JP5590036B2 - 干渉光学系およびそれを備えた分光器 - Google Patents
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Description
Nλ=λ/10>d・t・K
ただし、
d :前記固定鏡と前記ビームスプリッタとの間の光路長(mm)
t :前記固定鏡と前記ビームスプリッタとの間の光路と、
前記移動鏡と前記ビームスプリッタとの間の光路との間の温度
較差(℃)
λ :測定波長(nm)
Nλ:温度較差に起因する光路差誤差(nm)
である。
図2は、本実施形態の分光器1の概略の構成を模式的に示す説明図である。分光器1は、フーリエ変換分光器であり、干渉光学系2と、演算部3と、出力部4とを有している。
次に、支持部22の詳細について説明する。図1に示すように、支持部22は、支持ブロック23(支持部材)と、支持基板24とで構成されている。支持ブロック23は、駆動機構21(平行板ばね)の振動振幅P(図5参照)よりも大きい厚さt(mm)を有し、駆動機構21の一端部21aを支持するブロックである。支持基板24は、駆動機構21を支持ブロック23を介して支持するとともに、固定鏡14およびBS13を支持する平板状の基板である。
100nm(≒(900/10))>20mm×1℃×K
を満足する必要が生ずる。この条件式より、K<5×10-6が導き出される。なお、(900/10)>20mm×1℃×Kより、K<4.5×10-6であることがより望ましく、上述した支持部22の構成材料は全て、K<4.5×10-6を満足している。
Nλ=λ/10>d・t・K ・・・(1)
ただし、
d :固定鏡14とBS13との間の光路長(mm)
(=静止時の移動鏡15とBS13との間の光路長(mm))
t :固定鏡14とBS13との間の光路と、
移動鏡15とBS13との間の光路との間の温度較差(℃)
λ :測定波長(nm)
Nλ:温度較差に起因する光路差誤差(nm)
である。なお、測定波長とは、光源11から出射される光の波長のことである。光源11から出射される光が一定の波長幅を有する場合は、測定波長とは、上記波長幅の光の最短波長を考えることができる。なお、光路差誤差Nλは、測定波長の10分の1以下であることが望ましいことから、Nλ=λ/10として条件式(1)を規定した。
次に、駆動機構21の詳細について説明する。図3は、駆動機構21の概略の構成を示す斜視図であり、図4は、駆動機構21の断面図である。この駆動機構21は、2つの板ばね部31・32と、2つの剛体33・34と、駆動部35と、上記の移動鏡15とを有しており、上述したように、一端部21aに対して他端部21bを振動(平行移動)させる平行板ばねで構成されている。
次に、上記した駆動機構21の製造方法について説明する。図6は、駆動機構21の製造時の大まかな流れを示すフローチャートである。また、図7(a)〜図7(d)は、駆動機構21の製造工程を示す断面図である。まず、図7(a)に示すように、2つの板ばね部31・32を作製する(S1)。なお、板ばね部31・32の作製方法の詳細については後述する。
次に、上述した板ばね部31・32の作製方法の詳細について説明する。なお、ここでは、説明の理解をしやすくするために、図8の基板51を用いて行う板ばね部31の作製方法の詳細について説明する。なお、板ばね部32の作製方法についても同様の手法を採用できる。
図13は、駆動機構21の他の構成を示す断面図である。同図に示すように、駆動機構21の板ばね部31の平板部31pは、絶縁酸化膜層31bと活性層31cとの2層で構成されていてもよく、板ばね部32の平板部32pは、絶縁酸化膜層32bと活性層32cとの2層で構成されていてもよい。
2 干渉光学系
13 BS(ビームスプリッタ)
14 固定鏡
15 移動鏡
21 駆動機構
22 支持部
23 支持ブロック(支持部)
24 支持基板(支持部)
31 板ばね部
32 板ばね部
33 剛体
34 剛体
61 SOI基板
81 シリコン基板
91 ガラス基板
Claims (7)
- 固定鏡と、
移動鏡と、
入射光を分離して前記固定鏡および前記移動鏡に導くとともに、前記固定鏡および前記移動鏡にて反射された各光を合成し、干渉光として出射するビームスプリッタと、
前記移動鏡にて反射される光の光路長が変化するように、前記移動鏡を平行移動させる駆動機構と、
前記固定鏡、前記ビームスプリッタおよび前記駆動機構を一体的に、かつ、直接支持する支持部とを備えており、
前記駆動機構は、一端部に対して他端部を振動させる平行板ばねで構成されており、
前記移動鏡は、前記平行板ばねの前記他端部に設けられており、
前記支持部は、
前記平行板ばねの振動振幅よりも大きい厚さを有し、前記平行板ばねの前記一端部を支持する支持ブロックと、
前記駆動機構を前記支持ブロックを介して支持するとともに、前記固定鏡および前記ビームスプリッタを支持する支持基板とで構成されていることを特徴とする干渉光学系。 - 前記支持ブロックは、前記支持基板と同じ材料で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の干渉光学系。
- 前記支持ブロックは、シリコンまたはガラスで構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の干渉光学系。
- 前記支持基板は、シリコンまたはガラスで構成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の干渉光学系。
- 前記駆動機構は、剛体を介して互いに対向配置される2つの板ばね部を有しており、
前記2つの板ばね部は、SOI基板を用いて形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の干渉光学系。 - 前記駆動機構は、剛体を介して互いに対向配置される2つの板ばね部を有しており、
前記2つの板ばね部は、シリコン基板またはガラス基板で形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の干渉光学系。 - 請求項1から6のいずれかに記載の干渉光学系と、
演算部とを備え、
前記干渉光学系は、前記干渉光を検出する検出器を有しており、
前記演算部は、前記検出器から出力される信号に基づいてスペクトルを生成することを特徴とする分光器。
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