JP5628615B2 - 半導体発光装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体発光装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5628615B2 JP5628615B2 JP2010215194A JP2010215194A JP5628615B2 JP 5628615 B2 JP5628615 B2 JP 5628615B2 JP 2010215194 A JP2010215194 A JP 2010215194A JP 2010215194 A JP2010215194 A JP 2010215194A JP 5628615 B2 JP5628615 B2 JP 5628615B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent electrode
- semiconductor layer
- layer
- emitting device
- transparent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 126
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 30
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 15
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 15
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 11
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 9
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 8
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 5
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 description 21
- 230000008569 process Effects 0.000 description 14
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 6
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 5
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 5
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 3
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001994 activation Methods 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010021143 Hypoxia Diseases 0.000 description 1
- 229910019080 Mg-H Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- KYKLWYKWCAYAJY-UHFFFAOYSA-N oxotin;zinc Chemical compound [Zn].[Sn]=O KYKLWYKWCAYAJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
- H01L33/40—Materials therefor
- H01L33/42—Transparent materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0016—Processes relating to electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/14—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a carrier transport control structure, e.g. highly-doped semiconductor layer or current-blocking structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
- H01L33/38—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
はじめに、成長用基板10を用意する。本実施例では、有機金属気相成長法(MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition)によりGaN系窒化物半導体層を形成することができるC面サファイア基板を成長用基板として用いた。
ウエハをMOCVD装置から取り出し、p型コンタクト層25の活性化を行った。成長過程において、p型コンタクト層25の層内にはキャリアガスの原料である水素が混入しており、Mg−H結合が形成されている。このような状態では、ドープされたMgはドーパントとしての機能を果たすことができず、p型コンタクト層25は高抵抗化している。この為、p型コンタクト層25内に混入している水素を脱離させる活性化工程が必要となる。具体的には、400℃以上の不活性ガス雰囲気中でウエハの熱処理を行ってp型コンタクト層25を活性化させた。
活性化されたp型コンタクト層25の表面に第1の透明電極31を形成した。基板温度を約200℃とし、RFスパッタ法によりp型コンタクト層25の表面に厚さ約110nmのITO膜を形成した。次に、ITO膜上に所定の開口パターンを有するレジストマスクを形成し、レジストマスクを介してITO膜をウェットエッチングしてITO膜にパターニングを施した。尚、ITO膜の成膜時の基板温度は150℃以上300℃以下の範囲に設定することができる。ITOは基板温度150℃以上で結晶化が促進される。基板温度が低く結晶化が促進されない場合、ITOの光透過率は著しく低下するため好ましくない。一方、基板温度が300℃以上となると、結晶化が促進されITO膜をパターニングするためのエッチング処理が困難となる。また、この場合、ITO膜中の酸素量が増加して酸素欠損が減少することによりキャリア濃度が減少し、シート抵抗が増加するため好ましくない。
p型コンタクト層25の表面に第1の透明電極31に電気的に接続されるように第2の透明電極32を形成した。基板温度を約200℃とし、RFスパッタ法により第1の透明電極31が形成されたp型コンタクト層25の表面に厚さ約110nmのITO膜を形成した。先の工程において形成された第1の透明電極31の表面をも覆うようにITO膜を形成した。尚、ITO膜の成膜時の基板温度は150℃以上300℃以下の範囲に設定することができる。次に、ITO膜上に所定の開口パターンを有するレジストマスクを形成し、レジストマスクを介してITO膜をウェットエッチングしてITO膜にパターニングを施した。かかるエッチングにより第1の透明電極31の表面を露出させた。第2の透明電極32の端部が第1の透明電極31と重なるようにパターニングを施した。尚、第1の透明電極31は、先の酸素雰囲気中での熱処理により結晶化が促進されエッチング速度が著しく遅い為、本エッチング工程において除去されることはない。第2の透明電極32を構成するITO膜に対しては、成膜後の熱処理は行わない。すなわち、第2の透明電極32についてはシンタリング処理は実施されず、ITO膜の成膜直後の界面状態が維持される。従って、p型コンタクト層25に対する接触抵抗は、第1の透明電極31よりも高くなる。以上の工程を経てp型コンタクト25上に第2の透明電極32が形成される(図2(c))。
窒化物半導体層をp型コンタクト層25の表面からエッチンングしてn型コンタクト層22を部分的に露出させた。第1および第2の透明電極の形成部を含むp型コンタクト層25の所定領域を覆うレジストマスクを形成した。次にウエハを反応性イオンエッチング(RIE:reactive ion etching)装置に投入し、n型コンタクト層22が露出するまでp型コンタクト層25の表面から窒化物半導体層をエッチングした(図3(a))。
露出したn型コンタクト層22の表面にn側パッド電極50を形成した。n型コンタクト層50の表面に、n側パッド電極形成部に開口部を有するレジストマスクを形成した後、EB蒸着法にてTi(1nA)およびAl(1μm)をこの順序で堆積した。その後、レジストマスクをリフトオフすることによりn側パッド電極50のパターニングを行った。
第2の透明電極32の表面にp側パッド電極40を形成した。第2の透明電極32の表面に、p側パッド電極形成部に開口部を有するレジストマスクを形成した後、EB蒸着法にてNi(25nA)およびAu(500nm)をこの順序で堆積した。その後、レジストマスクをリフトオフすることによりp側パッド電極40のパターニングを行った。p側パッド電極40は、第2の透明電極32の表面の一部を覆い、且つ第1の透明電極31には接触しないように形成された。尚、Ni層とAu層との間に高い反射率を有するAg、Pt、Al又はこれらのいずれかを含む合金層を挿入してもよい。(図3(b))。
21 バッファ層
22 n型コンタクト層
23 活性層
24 p型クラッド層
25 p型コンタクト層
31 第1の透明電極
32 第2の透明電極
40 p側パッド電極
50 n側パッド電極
Claims (8)
- 成長用基板の表面にn型半導体層、活性層およびp型半導体層を形成する工程と、
前記p型半導体層の表面にスパッタ法により金属酸化物透明導電膜を成膜する工程と、
前記金属酸化物透明導電膜をウエットエッチングによりパターン形成する工程と、
酸素を含む雰囲気中での熱処理によりパターン形成された前記金属酸化物透明導電膜をシンタリングして第1の透明電極を形成する工程と、
前記第1の透明電極を形成した後に、前記p型半導体層の表面に前記第1の透明電極の表面をも覆うようにスパッタ法により金属酸化物透明導電膜を成膜し、熱処理によるシンタリングをせずにウエットエッチングにより端部が前記第1の透明電極と重なるようにパターン形成して第2の透明電極を形成する工程と、
前記第2の透明電極の表面に金属からなるp側パッド電極を形成する工程と、を含み、
前記第1の透明電極の結晶性は、前記第2の透明電極の結晶性より高く、
前記第2の透明電極の前記p型半導体層に対する接触抵抗は、前記第1の透明電極の前記p型半導体層に対する接触抵抗より高く、
前記第2の透明電極のシート抵抗は、前記第1の透明電極のシート抵抗よりも低いことを特徴とする半導体発光装置の製造方法。 - 前記第2の透明電極を形成する工程は、前記第1の透明電極の表面全体を覆うようにパターン形成して第2の透明電極を形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記第1および第2の透明電極を構成する金属酸化物透明導電膜は、スズドープ酸化インジウム(ITO)からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記熱処理は、500℃以上700℃以下で行われること特徴とする請求項3に記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記金属酸化物透明導電膜を成膜する工程は、基板温度150度以上300度以下の範囲で成膜すること特徴とする請求項3に記載の半導体発光装置の製造方法。
- n型半導体層と、p型半導体層と、前記n型半導体層と前記p型半導体層の間に設けられた活性層と、を含む半導体発光装置であって、
前記p型半導体層の表面に設けられた金属酸化物透明導電体からなる第1の透明電極と、
前記p型半導体層の表面に設けられ、前記第1の透明電極に電気的に接続された金属酸化物透明導電体からなる第2の透明電極と、
前記第2の透明電極の表面に設けられた金属からなるp側パッド電極と、を含み、
前記第1の透明電極の結晶性は、前記第2の透明電極の結晶性よりも高く、
前記第2の透明電極は、前記第1の透明電極よりも前記p型半導体層に対する接触抵抗が高く、前記第1の透明電極よりもシート抵抗が低く、前記第1の透明電極の表面全体を覆うように設けられていることを特徴とする半導体発光装置。 - 前記第2の透明電極のバンドギャップは、前記第1の透明電極のバンドギャップよりも大であることを特徴とする請求項6に記載の半導体発光装置。
- 前記第1および第2の透明電極は、スズドープ酸化インジウム(ITO)からなることを特徴とする請求項6又は7に記載の半導体発光装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010215194A JP5628615B2 (ja) | 2010-09-27 | 2010-09-27 | 半導体発光装置およびその製造方法 |
US13/246,415 US20120061642A1 (en) | 2010-09-13 | 2011-09-27 | Semiconductor light emitting device and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010215194A JP5628615B2 (ja) | 2010-09-27 | 2010-09-27 | 半導体発光装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012069860A JP2012069860A (ja) | 2012-04-05 |
JP5628615B2 true JP5628615B2 (ja) | 2014-11-19 |
Family
ID=45805754
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010215194A Active JP5628615B2 (ja) | 2010-09-13 | 2010-09-27 | 半導体発光装置およびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120061642A1 (ja) |
JP (1) | JP5628615B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014053458A (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-20 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子および窒化物半導体発光素子の製造方法 |
JP5949368B2 (ja) * | 2012-09-13 | 2016-07-06 | 豊田合成株式会社 | 半導体発光素子とその製造方法 |
US9666779B2 (en) * | 2013-11-25 | 2017-05-30 | Yangzhou Zhongke Semiconductor Lighting Co., Ltd. | Semiconductor light emitting diode chip with current extension layer and graphical current extension layers |
JP6485019B2 (ja) * | 2013-12-19 | 2019-03-20 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体発光素子 |
JP2015149389A (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-20 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体発光素子およびその製造方法 |
US9647172B2 (en) * | 2014-02-07 | 2017-05-09 | Epistar Corporation | Light emitting device |
US9385001B1 (en) * | 2015-03-17 | 2016-07-05 | Toshiba Corporation | Self-aligned ITO gate electrode for GaN HEMT device |
US10804435B2 (en) * | 2016-08-25 | 2020-10-13 | Epistar Corporation | Light-emitting device |
CN107731981B (zh) * | 2017-09-13 | 2019-05-10 | 厦门市三安光电科技有限公司 | 一种氮化物半导体发光元件 |
CN108091746B (zh) * | 2017-11-13 | 2019-06-25 | 厦门市三安光电科技有限公司 | 一种半导体元件 |
JP2020126995A (ja) * | 2019-02-06 | 2020-08-20 | シャープ株式会社 | 半導体レーザ素子及びその製造方法 |
US11764333B2 (en) * | 2020-09-29 | 2023-09-19 | Bolb Inc. | P-ohmic contact structure and light emitting device using the same |
CN113410354B (zh) * | 2021-04-29 | 2023-03-24 | 华灿光电(浙江)有限公司 | 提高晶体质量的发光二极管外延片及其制备方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6693352B1 (en) * | 2000-06-05 | 2004-02-17 | Emitronix Inc. | Contact structure for group III-V semiconductor devices and method of producing the same |
TWM265766U (en) * | 2004-09-16 | 2005-05-21 | Super Nova Optoelectronics Cor | Structure of GaN light emitting device |
KR100878433B1 (ko) * | 2005-05-18 | 2009-01-13 | 삼성전기주식회사 | 발광소자의 오믹컨택층 제조방법 및 이를 이용한발광소자의 제조방법 |
JP5232970B2 (ja) * | 2006-04-13 | 2013-07-10 | 豊田合成株式会社 | 半導体発光素子の製造方法及び半導体発光素子とそれを備えたランプ |
JP2008227109A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Mitsubishi Chemicals Corp | GaN系LED素子および発光装置 |
WO2008129859A1 (ja) * | 2007-04-13 | 2008-10-30 | Panasonic Corporation | 発光素子及び表示装置 |
JP2009054889A (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Yamaguchi Univ | Ito電極及びその作製方法、並びに窒化物半導体発光素子 |
JP2009094108A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-30 | Mitsubishi Chemicals Corp | GaN系LED素子の製造方法 |
JP2009260237A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-11-05 | Showa Denko Kk | 化合物半導体発光素子及びその製造方法、化合物半導体発光素子用導電型透光性電極、ランプ、電子機器並びに機械装置 |
JP2009231549A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Toyoda Gosei Co Ltd | 窒化物系半導体発光素子 |
JP2010003804A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光ダイオード素子およびその製造方法 |
JP5244980B2 (ja) * | 2009-09-16 | 2013-07-24 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子 |
-
2010
- 2010-09-27 JP JP2010215194A patent/JP5628615B2/ja active Active
-
2011
- 2011-09-27 US US13/246,415 patent/US20120061642A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012069860A (ja) | 2012-04-05 |
US20120061642A1 (en) | 2012-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5628615B2 (ja) | 半導体発光装置およびその製造方法 | |
JP5857786B2 (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
JP4091261B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
KR100975659B1 (ko) | 발광 소자 및 그 제조 방법 | |
EP2426743B1 (en) | GaN compound semiconductor light emitting element and method of manufacturing the same | |
EP1709695B1 (en) | Gallium nitride-based iii-v group compound semiconductor device and method of manufacturing the same | |
KR100778820B1 (ko) | 금속 전극 형성 방법 및 반도체 발광 소자의 제조 방법 및질화물계 화합물 반도체 발광 소자 | |
TWI359509B (en) | Semiconductor light emitting element, process for | |
JP5526712B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
US9099627B2 (en) | Method for producing group III nitride semiconductor light-emitting device | |
TW200807756A (en) | Process for producing semiconductor light emitting element, semiconductor light emitting element, and lamp equipped with the same | |
WO2011018942A1 (ja) | 半導体発光素子、半導体発光装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光装置の製造方法、半導体発光装置を用いた照明装置および電子機器 | |
WO2006011497A1 (ja) | 発光素子及びその製造方法 | |
JP2019207925A (ja) | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 | |
JP6094819B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
US6946372B2 (en) | Method of manufacturing gallium nitride based semiconductor light emitting device | |
JP5434288B2 (ja) | 半導体発光素子、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子を備えたランプ、照明装置および電子機器 | |
TWI488333B (zh) | LED element and manufacturing method thereof | |
JP2003133590A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子及びその製造方法 | |
WO2009078574A1 (en) | Light emitting device and method of manufacturing the same | |
JP5327976B2 (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
JP2012186199A (ja) | 半導体発光装置およびその製造方法 | |
US8525210B2 (en) | Semiconductor light emitting device and method for manufacturing the same | |
WO2005060013A1 (ja) | 半導体発光素子およびその製法 | |
JP5900400B2 (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130912 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140403 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140701 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140825 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140916 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141002 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5628615 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |