JP5609921B2 - リニアモータ電機子及びリニアモータ - Google Patents

Description

本発明は、リニアモータ電機子及びリニアモータに関する。

従来より、半導体製造装置や工作機器等におけるテーブル送りにリニアモータが用いられている。リニアモータの電機子においては、電機子コイルをキャンで覆い、電機子コイルとキャンとの間に冷媒流路を設けてその流路内に冷媒を通過させ、電機子コイルを冷却するものが提案されている（例えば、特許文献１を参照）。また、冷却ジャケット内部に冷媒流路を設けたリニアモータ電機子も提案されている（例えば、特許文献２を参照）。

国際公開第２００５／１１２２３３号 国際公開第２００８／１５２８７６号

冷却ジャケット内部に冷媒流路を複数設けた場合には、その冷媒流路と冷媒流路との間に、互いを仕切る仕切り壁が配置される。すると、電機子コイルからの熱伝導が、冷媒流路部分と仕切り壁部分とで不均一となってしまう場合がある。

本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、冷却ジャケット近傍に配置された発熱体を冷却しつつ、冷却ジャケット表面における温度不均一を低減することができるリニアモータ電機子及びリニアモータを提供することを例示的課題とする。

上記の課題を解決するために、本発明の例示的側面としてのリニアモータ電機子は、可動子の移動方向に沿って配置された発熱体と、発熱体の表面近傍に配置された冷却ジャケットと、を有するリニアモータ電機子である。冷却ジャケットは、発熱体に近い側に位置する内側ジャケット、発熱体から遠い側に位置する外側ジャケット、及び、内側ジャケットと外側ジャケットとを接続する仕切り壁、によって画定される複数の冷媒流路を内部に有している。発熱体からの熱伝導を低減する伝熱低減部が、内側ジャケット及び外側ジャケットのうち少なくともいずれか一方の内部において仕切り壁に対向して配置される。

冷媒流路に対向する内側ジャケットの内部位置にも外側ジャケットの内部位置にも、伝熱低減部が非配置とされてもよい。

伝熱低減部が、空隙であってもよい。

伝熱低減部が、内側ジャケット及び外側ジャケットのうち少なくともいずれか一方の厚さ方向における略中央に配置されてもよい。

本発明の他の例示的側面としてのリニアモータ電機子は、可動子の移動方向に沿って配置された発熱体と、発熱体の表面近傍に配置された冷却ジャケットと、を有するリニアモータ電機子である。冷却ジャケットは、発熱体に近い側に位置する内側ジャケット、発熱体から遠い側に位置する外側ジャケット、及び、内側ジャケットと外側ジャケットとを接続する仕切り壁、によって画定される複数の冷媒流路を内部に有している。内側ジャケット及び外側ジャケットのうち少なくともいずれか一方は、発熱体に近い側から順に内側層、中央層、及び、外側層の少なくとも３層が積層されて構成されている。内側層及び外側層は、繊維強化樹脂、セラミックス又はステンレスで形成され、中央層は、冷媒流路の延長方向を長手方向とする短冊状の繊維強化樹脂、セラミックス又はステンレスの部材と短冊状の伝熱低減部とが長手方向と直交する方向に沿って交互に配置されて形成されている。伝熱低減部は、仕切り壁に対向配置されて発熱体からの熱伝導を低減する。

本発明の更に他の例示的側面としてのリニアモータは、上記のリニアモータ電機子と、リニアモータ電機子と磁気的空隙を介して対向配置されると共に相互に極性が異なる複数の永久磁石を交互に順次配置した界磁と、を備え、リニアモータ電機子と界磁のいずれか一方を固定子とし、他方を可動子として、リニアモータ電機子と界磁とを相対的に走行させる。

本発明の更なる目的又はその他の特徴は、以下添付図面を参照して説明される好ましい実施の形態によって明らかにされるであろう。

本発明によれば、冷却ジャケット近傍に配置された発熱体を冷却しつつ、冷却ジャケット表面における温度不均一を低減することができる。

本発明の実施の形態に係るリニアモータの斜視図である。 図１に示すリニアモータ電機子について、図１のＺ−Ｚ線における断面を矢印Ｚ方向から見たときの模式的な斜視図である。 図２に示す冷却ジャケットの一部の分解斜視図である。 図２に示すリニアモータ電機子のＩＶ−ＩＶ´線における断面の一部を示す図である。 図２から図４に示す内側ジャケットの一部の分解斜視図である。 伝熱低減部を有さない冷却ジャケットを含むリニアモータ電機子の断面の一部を示す図である。 伝熱低減部を有する冷却ジャケットを含むリニアモータ電機子の断面の一部を示す図である。 冷媒流路が膨張した状態のリニアモータ電機子の断面の一部を示す図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態に係るリニアモータ１の斜視図である。リニアモータ１は、リニアモータ電機子２と、界磁３とを有する。図１では、リニアモータ電機子２は、一部が破断した状態で示されている。リニアモータ電機子２は、複数個の電機子コイル２１を内部に有する。リニアモータ電機子２には、後述する冷媒流路２２ｄに冷媒を流すための冷媒供給口２２ｅ及び冷媒排出口２２ｆが形成されている。界磁３にはリニアモータ電機子２を挿入するための空間Ｓが形成されている。界磁３は、永久磁石３１を有する。図１には、簡単に説明するために永久磁石３１は１つしか示されていないが、界磁３は、相互に極性が異なる複数の永久磁石３１を有している。リニアモータ電機子２は、電機子コイル２１の巻線と永久磁石３１とが磁気的空隙を介して対向するように、界磁３の空間Ｓに挿入される。界磁３は可動子として機能し、固定子として機能するリニアモータ電機子２に対し矢印Ａ方向に相対移動する。

図２は、図１に示すリニアモータ電機子２について、図１のＺ−Ｚ線における断面を矢印Ｚ方向から見たときの模式的な斜視図である。図２では、リニアモータ電機子２は、一部が破断した状態で示されている。リニアモータ電機子２は、複数個の電機子コイル２１と冷却ジャケット２２とを有する。電機子コイル２１は、可動子として機能する界磁３の移動方向に沿って配置されている。電機子コイル２１は図示されていない巻線を有し、巻線には電流が流され、巻線に電流が流された場合に電機子コイル２１は発熱体となる。本実施の形態では、リニアモータ電機子２は、筒状の冷却ジャケット２２の内部に配置される結線基板２９を更に有しており、複数個の電機子コイル２１は、結線基板２９の両側に配置され、結線基板２９により電気的に接続されている。

冷却ジャケット２２は、電機子コイル２１の表面近傍に配置されている。冷却ジャケット２２は、電機子コイル２１の周囲を囲む筒状のものであって、電機子コイル２１を内部に保持するカバー（ジャケット）としての機能と、電機子コイル２１からの熱を効率的に外部へと放出する冷却機能とを有する。加えて、冷却ジャケット２２の内部は、冷却ジャケット２２内に電機子コイル２１を固定的に保持するために、エポキシ樹脂等の接着剤が充填される。図３は、図２に示す冷却ジャケット２２の一部の分解斜視図である。図４は、図２に示すリニアモータ電機子２のＩＶ−ＩＶ´線における断面の一部を示す図である。図２から図４に示す通り、冷却ジャケット２２は、電機子コイル２１に近い側に位置する層状の内側ジャケット２２ａと、電機子コイル２１から遠い側に位置する層状の外側ジャケット２２ｂと、内側ジャケット２２ａと外側ジャケット２２ｂとを接続する仕切り壁２２ｃとを有する。冷却ジャケット２２は、内側ジャケット２２ａと、外側ジャケット２２ｂと、仕切り壁２２ｃとによって画定される複数の冷媒流路２２ｄを内部に有する。

図５は、図２から図４に示す内側ジャケット２２ａの一部の分解斜視図である。図２、図４及び図５に示す通り、内側ジャケット２２ａは、電機子コイル２１に近い側から順に内側層２３と、中央層２４と、外側層２５とを有する。内側層２３及び外側層２５は、繊維強化樹脂によって形成されている。例えば、内側層２３及び外側層２５は、炭素繊維等の繊維多数本をエポキシ樹脂等の接着剤を用いて層状に固められた部材である。内側層２３及び外側層２５の厚さは、０．５ｍｍ程度である。

中央層２４は、短冊状の繊維強化樹脂の部材２４ａ複数個と、短冊状の伝熱低減部２４ｂ複数個とを有する。繊維強化樹脂の部材２４ａの厚さと伝熱低減部２４ｂの厚さとは実質的に同じであり、厚さは例えば０．３ｍｍである。繊維強化樹脂の部材２４ａの幅は、伝熱低減部２４ｂの幅よりやや狭い。冷媒流路２２ｄの延長方向を長手方向Ｌとして、短冊状の繊維強化樹脂の部材２４ａと短冊状の伝熱低減部２４ｂとは、長手方向Ｌと直交する方向Ｐに沿って交互に配置される。短冊状の繊維強化樹脂の部材２４ａは、炭素繊維等の繊維多数本をエポキシ樹脂等の接着剤を用いて短冊状に固められた部材であって、内側層２３及び外側層２５よりも小さい。

伝熱低減部２４ｂは、発熱体となった場合の電機子コイル２１からの熱の伝導を低減する部材である。伝熱低減部２４ｂは、内側層２３、外側層２５及び繊維強化樹脂の部材２４ａより熱伝導率が低い材料によって形成されている。例えば、伝熱低減部２４ｂは、繊維強化樹脂より密度が低いウレタン樹脂によって形成されている。伝熱低減部２４ｂは、短冊状の繊維強化樹脂の部材２４ａと同様に内側層２３及び外側層２５よりも小さい。図４に示す通り、伝熱低減部２４ｂは仕切り壁２２ｃに対向して配置され、内側ジャケット２２ａにおいて、厚さ方向Ｄにおける略中央に配置される。

内側ジャケット２２ａの製造方法を説明する。図５に示す通り、内側層２３の一方の面の上に短冊状の繊維強化樹脂の部材２４ａと短冊状の伝熱低減部２４ｂとを方向Ｐに沿って交互に配置する。すなわち、短冊状の繊維強化樹脂の部材２４ａと短冊状の伝熱低減部２４ｂとを方向Ｐに沿って縞状に配置する。繊維強化樹脂の部材２４ａ及び伝熱低減部２４ｂの上に外側層２５を配置する。その際、内側ジャケット２２ａの強度を高めるために、内側層２３を構成する繊維の延長方向と、外側層２５を構成する繊維の延長方向とが直交するように、外側層２５を配置する。

そして、内側層２３、中央層２４及び外側層２５を例えば１００−１５０℃の温度で加熱する。上述の通り、内側層２３及び外側層２５のそれぞれは多数本の繊維がエポキシ樹脂等の接着剤により層状に固められた部材であり、繊維強化樹脂の部材２４ａも多数本の繊維がエポキシ樹脂等の接着剤により短冊状に固められた部材である。そのため、内側層２３、中央層２４及び外側層２５を加熱すると、接着剤が溶解する。接着剤が溶解した後に内側層２３、中央層２４及び外側層２５を冷却する。冷却により接着剤が固化し、それにより内側層２３、中央層２４及び外側層２５を接合し、内側ジャケット２２ａを製造する。

外側ジャケット２２ｂは、内側ジャケット２２ａと同じ構成を有する。すなわち、外側ジャケット２２ｂは、内側ジャケット２２ａに近い側から順に内側層２６と、中央層２７と、外側層２８とを有する。内側層２６、中央層２７及び外側層２８はそれぞれ、内側ジャケット２２ａの内側層２３、中央層２４及び外側層２５と同じものであり、内側層２６は、短冊状の繊維強化樹脂の部材２７ａ複数個と、短冊状の伝熱低減部２７ｂ複数個とを有する。繊維強化樹脂の部材２７ａは繊維強化樹脂の部材２４ａと同じものであり、伝熱低減部２７ｂは伝熱低減部２４ｂと同じものである。仕切り壁２２ｃは、炭素繊維等の繊維多数本をエポキシ樹脂等の接着剤を用いて層状に固められた部材である。仕切り壁２２ｃの厚さは０．５ｍｍ程度であり、仕切り壁２２ｃの幅は伝熱低減部２４ｂの幅よりやや狭い。

冷却ジャケット２２の製造方法を説明する。まず、複数の仕切り壁２２ｃを、内側ジャケット２２ａと外側ジャケット２２ｂとの間に配置する。その際、複数の仕切り壁２２ｃを、一定の間隔をおいて内側ジャケット２２ａと外側ジャケット２２ｂとの間に配置する。一定の間隔は、例えば隣り合う２つの伝熱低減部２４ｂの中心相互の間隔と実質的に同じである。そして、内側ジャケット２２ａ、仕切り壁２２ｃ及び外側ジャケット２２ｂを例えば１００−１５０℃の温度で加熱する。上述の通り、内側ジャケット２２ａの外側層２５、仕切り壁２２ｃ、及び外側ジャケット２２ｂの内側層２６のそれぞれは多数本の繊維がエポキシ樹脂等の接着剤により層状に固められた部材である。そのため、内側ジャケット２２ａ、仕切り壁２２ｃ及び外側ジャケット２２ｂを加熱すると、接着剤が溶解する。接着剤が溶解した後に内側ジャケット２２ａ、仕切り壁２２ｃ及び外側ジャケット２２ｂを冷却する。冷却により接着剤が固化し、それにより内側ジャケット２２ａ、仕切り壁２２ｃ及び外側ジャケット２２ｂを接合し、冷却ジャケット２２を製造する。

上述の通り、リニアモータ電機子２を構成する冷却ジャケット２２は内側ジャケット２２ａ、外側ジャケット２２ｂ及び仕切り壁２２ｃを有し、内側ジャケット２２ａ及び外側ジャケット２２ｂは内部に伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有する。伝熱低減部２４ｂ，２７ｂは、仕切り壁２２ｃに対向して配置され、冷媒流路２２ｄに対向する内側ジャケット２２ａ及び外側ジャケット２２ｂのそれぞれの内部位置には実質的に配置されない。

図６は、伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有さない冷却ジャケット２２´を含むリニアモータ電機子２´の断面の一部を示す図である。つまり、図６に示すリニアモータ電機子２´では、内側ジャケット２２ａ´も外側ジャケット２２ｂ´も伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有さない。図６における矢印Ｈは、電機子コイル２１からの熱の伝達方向を示している。冷却ジャケット２２´が伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有さない場合、冷却ジャケット２２´の外側ジャケット２２ｂ´表面において仕切り壁２２ｃと対向する部分は、電機子コイル２１からの熱が仕切り壁２２ｃを介して伝達されるので高温になる。外側ジャケット２２ｂ´表面において冷媒流路２２ｄと対向する部分は、冷媒流路２２ｄを流れる冷媒によって電機子コイル２１からの熱が伝達されにくくなるので高温にはならない。そのため、外側ジャケット２２ｂ´表面には、高温の部分と高温でない部分とが交互に発生する。外側ジャケット２２ｂ´表面の温度が不均一になると、リニアモータ電機子２´を有するリニアモータを半導体製造装置等に用いた場合、場所によって光の屈折率が異なることになるので、所望の半導体等を製造することができなくなる場合が生じる。

図７は、伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有する冷却ジャケット２２を含むリニアモータ電機子２の断面の一部を示す図である。図７における矢印Ｈは、電機子コイル２１からの熱の伝達方向を示している。冷却ジャケット２２が伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有する場合、伝熱低減部２４ｂ，２７ｂが熱の伝達を低減するので、仕切り壁２２ｃに伝達される電機子コイル２１からの熱は、冷却ジャケット２２の外側ジャケット２２ｂ表面において冷媒流路２２ｄと対向する部分に迂回しやすくなる。そのため、外側ジャケット２２ｂ表面において仕切り壁２２ｃと対向する部分は高温になりにくい。外側ジャケット２２ｂ表面において冷媒流路２２ｄと対向する部分は、冷媒流路２２ｄを流れる冷媒によって電機子コイル２１からの熱が伝達されにくくなるので高温にはならない。そのため、外側ジャケット２２ｂ表面の温度は均一に近くなる。したがって、リニアモータ電機子２を有するリニアモータ１を半導体製造装置等に用いた場合、場所によって光の屈折率がほとんど変わらないので、所望の半導体等を製造することができる。

上述した実施の形態では、図４を用いて説明した通り、伝熱低減部２４ｂは、内側ジャケット２２ａにおいて、厚さ方向Ｄにおける略中央に配置される。冷媒流路２２ｄに冷媒が流されると、冷媒の圧力が冷媒流路２２ｄの外側に作用するので冷媒流路２２ｄは膨張する。図８は、冷媒流路２２ｄが膨張した状態のリニアモータ電機子２の断面の一部を示す図である。冷媒流路２２ｄが膨張すると、伝熱低減部２４ｂには圧縮応力Ｆ１と引張応力Ｆ２とが作用する。伝熱低減部２４ｂが内側ジャケット２２ａの厚さ方向Ｄにおいて中央より電機子コイル２１側に配置された場合、圧縮応力Ｆ１が大きくなるので、伝熱低減部２４ｂは破壊される可能性が高くなる。他方、伝熱低減部２４ｂが内側ジャケット２２ａの厚さ方向Ｄにおいて中央より仕切り壁２２ｃ側に配置された場合、引張応力Ｆ２が大きくなるので、伝熱低減部２４ｂは破壊される可能性が高くなる。伝熱低減部２４ｂが内側ジャケット２２ａにおいて厚さ方向Ｄにおける略中央に配置されると、圧縮応力Ｆ１と引張応力Ｆ２とは実質的に等しくなって実質的に釣り合う。そのため、伝熱低減部２４ｂは、冷媒流路２２ｄが膨張した場合に破壊されにくくするように、内側ジャケット２２ａにおいて厚さ方向Ｄにおける略中央に配置されることが好ましい。

なお、上述した実施の形態では、内側ジャケット２２ａの内側層２３及び外側層２５は繊維強化樹脂によって形成されており、例えば炭素繊維等の繊維多数本をエポキシ樹脂等の接着剤を用いて層状に固められた部材である。上記繊維は、ガラス繊維であってもよい。また、内側層２３及び外側層２５は繊維強化樹脂以外の材料によって形成されてもよい。例えば、内側層２３及び外側層２５はセラミックス又はステンレスによって形成されてもよい。

同様に上述した実施の形態では、中央層２４における繊維強化樹脂の部材２４ａは例えば炭素繊維等の繊維多数本をエポキシ樹脂等の接着剤を用いて短冊状に固められた部材である。上記繊維は、ガラス繊維であってもよい。また、繊維強化樹脂の部材２４ａは繊維強化樹脂以外の材料によって形成されてもよい。例えば、繊維強化樹脂の部材２４ａはセラミックス又はステンレスによって形成されてもよい。要するに、伝熱低減部２４ｂの熱伝導率が、内側層２３及び外側層２５、並びに中央層２４の短冊状の繊維強化樹脂等によって形成される部材２４ａの熱伝導率より低ければ、内側層２３等の材料は限定されない。

上述した実施の形態では、内側層２３を構成する繊維の延長方向と、外側層２５を構成する繊維の延長方向とが直交するように、内側層２３及び外側層２５を配置する。しかしながら、内側層２３及び外側層２５は、内側層２３を構成する繊維の延長方向と、外側層２５を構成する繊維の延長方向とが直交するように配置されると限定されない。

上述した実施の形態では、内側ジャケット２２ａを製造する際、積層された内側層２３、中央層２４及び外側層２５を例えば１００−１５０℃の温度で加熱する。しかしながら、内側ジャケット２２ａを製造する際の加熱温度は１００−１５０℃に限定されない。同様に上述した実施の形態では、冷却ジャケット２２を製造する際、内側ジャケット２２ａ、仕切り壁２２ｃ及び外側ジャケット２２ｂを例えば１００−１５０℃の温度で加熱する。しかしながら、冷却ジャケット２２を製造する際の加熱温度は１００−１５０℃に限定されない。

上述した実施の形態では、内側層２３及び外側層２５のそれぞれの厚さは０．５ｍｍ程度であるが、内側層２３及び外側層２５のそれぞれの厚さは０．５ｍｍ程度に限定されない。また、上述した実施の形態では、繊維強化樹脂の部材２４ａの厚さと伝熱低減部２４ｂの厚さとは実質的に同じであり、繊維強化樹脂の部材２４ａの幅は伝熱低減部２４ｂの幅より狭い。しかしながら、繊維強化樹脂の部材２４ａの厚さと伝熱低減部２４ｂの厚さとは異なっていてもよいし、繊維強化樹脂の部材２４ａの幅と伝熱低減部２４ｂの幅とは同じであってもよい。繊維強化樹脂の部材２４ａと伝熱低減部２４ｂとの厚さ及び幅は限定されない。つまり、上述した実施の形態では、繊維強化樹脂の部材２４ａと伝熱低減部２４ｂとは例えば０．３ｍｍという同じ厚さであるが、繊維強化樹脂の部材２４ａと伝熱低減部２４ｂとの厚さは０．３ｍｍであると限定されない。

上述した実施の形態では、伝熱低減部２４ｂはウレタン樹脂の部材である。しかしながら、伝熱低減部２４ｂはウレタン樹脂以外の材料の部材であってもよい。例えば、伝熱低減部２４ｂは空隙であってもよいし、紙の部材であってもよい。伝熱低減部２４ｂが空隙である場合、図５に示す伝熱低減部２４ｂの部分には何も配置されない。その場合、伝熱低減部２４ｂの強度はそれがウレタン樹脂で形成されている場合よりも小さくなるので、内側層２３及び外側層２５、並びに中央層２４の短冊状の繊維強化樹脂によって形成される部材２４ａは、強度が大きいステンレスによって形成されることが好ましい。

内側層２３及び外側層２５、並びに中央層２４の短冊状の繊維強化樹脂によって形成される部材２４ａが、ステンレスによって形成されたものに置き換えられた場合、内側ジャケット２２ａを製造する際の加熱工程では、例えば１０００−１５００℃の温度で加熱する。その加熱により、内側層２３、外側層２５、及び中央層２４のステンレスによって形成される部材２４ａの相互に拡散接合を作用させ、その作用によりそれらを接合させ、内側ジャケット２２ａを製造する。なお、上述の加熱工程における加熱温度は１０００−１５００℃であると限定されない。加熱温度は、内側層２３、外側層２５、及び中央層２４の短冊状のステンレスによって形成される部材２４ａが接合する温度であればよい。

上述した実施の形態では、仕切り壁２２ｃは炭素繊維等の繊維多数本をエポキシ樹脂等の接着剤を用いて層状に固められた部材であり、仕切り壁２２ｃの厚さは０．５ｍｍ程度である。しかしながら、仕切り壁２２ｃの材料は限定されないし、仕切り壁２２ｃの厚さも限定されない。加えて、上述した実施の形態では、仕切り壁２２ｃの幅は伝熱低減部２４ｂの幅よりやや狭い。しかしながら、仕切り壁２２ｃの幅は限定されない。

上述した実施の形態では、複数の仕切り壁２２ｃを一定の間隔をおいて内側ジャケット２２ａと外側ジャケット２２ｂとの間に配置し、一定の間隔は例えば隣り合う２つの伝熱低減部２４ｂの中心相互の間隔と実質的に同じである。しかしながら、隣り合う２つの仕切り壁２２ｃの間隔は場所によって異なっていてもよい。また、隣り合う２つの仕切り壁２２ｃの間隔が場所に依存せずに同じであっても、その間隔は限定されない。いずれの場合であっても、伝熱低減部２４ｂは仕切り壁２２ｃに対向して配置される。

上述した実施の形態では、内側ジャケット２２ａと外側ジャケット２２ｂとは同じ構成を有する。しかしながら、内側ジャケット２２ａと外側ジャケット２２ｂとの一方が伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有していれば、他方は伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有していなくてもよい。その場合であっても、実施の形態のリニアモータ電機子２の冷却ジャケット２２表面における温度不均一を低減することができる。

上述した実施の形態では、界磁３は可動子として機能し、リニアモータ電機子２は固定子として機能し、界磁３はリニアモータ電機子２に対し相対的に走行する。しかしながら、リニアモータ電機子２が可動子として機能し、界磁３が固定子として機能し、リニアモータ電機子２が界磁３に対し相対移動してもよい。

１：リニアモータ
２，２´：リニアモータ電機子
３：界磁
２１：電機子コイル
２２，２２´：冷却ジャケット
２２ａ，２２ａ´：内側ジャケット
２２ｂ，２２ｂ´：外側ジャケット
２２ｃ：仕切り壁
２２ｄ：冷媒流路
２２ｅ：冷媒供給口
２２ｆ：冷媒排出口
２３，２６：内側層
２４，２７：中央層
２４ａ：繊維強化樹脂の部材，繊維強化樹脂によって形成される部材、繊維強化樹脂等によって形成される部材、ステンレスによって形成される部材
２４ｂ，２７ｂ：伝熱低減部
２７ａ：繊維強化樹脂の部材
２５，２８：外側層
２９：結線基板
３１：永久磁石
Ａ，Ｈ，Ｚ：矢印
Ｄ：厚さ方向
Ｆ１：圧縮応力
Ｆ２：引張応力
Ｌ：長手方向
Ｐ：方向
Ｓ：空間

Claims (5)

1. 可動子の移動方向に沿って配置された発熱体と、
   前記発熱体の表面近傍に配置された冷却ジャケットと、を有するリニアモータ電機子であって、
   前記冷却ジャケットは、
   前記発熱体に近い側に位置する内側ジャケット、前記発熱体から遠い側に位置する外側ジャケット、及び、前記内側ジャケットと前記外側ジャケットとを接続する仕切り壁、によって画定される複数の冷媒流路を内部に有し、
   前記発熱体からの熱伝導を低減する伝熱低減部が、前記内側ジャケット及び前記外側ジャケットのうち少なくともいずれか一方の内部において前記仕切り壁に対向して配置され、
   前記伝熱低減部が、
   前記内側ジャケット及び前記外側ジャケットのうち少なくともいずれか一方の厚さ方向における略中央に配置される、リニアモータ電機子。
2. 前記冷媒流路に対向する前記内側ジャケットの内部位置にも前記外側ジャケットの内部位置にも、前記伝熱低減部が非配置とされる、請求項１に記載のリニアモータ電機子。
3. 前記伝熱低減部が、空隙である、請求項１又は請求項２に記載のリニアモータ電機子。
4. 可動子の移動方向に沿って配置された発熱体と、
   前記発熱体の表面近傍に配置された冷却ジャケットと、を有するリニアモータ電機子であって、
   前記冷却ジャケットは、
   前記発熱体に近い側に位置する内側ジャケット、前記発熱体から遠い側に位置する外側ジャケット、及び、前記内側ジャケットと前記外側ジャケットとを接続する仕切り壁、によって画定される複数の冷媒流路を内部に有し、
   前記内側ジャケット及び前記外側ジャケットのうち少なくともいずれか一方は、前記発熱体に近い側から順に内側層、中央層、及び、外側層の少なくとも３層が積層されて構成され、
   前記内側層及び前記外側層は、繊維強化樹脂、セラミックス又はステンレスで形成され、
   前記中央層は、前記冷媒流路の延長方向を長手方向とする短冊状の繊維強化樹脂、セラミックス又はステンレスの部材と短冊状の伝熱低減部とが該長手方向と直交する方向に沿って交互に配置されて形成され、
   前記伝熱低減部は、前記仕切り壁に対向配置されて前記発熱体からの熱伝導を低減する、リニアモータ電機子。
5. 請求項１から請求項４のうちいずれか１項に記載のリニアモータ電機子と、
   前記リニアモータ電機子と磁気的空隙を介して対向配置されると共に相互に極性が異なる複数の永久磁石を交互に順次配置した界磁と、を備え、
   前記リニアモータ電機子と前記界磁のいずれか一方を固定子とし、他方を可動子として、前記リニアモータ電機子と前記界磁とを相対的に走行させる、リニアモータ。

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