成物の硬化物を層間絶縁膜として用いた半導体パッケージの一例を示す模式断面図である。図４に示す半導体パッケージ１００では、シリコンウェハ（基板）１０上にアルミニウム等の金属からなる電極２０が設けられている。シリコンウェハ１０及び電極２０は層間絶縁膜３０により覆われているが、電極２０上の層間絶縁膜３０の一部は除去されており、その部分から電極２０に接続された銅等の金属からなる再配線４０が引き出されている。また、再配線４０には銅等の金属からなるポスト部５０が接続されている。そして、層間絶縁膜３０、再配線４０及びポスト部５０は、ポスト部５０の一端のみが露出するように封止樹脂６０により封止されている。   FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing an example of a semiconductor package using a cured product of the photosensitive resin composition of the present invention as an interlayer insulating film. In the semiconductor package 100 shown in FIG. 4, an electrode 20 made of a metal such as aluminum is provided on a silicon wafer (substrate) 10. Although the silicon wafer 10 and the electrode 20 are covered with the interlayer insulating film 30, a part of the interlayer insulating film 30 on the electrode 20 is removed and is made of a metal such as copper connected to the electrode 20 from the part. The rewiring 40 is drawn out. Further, a post portion 50 made of a metal such as copper is connected to the rewiring 40. The interlayer insulating film 30, the rewiring 40, and the post portion 50 are sealed with a sealing resin 60 so that only one end of the post portion 50 is exposed.

この半導体パッケージ１００において、層間絶縁膜３０は上述した本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成されている。そのため、層間絶縁膜３０は解像度よく厚膜化が達成されており、且つ、充分に高い耐熱性及び耐熱衝撃性、さらに優れた絶縁性も有している。   In the semiconductor package 100, the interlayer insulating film 30 is formed using the above-described photosensitive resin composition of the present invention. Therefore, the interlayer insulating film 30 has been increased in thickness with high resolution, and has sufficiently high heat resistance and thermal shock resistance, as well as excellent insulating properties.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。   The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above embodiment.

例えば、本発明の永久レジスト用感光性フィルムの別の実施形態において、保護フィルム層１３を備えずに、図１における感光層１２及び支持体層１１のみを備えるものであってもよい。また、本発明のプリント配線板は絶縁基板上又は絶縁基板の両側に導電層及び絶縁層を交互に複数層積層した多層プリント配線板であってもよく、その場合、本発明の感光性樹脂組成物の硬化物は、導電層間を確実に絶縁するための層間絶縁膜として機能する。   For example, in another embodiment of the photosensitive film for permanent resist of the present invention, the protective film layer 13 may not be provided, and only the photosensitive layer 12 and the support layer 11 in FIG. The printed wiring board of the present invention may be a multilayer printed wiring board in which a plurality of conductive layers and insulating layers are alternately laminated on the insulating substrate or on both sides of the insulating substrate. The cured product of the product functions as an interlayer insulating film for reliably insulating the conductive layers.

以下、実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples.

本発明のポリイミド前駆体（（Ａ）成分）を以下の方法により調製した。   The polyimide precursor (component (A)) of the present invention was prepared by the following method.

（合成例１） ポリイミド前駆体（（Ａ）成分）の合成（Ｐ１）
撹拌機、還流冷却機を備えたフラスコに、充分に乾燥した４，４’−［イソプロピリデンビス（ｐ−フェニレンオキシ）］ジアニリン（ＢＡＰＰ）を１７．１０ｇ、オキシジアニリン（ＤＤＥ）を２．３９ｇ、ジェファーミンＤ４００（三井化学製）２．７１ｇ、オキシジフタル酸二無水物（ＯＤＰＡ）を１６．６４ｇ、無水マレイン酸を１．１７ｇ、ジメチルアセトアミド６０ｇを仕込み、室温（２５℃）で８時間撹拌を行い、末端にマレイミド前駆体構造を有するポリイミド前駆体（Ｐ１）を得た。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量は６５，０００であった。 (Synthesis Example 1) Synthesis of polyimide precursor (component (A)) (P1)
In a flask equipped with a stirrer and a reflux condenser, 17.10 g of sufficiently dried 4,4 ′-[isopropylidenebis (p-phenyleneoxy)] dianiline (BAPP) and 2.10 oxydianiline (DDE) were added. 39 g, Jeffamine D400 (Mitsui Chemicals) 2.71 g, 16.64 g of oxydiphthalic dianhydride (ODPA), 1.17 g of maleic anhydride and 60 g of dimethylacetamide were charged and stirred at room temperature (25 ° C.) for 8 hours. The polyimide precursor (P1) which has a maleimide precursor structure at the terminal was obtained. The weight average molecular weight of the obtained polyimide precursor was 65,000.

（合成例２） ポリイミド前駆体（（Ａ）成分）の合成（Ｐ２）
撹拌機、還流冷却機を備えたフラスコに、充分に乾燥した４，４’−［イソプロピリデンビス（ｐ−フェニレンオキシ）］ジアニリン（ＢＡＰＰ）を１６．８３ｇ、オキシジアニリン（ＤＤＥ）を２．３５ｇ、ジェファーミンＤ４００（三井化学製）２．６７ｇ、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物（ＢＴＤＡ）を１７．０１ｇ、無水マレイン酸を１．１５ｇ、ジメチルアセトアミド６０ｇを仕込み、室温で８時間撹拌を行い、末端にマレイミド前駆体構造を有するポリイミド前駆体（Ｐ２）を得た。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量は７５，０００であった。 (Synthesis Example 2) Synthesis of polyimide precursor (component (A)) (P2)
In a flask equipped with a stirrer and a reflux condenser, 16.83 g of sufficiently dried 4,4 ′-[isopropylidenebis (p-phenyleneoxy)] dianiline (BAPP) and 2.oxydianiline (DDE) were added. 35 g, Jeffermin D400 (Mitsui Chemicals) 2.67 g, benzophenone tetracarboxylic dianhydride (BTDA) 17.01 g, maleic anhydride 1.15 g and dimethylacetamide 60 g were charged and stirred at room temperature for 8 hours. The polyimide precursor (P2) which has a maleimide precursor structure at the terminal was obtained. The weight average molecular weight of the obtained polyimide precursor was 75,000.

（合成例３） ポリイミド前駆体（（Ａ）成分）の合成（Ｐ３）
撹拌機、還流冷却機を備えたフラスコに、充分に乾燥した４，４’−［イソプロピリデンビス（ｐ−フェニレンオキシ）］ジアニリン（ＢＡＰＰ）を１９．６７ｇ、オキシジアニリン（ＤＤＥ）を２．４０ｇ、オキシジフタル酸二無水物（ＯＤＰＡ）を１６．７５ｇ、無水マレイン酸を１．１８ｇ、ジメチルアセトアミド６０ｇを仕込み、室温で８時間撹拌を行い、末端にマレイミド前駆体構造を有するポリイミド前駆体（Ｐ３）を得た。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量は７０，０００であった。 (Synthesis Example 3) Synthesis of polyimide precursor (component (A)) (P3)
In a flask equipped with a stirrer and a reflux condenser, 19.67 g of sufficiently dried 4,4 ′-[isopropylidenebis (p-phenyleneoxy)] dianiline (BAPP) and 2.6 oxydianiline (DDE) were added. 40 g, 16.75 g of oxydiphthalic dianhydride (ODPA), 1.18 g of maleic anhydride and 60 g of dimethylacetamide were charged, stirred at room temperature for 8 hours, and a polyimide precursor having a maleimide precursor structure at the terminal (P3 ) The obtained polyimide precursor had a weight average molecular weight of 70,000.

（実施例１〜５）
表１に示す配合成分と配合比（単位：質量部）にしたがって、材料を混合することにより、実施例１〜５の感光性樹脂組成物を得た。 (Examples 1-5)
The photosensitive resin composition of Examples 1-5 was obtained by mixing a material according to the compounding component and compounding ratio (unit: mass part) shown in Table 1.

ＦＡ−７３１Ａ：トリス（2-アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート
ＢＰＥ−９００：ＥＯ（17モル）変性ビスフェノールAジメタクリレート（新中村化学工業株式会社製）
ＦＡ−３２１Ａ：ＥＯ（10モル）変性ビスフェノールＡジアクリレート（日立化成工業株式会社製）
Ｉ−８１９：ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド（チバ・スペシャリティー・ケミカルズ製）
ＴＡＩＣ：トリアリルイソシアヌレート（日本化成株式会社製）
ＤＡ−ＭＧＩＣ：ジアリルモノグリシジルイソシアヌル酸（四国化成工業株式会社製）
ＢＭＩ−４０００：ビスフェノールＡジフェニルエーテルビスマレイミド（大和化成工業株式会社製）

FA-731A: Tris (2-acryloyloxyethyl) isocyanurate BPE-900: EO (17 mol) modified bisphenol A dimethacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
FA-321A: EO (10 mol) modified bisphenol A diacrylate (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.)
I-819: Bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide (manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
TAIC: triallyl isocyanurate (manufactured by Nippon Kasei Co., Ltd.)
DA-MGIC: diallyl monoglycidyl isocyanuric acid (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.)
BMI-4000: bisphenol A diphenyl ether bismaleimide (manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.)

（比較例１）
（Ｄ）成分を使用しないこと以外は実施例１と同様な方法により、比較例１の感光性樹脂組成物を得た。 (Comparative Example 1)
(D) The photosensitive resin composition of the comparative example 1 was obtained by the method similar to Example 1 except not using a component.

（比較例２）
（Ｄ）成分、（Ｅ）成分をブロックイソシアネート（ＢＬ−３１７５（メチルエチルケトオキシムでブロック化したＨＤＩイソシアヌレート型ポリイソシアネート化合物、住化バイエルウレタン株式会社製））に変更した以外は実施例１と同様な方法により、比較例２の感光性樹脂組成物を得た。 (Comparative Example 2)
Same as Example 1 except that component (D) and component (E) were changed to blocked isocyanate (BL-3175 (HDI isocyanurate type polyisocyanate compound blocked by methyl ethyl ketoxime, manufactured by Sumika Bayer Urethane Co., Ltd.)). Thus, a photosensitive resin composition of Comparative Example 2 was obtained.

（比較例３）
（Ａ）成分をメタクリル酸メチル（８５質量％）とメタクリル酸（１５質量％）の共重合体１００質量部（不揮発分５０質量％）とし、（Ｂ）成分をＦＡ−３２１Ｍ ３０質量部のみとした。それ以外は実施例１と同様な方法により、比較例３の感光性樹脂組成物を得た。 (Comparative Example 3)
The component (A) is 100 parts by mass (nonvolatile content 50% by mass) of a copolymer of methyl methacrylate (85% by mass) and methacrylic acid (15% by mass), and the component (B) is only 30 parts by mass of FA-321M. did. Otherwise, the photosensitive resin composition of Comparative Example 3 was obtained in the same manner as in Example 1.

（比較例４）
（Ａ）成分をテトラヒドロ無水フタル酸変性フェノール樹脂１００質量部（不揮発分５０質量％）とし、（Ｂ）成分をＦＡ−３２１Ｍ ３０質量部のみ、更に熱硬化剤を（Ｄ）成分、（Ｅ）成分からエポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン株式会社製、品番１００１）１０質量部に変更した以外は実施例１と同様な方法により、比較例４の感光性樹脂組成物を得た。 (Comparative Example 4)
The component (A) is 100 parts by mass of tetrahydrophthalic anhydride-modified phenol resin (non-volatile content 50% by mass), the component (B) is only 30 parts by mass of FA-321M, and the thermosetting agent is component (D), (E) The photosensitive resin composition of the comparative example 4 was obtained by the method similar to Example 1 except having changed into 10 mass parts of epoxy resins (the product number 1001 by Japan epoxy resin Co., Ltd.) from the component.

［光感度の評価］
実施例１〜５及び比較例１〜４の感光性樹脂組成物を支持体である１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（商品名：Ｇ２−１６、帝人株式会社製）上に均一に塗布することにより感光層を形成し、それを熱風対流式乾燥機を用いて１００℃で約１０分間乾燥した。感光層の乾燥後の膜厚は、２５μｍであった。続いて、感光層の支持体と接している側とは反対側の表面上に、ポリエチレンフィルム（商品名：ＮＦ−１３、タマポリ株式会社製）を保護フィルムとして貼り合わせ、永久レジスト用感光性フィルムを得た。 [Evaluation of light sensitivity]
The photosensitive resin compositions of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 4 are uniformly coated on a 16 μm-thick polyethylene terephthalate (PET) film (trade name: G2-16, manufactured by Teijin Ltd.) as a support. Thus, a photosensitive layer was formed and dried at 100 ° C. for about 10 minutes using a hot air convection dryer. The film thickness after drying of the photosensitive layer was 25 μm. Subsequently, a polyethylene film (trade name: NF-13, manufactured by Tamapoly Co., Ltd.) is bonded as a protective film on the surface of the photosensitive layer opposite to the side in contact with the support, and a photosensitive film for permanent resist. Got.

１２μｍ厚の銅箔をガラスエポキシ基材に積層したプリント配線板用基材（商品名：Ｅ−６７９、日立化成工業株式会社製）の銅表面を砥粒ブラシで研磨し、水洗後、乾燥した。このプリント配線板用基板の研磨した銅箔上に連続式真空ラミネータ（商品名：ＨＬＭ−Ｖ５７０、日立化成工業株式会社製）を用いて、ヒートシュー温度１００℃、ラミネート速度０．５ｍ／分、気圧４ｋＰａ以下、圧着圧力０．３ＭＰａの条件の下、上記永久レジスト用感光性フィルムを、その感光層と銅箔とが密着するようにポリエチレンフィルムを剥離しつつ積層し、評価用積層体を得た。   The copper surface of a printed wiring board substrate (trade name: E-679, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) in which a 12 μm thick copper foil was laminated on a glass epoxy substrate was polished with an abrasive brush, washed with water, and then dried. . Using a continuous vacuum laminator (trade name: HLM-V570, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) on the polished copper foil of the printed wiring board substrate, a heat shoe temperature of 100 ° C., a laminating speed of 0.5 m / min, Under the conditions of an atmospheric pressure of 4 kPa or less and a pressure bonding pressure of 0.3 MPa, the photosensitive film for permanent resist is laminated while peeling the polyethylene film so that the photosensitive layer and the copper foil are in close contact with each other to obtain a laminate for evaluation. It was.

得られた評価用積層体のＰＥＴフィルム上に、ネガとしてストーファー２１段ステップタブレットを有するフォトツールを密着させ、株式会社オーク製作所製ＨＭＷ−２０１ＧＸ型露光機を使用して、前記ストーファー２１段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が８．０となるエネルギー量で露光を行った。続いて、評価用積層体を常温で１時間静置し、ＰＥＴフィルムを剥離した後、３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液を６０秒間スプレーして現像を行い、さらに８０℃で１０分間加熱（乾燥）した。光感度を評価する数値として、上記エネルギー量を用いた。この数値が低いほど、光感度が高いことを示す。結果を表２に示した。   On the PET film of the obtained laminate for evaluation, a phototool having a stove 21-step tablet as a negative was brought into close contact, and the stove 21-step was used using an HMW-201GX type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. The exposure was performed with an energy amount such that the number of steps remaining after development of the step tablet was 8.0. Subsequently, the evaluation laminate was allowed to stand at room temperature for 1 hour, the PET film was peeled off, developed by spraying a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. for 60 seconds, and further heated at 80 ° C. for 10 minutes ( Dried). The above energy amount was used as a numerical value for evaluating the photosensitivity. The lower this value, the higher the photosensitivity. The results are shown in Table 2.

［解像度の評価］
上記評価用積層体のＰＥＴフィルム上に、ストーファー２１段ステップタブレットを有するフォトツールと、解像度評価用ネガとしてライン幅／スペース幅が３０／３０〜２００／２００（単位：μｍ）の配線パターンを有するフォトツールとを密着させ、株式会社オーク製作所製ＨＭＷ−２０１ＧＸ型露光機を用いて、ストーファー２１段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が８．０となるエネルギー量で露光を行った。続いて、評価用積層体を常温で１時間静置し、ＰＥＴフィルムを剥離した後、３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液を６０秒間スプレーして現像を行い、さらに８０℃で１０分間加熱（乾燥）した。解像度は、現像処理によって矩形のレジスト形状が得られたライン幅間のスペース幅の最も小さい値（単位：μｍ）により評価した。この値が小さいほど、解像度に優れていることを示す。結果を表２に示した。 [Resolution evaluation]
On the PET film of the laminate for evaluation described above, a photo tool having a 21-step stove tablet and a wiring pattern having a line width / space width of 30/30 to 200/200 (unit: μm) as a negative for resolution evaluation The photo tool was closely adhered, and exposure was performed using an HMW-201GX type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. with an energy amount such that the number of remaining step stages after development of the stove 21-step step tablet was 8.0. Subsequently, the evaluation laminate was allowed to stand at room temperature for 1 hour, the PET film was peeled off, developed by spraying a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. for 60 seconds, and further heated at 80 ° C. for 10 minutes ( Dried). The resolution was evaluated based on the smallest value (unit: μm) of the space width between the line widths in which a rectangular resist shape was obtained by development processing. It shows that it is excellent in the resolution, so that this value is small. The results are shown in Table 2.

［塗膜性の評価］
上記評価用積層体に対して露光を行わずに、前記評価用積層体のＰＥＴフィルムを剥離し、露出した感光層表面に指を軽く押し付け、指に対する張り付き程度を以下の基準で評価した。すなわち、指に対する張り付きが認められない、又は、ほとんど認められないものは「Ａ」とし、指に対する張り付きが認められるものは「Ｂ」とした。結果を表２に示した。 [Evaluation of coating properties]
Without exposing the said evaluation laminated body, the PET film of the said evaluation laminated body was peeled, a finger was lightly pressed on the exposed photosensitive layer surface, and the sticking degree with respect to the finger was evaluated according to the following criteria. That is, “A” indicates that sticking to the finger is not recognized or hardly recognized, and “B” indicates that sticking to the finger is recognized. The results are shown in Table 2.

［はんだ耐熱性の評価］
上記評価用積層体のＰＥＴフィルム上に、ストーファー２１段ステップタブレットを有するフォトツールと、ネガとして２ｍｍ角の矩形パターンを有するフォトツールとを密着させ、株式会社オーク製作所製ＨＭＷ−２０１ＧＸ型露光機を使用して、前記ストーファー２１段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が８．０となるエネルギー量で露光を行った。次いで、常温で１時間静置した後、前記積層体のＰＥＴフィルムを剥離し、光感度評価の場合と同様の現像液及び現像条件でスプレー現像を行い、８０℃で１０分間加熱（乾燥）した。続いて、株式会社オーク製作所製紫外線照射装置を使用して１Ｊ／ｃｍ^２のエネルギー量で感光層に対する紫外線照射を行った。さらに感光層を１６０℃で６０分間加熱処理を行うことにより、２ｍｍ角の矩形開口部を有するソルダーレジストを形成した評価用パッケージ基板を得た。 [Evaluation of solder heat resistance]
A photo tool having a stove 21-step tablet and a photo tool having a rectangular pattern of 2 mm square as a negative are brought into close contact with the PET film of the evaluation laminate, and an HMW-201GX type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. Were used, and the exposure was performed with an energy amount such that the number of remaining step steps after development of the stove 21-step tablet was 8.0. Next, after standing at room temperature for 1 hour, the PET film of the laminate was peeled off, spray development was performed under the same developer and development conditions as in the photosensitivity evaluation, and heated (dried) at 80 ° C. for 10 minutes. . Then, the ultraviolet irradiation with respect to the photosensitive layer was performed with the energy amount of 1 J / cm < ² > using the ultraviolet irradiation apparatus by an Oak Manufacturing Co., Ltd .. Further, the photosensitive layer was heat-treated at 160 ° C. for 60 minutes to obtain an evaluation package substrate on which a solder resist having a 2 mm square opening was formed.

次いで、前記評価用パッケージ基板にロジン系フラックス（商品名：ＭＨ−８２０Ｖ、タムラ化研株式会社製）を塗布した後、２６０℃のはんだ浴中に３０秒間浸漬してはんだ処理を行った。   Next, rosin-based flux (trade name: MH-820V, manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd.) was applied to the evaluation package substrate, and then immersed in a solder bath at 260 ° C. for 30 seconds for soldering.

このようにしてはんだめっきを施された評価用パッケージ基板上のソルダーレジストのクラック発生状況並びに基板からのソルダーレジストの浮き程度及び剥離程度を目視により観察し、次の基準で評価した。すなわち、ソルダーレジストのクラックの発生が認められず、ソルダーレジストの浮き及び剥離も認められないものは「Ａ」とし、それらのいずれかが認められるものは「Ｂ」とした。結果を表２に示した。   In this way, the crack generation state of the solder resist on the evaluation package substrate subjected to the solder plating and the degree of lifting and peeling of the solder resist from the substrate were visually observed and evaluated according to the following criteria. That is, “A” was given when no cracking of the solder resist was observed and no solder resist was lifted or peeled off, and “B” was given when any of them was observed. The results are shown in Table 2.

［耐熱衝撃性の評価］
はんだ耐熱性の評価に用いたはんだめっきを施された評価用パッケージ基板を、−５５℃の大気中に１５分間晒した後、１８０℃／分の昇温速度で昇温し、次いで１２５℃の大気中に１５分間晒した後、１８０℃／分の降温速度で降温する熱サイクルを１５００回繰り返した。このような環境下に晒した後の評価用パッケージ基板のソルダーレジストのクラック及び剥離程度を１００倍の金属顕微鏡により観察し、次の基準で評価した。すなわち、ソルダーレジストのクラック及び剥離を確認できなかったものは「Ａ」とし、それらのいずれかを確認できたものは「Ｂ」とした。結果を表２に示した。 [Evaluation of thermal shock resistance]
After the evaluation package substrate subjected to solder plating used for the evaluation of solder heat resistance is exposed to the atmosphere of −55 ° C. for 15 minutes, the temperature is increased at a temperature increase rate of 180 ° C./min, and then the temperature of 125 ° C. After being exposed to the atmosphere for 15 minutes, a heat cycle in which the temperature was lowered at a rate of temperature reduction of 180 ° C./min was repeated 1500 times. The crack and peeling degree of the solder resist on the evaluation package substrate after being exposed to such an environment were observed with a 100-fold metal microscope and evaluated according to the following criteria. That is, “A” indicates that the solder resist could not be cracked and peeled, and “B” indicates that any of them could be confirmed. The results are shown in Table 2.

［耐電食性の評価］
１２μｍ厚の銅箔をガラスエポキシ基材に積層したプリント配線板用基材（商品名：Ｅ−６７９、日立化成工業株式会社製）の銅箔にエッチングを施して、ライン幅／スペース幅が５０μｍ／５０μｍであり、互いのラインが接触しておらず、互いに対向した同一面上の櫛形電極を得た。この基板の櫛形電極上に連続式真空ラミネータ（商品名：ＨＬＭ−Ｖ５７０、日立化成工業株式会社製）を用いて、ヒートシュー温度１００℃、ラミネート速度０．５ｍ／分、気圧４ｋＰａ以下、圧着圧力０．３ＭＰａの条件の下、上記永久レジスト用感光性フィルムを、その感光層と櫛形電極とが密着するようにポリエチレンフィルムを剥離しつつ積層し、さらに上述と同様の条件で耐電食性評価用積層体を得た。 [Evaluation of electric corrosion resistance]
Etching is performed on the copper foil of a printed wiring board base material (trade name: E-679, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) in which a 12 μm thick copper foil is laminated on a glass epoxy base material, and the line width / space width is 50 μm. A comb-shaped electrode on the same surface opposed to each other was obtained without being in contact with each other. Using a continuous vacuum laminator (trade name: HLM-V570, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) on the comb-shaped electrode of this substrate, a heat shoe temperature of 100 ° C., a laminating speed of 0.5 m / min, an atmospheric pressure of 4 kPa or less, a pressure of pressure bonding Under the condition of 0.3 MPa, the photosensitive film for permanent resist is laminated while peeling the polyethylene film so that the photosensitive layer and the comb-shaped electrode are in close contact with each other. Got the body.

得られた耐電食性評価用積層体のＰＥＴフィルム上に、ネガとしてストーファー２１段ステップタブレットを有するフォトツールを密着させ、株式会社オーク製作所製ＨＭＷ−２０１ＧＸ型露光機を使用して、前記ストーファー２１段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が８．０となるエネルギー量で露光を行った。続いて、前記耐電食性評価用積層体を常温で１時間静置し、ＰＥＴフィルムを剥離した後、３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液を６０秒間スプレーして現像を行い、さらに８０℃で１０分間加熱（乾燥）した。続いて、株式会社オーク製作所製紫外線照射装置を使用して１Ｊ／ｃｍ^２のエネルギー量で感光層に対する紫外線照射を行い、さらに１６０℃で６０分間加熱処理を行うことにより、ソルダーレジストを形成した。 A phototool having a 21-step tablet as a negative is placed on the PET film of the obtained laminate for evaluation of electric corrosion resistance, and the stoker is used with an HMW-201GX type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. The exposure was performed with an energy amount such that the number of steps remaining after development of the 21-step tablet was 8.0. Subsequently, the laminate for evaluating electric corrosion resistance was allowed to stand at room temperature for 1 hour, the PET film was peeled off, developed by spraying with a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. for 60 seconds, and further at 80 ° C. for 10 hours. Heated (dried) for minutes. Subsequently, using a UV irradiation device manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., the photosensitive layer was irradiated with ultraviolet rays with an energy amount of 1 J / cm ² and further subjected to heat treatment at 160 ° C. for 60 minutes to form a solder resist.

加熱後の耐電食性評価用積層体の櫛形電極間に電圧が印加されるように、ポリテトラフルオロエチレン製のシールド線をＳｎ／Ｐｂはんだによりそれらの櫛形電極に接続した後、評価用積層体に５Ｖの電圧を印可した状態で、前記評価用積層体を１３０℃、８５％ＲＨの超加速高温高湿寿命試験（ＨＡＳＴ）槽内に２００時間静置した。その後の評価用積層体のソルダーレジストのマイグレーションの発生程度を１００倍の金属顕微鏡により観察し、次の基準で評価した。すなわち、ソルダーレジストのマイグレーションの発生を確認できなかったものは「Ａ」とし、確認できたものは「Ｂ」とした。結果を表２に示した。   After connecting the polytetrafluoroethylene shield wire to the comb electrodes with Sn / Pb solder so that a voltage is applied between the comb electrodes of the laminate for evaluation of electric corrosion resistance after heating, With the voltage of 5 V applied, the evaluation laminate was left in a super accelerated high temperature and high humidity test (HAST) bath at 130 ° C. and 85% RH for 200 hours. The degree of migration of the solder resist in the subsequent evaluation laminate was observed with a 100-fold metal microscope and evaluated according to the following criteria. That is, “A” indicates that the solder resist migration could not be confirmed, and “B” indicates that it was not confirmed. The results are shown in Table 2.

［貯蔵安定性の評価］
上述したように実施例１〜５及び比較例１〜４の感光性樹脂組成物を用いて得られた永久レジスト用感光性フィルムを大気中、５℃で１ヶ月静置した。次いで、静置後の永久レジスト用感光性フィルムを用いて光感度評価の場合と同様にして評価用積層体を得た。そして、はんだ耐熱性評価におけるものと同様にして、２ｍｍ角の矩形開口部を有するソルダーレジストを形成した評価用基板を得た。評価用基板に形成されたソルダーレジストのパターンを実体顕微鏡で観察し、未露光部に樹脂の残存が認められないものを「Ａ」、樹脂の残存が認められるものを「Ｂ」とした。結果を表２に示した。 [Evaluation of storage stability]
As described above, the photosensitive film for permanent resist obtained using the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 4 was allowed to stand at 5 ° C. for 1 month in the air. Subsequently, the evaluation laminated body was obtained like the case of light sensitivity evaluation using the photosensitive film for permanent resists after stationary. And the board | substrate for evaluation which formed the soldering resist which has a 2 mm square rectangular opening part similarly to the thing in the solder heat resistance evaluation was obtained. The pattern of the solder resist formed on the evaluation substrate was observed with a stereomicroscope, and “A” indicates that no resin remains in the unexposed area, and “B” indicates that resin remains. The results are shown in Table 2.

［ガラス転移温度の評価］
上述したように実施例１〜５及び比較例１〜４の感光性樹脂組成物を用いて得られた永久レジスト用感光性フィルムを、上記と同様の条件で露光、加熱して感光層を硬化した硬化膜を得た。前記硬化膜のガラス転移温度をＴＭＡ（セイコーインスツルメンツ株式会社製ＴＭＡ−１型）を用い引張りモード、昇温速度５℃／分、荷重５ｇで測定した。結果を表２に示した。 [Evaluation of glass transition temperature]
As described above, the photosensitive film for permanent resist obtained using the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 4 is exposed and heated under the same conditions as described above to cure the photosensitive layer. A cured film was obtained. The glass transition temperature of the cured film was measured using TMA (TMA-1 type manufactured by Seiko Instruments Inc.) in a tensile mode, a temperature rising rate of 5 ° C./min, and a load of 5 g. The results are shown in Table 2.

［硬化膜の物性評価］
上述したように実施例１〜５及び比較例１〜４の感光性樹脂組成物を用いて得られた永久レジスト用感光性フィルムを、上記と同様の条件で露光、加熱して感光層を硬化した硬化膜を得た。前記硬化膜の１％熱質量減少温度は、熱天秤（セイコーインスツルメンツ株式会社製ＴＧ−ＤＴＡ３００）で空気雰囲気中昇温速度１０℃／分で質量が１％減少した温度を測定した。また、引張強度及び伸び率は膜厚２０μｍ、幅１０ｍｍ、チャック間長２０ｍｍのサンプルをテンシロン引張り試験機（株式会社オリエンテック製ＵＣＴ−５Ｔ型）で試験温度２５℃、引張り速度５ｍｍ／分の条件で測定した。結果を表２に示した。 [Evaluation of physical properties of cured film]
As described above, the photosensitive film for permanent resist obtained using the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 4 is exposed and heated under the same conditions as described above to cure the photosensitive layer. A cured film was obtained. The 1% thermal mass reduction temperature of the cured film was measured by a thermobalance (TG-DTA300 manufactured by Seiko Instruments Inc.) at which the mass was reduced by 1% at a heating rate of 10 ° C./min in an air atmosphere. In addition, the tensile strength and elongation are as follows: a sample having a film thickness of 20 μm, a width of 10 mm, and a length between chucks of 20 mm using a Tensilon tensile tester (UCT-5T type manufactured by Orientec Co., Ltd.) at a test temperature of 25 ° C. and a tensile speed of 5 mm / min. Measured with The results are shown in Table 2.

１…永久レジスト用感光性フィルム、２…プリント配線板、３，４…プリント配線板用基材、５…フォトマスク、１１…支持体層、１２…感光層、１３…保護フィルム層、２１…回路パターンを有しない導体層、２２…絶縁基板、２３…回路パターンを有する導体層、２６…開口部、２４１…ソルダーレジスト、１０…シリコンウェハ（基板）、２０…電極、３０…層間絶縁膜、４０…再配線、５０…ポスト部、６０…封止樹脂、１００…半導体パッケージ。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Photosensitive film for permanent resists, 2 ... Printed wiring board, 3, 4 ... Base material for printed wiring boards, 5 ... Photomask, 11 ... Support layer, 12 ... Photosensitive layer, 13 ... Protective film layer, 21 ... Conductor layer having no circuit pattern, 22 ... insulating substrate, 23 ... conductor layer having circuit pattern, 26 ... opening, 241 ... solder resist, 10 ... silicon wafer (substrate), 20 ... electrode, 30 ... interlayer insulating film, 40: rewiring, 50: post portion, 60: sealing resin, 100: semiconductor package.

Claims (9)

（Ａ）末端又は側鎖にマレイミド構造又はマレイミド前駆体構造を有するポリマー、
（Ｂ）光重合性化合物、
（Ｃ）光重合開始剤、
（Ｄ）アリル基を１分子中に２つ以上有するアリル化合物 及び
（Ｅ）マレイミド構造を１分子中に２つ以上有するマレイミド化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。 (A) a polymer having a maleimide structure or a maleimide precursor structure at the terminal or side chain;
(B) a photopolymerizable compound,
(C) a photopolymerization initiator,
(D) A photosensitive resin composition comprising an allyl compound having two or more allyl groups in one molecule and (E) a maleimide compound having two or more maleimide structures in one molecule . （Ａ）成分が、末端がアミン構造のポリイミド前駆体に無水マレイン酸を付加したポリマーであり、その重量平均分子量が１万〜２０万である、請求項１記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the component (A) is a polymer obtained by adding maleic anhydride to a polyimide precursor having an amine structure at a terminal and has a weight average molecular weight of 10,000 to 200,000. （Ｂ）成分及び／又は（Ｄ）成分が、イソシアヌレート環を有する化合物を含む、請求項１又は２記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 1 or 2 in which (B) component and / or (D) component contain the compound which has an isocyanurate ring. 支持体層と、請求項１〜３のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物から形成された感光層とを備える、永久レジスト用感光性フィルム。   The photosensitive film for permanent resists provided with a support body layer and the photosensitive layer formed from the photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-3. 絶縁基板と前記絶縁基板上に形成された回路パターンを有する導体層とを備える積層基板の前記絶縁基板上に、前記導体層を覆うように請求項１〜３のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物を用いて感光層を積層し、前記感光層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成し、次いで、前記感光層の前記露光部以外の部分を除去することを特徴とする、レジストパターンの形成方法。   The photosensitive property as described in any one of Claims 1-3 so that the said conductor layer may be covered on the said insulated substrate of a laminated substrate provided with the insulated substrate and the conductor layer which has a circuit pattern formed on the said insulated substrate. A photosensitive layer is laminated using a resin composition, an actinic ray is irradiated to a predetermined portion of the photosensitive layer to form an exposed portion, and then a portion other than the exposed portion of the photosensitive layer is removed. A method for forming a resist pattern. 絶縁基板と、前記絶縁基板上に形成された回路パターンを有する導体層と、前記導体層を覆うように請求項１〜３のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物を用いて形成された永久レジスト層と、を備えるプリント配線板。   It formed using the photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-3 so that the insulating substrate, the conductor layer which has the circuit pattern formed on the said insulating substrate, and the said conductor layer may be covered. A printed wiring board comprising a permanent resist layer. 絶縁基板と、前記絶縁基板上に形成された回路パターンを有する導体層と、前記導体層を覆うように形成された永久レジスト層と、を備えるプリント配線板の製造方法であって、前記絶縁基板上に、前記導体層を覆うように請求項１〜３のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物を用いて感光層を積層し、前記感光層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成し、次いで、前記露光部以外の部分を除去することを特徴とする、プリント配線板の製造方法。   A method of manufacturing a printed wiring board comprising: an insulating substrate; a conductor layer having a circuit pattern formed on the insulating substrate; and a permanent resist layer formed so as to cover the conductor layer, the insulating substrate A photosensitive layer is laminated using the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3 so as to cover the conductor layer, and exposure is performed by irradiating a predetermined portion of the photosensitive layer with actinic rays. Forming a portion and then removing portions other than the exposed portion. 請求項１〜３のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物の硬化物からなる、表面保護膜。   The surface protective film which consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-3. 請求項１〜３のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物の硬化物からなる、層間絶縁膜。   The interlayer insulation film which consists of a hardened | cured material of the photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-3.

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