JP5630253B2 - 静圧気体軸受直線案内装置 - Google Patents
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Description
図1に示すように、本実施形態の静圧気体軸受直線案内装置は、一方向に沿って連続して延出し、かつ所定部位に固定可能なガイドレール2と、ガイドレール2に沿って矢印S方向に移動可能な可動体4とを有している。
4 可動体
4a 第1の軸受パッド
4b 第2の軸受パッド
6c 第1のガイド面
6b 第2のガイド面
6g 凹部
6S,6T レール構造体
8 気体噴出部
10 磁石部
Claims (1)
- 固定用水平面に固定されるガイドレールと、
前記ガイドレールに沿って水平方向に移動可能な可動体とを有し、
前記ガイドレールには、可動体の移動方向に沿って連続して延出した第1のガイド面と、
前記第1のガイド面に直交して可動体の移動方向に沿って連続して延出した第2のガイド面と、
前記第1のガイド面及び前記第2のガイド面に沿ってそれぞれ可動体の移動方向に連続して延出した磁性材とが設けられており、
前記可動体は、前記第1のガイド面に対向配置される第1の軸受パッドと、
前記第2のガイド面に対向配置される第2の軸受パッドとを備え、
前記第1の軸受パッド及び前記第2の軸受パッドには、それぞれ、前記ガイドレールに向けて加圧された気体を噴射する気体噴出部と、
前記磁性材に対向配置された磁石部とが設けられており、
前記気体噴出部から前記可動体と前記ガイドレールとの間に加圧された気体を噴射して導入すると共に、前記磁石部と前記磁性材とが互いに吸引し合って前記可動体と前記ガイドレールとの間に磁気吸引力を発生させることにより、前記可動体は、前記ガイドレールに対して所定量浮上しつつ、かつ非接触で支持された状態で、前記ガイドレールに沿って移動可能となる静圧気体軸受直線案内装置であって、
前記ガイドレールは、一対のレール構造体を相互に組みあわせて構成されており、
前記それぞれのレール構造体は、セラミックス材で形成され、前記固定用水平面から鉛直方向に立ち上がり、かつ可動体の移動方向に沿って連続して延出した柱部と、
前記柱部の鉛直方向上下端から連続して水平方向に対向して延出するとともに、可動体の移動方向に沿って連続して延出した一対のフランジ部と、
前記一対のフランジ部と柱部とで囲まれた可動体の移動方向で連続した長尺の領域に形成される凹部とで構成されており、
前記一対のレール構造体における、一方のレール構造体の前記フランジ部先端面を、他方のレール構造体の柱部に当接させて一体に結合させ、
一体に結合させた後の一方のレール構造体の前記フランジ部を含む上側面と、他方のレール構造体の前記フランジ部を含む上側面が前記第1のガイド面を構成し、前記一方のレール構造体の柱部が前記第2のガイド面を構成し、
前記一方のレール構造体の上側面と前記他方のレール構造体の上側面の少なくともいずれか一方に、可動体の移動方向で連続した長尺の凹所を形成するとともに、この凹所に前記磁性材が組み込まれ、
前記一方のレール構造体の柱部において、可動体の移動方向で連続した長尺の凹所を形成するとともに、この凹所に前記磁性材が組み込まれていることを特徴とする静圧気体軸受直線案内装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010279265A JP5630253B2 (ja) | 2010-12-15 | 2010-12-15 | 静圧気体軸受直線案内装置 |
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JP2010279265A JP5630253B2 (ja) | 2010-12-15 | 2010-12-15 | 静圧気体軸受直線案内装置 |
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JP2012127415A JP2012127415A (ja) | 2012-07-05 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016160945A (ja) * | 2015-02-26 | 2016-09-05 | 日本精工株式会社 | 静圧気体軸受直線案内装置、テーブル装置、測定装置、半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び工作機械 |
Family Cites Families (2)
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JP4215899B2 (ja) * | 1999-08-05 | 2009-01-28 | 日本精工株式会社 | 静圧直線案内装置 |
JP5093056B2 (ja) * | 2008-10-31 | 2012-12-05 | 日本精工株式会社 | 静圧気体軸受直線案内装置 |
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JP2012127415A (ja) | 2012-07-05 |
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