JP5621451B2 - カセットアダプタ、及び着座センサ機構 - Google Patents
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Description
B:カセット受台
C:カセットカバー
D:アダプタ本体
E:アダプタプレート
K1 :第1カセット
K2 :第2カセット
S1 〜S3 :第1カセット用着座センサ
S4 ,S5 :第2カセット用着座センサ
W2 :第2ウエハ
X:第1水平方向
Y:第2水平方向
θ:カセット受台の傾斜配置角度
5:キャリアベース
12:ロック爪
13:ロック用エアシリンダのロッド
14:ロック用エアシリンダ
33:ストッパボルト
34:センサ作動ボルト
35:被ロック部材
35a:被ロック部
Claims (4)
- 直径300mmの円形の第1ウエハを収容可能な第1カセットを設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるためのキャリアベースと、当該キャリアベースに対して第1カセットが正しい位置に着座されたことを検出する複数の第1カセット用着座センサとを備えたロードポートの前記キャリアベースに装着されて、直径200mmの円形の第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置するためのカセットアダプタであって、
前記カセットアダプタは、前記キャリアベースに固定されるアダプタベースと、二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化されて、当該アダプタベースに対して水平配置された回動軸を中心にして(90°−θ)の角度で回動可能に支持されるアダプタ本体とから成り、
前記アダプタ本体は、前記回動軸心の側が低くなるように、水平面に対して角度(θ)だけ傾斜配置された状態で、前記ロードポートのカセットテーブルに対する第2カセットの設置及び取出しの双方が可能であるカセット受台と、傾斜姿勢から水平姿勢への移行により、前記カセット受台で支持されていた第2カセットを(90°−θ)だけ回動させて、前記処理装置との間で第2ウエハの搬入・搬出が可能な姿勢で、当該第2カセットを載置可能なアダプタプレートとから成り、
前記アダプタ本体のアダプタプレートの裏面には、当該アダプタ本体がカセット受台の傾斜配置位置から(90°−θ)だけ回動されて当該アダプタプレートを水平配置させるためのストッパ部材と、前記キャリアベースに設けられた複数の第1カセット用着座センサのうち特定の一つを作動させて、当該アダプタプレートが水平配置されたことを検出するセンサ作動部材とがそれぞれ取付けられ、
前記アダプタプレートの上面には、前記複数の第1カセット用着座センサのうち前記センサ作動部材により作動される特定の第1カセット用着座センサを除く残りの第1カセット用着座センサを無効にした状態で、前記アダプタプレートの上面に第2カセットがセットされて正しい位置に着座されたことを検出する複数の第2カセット用着座センサが設けられていることを特徴とするカセットアダプタの着座センサ機構。 - 前記複数の第1カセット用着座センサのうち前記センサ作動部材により作動される特定の第1カセット用着座センサは、アダプタ本体の回動軸から最も離れた位置に配置されたものであることを特徴とする請求項1に記載のカセットアダプタの着座センサ機構。
- 前記ストッパ部材は、前記アダプタ本体の回動軸から最も離れた位置に当該回動軸の軸心方向に沿って一対配置されていることを特徴とする請求項1に記載のカセットアダプタの着座センサ機構。
- 直径300mmの円形の第1ウエハを収容可能な第1カセットを設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるためのキャリアベースと、当該キャリアベースに対して第1カセットが正しい位置に着座されたことを検出する複数の第1カセット用着座センサとを備えたロードポートの前記キャリアベースに装着されて、直径200mmの円形の第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置するためのカセットアダプタであって、
請求項1ないし3のいずれかの着座センサ機構を備えていることを特徴とするカセットアダプタ。
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