JP5574002B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図と制御装置の主要な機能的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
このような撮影動作を行う場合、0°の位置から1回転分のX線投影データを収集した後、もう一度0°(360°)の位置でのX線投影データも収集しておく。そして、上記の例と同様に、各回の回転時には、ずれ量は角度に比例すると仮定し、1回転分のX線投影データのセットについては、0°と360°のX線投影データのずれを基に、先の例と同様の補正を行う。
2 X線検出器
3 回転ステージ
11 X線コントローラ
12 軸制御部
13 画像データ取り込み回路
14 データ記憶部
15 再構成演算部
16 ずれ量演算部
17 補正演算部
18 表示器
19 システム制御部
20 操作部
W 対象物
Claims (2)
- 互いに対向配置されたX線発生装置およびX線検出器と、これらのX線発生装置とX線検出器の間に設けられ、対象物を配置するための試料ステージと、上記X線発生装置とX線検出器の対と上記試料ステージとを相対的に回転させる回転機構と、上記X線発生装置からのX線を照射しながら、上記回転機構を一定角度回転駆動するごとに上記X線検出器の出力を取り込むことにより、対象物の複数角度におけるX線投影データを順次記憶していくデータ記憶手段と、そのデータ記憶手段に記憶されたデータを用いた再構成演算により、対象物の断層像を構築する再構成演算手段を備えたX線断層像撮影装置において、
上記回転機構を複数回転にわたって回転させてX線投影データを取り込んで上記データ記憶手段に記憶し、かつ、上記再構成演算手段はその複数回転分のX線投影データを用いて再構成演算を行うとともに、各回の回転のうち基準となる回転における各回転角度でのX線投影データと、その各回転角度からそれぞれ360°×n(nは2以上の整数)だけ回転した位置でのX線投影データとを比較して投影位置のずれ量を求め、上記基準となる回転以外の回転で収集した各投影データについては、上記ずれ量に基づいて上記データ記憶手段に記憶されている各X線投影データを補正し、もしくは上記再構成演算による演算に用いる座標を補正することを特徴とするX線断層像撮影装置。 - 互いに対向配置されたX線発生装置およびX線検出器と、これらのX線発生装置とX線検出器の間に設けられ、対象物を配置するための試料ステージと、上記X線発生装置とX線検出器の対と上記試料ステージとを相対的に回転させる回転機構と、上記X線発生装置からのX線を照射しながら、上記回転機構を一定角度回転駆動するごとに上記X線検出器の出力を取り込むことにより、対象物の複数角度におけるX線投影データを順次記憶していくデータ記憶手段と、そのデータ記憶手段に記憶されたデータを用いた再構成演算により、対象物の断層像を構築する再構成演算手段を備えたX線断層像撮影装置において、
上記回転機構を複数回転にわたって回転させてX線投影データを取り込んで上記データ記憶手段に記憶し、かつ、上記再構成演算手段はその複数回転分のX線投影データを用いて再構成演算を行うとともに、
各回の回転のうち基準となる回転における各回転角度でのX線投影データと、その各回転角度からそれぞれ360°×n(nは2以上の整数)回転した位置の近傍でのX線投影データを用いて推定した上記各回転角度でのX線投影データとを比較してその投影位置のずれ量を求め、上記基準となる回転以外の回転で収集した各投影データについては、上記ずれ量に基づいて上記データ記憶手段に記憶されている各X線投影データを補正し、もしくは上記再構成演算による演算に用いる座標を補正することを特徴とするX線断層像撮影装置。
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