JP5567008B2 - 検出アルゴリズムの1つ以上のパラメータの値を選択するために用いられる情報を生成する方法及びシステム - Google Patents
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Description
本発明は、以下の適用例としても実現可能である。
[適用例1]
検出アルゴリズムの1つ以上のパラメータの値を選択するために用いられる情報を生成する方法であって、
ウェハ上の欠陥を検出するために、検査システム及び検出アルゴリズムの1つ以上のパラメータのデフォルト値を用いて前記ウェハの領域の走査を行う工程であって、前記ウェハの領域は、検査レシピを用いて走査される前記ウェハの全領域を含み、前記走査は、ユーザの介入なしで行われる、工程と、
前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータの値を選択するために用いられる所定の合計欠陥最大数に基づいて、前記走査の結果から、前記欠陥の一部を選択する工程と、
前記欠陥の前記一部についての情報を記憶する工程であって、前記情報は、前記一部における前記欠陥について決定される前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータの値を含み、前記情報は、前記走査の後で前記ウェハの追加走査を行うことなしに検査レシピに用いられる前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータの前記値を選択するために用いることができる、工程と、
を含む方法。
[適用例2]
適用例1に記載の方法であって、
更に、前記走査を行う工程に先立って、前記検査システム及び前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータのデフォルト値を用いて前記ウェハの初期走査を行う工程と、前記初期走査の結果に基づいて前記選択する工程の1つ以上のパラメータを決定する工程と、を含み、
前記初期走査及び前記決定する工程は、ユーザの介入なしで行われる、方法。
[適用例3]
適用例1に記載の方法であって、
更に、前記走査を行う工程に先立って、前記検査システム及び前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータのデフォルト値を用いて前記ウェハの初期走査を行う工程と、前記初期走査の結果に基づいて前記選択する工程の1つ以上のパラメータを決定する工程と、を含み、
前記初期走査及び前記走査は、前記初期走査と前記走査との間においてユーザからの入力なしで連続して行われる、方法。
[適用例4]
適用例1に記載の方法であって、更に、
前記走査を行う工程に先立って行われる初期走査の間に検出される欠陥について決定される前記検出アルゴリズムの前記パラメータの2つ以上の値について多次元ヒストグラムを生成する工程と、
前記多次元ヒストグラム、前記初期走査によって検出された欠陥の合計数、前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータの前記値を選択するために用いられる前記所定の合計欠陥最大数、前記検査レシピを用いて走査される前記ウェハの前記全領域、及び、前記初期走査の間に走査される前記ウェハの領域、に基づいて前記選択する工程に用いられる1つ以上のパラメータを決定する工程と、
を含む方法。
[適用例5]
適用例4に記載の方法であって、
前記初期走査の間に検出された前記欠陥について決定された前記検出アルゴリズムの前記パラメータの前記2つ以上の前記値は、閾値オフセットの値及び中央参照強度の値を含み、
前記多次元ヒストグラム及び前記初期走査によって検出された前記欠陥の前記合計数以外に、前記初期走査の間に検出された前記欠陥についての情報は保存されない、方法。
[適用例6]
適用例1に記載の方法であって、
前記ユーザの介入なしで前記走査を行う工程は、前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータの前記デフォルト値についてユーザからの入力なしで、かつ、前記検査レシピの他の1つ以上のパラメータのいずれかについて前記ユーザからの入力なしで前記走査を行う工程を含む、方法。
[適用例7]
適用例1に記載の方法であって、
前記走査に用いられる前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータの前記デフォルト値は、前記ウェハ上の前記欠陥を検出するために前記走査によって発生した出力に適用される閾値のデフォルト値を含み、
前記閾値の前記デフォルト値は、前記走査によって発生した前記出力のノイズフロア以下である、方法。
[適用例8]
適用例1に記載の方法であって、
前記欠陥の前記一部を選択する工程は、他の欠陥より大きい値の前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータを有する前記欠陥を選択する工程を含む、方法。
[適用例9]
適用例1に記載の方法であって、
前記欠陥の前記一部を選択する工程は、前記検出アルゴリズムの前記パラメータの2つ以上の前記値についての多次元ヒストグラムにおいて大部分のビンを占める欠陥と同数の欠陥を選択する工程を含む、方法。
[適用例10]
適用例1に記載の方法であって、
前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータは、フレーム、セグメント、及びリージョンを含み、
前記所定の合計欠陥最大数は、リージョン毎のセグメント毎のフレーム毎に1欠陥のみを含む、方法。
[適用例11]
適用例1に記載の方法であって、
前記ウェハの前記追加走査を要することなく選択することができる前記1つ以上のパラメータの前記値は、セグメント分割点の値を含む、方法。
[適用例12]
適用例1に記載の方法であって、
前記ウェハの前記追加走査を要することなく選択することができる前記1つ以上のパラメータの前記値は、セグメント分割点の値及びセグメントの閾値の値を含み、
前記セグメント分割点及び前記閾値の値は、同時に選択することができる、方法。
[適用例13]
適用例1に記載の方法であって、
前記欠陥について決定される前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータの前記値は、誘発閾値オフセット及び強度中央値を含む、方法。
[適用例14]
適用例1に記載の方法であって、
前記情報は、前記一部における欠陥について決定される前記検出アルゴリズムの前記パラメータの2つ以上の前記値についての多次元ヒストグラムをさらに含む、方法。
[適用例15]
適用例1に記載の方法であって、
前記情報は、前記走査の間に前記検査システムによって取得した前記一部における前記欠陥のパッチ画像をさらに含む、方法。
[適用例16]
適用例1に記載の方法であって、
前記情報は、前記走査の後で前記ウェハの前記追加走査を行うことなしに前記検出アルゴリズムのすべてのパラメータの前記値を選択するために用いることができる、方法。
[適用例17]
適用例1に記載の方法であって、
前記検査レシピは、前記ウェハの明視野検査の検査レシピを含む、方法。
[適用例18]
適用例1に記載の方法であって、
前記検査レシピは、前記ウェハの暗視野検査の検査レシピを含む、方法。
[適用例19]
検出アルゴリズムの1つ以上のパラメータの値を選択するために用いられる情報を生成する方法を行うコンピュータシステム上で実行可能なプログラム命令を含むコンピュータ可読媒体であって、前記方法は、
ウェハ上の欠陥を検出するために、検査システム及び検出アルゴリズムの1つ以上のパラメータのデフォルト値を用いて前記ウェハの領域の走査を行う工程であって、前記ウェハの領域は、検査レシピを用いて走査される前記ウェハの全領域を含み、前記走査は、ユーザ介入なしで行われる、工程と、
前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータの値を選択するために用いられる所定の合計欠陥最大数に基づいて、前記走査の結果から、前記欠陥の一部を選択する工程と、
前記欠陥の前記一部についての情報を記憶する工程であって、前記情報は前記一部における前記欠陥について決定される前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータの値を含み、前記情報は前記走査の後で前記ウェハの追加走査を行うことなしに検査レシピに用いられる前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータの前記値を選択するために用いることができる、工程と、
を含む、コンピュータ可読媒体。
[適用例20]
検出アルゴリズムの1つ以上のパラメータの値を選択するために用いられる情報を生成するように構成したシステムであって、
ウェハ上の欠陥を検出するため検出アルゴリズムの1つ以上のパラメータのデフォルト値を用いてウェハの領域の走査を行うように構成した検査システムであって、前記ウェハの前記領域は、検査レシピを用いて走査される前記ウェハの全領域を含み、前記走査は、ユーザの介入なしで行われる、検査システムと、
前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータの値を選択するために用いられる所定の合計欠陥の最大数に基づいて、前記走査の結果から、前記欠陥の一部を選択するように構成し、前記欠陥の前記一部についての情報を記憶するように構成したコンピュータシステムであって、前記情報は、前記一部における前記欠陥について決定される前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータの値を含み、前記情報は、前記走査の後で前記ウェハの追加走査を行うことなしに前記検査レシピに用いられる前記検出アルゴリズムの前記1つ以上のパラメータの前記値を選択するために用いられる、コンピュータシステムと、
を備えるシステム。
Claims (20)
- (A)ウェハ上の欠陥を検出するために、検査システム及び検出アルゴリズムの1つ以上の検査パラメータのデフォルト値を用いて前記ウェハの領域の走査を行う工程であって、前記ウェハの領域は、検査レシピを用いて走査される前記ウェハの全領域を含み、前記走査は、ユーザの介入なしで行われる、工程と、
(B)前記工程(A)の後に、前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータの値を選択するために用いられる所定の合計欠陥最大数に基づいて、前記走査の結果から、検出された前記欠陥のうちの一部を選択する工程と、
(C)前記工程(B)の後に、前記欠陥のうちの前記選択された一部についての情報を記憶する工程であって、前記情報は、前記一部における前記欠陥について決定される前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータの値を含み、前記情報は、前記走査の後で前記ウェハの追加走査を行うことなしに前記検査レシピに用いられる前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータの前記値を選択するために用いられる、工程と、
を含む方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
更に、前記走査を行う工程に先立って、前記検査システム及び前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータのデフォルト値を用いて前記ウェハの初期走査を行う工程と、前記初期走査の結果に基づいて前記選択する工程の1つ以上の検査パラメータを決定する工程と、を含み、
前記初期走査及び前記決定する工程は、ユーザの介入なしで行われる、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
更に、前記走査を行う工程に先立って、前記検査システム及び前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータのデフォルト値を用いて前記ウェハの初期走査を行う工程と、前記初期走査の結果に基づいて前記選択する工程の1つ以上の検査パラメータを決定する工程と、を含み、
前記初期走査及び前記走査は、前記初期走査と前記走査との間においてユーザからの入力なしで連続して行われる、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、更に、
前記走査を行う工程に先立って行われる初期走査の間に検出される欠陥について決定される前記検出アルゴリズムの前記検査パラメータの2つ以上の値について多次元ヒストグラムを生成する工程と、
前記多次元ヒストグラム、前記初期走査によって検出された欠陥の合計数、前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータの前記値を選択するために用いられる前記所定の合計欠陥最大数、前記検査レシピを用いて走査される前記ウェハの前記全領域、及び、前記初期走査の間に走査される前記ウェハの領域、に基づいて前記選択する工程に用いられる1つ以上の検査パラメータを決定する工程と、
を含む方法。 - 請求項4に記載の方法であって、
前記初期走査の間に検出された前記欠陥について決定された前記検出アルゴリズムの前記検査パラメータの前記2つ以上の前記値は、閾値オフセットの値及び中央参照強度の値を含み、
前記多次元ヒストグラム及び前記初期走査によって検出された前記欠陥の前記合計数以外に、前記初期走査の間に検出された前記欠陥についての情報は保存されない、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ユーザの介入なしで前記走査を行う工程は、前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータの前記デフォルト値についてユーザからの入力なしで、かつ、前記検査レシピの他の1つ以上の検査パラメータのいずれかについて前記ユーザからの入力なしで前記走査を行う工程を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記走査に用いられる前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータの前記デフォルト値は、前記ウェハ上の前記欠陥を検出するために前記走査によって発生した出力に適用される閾値のデフォルト値を含み、
前記閾値の前記デフォルト値は、前記走査によって発生した前記出力のノイズフロア以下である、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記欠陥のうちの前記一部を選択する工程は、他の欠陥より大きい値の前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータを有する前記欠陥を選択する工程を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記欠陥のうちの前記一部を選択する工程は、前記検出アルゴリズムの前記検査パラメータの2つ以上の前記値についての多次元ヒストグラムにおいて大部分のビンを占める欠陥と同数の欠陥を選択する工程を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータは、フレーム、セグメント、及びリージョンを含み、
前記所定の合計欠陥最大数は、リージョン毎のセグメント毎のフレーム毎に1欠陥のみを含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ウェハの前記追加走査を要することなく選択することができる前記1つ以上の検査パラメータの前記値は、セグメント分割点の値を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ウェハの前記追加走査を要することなく選択することができる前記1つ以上の検査パラメータの前記値は、セグメント分割点の値及びセグメントの閾値の値を含み、
前記セグメント分割点及び前記閾値の値は、同時に選択することができる、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記欠陥について決定される前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータの前記値は、誘発閾値オフセット及び強度中央値を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記情報は、前記一部における欠陥について決定される前記検出アルゴリズムの前記検査パラメータの2つ以上の前記値についての多次元ヒストグラムをさらに含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記情報は、前記走査の間に前記検査システムによって取得した前記一部における前記欠陥のパッチ画像をさらに含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記情報は、前記走査の後で前記ウェハの前記追加走査を行うことなしに前記検出アルゴリズムのすべての検査パラメータの前記値を選択するために用いることができる、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記検査レシピは、前記ウェハの明視野検査の検査レシピを含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記検査レシピは、前記ウェハの暗視野検査の検査レシピを含む、方法。 - (A)ウェハ上の欠陥を検出するために、検査システム及び検出アルゴリズムの1つ以上の検査パラメータのデフォルト値を用いて前記ウェハの領域の走査を行う工程であって、前記ウェハの領域は、検査レシピを用いて走査される前記ウェハの全領域を含み、前記走査は、ユーザ介入なしで行われる、工程と、
(B)前記工程(A)の後に、前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータの値を選択するために用いられる所定の合計欠陥最大数に基づいて、前記走査の結果から、検出された前記欠陥のうちの一部を選択する工程と、
(C)前記工程(B)の後に、前記欠陥のうちの前記選択された一部についての情報を記憶する工程であって、前記情報は、前記一部における前記欠陥について決定される前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータの値を含み、前記情報は、前記走査の後で前記ウェハの追加走査を行うことなしに前記検査レシピに用いられる前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータの前記値を選択するために用いられる、工程と、
を含む方法を行うコンピュータシステム上で実行可能なプログラム命令を含むコンピュータ可読媒体。 - ウェハ上の欠陥を検出するため検出アルゴリズムの1つ以上の検査パラメータのデフォルト値を用いてウェハの領域の走査を行うように構成した検査システムであって、前記ウェハの前記領域は、検査レシピを用いて走査される前記ウェハの全領域を含み、前記走査は、ユーザの介入なしで行われる、検査システムと、
前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータの値を選択するために用いられる所定の合計欠陥の最大数に基づいて、前記検査システムによる前記走査の結果から、検出された前記欠陥のうちの一部を選択するように構成し、前記欠陥のうちの前記選択された一部についての情報を記憶するように構成したコンピュータシステムであって、前記情報は、前記一部における前記欠陥について決定される前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータの値を含み、前記情報は、前記走査の後で前記ウェハの追加走査を行うことなしに前記検査レシピに用いられる前記検出アルゴリズムの前記1つ以上の検査パラメータの前記値を選択するために用いられる、コンピュータシステムと、
を備えるシステム。
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