JP5565158B2

JP5565158B2 - Vibrating piece, vibrator, oscillator, and electronic device

Info

Publication number: JP5565158B2
Application number: JP2010159503A
Authority: JP
Inventors: 明法山田; 周平吉田
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2009-09-18
Filing date: 2010-07-14
Publication date: 2014-08-06
Anticipated expiration: 2030-07-14
Also published as: JP2011087279A

Description

本発明は、例えば、圧電体材料からなる圧電振動片などの振動片、振動子、発振器、お
よび、それらを用いた電子機器に関する。 The present invention relates to a vibrating piece such as a piezoelectric vibrating piece made of a piezoelectric material, a vibrator, an oscillator, and an electronic apparatus using the same.

従来、屈曲振動モードやその他の振動モードで振動する振動片には、例えば、水晶など
の圧電体材料からなる基材の基部から一対の振動腕を並行して延出させて、且つ、水平方
向に互いに接近または離反する向きに振動させる音叉型の圧電振動片が広く使用されてい
る。このような振動片を備えた振動デバイスが取り付けられる種々の製品、例えば、ＨＤ
Ｄ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピューター、あるいはＩＣカード等の
小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機
器や振動ジャイロセンサー等の小型化が、ますます進展しており、これに伴って、振動デ
バイス、および、その振動デバイスに収容される振動片の小型化の要求がより一層高まっ
てきている。
また、小型化の他の課題として、振動片の振動腕を励振させたとき、その振動エネルギ
ーに損失が生じて、ＣＩ（Crystal Impedance）値の増大やＱ値の低下など、振動片の性
能を低下させる原因となることが挙げられる。そこで、振動片の小型化を図りながら、さ
らに、振動エネルギーの損失を防止または低減するために、従来から様々な工夫がなされ
ている。例えば、振動腕の主面に長溝を設けるとともに、振動腕が延出する基部の両側部
に切込み部または所定の深さの切り込み（切り込み溝）を形成した音叉型の水晶振動片が
知られている（例えば特許文献１を参照）。 Conventionally, for a vibrating piece that vibrates in a bending vibration mode or other vibration modes, for example, a pair of vibrating arms are extended in parallel from the base of a base material made of a piezoelectric material such as quartz, and the horizontal direction Tuning-fork type piezoelectric vibrating pieces that vibrate in directions toward or away from each other are widely used. Various products to which a vibration device including such a resonator element is attached, such as HD
Miniaturization of small information devices such as D (hard disk drive), mobile computers, and IC cards, mobile communication devices such as mobile phones, car phones, and paging systems, and vibration gyro sensors will continue to increase. Along with this, the demand for downsizing of the vibrating device and the vibrating piece accommodated in the vibrating device has further increased.
In addition, as another problem of miniaturization, when the vibrating arm of the vibrating piece is excited, a loss occurs in the vibration energy, and the performance of the vibrating piece, such as an increase in CI (Crystal Impedance) value or a decrease in Q value, is achieved. It may be a cause of lowering. Thus, various attempts have been made in the past to prevent or reduce vibration energy loss while reducing the size of the resonator element. For example, a tuning-fork type crystal vibrating piece is known in which a long groove is provided on the main surface of a vibrating arm and a cut portion or a cut (cut groove) having a predetermined depth is formed on both sides of a base portion from which the vibrating arm extends. (For example, refer to Patent Document 1).

特許文献１に記載の音叉型水晶振動片について、図面を参照して具体的に説明する。図
８は、従来の振動片の一例としての音叉型水晶振動片を模式的に示す平面図である。
図８において、音叉型水晶振動片１００は、水晶により形成された基部１２１と、その
基部１２１の一端部分から互いに並行して延出された一対の振動腕１２２と、を有してい
る。各振動腕１２２は、該振動腕１２２の両主面および前記両主面を接続する両側面を有
し、さらに、各振動腕１２２には、その振動腕１２２の長辺方向に沿って両主面の少なく
とも一方の主面に開口部を有して形成された有底の長溝１２６が設けられている。なお、
図示はしないが、長溝１２６を含む領域には、振動腕１２２を振動させるための励振電極
が設けられている。
また、基部１２１の振動腕１２２が延出された一端側と直交する方向の他端側（二辺）
には、基部１２１の両主面に括れた形状が表れるように１つの直線に沿って対向方向に一
対の切り込み１４１Ａ，１４１Ｂが形成されている。基部１２１は、一対の切り込み１４
１Ａ，１４１Ｂを挟んで両側に位置する第１の部分１２１ａ、および、第２の部分１２１
ｂと、一対の切り込み１４１Ａ，１４１Ｂ間で第１の部分１２１ａおよび第２の部分１２
１ｂを接続する接続部分１２１ｃとを含む。第２の部分１２１ｂには、例えばパッケージ
などの外部基板との電気的な接続に供する図示しない外部接続電極が設けられている。音
叉型水晶振動片１００は、その基部１２１の第２の部分１２１ｂを固定部として、例えば
パッケージなどの外部基板に電気的な接続をはかりながら接合・固定される。 The tuning-fork type crystal vibrating piece described in Patent Document 1 will be specifically described with reference to the drawings. FIG. 8 is a plan view schematically showing a tuning fork type crystal vibrating piece as an example of a conventional vibrating piece.
In FIG. 8, the tuning fork type crystal vibrating piece 100 includes a base 121 formed of crystal and a pair of vibrating arms 122 extending in parallel from one end portion of the base 121. Each resonating arm 122 has both main surfaces of the resonating arm 122 and both side surfaces connecting the two main surfaces, and each resonating arm 122 has both main surfaces along the long side direction of the resonating arm 122. A bottomed long groove 126 formed with an opening on at least one main surface of the surface is provided. In addition,
Although not shown, an excitation electrode for vibrating the vibrating arm 122 is provided in a region including the long groove 126.
The other end side (two sides) in the direction orthogonal to the one end side on which the vibrating arm 122 of the base 121 is extended.
Are formed with a pair of cuts 141A and 141B in the opposing direction along one straight line so that a shape confined to both main surfaces of the base 121 appears. The base 121 has a pair of cuts 14
The first portion 121a and the second portion 121 located on both sides of 1A and 141B
b and the first portion 121a and the second portion 12 between the pair of cuts 141A and 141B.
1b and a connecting portion 121c for connecting 1b. The second portion 121b is provided with an external connection electrode (not shown) for electrical connection with an external substrate such as a package. The tuning-fork type crystal vibrating piece 100 is bonded and fixed while using the second portion 121b of the base portion 121 as a fixing portion and making an electrical connection to an external substrate such as a package.

このような音叉型水晶振動片１００は、各振動腕１２２に長溝１２６が設けられている
ことにより、振動腕１２２が動きやすくなって効率的に振動するため、振動損失が低くな
りＣＩ値を低く抑えることができるという特性を有する。
また、振動腕１２２の振動が垂直方向の成分をも含む場合に、基部１２１に設けられた
一対の切り込み１４１Ａ，１４１Ｂにより、各振動腕１２２の振動の伝達が遮断されるの
で、振動が基部１２１を介して外部に伝わる所謂振動漏れが抑制され、ＣＩ値の上昇を防
止する効果を奏するとともに、各振動腕１２２間でのＣＩ値のばらつきを防止している。 Such a tuning fork type crystal vibrating piece 100 is provided with the long groove 126 in each vibrating arm 122, so that the vibrating arm 122 easily moves and vibrates efficiently, so that the vibration loss is reduced and the CI value is lowered. It has the characteristic that it can be suppressed.
In addition, when the vibration of the vibrating arm 122 includes a vertical component, the transmission of the vibration of each vibrating arm 122 is blocked by the pair of cuts 141A and 141B provided in the base 121. The so-called vibration leakage transmitted to the outside via the head is suppressed, and an effect of preventing an increase in the CI value is achieved, and variations in the CI value among the vibrating arms 122 are prevented.

特開２００２−２８０８７０号公報JP 2002-280870 A

しかしながら、特許文献１に記載の音叉型水晶振動片１００では、基部１２１に形成さ
れた切り込み１４１Ａ，１４１Ｂにより基部１２１の剛性が低下して耐衝撃性が低下する
虞があるという問題があった。
具体的には、図８に示す音叉型水晶振動片１００において、励振電極に所定の駆動電圧
を印加すると、各振動腕１２２が、図中矢印で示す水平方向に互いに接近または離反する
向きに振動する。この振動方向と同じ方向に振動腕１２２が大きく変位するような衝撃が
音叉型水晶振動片１００に加わった場合には、基部１２１側に局所的に大きな応力が生じ
る。即ち、基部１２１の第２の部分１２１ｂを固定端として各振動腕１２２の先端側が大
きく変位すると、一対の切り込み１４１Ａ，１４１Ｂのうち、振動腕１２２の変位する方
向と反対側の切り込み１４１Ａまたは切り込み１４１Ｂの先端部１４２Ａまたは先端部１
４２Ｂに応力が集中する。特に、水晶の場合は引っ張り応力に対して機械的な強度が弱い
ので、例えば、振動腕１２２が、図中矢印の＋Ｘ方向（左方向）に大きく変位する衝撃が
音叉型水晶振動片１００に加わった場合には、基部１２１の図中−Ｘ方向（右方向）の切
り込み１４１Ｂの先端部１４２Ｂに大きな引っ張り応力が加わり、クラックが発生したり
、破損したりする虞があった。 However, the tuning-fork type crystal vibrating piece 100 described in Patent Document 1 has a problem in that the rigidity of the base 121 may be reduced by the notches 141A and 141B formed in the base 121, and the impact resistance may be reduced.
Specifically, in the tuning-fork type crystal vibrating piece 100 shown in FIG. 8, when a predetermined drive voltage is applied to the excitation electrode, the vibrating arms 122 vibrate in directions toward or away from each other in the horizontal direction indicated by arrows in the figure. To do. When an impact is applied to the tuning fork type crystal vibrating piece 100 such that the vibrating arm 122 is greatly displaced in the same direction as the vibration direction, a large stress is locally generated on the base 121 side. That is, when the distal end side of each vibrating arm 122 is largely displaced with the second portion 121b of the base 121 as a fixed end, the notch 141A or the notch 141B on the opposite side to the direction in which the vibrating arm 122 is displaced, of the pair of notches 141A and 141B. Tip portion 142A or tip portion 1 of
Stress concentrates on 42B. In particular, in the case of quartz, since the mechanical strength is weak against tensile stress, for example, an impact that the vibrating arm 122 is greatly displaced in the + X direction (left direction) of an arrow in the figure is applied to the tuning fork type quartz vibrating piece 100. In such a case, a large tensile stress is applied to the tip portion 142B of the incision 141B in the -X direction (right direction) of the base 121 in the drawing, which may cause cracks or breakage.

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
本発明のある形態に係る振動片は、基部と、前記基部から第１方向に沿って延出されている振動腕と、前記基部に接続されていると共に、一部が前記振動腕に並んで配置されている支持腕と、を含み、前記支持腕は、平面視で、基端側に配置されている固定部と、前記固定部よりも先端側の前記一部が前記振動腕側に突出されている受け部と、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記第１方向と交差する方向を幅としたとき、前記受け部の幅は、前記支持腕の前記固定部が設けられている領域の幅よりも小さいことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記受け部は、前記振動腕に相対し、前記振動腕の振動の振幅の範囲外、且つ、前記振動腕が前記振幅の範囲を越えて変位したときに前記振動腕と接触する位置に配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記受け部は、前記支持腕に複数設けられ、前記複数の受け部は、前記振動腕の前記変位により前記振動腕の前記延出方向における複数の位置と夫々接触するように配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記振動腕は、互いに表裏の関係にある第１の主面及び第２の主面の少なくとも一方に、前記第１方向に沿って溝が設けられ、前記振動腕が、前記振動腕の振動の振幅の範囲を越えて変位し、前記振動腕が前記受け部に接触したとき、前記受け部の前記振動腕との前記接触部分が、平面視で、前記溝が設けられている領域よりも先端側に前記受け部が配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記振動腕は、前記基部側に配置されている腕部と、前記腕部より先端側に配置され、前記腕部より前記第１方向と交差する第２方向に沿った幅が広い錘部と、を含み、前記振動腕が、前記振動腕の振動の振幅の範囲を越えて変位し、前記振動腕が前記受け部に接触したとき、前記受け部の前記振動腕との前記接触部分が、前記錘部と接触するように配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記受け部の前記接触部分が、前記錘部の側面と面接触するように配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記支持腕が、前記振動腕の前記第１方向と交差する第２方向に沿った幅が最も細い部分の幅よりも細い部分を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記受け部の前記第１方向と交差する第２方向に沿った幅が、前記支持腕の前記基部側の前記第２方向に沿った幅よりも小さいことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記振動片が圧電体材料により形成されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記圧電体材料が水晶であり、前記基部は、前記水晶の結晶Ｘ軸の方向に沿って設けられている切り込みを含み、前記第１方向が、前記水晶の結晶Ｙ軸の方向に沿っており、前記受け部は、前記振動腕の前記Ｘ軸の＋Ｘ軸側の側面に相対するように配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記受け部に衝撃緩衝部材が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記振動片と、前記振動片が収容されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る発振器は、前記振動片と、回路と、を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る電子機器は、振動片を備えていることを特徴とする。

SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.
A resonator element according to an aspect of the invention includes a base, a vibrating arm that extends from the base along a first direction, and is connected to the base, and a part thereof is aligned with the vibrating arm. A support arm arranged in a plan view, and the support arm is arranged on a proximal end side in a plan view, and a portion of the support arm on the distal end side protrudes toward the vibrating arm side. And a receiving portion.
In the resonator element according to another aspect of the invention, when the width intersecting the first direction is a width, the width of the receiving portion is greater than the width of the region where the fixing portion of the support arm is provided. Is also small.
In the vibrator according to another aspect of the invention, the receiving portion is opposed to the vibrating arm, is out of a vibration amplitude range of the vibrating arm, and the vibrating arm is displaced beyond the amplitude range. It is arrange | positioned in the position which contacts the said vibration arm when doing.
In the resonator element according to another aspect of the invention, a plurality of the receiving portions are provided on the support arm, and the plurality of receiving portions are plural in the extending direction of the vibrating arm due to the displacement of the vibrating arm. It arrange | positions so that it may contact with the position of each.
In the resonator element according to another aspect of the invention, the vibrating arm is provided with a groove along the first direction on at least one of the first main surface and the second main surface that are in a front-back relationship. When the vibrating arm is displaced beyond the range of vibration amplitude of the vibrating arm and the vibrating arm contacts the receiving portion, the contact portion of the receiving portion with the vibrating arm is in plan view. And the said receiving part is arrange | positioned in the front end side rather than the area | region in which the said groove | channel is provided, It is characterized by the above-mentioned.
In the resonator element according to another aspect of the invention, the resonating arm includes an arm portion disposed on the base side, a distal end side from the arm portion, and intersects the first direction from the arm portion. A weight portion having a wide width along the second direction, and when the vibrating arm is displaced beyond a range of vibration amplitude of the vibrating arm and the vibrating arm contacts the receiving portion, The contact portion of the receiving portion with the vibrating arm is disposed so as to contact the weight portion.
A vibrator according to another embodiment of the present invention is characterized in that the contact portion of the receiving portion is disposed so as to be in surface contact with a side surface of the weight portion.
In the resonator element according to another aspect of the invention, the support arm includes a portion whose width along the second direction intersecting the first direction of the vibrating arm is narrower than a width of the narrowest portion. Features.
In the resonator element according to another aspect of the invention, the width of the receiving portion along the second direction intersecting the first direction is greater than the width along the second direction on the base side of the support arm. Is also small.
A vibrating piece according to another embodiment of the present invention is characterized in that the vibrating piece is formed of a piezoelectric material.
In the vibrator according to another aspect of the invention, the piezoelectric material is quartz, the base includes a notch provided along the crystal X-axis direction of the quartz, and the first direction is Along the direction of the crystal Y-axis of the crystal, the receiving portion is arranged to face the side surface of the vibrating arm on the + X-axis side of the X-axis.
A vibrating piece according to another embodiment of the present invention is characterized in that an impact buffer member is provided in the receiving portion.
A vibrator according to another aspect of the invention includes the vibrating piece and a package in which the vibrating piece is accommodated.
An oscillator according to another aspect of the invention includes the resonator element and a circuit.
An electronic apparatus according to another aspect of the invention includes a resonator element.

〔適用例１〕本適用例にかかる振動片は、基部と、前記基部から延出された振動腕と、
前記基部から延出され、少なくとも一部が前記振動腕と並行して延びた支持腕と、前記振
動腕との間隔が狭くなるように、前記支持腕の一部が突起状に延伸して形成された受け部
と、を有することを特徴とする。 Application Example 1 A resonator element according to this application example includes a base, a vibrating arm extending from the base,
A part of the support arm is formed in a protruding shape so that a distance between the support arm that extends from the base and at least a part of the support arm extends in parallel with the vibration arm is narrowed. And a receiving portion.

この構成によれば、支持腕の一部が延伸した突起状の受け部が、振動腕との間隔が狭く
なるように設けられているため、振動片に衝撃が加わるなどして振動腕が通常の振動の振
幅範囲を越えて変位したときに、振動腕の先端側の変位が受け部によって規制されるので
、振動腕の基部との付け根部分に加わる応力の増大が抑えられ、クラックや破損が生じる
などの不具合を防止することができる。 According to this configuration, since the protruding receiving portion in which a part of the support arm is extended is provided so that the distance from the vibrating arm is narrow, the vibrating arm is usually used by applying an impact to the vibrating piece. When the displacement exceeds the amplitude range of the vibration, the displacement on the tip side of the vibrating arm is regulated by the receiving part, so the increase in stress applied to the base part of the vibrating arm base is suppressed, and cracks and breakage are prevented. It is possible to prevent problems such as occurrence.

〔適用例２〕上記適用例にかかる振動片において、前記受け部は、前記振動腕に相対し
外部から印加された電界によって生じる前記振動腕の振動の振幅範囲外、且つ、前記振動
腕が、前記振幅範囲を越えて変位した場合に前記振動腕が接触する位置に設けられている
ことを特徴とする。 Application Example 2 In the resonator element according to the application example described above, the receiving portion is outside an amplitude range of vibration of the vibrating arm generated by an electric field applied from the outside facing the vibrating arm, and the vibrating arm is It is provided at a position where the vibrating arm contacts when displaced beyond the amplitude range.

この構成によれば、振動片に衝撃が加わるなどして振動腕が通常の振動の振幅範囲を越
えて変位したときに、振動腕の先端側の変位が受け部によって規制されるので、振動腕の
基部との付け根部分に加わる応力の増大が抑えられ、クラックや破損が生じるなどの不具
合を防止することができる。 According to this configuration, when the vibrating arm is displaced beyond the normal vibration amplitude range due to an impact applied to the vibrating piece, for example, the displacement on the tip side of the vibrating arm is regulated by the receiving portion. The increase in stress applied to the base portion with the base portion of the base plate can be suppressed, and problems such as cracks and breakage can be prevented.

〔適用例３〕上記適用例にかかる振動片において、前記受け部は、前記支持腕の先端側
に設けられていることを特徴とする。 Application Example 3 In the resonator element according to the application example, the receiving portion is provided on a distal end side of the support arm.

この構成によれば、振動片に衝撃が加わるなどして振動腕が通常の振動の振幅範囲を越
えて変位したときに、振動腕の先端側の変位が受け部によって規制されるので、振動腕の
基部との付け根部分に加わる応力の増大が抑えられ、クラックや破損が生じるなどの不具
合を防止することができる。しかも、受け部を先端に有する支持腕を備えているので、こ
の支持部を用いて振動片をパッケージなどの外部と接合することにより、振動腕と基部と
を浮かせた状態で外部に保持させることができるので、振動腕の振動が基部を伝わって漏
れたり、基部を介して不要な振動が振動腕に伝播したりすることにより振動特性が不安定
になるのを防ぐことができる。したがって、安定した振動特性を有するとともに、優れた
耐衝撃性を備えた振動片を提供することができる。 According to this configuration, when the vibrating arm is displaced beyond the normal vibration amplitude range due to an impact applied to the vibrating piece, for example, the displacement on the tip side of the vibrating arm is regulated by the receiving portion. The increase in stress applied to the base portion with the base portion of the base plate can be suppressed, and problems such as cracks and breakage can be prevented. In addition, since the support arm having the receiving portion at the tip is provided, the vibration piece and the base portion are held in the floating state by joining the vibration piece to the outside of the package or the like using the support portion. Therefore, it is possible to prevent the vibration characteristics from becoming unstable due to the vibration of the vibrating arm being transmitted through the base and leaking, or unnecessary vibration being propagated to the vibrating arm through the base. Therefore, it is possible to provide a resonator element having stable vibration characteristics and excellent impact resistance.

〔適用例４〕上記適用例にかかる振動片において、前記受け部は、前記支持腕に複数設
けられており、前記振動腕の前記曲げ変形により前記振動腕の長手方向における複数位置
と接触するように構成されていることを特徴とする。 Application Example 4 In the resonator element according to the application example described above, a plurality of the receiving portions are provided on the support arm, and are in contact with a plurality of positions in the longitudinal direction of the vibration arm due to the bending deformation of the vibration arm. It is comprised by these.

この構成によれば、振動腕に曲げ変形が生じた場合に、支持腕に複数設けられた受け部
に振動腕が複数位置で接触するように構成されている。これにより、振動腕と受け部が接
触したときに、振動腕に対して衝撃が局所的に加わるのを防止または緩和することができ
る。 According to this configuration, when bending deformation occurs in the vibrating arm, the vibrating arm is configured to come into contact with a plurality of receiving portions provided on the support arm at a plurality of positions. Thereby, when a vibrating arm and a receiving part contact, it can prevent or ease that a shock is locally applied with respect to a vibrating arm.

〔適用例５〕上記適用例にかかる振動片において、前記振動腕は両主面および前記両主
面を接続し前記振動腕の長手方向に延びる両側面を有し、さらに前記振動腕には、前記振
動腕の前記長手方向に沿って前記両主面のうち少なくとも一方の主面に開口部を有する有
底の長溝が設けられ、前記振動腕が前記通常の振動の前記振幅範囲を越えて変位し前記振
動腕が前記受け部に接触したときの前記受け部の前記振動腕との当接部分が、前記長溝が
形成された領域よりも先端側となるように前記受け部が配置されていることを特徴とする
。 Application Example 5 In the resonator element according to the application example described above, the vibrating arm has both main surfaces and both side surfaces that connect the two main surfaces and extend in the longitudinal direction of the vibrating arm. A bottomed long groove having an opening in at least one of the two main surfaces is provided along the longitudinal direction of the vibrating arm, and the vibrating arm is displaced beyond the amplitude range of the normal vibration. The receiving portion is arranged such that when the vibrating arm comes into contact with the receiving portion, the contact portion of the receiving portion with the vibrating arm is closer to the tip than the region where the long groove is formed. It is characterized by that.

この構成によれば、長溝により振動腕を動きやすくして効率的に振動させることにより
ＣＩ値の増大を抑制しながら、振動腕の変位が受け部により規制されるときの振動腕の受
け部との当接部分が、振動腕の長溝が形成された領域よりも先端側の剛性の高い部分に位
置するように配置されているので、振動腕の破損が抑えられる。 According to this configuration, the vibrating arm receiving portion when the displacement of the vibrating arm is regulated by the receiving portion while suppressing an increase in the CI value by making the vibrating arm easy to move and efficiently vibrating by the long groove, Since the contact portion is positioned so as to be located in a portion having higher rigidity on the tip side than the region where the long groove of the vibrating arm is formed, breakage of the vibrating arm can be suppressed.

〔適用例６〕上記適用例にかかる振動片において、前記振動腕の先端側に、前記振動腕
の前記基部側よりも幅が広い錘部が設けられ、前記振動腕に前記通常の振動の前記振幅範
囲を越えた変位が生じて前記受け部と接触したときの前記受け部の前記振動腕との当接部
分が、前記錘部と接触するように配置されていることを特徴とする。 Application Example 6 In the resonator element according to the application example described above, a weight portion having a width wider than that of the base side of the vibrating arm is provided on a distal end side of the vibrating arm, and the vibration arm has the normal vibration. The contact portion of the receiving portion with the vibrating arm when a displacement exceeding the amplitude range is brought into contact with the receiving portion is arranged so as to be in contact with the weight portion.

この構成によれば、振動腕の幅広部であって高い強度を有する錘部の側面が受け部との
当接部分となるので、振動腕の損傷を抑えながら振動片の耐衝撃性を向上させることがで
きる。 According to this configuration, since the side surface of the weight portion, which is the wide portion of the vibrating arm and has high strength, is a contact portion with the receiving portion, the impact resistance of the vibrating piece is improved while suppressing damage to the vibrating arm. be able to.

〔適用例７〕上記適用例にかかる振動片において、前記受け部の前記当接部分が、前記
振動腕の前記錘部の側面と面接触するように配置されていることを特徴とする。 Application Example 7 In the resonator element according to the application example described above, the contact portion of the receiving portion is disposed so as to be in surface contact with a side surface of the weight portion of the vibrating arm.

例えば、錘部により形成される振動腕の角部が受け部の当接部分と接触するように配置
されていた場合のように、角部により衝撃の圧力が集中して角部や受け部の一部が破損す
るのを防止しながら、振動片の耐衝撃性を向上させることができる。 For example, when the corner portion of the vibrating arm formed by the weight portion is arranged so as to come into contact with the contact portion of the receiving portion, the impact pressure is concentrated by the corner portion and the corner portion or the receiving portion The impact resistance of the resonator element can be improved while preventing a part from being damaged.

〔適用例８〕上記適用例にかかる振動片において、前記支持腕が、前記振動腕の前記両
側面間の幅が最も細い部分の幅よりも細い部分を有することを特徴とする。 Application Example 8 In the resonator element according to the application example, the support arm has a portion that is narrower than a width of the narrowest portion between the both side surfaces of the vibration arm.

この構成によれば、支持腕が振動腕よりも撓みやすくなることにより、振動腕が支持腕
の受け部に当たった際に振動腕に加わるダメージが緩和されるので、振動腕の破損を防止
しながら耐衝撃性の高い振動片を提供することができる。 According to this configuration, since the support arm is more easily bent than the vibration arm, damage to the vibration arm when the vibration arm hits the receiving portion of the support arm is mitigated. However, a vibration piece having high impact resistance can be provided.

〔適用例９〕上記適用例にかかる振動片において、前記支持腕の前記基部側の幅よりも
前記受け部の幅が小さく形成されていることを特徴とする。 Application Example 9 In the resonator element according to the application example described above, the width of the receiving portion is smaller than the width of the support arm on the base side.

この構成によれば、支持腕の基部側に対して、受け部を有する支持腕の先端側の方が撓
みやすくなることにより、振動腕が支持腕の受け部に当たった際に振動腕に加わるダメー
ジが緩和されるので、振動腕の破損を防止しつつ振動片の耐衝撃性の向上に供する。 According to this configuration, the distal end side of the support arm having the receiving portion is more easily bent with respect to the base side of the support arm, so that the vibrating arm is applied to the vibrating arm when it hits the receiving portion of the support arm. Since the damage is alleviated, the impact resistance of the vibrating piece is improved while preventing the vibrating arm from being damaged.

〔適用例１０〕上記適用例にかかる振動片において、圧電体材料により形成された圧電
振動片であることを特徴とする。 Application Example 10 The vibration piece according to the application example described above is characterized in that it is a piezoelectric vibration piece formed of a piezoelectric material.

この構成によれば、耐衝撃性が高く優れた振動特性を備えた水晶振動片などの圧電振動
片を提供することができる。 According to this configuration, it is possible to provide a piezoelectric vibrating piece such as a quartz crystal vibrating piece having high impact resistance and excellent vibration characteristics.

〔適用例１１〕上記適用例にかかる振動片において、前記圧電体材料として水晶が用い
られ、前記基部には、前記水晶のＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸からなる直交座標系におけるＸ
軸方向の１つの直線に沿った対向方向に該基部の両主面に括れた形状が現れるように設け
られた一対の切り込みを有し、前記振動腕が、前記基部のＹ軸方向の一端部からＹ軸方向
に延出され、少なくとも前記振動腕の＋Ｘ側に、前記受け部を有する前記支持腕が設けら
れていることを特徴とする。 Application Example 11 In the resonator element according to the application example, quartz is used as the piezoelectric material, and the base portion has an X in an orthogonal coordinate system including the X axis, the Y axis, and the Z axis of the crystal.
A pair of cuts provided so that a shape confined to both main surfaces of the base portion appears in an opposing direction along one straight line in the axial direction, and the vibrating arm is one end portion of the base portion in the Y-axis direction The support arm having the receiving portion is provided at least on the + X side of the vibrating arm.

水晶は、圧電振動片の圧電体材料として広く用いられているものであるが、上記構成の
ように、結晶軸の直交座標系におけるＸ軸方向に沿ってエッチングにより切り込みを形成
したときに、水晶の結晶軸に対するエッチング異方性により、−Ｘ側から切り込み加工し
て形成した切り込みの内壁の先端部（角部）に、望まない穴部やエッチング残り部が生じ
る所謂ひれ部が形成される。この切り込みのひれ部は、振動片に衝撃が加わったときに亀
裂が入ったり折れたりするきっかけになり得るものであり、特に、ひれ部に引っ張り応力
が加わったときに顕著な強度劣化要因となる。
上記適用例の構成によれば、水晶により形成された振動片において、ひれ部が発生する
−Ｘ方向の切り込みの反対側（＋Ｘ方向）の基部の端部から支持腕が延出され、その支持
腕の先端側に受け部を備えた構成としている。これにより、ひれ部に引っ張り応力が加わ
る方向に変位した振動腕の動きを規制する受け部が形成されるので、特に耐衝撃性が弱い
変位方向に対して耐衝撃性を向上させることができる。また、受け部を有する支持腕を基
部の一方の端部からのみ形成する構成とした場合には、他方の端部からも支持腕を形成し
、さらにその支持腕に受け部を形成する場合に比して振動片の小型化を図ることができる
。 Quartz is widely used as a piezoelectric material for piezoelectric vibrating reeds, but when the cut is formed by etching along the X-axis direction in the orthogonal coordinate system of the crystal axis as in the above configuration, the crystal Due to the etching anisotropy with respect to the crystal axis, a so-called fin portion in which an unwanted hole or etching residue is formed at the tip (corner) of the inner wall of the cut formed by cutting from the −X side. This notch fin part can be a cause of cracking or breaking when an impact is applied to the resonator element, and in particular, when tensile stress is applied to the fin part, it becomes a significant strength deterioration factor. .
According to the configuration of the above application example, the support arm is extended from the end portion of the base portion on the opposite side (+ X direction) to the incision in the −X direction in which the fin portion is generated in the vibrating piece formed of quartz. The receiving portion is provided on the tip side of the arm. Thereby, since the receiving part which controls the movement of the vibrating arm displaced in the direction in which the tensile stress is applied to the fin part is formed, the shock resistance can be improved particularly in the displacement direction where the shock resistance is weak. When the support arm having the receiving part is formed only from one end of the base, the support arm is also formed from the other end, and the receiving part is further formed on the support arm. In comparison, the size of the resonator element can be reduced.

〔適用例１２〕上記適用例にかかる振動片において、前記当接部分に衝撃緩衝部材が設
けられていることを特徴とする。 Application Example 12 In the resonator element according to the application example described above, an impact buffer member is provided at the contact portion.

この構成によれば、受け部に振動腕が当たった際に衝撃緩衝部材により衝撃が緩和され
るので、振動腕が欠けたり破損したりするのを抑えることができる。 According to this configuration, since the shock is alleviated by the shock absorbing member when the vibrating arm hits the receiving portion, it is possible to prevent the vibrating arm from being chipped or damaged.

〔適用例１３〕本適用例にかかる振動子は、上記適用例のいずれかに記載の振動片と、
前記振動片を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする。 Application Example 13 A vibrator according to this application example includes the resonator element according to any one of the application examples described above,
And a package for housing the vibrating piece.

この構成によれば、上記適用例に記載の振動片を備えていることから、安定した振動特
性を有すると共に、耐衝撃性の高い振動子を提供することが可能となる。 According to this configuration, since the resonator element described in the application example is provided, it is possible to provide a vibrator having stable vibration characteristics and high impact resistance.

〔適用例１４〕本適用例にかかる発振器は、上記適用例のいずれかに記載の振動片と、
前記振動片を発振させる発振回路を備えた回路素子と、前記振動片及び前記回路素子を収
容するパッケージと、を備えたことを特徴とする。 Application Example 14 An oscillator according to this application example includes the resonator element according to any one of the application examples described above,
A circuit element including an oscillation circuit that oscillates the vibration piece, and a package that accommodates the vibration piece and the circuit element.

この構成によれば、上記適用例に記載の振動片を備えていることから、安定した振動特
性を有すると共に、耐衝撃性の高い発振器を提供することが可能となる。 According to this configuration, since the resonator element described in the application example is provided, it is possible to provide an oscillator having stable vibration characteristics and high impact resistance.

〔適用例１５〕本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれかに記載の振動片、
上記適用例に記載の振動子、または上記適用例に記載の発振器のいずれかを備えたことを
特徴とする。 Application Example 15 An electronic device according to this application example is the resonator element according to any one of the application examples described above.
One of the vibrators described in the application examples and the oscillator described in the application examples is provided.

この構成によれば、特性が安定するとともに耐衝撃性を確保した電子機器振動特性を提
供することが可能となる。 According to this configuration, it is possible to provide electronic device vibration characteristics that have stable characteristics and ensure shock resistance.

〔適用例１６〕本適用例にかかる振動片は、基部と、前記基部の一端部分から延出され
た振動腕と、前記基部の他端部分から延出され少なくとも一部が前記振動腕と平行に延び
た支持腕と、を備え、前記支持腕の先端側に配置された受け部であって、前記振動腕の通
常の振動の振幅範囲外に配置されて、且つ、前記振動腕が、前記通常の振動の前記振幅範
囲を越えて変位したときに前記振動腕が接触する位置に配置された前記受け部を有するこ
とを特徴とする。 Application Example 16 A vibrating piece according to this application example includes a base, a vibrating arm extending from one end of the base, and at least a portion extending from the other end of the base and parallel to the vibrating arm. A support arm that is disposed on a distal end side of the support arm, and is disposed outside an amplitude range of a normal vibration of the vibration arm, and the vibration arm includes: The receiving portion is arranged at a position where the vibrating arm comes into contact when the vibration is displaced beyond the amplitude range of normal vibration.

第１実施形態の振動片としての水晶振動片を一方の主面側からみて模式的に説明する平面図。FIG. 3 is a plan view schematically illustrating a crystal resonator element as a resonator element according to the first embodiment when viewed from one main surface side. 水晶振動片の各部の断面を模式的に説明する図であり、（ａ）は図１のａ−ａ線断面図、（ｂ）は図１のｃ−ｃ線断面図、（ｃ）は図１のｂ−ｂ線断面図。It is a figure which illustrates typically a section of each part of a crystal vibrating piece, (a) is a sectional view taken on line aa of FIG. 1, (b) is a sectional view taken on line cc of FIG. 1, and (c) is a figure. FIG. 振動腕の側面の一部を、図１の矢印Ｅの方向からみた部分拡大図。FIG. 2 is a partially enlarged view of a part of a side surface of a vibrating arm as viewed from the direction of arrow E in FIG. 振動片としての水晶振動片の変形例を模式的に説明する平面図。The top view which illustrates typically the modification of the quartz crystal vibrating piece as a vibrating piece. 第２実施形態の振動片としての水晶振動片を模式的に説明する平面図。FIG. 6 is a plan view schematically illustrating a crystal vibrating piece as a vibrating piece according to a second embodiment. 第３実施形態の振動子の概略構成を示す模式図であり、図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＦ−Ｆ線での断面図。FIGS. 6A and 6B are schematic views illustrating a schematic configuration of a vibrator according to a third embodiment, in which FIG. 6A is a plan view, and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line FF in FIG. 第４実施形態の発振器の概略構成を示す模式図であり、図７（ａ）は平面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＧ−Ｇ線での断面図。FIG. 7A is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of an oscillator according to a fourth embodiment, FIG. 7A is a plan view, and FIG. 7B is a cross-sectional view taken along line GG in FIG. 従来の振動片としての音叉型水晶振動片を模式的に示す平面図。The top view which shows typically the tuning fork type crystal vibrating piece as a conventional vibrating piece.

以下、本発明の振動片を具体化した実施形態について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, an embodiment in which the resonator element of the invention is embodied will be described with reference to the drawings.

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態の振動片としての水晶振動片を一方の主面側からみて模式的に説
明する平面図である。また、図２は、水晶振動片の各部の断面を模式的に説明するもので
あり、（ａ）は、図１のａ−ａ線断面図、（ｂ）は、図１のｃ−ｃ線断面図、（ｃ）は、
図１のｂ−ｂ線断面図である。
本例では、圧電体材料として水晶を用いた例で説明する。
図１において、水晶振動片２０は、水晶からなる圧電振動片である。また、本実施形態
の水晶振動片２０を構成する水晶の原形となる水晶ウエハー（水晶基材）は、Ｘ軸、Ｙ軸
、およびＺ軸からなる直交座標系において、Ｚ軸を中心に時計回りに０度〜５度の範囲で
回転させて切り出した水晶Ｚ板を所定の厚みに切断研磨加工して得られるものを用いる。
本実施形態の水晶振動片２０は、その水晶Ｚ板を加工することにより形成された基部２１
と、この基部２１の一端側（図において上端側）から二股に別れて互いに並行して延出す
る一対の振動腕２２とからなる所謂音叉型の外形を有して形成されている。 (First embodiment)
FIG. 1 is a plan view schematically illustrating a crystal resonator element as a resonator element according to the first embodiment when viewed from one main surface side. 2 schematically illustrates the cross-section of each part of the quartz crystal resonator element, where (a) is a cross-sectional view taken along the line aa in FIG. 1 and (b) is a cross-sectional view taken along the line cc in FIG. Sectional view, (c)
It is the bb sectional view taken on the line of FIG.
In this example, an example using quartz as a piezoelectric material will be described.
In FIG. 1, a crystal vibrating piece 20 is a piezoelectric vibrating piece made of quartz. In addition, the quartz crystal wafer (quartz base material) that is the original crystal constituting the quartz crystal vibrating piece 20 of the present embodiment is clockwise around the Z axis in an orthogonal coordinate system consisting of the X axis, the Y axis, and the Z axis. In addition, a crystal Z plate that is cut out by rotating within a range of 0 to 5 degrees is obtained by cutting and polishing to a predetermined thickness.
The quartz crystal resonator element 20 of the present embodiment has a base 21 formed by processing the quartz crystal Z plate.
And a so-called tuning-fork-shaped outer shape formed by a pair of vibrating arms 22 extending in parallel with each other from one end side (the upper end side in the drawing) of the base portion 21.

基部２１には、その両主面に括れた形状が表れるように１つの直線に沿って対向方向に
一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂが形成されている。基部２１は、一対の切り込み４１Ａ，
４１Ｂを挟んで両側に位置する第１の部分２１ａおよび第２の部分２１ｂと、一対の切り
込み４１Ａ，４１Ｂ間で第１の部分２１ａおよび第２の部分２１ｂを接続する接続部分２
１ｃとを含む。
本実施形態の水晶振動片２０においては、これらの切り込み４１Ａ，４１Ｂによって、
各振動腕２２の振動の伝達が遮断されるので、振動が基部２１や後述する支持腕３０を介
して外部に伝わる所謂振動漏れを抑制し、ＣＩ値の上昇を防止することができる。
なお、一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂの幅（接続部分２１ｃの幅）は、一対の振動腕２
２に対向する側面の間隔よりも小さくしてもよいし大きくしてもよい、また、一対の振動
腕２２の相互に反対を向く側面の距離よりも小さくてもよいし、大きくしてもよい。 The base portion 21 is formed with a pair of cuts 41A and 41B in the opposing direction along one straight line so that a shape confined to both the main surfaces appears. The base 21 has a pair of cuts 41A,
A first portion 21a and a second portion 21b located on both sides of 41B and a connecting portion 2 for connecting the first portion 21a and the second portion 21b between the pair of cuts 41A and 41B
1c.
In the crystal vibrating piece 20 of the present embodiment, by these cuts 41A and 41B,
Since transmission of the vibration of each vibration arm 22 is cut off, so-called vibration leakage, in which vibration is transmitted to the outside through the base portion 21 and a support arm 30 described later, can be suppressed, and an increase in CI value can be prevented.
Note that the width of the pair of cuts 41A and 41B (the width of the connection portion 21c) is equal to the pair of vibrating arms 2.
2 may be smaller or larger than the distance between the side surfaces facing 2, and may be smaller or larger than the distance between the side surfaces of the pair of vibrating arms 22 facing each other. .

一対の振動腕２２は、基部２１の第１の部分２１ａから両主面（紙面上手前と奥の面）
に並行して延出されている。また、各振動腕２２は、前記両主面と、その両主面を両側で
接続する両側面とを有する。
また、各振動腕２２の先端側には、振動腕２２の基部２１側よりも幅が広い錘部２９が
それぞれ設けられている。このように、各振動腕２２の先端部分の錘部２９が錘の機能を
果たすことにより、振動腕２２の長さを増大させることなく周波数を低くすることができ
る。
なお、本実施形態の振動腕２２は、錘部２９以外の部分が一定の幅を有している構成を
図示したが、これに限らず、振動腕２２の主要部（錘部２９とは異なる部分）を先端に向
かって細くなる形状としてもよい。例えば、振動腕２２の基部２１側から先端に向かって
細くなるテーパーを形成することにより、振動腕２２を振動しやすくすることができる。 The pair of vibrating arms 22 has both main surfaces from the first portion 21a of the base portion 21 (front and back surfaces on the paper surface).
It is extended in parallel. Each resonating arm 22 has both the main surfaces and both side surfaces connecting the main surfaces on both sides.
Further, a weight portion 29 having a width wider than that of the base portion 21 side of the vibrating arm 22 is provided on the distal end side of each vibrating arm 22. As described above, the weight portion 29 at the tip portion of each vibrating arm 22 functions as a weight, so that the frequency can be lowered without increasing the length of the vibrating arm 22.
In addition, although the vibration arm 22 of this embodiment illustrated the structure in which parts other than the weight part 29 have a fixed width | variety, it is not restricted to this, The main part (The weight part 29 differs from this). It is good also as a shape which becomes thin toward a front-end | tip. For example, by forming a taper that narrows from the base 21 side of the vibrating arm 22 toward the tip, the vibrating arm 22 can be easily vibrated.

図１に示すように、各振動腕２２の一方の主面には、それぞれの長手方向に沿って一本
の有底の長溝２６ａがそれぞれ設けられている。また、図２（ａ）に示すように振動腕２
２の他方の主面にも、振動腕２２の長手方向に沿って一本の長溝２６ｂが設けられている
。
このような各振動腕２２に設けられた長溝２６ａ，２６ｂによって、振動腕２２が動き
やすくなって効率的に振動することにより、ＣＩ値を下げることができる。 As shown in FIG. 1, one main surface of each vibrating arm 22 is provided with one bottomed long groove 26 a along each longitudinal direction. In addition, as shown in FIG.
One long groove 26 b is also provided on the other main surface of 2 along the longitudinal direction of the vibrating arm 22.
By such long grooves 26a and 26b provided in each vibrating arm 22, the vibrating arm 22 is easy to move and vibrates efficiently, so that the CI value can be lowered.

なお、図１に示す本実施形態の振動腕２２において、長溝２６ａ（および２６ｂ）は、
それらの一端側（振動腕２２の先端側）が、振動腕２２の錘部２９との境界よりも先端側
（錘部２９側）の位置まで形成されている。このようにすることにより、振動腕２２が振
動する際に生じる応力の集中する領域が振動腕２２の延長方向に分散されるので、振動腕
２２の錘部２９の付け根部に応力が集中して破損するなどの不具合を回避できる。
これとは逆に、長溝２６ａ，２６ｂの一端側（振動腕２２の先端側）を、振動腕２２の
錘部２９との境界よりも基部２１側の位置まで形成する構成としてもよく、このことによ
り得られる効果もある。すなわち、振動腕２２が振動する際に生じる応力の集中する領域
が振動腕２２の延長方向に分散されることにより、振動腕２２の錘部２９の付け根部に応
力が集中して破損するなどの不具合を回避できとともに、各振動腕２２における錘部２９
の質量付加効果が増すので、水晶振動片２０のサイズを増大させることなく低周波化を図
ることができる。
ただし、各振動腕２２において、長溝２６ａ，２６ｂの一端側（振動腕２２の先端側）
を、振動腕２２の錘部２９との境界に位置するように設けた場合でも、振動腕２２の錘部
２９の付け根部への応力集中により破損等が起こらない場合、例えば、振動腕２２が十分
な剛性を備えるだけの幅を有している場合や、振動腕２２の基部２１側から錘部２９に向
かって幅が広がる形状（例えばテーパー形状など）を形成した場合などであれば、長溝２
６ａ，２６ｂの一端側（振動腕２２の先端側）を、振動腕２２の錘部２９との境界に位置
するように設けてもよい。 In the vibrating arm 22 of the present embodiment shown in FIG. 1, the long groove 26a (and 26b) is
One end side thereof (the tip side of the vibrating arm 22) is formed to a position closer to the tip side (the weight portion 29 side) than the boundary between the vibrating arm 22 and the weight portion 29. By doing so, the stress concentration region generated when the vibrating arm 22 vibrates is dispersed in the extending direction of the vibrating arm 22, so that the stress concentrates on the root portion of the weight portion 29 of the vibrating arm 22. You can avoid problems such as damage.
On the other hand, one end side of the long grooves 26a and 26b (the tip side of the vibrating arm 22) may be formed to a position closer to the base 21 side than the boundary with the weight portion 29 of the vibrating arm 22, There is also an effect obtained by. That is, the stress concentration region generated when the vibrating arm 22 vibrates is dispersed in the extending direction of the vibrating arm 22, so that stress concentrates on the base of the weight portion 29 of the vibrating arm 22 and is damaged. In addition to avoiding problems, the weight 29 in each vibrating arm 22
Therefore, the frequency can be lowered without increasing the size of the crystal vibrating piece 20.
However, in each vibrating arm 22, one end side of the long grooves 26a, 26b (the tip side of the vibrating arm 22).
Is provided so as to be positioned at the boundary with the weight portion 29 of the vibrating arm 22, if damage or the like does not occur due to stress concentration on the root portion of the weight portion 29 of the vibrating arm 22, for example, If the width is sufficient to provide sufficient rigidity, or if a shape (for example, a tapered shape) whose width increases from the base 21 side toward the weight portion 29 is formed, the long groove is used. 2
You may provide so that the one end side (tip side of the vibrating arm 22) of 6a and 26b may be located in the boundary with the weight part 29 of the vibrating arm 22. FIG.

水晶振動片２０は、基部２１の第２の部分２１ｂから延びる一対の支持腕３０を有して
いる。一対の支持腕３０は、基部２１から一対の振動腕２２が延びる方向とは交差方向の
二つの端部から、それぞれ相互に反対方向に延出されてから、屈曲部３１で、一対の振動
腕２２の延びる方向に屈曲してさらに延びる。このように屈曲させることにより支持腕３
０は小型化されている。支持腕３０は、例えば、パッケージ（図示せず）などの外部基板
との取り付けに供する部分であり、図中に例示した固定部３９と外部基板の固定部とを接
着剤などを介して接着・固定することによって外部基板に取り付けられる。このことによ
り、外部基板に取り付けられた水晶振動片２０において、振動腕２２および基部２１を浮
いた状態とすることができる。 The quartz crystal vibrating piece 20 has a pair of support arms 30 extending from the second portion 21 b of the base portion 21. The pair of support arms 30 are extended in opposite directions from two ends intersecting the direction in which the pair of vibrating arms 22 extend from the base portion 21, and then the pair of vibrating arms at the bent portion 31. It bends in the extending direction of 22 and further extends. The support arm 3 is thus bent.
0 is downsized. The support arm 30 is a portion used for attachment to an external substrate such as a package (not shown), for example, and the fixing portion 39 illustrated in the figure and the fixing portion of the external substrate are bonded to each other with an adhesive or the like. It is attached to the external substrate by fixing. As a result, in the crystal vibrating piece 20 attached to the external substrate, the vibrating arm 22 and the base 21 can be brought into a floating state.

図２に示すように、各振動腕２２の各長溝２６ａ，２６ｂを含む表面に励振電極４４、
および各両側面を含む表面には励振電極４３が形成されている（図１では図示を省略）。
一方の振動腕２２において、励振電極４３，４４間に電圧を印加して、振動腕２２の両側
面を伸縮させることで振動腕２２を振動させる。励振電極４３，４４は、水晶をエッチン
グして水晶振動片２０の長溝２６ａ，２６ｂを含む外形を形成した後で、例えば、ニッケ
ル（Ｎｉ）またはクロム（Ｃｒ）を下地層として、その上に、蒸着またはスパッタリング
により例えば金（Ａｕ）による電極層を成膜し、その後フォトリソグラフィーを用いてパ
ターニングすることにより形成することができる。ここで、クロムは水晶との密着性が高
く、また、金は、電気抵抗が低く酸化し難いことで知られている。 As shown in FIG. 2, the excitation electrode 44 on the surface including the long grooves 26a, 26b of the vibrating arms 22,
Excitation electrodes 43 are formed on the surface including both side surfaces (not shown in FIG. 1).
In one vibrating arm 22, the vibrating arm 22 is vibrated by applying a voltage between the excitation electrodes 43 and 44 and expanding and contracting both side surfaces of the vibrating arm 22. The excitation electrodes 43 and 44 are formed by etching the crystal to form the outer shape including the long grooves 26a and 26b of the crystal vibrating piece 20, and then, for example, using nickel (Ni) or chromium (Cr) as a base layer, An electrode layer made of, for example, gold (Au) can be formed by vapor deposition or sputtering, and then patterned by photolithography. Here, it is known that chromium has high adhesion to quartz, and gold has low electrical resistance and is difficult to oxidize.

各支持腕３０の先端側には、振動腕２２の振動方向と同じ方向である厚みの狭められた
部分が設けられており、その一部には支持腕３０と振動腕２２との間隔が狭くなるように
振動腕２２に向かって折り曲げられて形成された受け部３５が設けられている。換言する
と、受け部３５は、支持腕３０にの一部が、支持腕３０の延伸方向から振動腕２２に向か
う突起状に形成された凸部となっている。この受け部３５は、隣接する振動腕２２の通常
の振動の振幅範囲外に配置され、且つ、隣接する振動腕２２に通常の振幅範囲を所定量越
えた変位が生じた場合にその振動腕２２が当接される位置に配置されている。なお、前述
した振動腕２２の通常の振動の振幅範囲とは、水晶振動片２０の励振電極４３，４４に駆
動電圧（電界）が印加されることにより所定の共振周波数で振動する振動腕２２の振幅が
最も大きくなった場合の振動腕２２の振動領域をいう。すなわち、所定の共振周波数で振
動する振動腕２２の振幅が最も大きくなった場合でも、隣接する振動腕２２と支持腕３０
の受け部３５とが接触しないように配置されている。また、振動腕２２に通常の振幅範囲
を所定量越えた変位が生ずる場合とは、落下などにより水晶振動片２０に衝撃が加わるこ
とによって振動腕２２が大きく変位する場合などをいう。 On the front end side of each support arm 30, a narrowed portion having the same direction as the vibration direction of the vibrating arm 22 is provided, and a space between the support arm 30 and the vibrating arm 22 is narrow in a part thereof. A receiving portion 35 formed by being bent toward the vibrating arm 22 is provided. In other words, the receiving portion 35 is a convex portion that is formed in a protruding shape from the extending direction of the support arm 30 toward the vibrating arm 22. The receiving portion 35 is arranged outside the normal vibration amplitude range of the adjacent vibrating arm 22, and when the adjacent vibrating arm 22 is displaced beyond the normal amplitude range by a predetermined amount, the vibrating arm 22 is disposed. Is disposed at a position where the abuts. The amplitude range of the normal vibration of the vibrating arm 22 described above is that of the vibrating arm 22 that vibrates at a predetermined resonance frequency when a driving voltage (electric field) is applied to the excitation electrodes 43 and 44 of the crystal vibrating piece 20. This refers to the vibration region of the vibrating arm 22 when the amplitude is the largest. That is, even when the amplitude of the vibrating arm 22 that vibrates at a predetermined resonance frequency becomes the largest, the adjacent vibrating arm 22 and the support arm 30 are adjacent to each other.
It arrange | positions so that the receiving part 35 may not contact. In addition, the case where the vibration arm 22 is displaced by a predetermined amount exceeding the normal amplitude range refers to the case where the vibration arm 22 is largely displaced due to an impact applied to the crystal vibrating piece 20 due to dropping or the like.

図１に示す水晶振動片２０において、各支持腕３０は、隣接する振動腕２２の両側面間
の幅が最も細い部分の幅よりも細い部分を有して形成されている。
また、支持腕３０において、支持腕３０の基部２１側の幅よりも、受け部３５および受
け部３５の基部２１側の幅の方が小さく形成されている。 In the crystal vibrating piece 20 shown in FIG. 1, each support arm 30 is formed to have a portion that is narrower than the width of the narrowest portion between both side surfaces of adjacent vibrating arms 22.
Further, in the support arm 30, the receiving portion 35 and the width of the receiving portion 35 on the base 21 side are formed to be smaller than the width of the supporting arm 30 on the base 21 side.

詳述すると、図１において、基部２１から相互に反対方向に延出され屈曲部３１で屈曲
され振動腕２２と平行な方向に延びる一対の支持腕３０は、基部２１側に比較的幅の広い
幅広部３２を有し、その幅広部３２の先端側に幅が狭められた幅狭部３３が形成され、そ
の幅狭部３３のさらに先端側が受け部３５になっている。すなわち、図２（ｂ）に示す支
持腕３０の幅狭部３３の幅ｔ２と、図２（ｃ）に示す支持腕３０の幅広部３２の幅ｔ３と
において、ｔ２＜ｔ３の関係となっている。なお、支持腕３０の幅広部３２および幅狭部
３３のそれぞれが、本実施形態のように断面が方形状でなく、例えば、有底の溝が設けら
れている場合や断面の仮想の中心線に対して線対称でない断面形状を有している場合など
は、図２（ｂ）に示す支持腕３０の幅狭部３３の断面積Ｓ２と、図２（ｃ）に示す支持腕
３０の幅広部３２の断面積Ｓ３において、Ｓ２＜Ｓ３の関係となっていてもよい。 Specifically, in FIG. 1, the pair of support arms 30 extending in the opposite directions from the base portion 21, bent at the bent portion 31, and extending in the direction parallel to the vibrating arm 22 are relatively wide on the base 21 side. A narrow portion 33 having a wide portion 32 and having a narrowed width is formed on the distal end side of the wide portion 32, and the distal end side of the narrow portion 33 is a receiving portion 35. That is, the relationship t2 <t3 is established between the width t2 of the narrow portion 33 of the support arm 30 shown in FIG. 2B and the width t3 of the wide portion 32 of the support arm 30 shown in FIG. Yes. Each of the wide portion 32 and the narrow portion 33 of the support arm 30 is not rectangular in cross section as in the present embodiment. For example, when a bottomed groove is provided, or a virtual center line of the cross section 2 has a cross-sectional shape that is not line-symmetric with respect to the cross-sectional area S2 of the narrow portion 33 of the support arm 30 shown in FIG. 2B and the wide width of the support arm 30 shown in FIG. In the cross-sectional area S3 of the portion 32, the relationship of S2 <S3 may be satisfied.

また、図２（ａ）に示す振動腕２２の両側面間の幅ｔ１と、支持腕３０の同一方向の幅
との関係において、少なくとも、図２（ｂ）に示す支持腕３０の幅狭部３３の幅ｔ２と、
ｔ１＞ｔ２の関係となっている。さらに、本実施形態では、振動腕２２の幅ｔ１と、図２
（ｃ）に示す支持腕３０の幅広部３２の幅ｔ３とにおいても、ｔ１＞ｔ３の関係となって
いる。なお、図２（ａ）に示す振動腕２２の断面積Ｓ１と、少なくとも図２（ｂ）に示す
支持腕３０の幅狭部３３の断面積Ｓ２とにおいて、Ｓ１＞Ｓ２の関係となっている。さら
に、振動腕２２の断面積Ｓ１と、図２（ｃ）に示す支持腕３０の幅広部３２の断面積Ｓ３
とにおいて、Ｓ１＞Ｓ３の関係となっていてもよい。 Further, in the relationship between the width t1 between both side surfaces of the vibrating arm 22 shown in FIG. 2A and the width in the same direction of the support arm 30, at least the narrow portion of the support arm 30 shown in FIG. 33 width t2,
The relationship is t1> t2. Furthermore, in this embodiment, the width t1 of the vibrating arm 22 and FIG.
Also in the width t3 of the wide portion 32 of the support arm 30 shown in (c), the relationship is t1> t3. It should be noted that the relationship S1> S2 is established between the cross-sectional area S1 of the vibrating arm 22 shown in FIG. 2A and at least the cross-sectional area S2 of the narrow portion 33 of the support arm 30 shown in FIG. . Further, the cross-sectional area S1 of the vibrating arm 22 and the cross-sectional area S3 of the wide portion 32 of the support arm 30 shown in FIG.
In this case, the relationship of S1> S3 may be satisfied.

このように、水晶振動片２０において、各支持腕３０が、隣接する振動腕２２の両側面
間の幅が最も細い部分の幅よりも細い幅狭部３３（および幅広部３２）を有して形成され
ていることにより、支持腕３０が振動腕２２よりも撓みやすい弾性を呈する。これにより
、振動腕２２が支持腕３０側に大きく変位して受け部３５に当たった際に振動腕２２に加
わるダメージが軽減されるので、振動腕２２の破損を防止しながら振動腕２２の過度な変
位を規制して水晶振動片２０の耐衝撃性を向上させることができる。
また、支持腕３０の基部２１側の幅広部３２の幅ｔ３よりも、受け部３５および受け部
３５の基部２１側の幅狭部３３の幅ｔ２の方が小さく形成されていることにより、支持腕
３０の基部２１側（幅広部３２側）に対して、受け部３５を有する支持腕３０の先端側（
幅狭部３３側）の方が撓みやすい弾性を呈するので、振動腕２２が支持腕３０側に大きく
変位して受け部３５に当たった際に振動腕２２に加わるダメージが軽減され、振動腕２２
の破損を防止しつつ水晶振動片２０の耐衝撃性の向上に供する。 As described above, in the crystal vibrating piece 20, each support arm 30 has the narrow portion 33 (and the wide portion 32) that is narrower than the width of the narrowest portion between both side surfaces of the adjacent vibrating arms 22. By being formed, the support arm 30 exhibits elasticity that is more flexible than the vibrating arm 22. Thereby, since the damage applied to the vibrating arm 22 when the vibrating arm 22 is greatly displaced toward the support arm 30 and hits the receiving portion 35 is reduced, the vibrating arm 22 is prevented from being excessively damaged while preventing the vibrating arm 22 from being damaged. Therefore, it is possible to improve the impact resistance of the crystal vibrating piece 20 by restricting the displacement.
Further, the width t2 of the receiving portion 35 and the narrow portion 33 on the base 21 side of the receiving portion 35 is formed to be smaller than the width t3 of the wide portion 32 on the base 21 side of the support arm 30, thereby supporting the supporting arm 30. The tip side of the support arm 30 having the receiving portion 35 (to the base 21 side (wide portion 32 side) of the arm 30 (
Since the narrower portion 33 side is more flexible, the damage applied to the vibrating arm 22 when the vibrating arm 22 is greatly displaced toward the support arm 30 and hits the receiving portion 35 is reduced.
Thus, the impact resistance of the quartz crystal vibrating piece 20 is improved.

また、本実施形態では、各支持腕３０の幅が狭められた幅狭部３３が、先端側で隣接す
る振動腕２２に近づく方向に曲げられてから、さらに先端側で隣接する振動腕２２と並行
するように屈曲して受け部３５が形成されている。
さらに、本実施形態では、支持腕３０の受け部３５より先端側で、隣接する振動腕２２
と離間する方向に屈曲する返し部３５ａが形成されていて、支持腕３０の最先端部の角部
を含む返し部３５ａが振動腕２２と当接しないようにすることにより、支持腕３０や振動
腕２２に欠けや破損が生じるのを防止している。
なお、上述した受け部３５を有する支持腕３０の構成において、水晶振動片２０をパッ
ケージなどの外部基板に固定する固定部３９は、支持腕３０の幅広部３２であって、且つ
、受け部３５よりも基部２１側に配置される。これにより、固定部３９を支点として振動
腕２２の変位を、衝撃を緩和しながら規制する受け部３５を実現することができる。 Further, in the present embodiment, the narrow portion 33 in which the width of each support arm 30 is narrowed is bent in a direction approaching the adjacent vibrating arm 22 on the distal end side, and further, with the vibrating arm 22 adjacent on the distal end side. The receiving portion 35 is formed to be bent in parallel.
Further, in the present embodiment, the adjacent vibrating arm 22 is located on the distal end side of the receiving portion 35 of the support arm 30.
The return portion 35a that is bent in a direction away from the support arm 30 is formed, and the return portion 35a including the corner of the most distal end portion of the support arm 30 is prevented from coming into contact with the vibrating arm 22, so that the support arm 30 and the vibration The arm 22 is prevented from being chipped or broken.
In the configuration of the support arm 30 having the receiving portion 35 described above, the fixing portion 39 for fixing the crystal vibrating piece 20 to an external substrate such as a package is the wide portion 32 of the support arm 30 and the receiving portion 35. Rather than the base 21 side. Thereby, the receiving part 35 which controls the displacement of the vibrating arm 22 with the fixed part 39 as a fulcrum while relaxing the impact can be realized.

さらに、図１、および、図３を参照しながら、水晶振動片２０における受け部３５の配
置について説明する。ここで、あらたに参照する図３は、振動腕２２における支持腕３０
の受け部３５の当接部分の配置を模式的に説明するものであり、一方の振動腕２２の側面
の一部を、図１の矢印Ｅの方向からみた部分拡大図である。
図１および図３に示す水晶振動片２０において、振動腕２２が、隣接する支持腕３０側
に大きく変位して支持腕３０の受け部３５に接触した場合に、受け部３５の振動腕２２と
の当接部分が下記に示す位置となるように受け部３５が配置されている。
すなわち、支持腕３０の受け部３５は、振動腕２２が大きく変位した場合に、長溝２６
ａ，２６ｂが形成された領域よりも先端側に位置するように配置されている。これにより
、振動腕２２に大きな変位が生じて隣接する支持腕３０の受け部３５に接触したときの、
振動腕２２の受け部３５との当接部分が、長溝２６ａ，２６ｂが形成された領域よりも先
端側の剛性の高い部分に位置するように配置されているので、振動腕２２が破損するなど
の不具合を防止しながら、水晶振動片２０の耐衝撃性の向上に効果を奏する。 Furthermore, the arrangement of the receiving portion 35 in the crystal vibrating piece 20 will be described with reference to FIGS. 1 and 3. Here, FIG. 3 that is newly referred to is a support arm 30 in the vibrating arm 22.
FIG. 2 is a schematic enlarged view of a part of the side surface of one vibrating arm 22 as viewed from the direction of arrow E in FIG. 1.
In the quartz crystal vibrating piece 20 shown in FIGS. 1 and 3, when the vibrating arm 22 is largely displaced toward the adjacent supporting arm 30 and comes into contact with the receiving portion 35 of the supporting arm 30, The receiving portion 35 is arranged so that the abutting portion is positioned as shown below.
That is, the receiving portion 35 of the support arm 30 has a long groove 26 when the vibrating arm 22 is greatly displaced.
It arrange | positions so that it may be located in the front end side rather than the area | region in which a and 26b were formed. Thereby, when a large displacement occurs in the vibrating arm 22 and the receiving portion 35 of the adjacent support arm 30 is contacted,
Since the contact portion of the vibrating arm 22 with the receiving portion 35 is disposed so as to be located in a portion having higher rigidity on the tip side than the region where the long grooves 26a and 26b are formed, the vibrating arm 22 is damaged. This is effective in improving the impact resistance of the quartz crystal vibrating piece 20 while preventing the above problems.

また、支持腕３０の受け部３５は、振動腕２２が大きく変位した場合に、振動腕２２の
先端側の幅広部である錘部２９と接触する位置に配置されている。さらに、受け部３５が
、振動腕２２の錘部２９の両側面のうちの受け部３５側の側面と面接触するように配置さ
れている。換言すれば、水晶振動片２０において、支持腕３０の受け部３５が、振動腕２
２の錘部２９の一端に形成される角部２７を避けて配置されている。これにより、振動腕
２２の幅広部であって高い強度を有する錘部２９の側面が受け部３５と面接触されるので
、振動腕２２の損傷が抑えられる。また、錘部２９により形成される振動腕２２の角部２
７が、受け部３５の当接部分と接触するように配置されていた場合のように、角部２７や
受け部３５の一部が接触により破損することを、角部２７を避けて配置することにより防
止しながら、水晶振動片２０の耐衝撃性を向上させることができる。 Further, the receiving portion 35 of the support arm 30 is disposed at a position in contact with the weight portion 29 that is a wide portion on the distal end side of the vibrating arm 22 when the vibrating arm 22 is largely displaced. Further, the receiving portion 35 is disposed so as to be in surface contact with the side surface on the receiving portion 35 side of both side surfaces of the weight portion 29 of the vibrating arm 22. In other words, in the crystal vibrating piece 20, the receiving portion 35 of the support arm 30 is connected to the vibrating arm 2.
It is arranged so as to avoid the corner portion 27 formed at one end of the two weight portions 29. Thereby, since the side surface of the weight part 29 which is a wide part of the vibrating arm 22 and has high strength is brought into surface contact with the receiving part 35, damage to the vibrating arm 22 is suppressed. Further, the corner portion 2 of the vibrating arm 22 formed by the weight portion 29.
7 is arranged avoiding the corner portion 27 so that the corner portion 27 and a part of the receiving portion 35 are damaged due to the contact as in the case where the portion 7 is arranged so as to contact the contact portion of the receiving portion 35. The impact resistance of the quartz crystal vibrating piece 20 can be improved while preventing this.

さらに、本実施形態の水晶振動片２０において、受け部３５における隣接する振動腕２
２との当接部分となる面には、衝撃緩衝部材３８が設けられている。衝撃緩衝部材３８は
、振動腕２２が大きく変位して受け部３５に接触したときに、その衝撃を和らげ得る材料
により構成され、振動腕２２の当接部分に、なるべく大きな接触面積を確保しつつ面接触
するように、振動腕２２の当接部分となる面と並行して一定の面積を有して設けることが
望ましい。
衝撃緩衝部材３８に用いる材料としては、ゴムや樹脂などの弾性の高い部材を用いるこ
とができるが、それらに限らず、例えば金などの比較的柔らかい金属膜を用いることもで
きる。金属膜により衝撃緩衝部材３８を形成する場合には、例えば、水晶振動片２０の励
振電極４３，４４（図２（ａ）を参照）などの電極形成工程にて同時に形成することによ
り、製造工程を増大させることなく衝撃緩衝部材３８を設けることができる。
このように、受け部３５の隣接する振動腕２２との当接部分に衝撃緩衝部材３８を設け
ることにより、受け部３５に振動腕２２が当たった際の衝撃が緩和され、振動腕２２や支
持腕３０の受け部３５が欠けたり破損したりするのを抑えることができる。 Furthermore, in the quartz crystal vibrating piece 20 of the present embodiment, the adjacent vibrating arm 2 in the receiving portion 35.
An impact buffering member 38 is provided on a surface that is a contact portion with 2. The shock absorbing member 38 is made of a material that can relieve the shock when the vibrating arm 22 is greatly displaced and comes into contact with the receiving portion 35, while ensuring a contact area as large as possible at the contact portion of the vibrating arm 22. It is desirable to provide a certain area in parallel with the surface to be the contact portion of the vibrating arm 22 so as to make surface contact.
The material used for the shock absorbing member 38 can be a highly elastic member such as rubber or resin, but is not limited thereto, and a relatively soft metal film such as gold can also be used. In the case of forming the shock absorbing member 38 from a metal film, for example, by simultaneously forming in the electrode forming process such as the excitation electrodes 43 and 44 (see FIG. 2A) of the quartz crystal vibrating piece 20, the manufacturing process The impact buffering member 38 can be provided without increasing the value.
As described above, by providing the impact buffering member 38 at the contact portion of the receiving portion 35 with the adjacent vibrating arm 22, the impact when the vibrating arm 22 hits the receiving portion 35 is alleviated, and the vibrating arm 22 and the support are supported. It can suppress that the receiving part 35 of the arm 30 is missing or damaged.

以上、説明したように、上記実施形態の水晶振動片２０によれば、切り込み４１Ａ，４
１Ｂ、長溝２６ａ，２６ｂ、錘部２９などを備えることにより、振動漏れや、ＣＩ値の上
昇、あるいはＱ値の低下が抑えられるとともに、水晶振動片２０の落下などの衝撃によっ
て振動腕２２に大きな変位が生じた場合に、衝撃を緩和しながら振動腕２２の変位を規制
する受け部３５を備えているので、安定した振動特性を有すると共に、耐衝撃性の高い水
晶振動片２０を提供することができる。 As described above, according to the crystal vibrating piece 20 of the above embodiment, the cuts 41A, 4
1B, the long grooves 26a and 26b, the weight portion 29, and the like can suppress vibration leakage, increase in CI value, or decrease in Q value, and can greatly increase the vibration arm 22 due to impact such as dropping of the crystal vibrating piece 20. Since the receiving portion 35 that regulates the displacement of the vibrating arm 22 while relaxing the impact when the displacement occurs is provided, the quartz crystal vibrating piece 20 having stable vibration characteristics and high impact resistance is provided. Can do.

上記実施形態で説明した振動片としての水晶振動片２０（圧電振動片）は、以下の変形
例として実施することも可能である。 The quartz crystal resonator element 20 (piezoelectric resonator element) as the resonator element described in the above embodiment can also be implemented as the following modification.

（第１実施形態の変形例）
上記実施形態では、一対の振動腕２２の両側に受け部３５を有する支持腕３０を設けた
構成の水晶振動片２０について説明した。これに限らず、受け部は、水晶振動片を構成す
る水晶材料（圧電体材料）の結晶軸方向を考慮すれば、振動腕の振動方向のいずれか片側
に受け部を配置することによって、耐衝撃性の向上を図ることができる。
図４は、振動腕の振動方向の片側にのみ受け部を有する支持腕を配置した水晶振動片の
変形例を模式的に説明する平面図である。本変形例を説明する図４において、上記実施形
態と同じ構成については同一符号を付して説明を省略する。 (Modification of the first embodiment)
In the above embodiment, the crystal vibrating piece 20 having the configuration in which the support arm 30 having the receiving portions 35 is provided on both sides of the pair of vibrating arms 22 has been described. However, the receiving portion is not limited to this, by considering the crystal axis direction of the crystal material (piezoelectric material) constituting the crystal vibrating piece, by arranging the receiving portion on one side of the vibrating direction of the vibrating arm, The impact property can be improved.
FIG. 4 is a plan view schematically illustrating a modified example of the crystal vibrating piece in which the supporting arm having the receiving portion is arranged only on one side in the vibration direction of the vibrating arm. In FIG. 4 illustrating the present modification, the same components as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

図４において、水晶振動片５０は、水晶Ｚ板を所定の厚みに切断研磨加工して得られる
水晶基材からなり、基部２１と、この基部２１の一端側（図において上（Ｙ−方向）に向
いた端側）から二股に別れて互いに並行して延出する一対の振動腕２２と、を有している
。基部２１には、水晶のＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸からなる直交座標系におけるＸ軸方向の
１つの直線に沿った対向方向に該基部２１の両主面に括れた形状が表れるように設けられ
た一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂが形成され、基部２１は、一対の切り込み４１Ａ，４１
Ｂを挟んで両側に位置する第１の部分２１ａおよび第２の部分２１ｂと、一対の切り込み
４１Ａ，４１Ｂ間で第１の部分２１ａおよび第２の部分２１ｂを接続する接続部分２１ｃ
とを含む。 In FIG. 4, a crystal vibrating piece 50 is made of a crystal base material obtained by cutting and polishing a crystal Z plate to a predetermined thickness, and includes a base 21 and one end side of this base 21 (upper (Y-direction in the figure)). And a pair of vibrating arms 22 extending in parallel with each other. The base 21 has a shape confined to both main surfaces of the base 21 in an opposing direction along one straight line in the X-axis direction in the orthogonal coordinate system including the X-axis, the Y-axis, and the Z-axis of the crystal. A pair of cuts 41A and 41B provided is formed, and the base 21 is formed of a pair of cuts 41A and 41A.
A first portion 21a and a second portion 21b located on both sides of B and a connecting portion 21c that connects the first portion 21a and the second portion 21b between the pair of cuts 41A and 41B.
Including.

一対の振動腕２２は、その先端側に幅広部である錘部２９がそれぞれ設けられている。
また、各振動腕２２の主面には、それぞれの長手方向に沿って一本の有底の長溝２６ａが
それぞれ設けられている。また、図示はしないが、各振動腕２２の各長溝２６ａ、および
各両側面を含む表面には励振電極が形成されている。 Each of the pair of vibrating arms 22 is provided with a weight portion 29 which is a wide portion on the tip side.
In addition, a bottomed long groove 26 a is provided on the main surface of each vibrating arm 22 along the respective longitudinal direction. Although not shown, excitation electrodes are formed on the surfaces including the long grooves 26 a of the vibrating arms 22 and both side surfaces.

水晶振動片５０は、基部２１の第２の部分２１ｂから延びる一対の支持腕３０，３０ｂ
を有している。各支持腕３０，３０ｂは、基部２１から一対の振動腕２２が延びる方向と
は交差方向の二つの端部から、それぞれ相互に反対方向に延出されてから、屈曲部３１，
３１ｂで、一対の振動腕２２の延びる方向に屈曲してさらに延びている。
この一対の支持腕３０，３０ｂのうち、水晶の直交座標系における−Ｘ方向から切り込
んで形成された切り込み４１Ｂの反対側の基部２１の端部（＋Ｘ側）から延出されている
一方の支持腕３０は、先端側に受け部３５を有している。これに対して、水晶の前記直交
座標系における−Ｘ方向の切り込み４１Ｂ側の基部２１の端部から延出された他方の支持
腕３０ｂは、前記受け部３５を有する一方の支持腕３０よりも短いものであり、受け部は
有しておらず、固定部３９を有している。 The quartz crystal vibrating piece 50 includes a pair of support arms 30 and 30b extending from the second portion 21b of the base portion 21.
have. Each support arm 30, 30 b extends from two ends in the direction intersecting with the direction in which the pair of vibrating arms 22 extend from the base 21, respectively, in opposite directions, and then the bent portion 31,
In 31b, the pair of vibrating arms 22 is bent and further extended.
Of the pair of support arms 30 and 30b, one support extended from the end portion (+ X side) of the base portion 21 opposite to the cut 41B formed by cutting from the -X direction in the orthogonal coordinate system of the crystal. The arm 30 has a receiving portion 35 on the distal end side. On the other hand, the other support arm 30b extended from the end of the base portion 21 on the incision 41B side in the −X direction in the orthogonal coordinate system of quartz is more than the one support arm 30 having the receiving portion 35. It is short, has no receiving part, and has a fixing part 39.

水晶Ｚ板により形成された水晶振動片５０において、基部２１のＸ軸方向の双方向から
切り込まれて形成された一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂのうち、結晶軸の直交座標系にお
ける−Ｘ方向に沿った切り込み４１Ｂをエッチングにより形成した際に、水晶Ｚ板のエッ
チング異方性により、切り込み４１Ｂの内壁の先端部（角部）４２Ｂに、望まない穴部や
エッチング残り部が生じる所謂ひれ部が形成される。この切り込み４１Ｂに生じるひれ部
は、落下などにより水晶振動片５０に衝撃が加わった際に、亀裂が入ったり折れたりする
きっかけになり得るものであり、特に、ひれ部に引っ張り応力が加わったとき、すなわち
、振動腕２２が＋Ｘ方向に大きく変位した場合に、顕著な強度劣化要因となる。 Of the pair of cuts 41A and 41B formed by cutting from both sides of the base portion 21 in the X-axis direction in the crystal vibrating piece 50 formed by the crystal Z plate, in the −X direction in the orthogonal coordinate system of the crystal axis. When the cuts 41B are formed by etching, so-called fins in which unwanted holes and remaining etching portions are formed at the tip (corner) 42B of the inner wall of the cuts 41B due to the etching anisotropy of the crystal Z plate. It is formed. The fin portion generated in the notch 41B can trigger a crack or break when an impact is applied to the crystal vibrating piece 50 due to a drop or the like, and particularly when a tensile stress is applied to the fin portion. That is, when the vibrating arm 22 is greatly displaced in the + X direction, it becomes a significant strength deterioration factor.

本変形例の水晶振動片５０の構成によれば、ひれ部が発生する−Ｘ方向の切り込みの反
対側の基部２１の端部（＋Ｘ方向）から延出された一方の支持腕３０の先端側に受け部３
５を備え、他方の支持腕３０ｂは、水晶振動片５０の支持構造としての機能となる固定部
３９を有し、一方の支持腕３０よりも短く、先端側に受け部を有していない構成となって
いる。これにより、振動腕２２が、ひれ部に引っ張り応力が加わる方向である＋Ｘ方向に
大きく変位したときに、その振動腕２２の変位が受け部３５により規制され、耐衝撃性が
特に弱いひれ部に亀裂が入ったり折れたりするのを防止できる。
ここで、ひれ部が形成されてしまう−Ｘ側の切り込み４１Ｂと対をなす切り込み４１Ａ
の内壁の角部４２Ａは、ひれ部の発生はなく強度低下も起こり難いため、基部２１の−Ｘ
側に配置される他方の支持腕３０ｂには受け部を設けなくてもよく、支持腕３０ｂの長さ
は短くてよい。したがって、振動腕２２の両側に受け部３５を有する支持腕３０を配置す
る構成に比して、小型で、耐衝撃性に優れた水晶振動片５０とすることができる。 According to the configuration of the quartz crystal vibrating piece 50 of the present modification, the distal end side of one support arm 30 extended from the end portion (+ X direction) of the base portion 21 on the opposite side to the notch in the −X direction where the fin portion is generated. Receiving part 3
The other support arm 30b has a fixed portion 39 that functions as a support structure for the crystal vibrating piece 50, is shorter than the one support arm 30, and does not have a receiving portion on the tip side. It has become. As a result, when the vibrating arm 22 is greatly displaced in the + X direction, which is a direction in which a tensile stress is applied to the fin portion, the displacement of the vibrating arm 22 is regulated by the receiving portion 35, so that the shock resistance is particularly weak in the fin portion. It can be prevented from cracking or breaking.
Here, a fin portion is formed. A cut 41A that makes a pair with the cut 41B on the -X side.
Since the corner portion 42A of the inner wall of the inner wall of the base portion 21 does not generate a fin portion and does not easily decrease in strength,
The other support arm 30b disposed on the side does not have to be provided with a receiving portion, and the length of the support arm 30b may be short. Therefore, it is possible to make the crystal vibrating piece 50 small in size and excellent in impact resistance as compared with the configuration in which the support arm 30 having the receiving portions 35 is disposed on both sides of the vibrating arm 22.

以上、発明者によってなされた本発明にかかる実施の形態について具体的に説明したが
、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々の変更を加えることが可能である。 The embodiments of the present invention made by the inventor have been specifically described above, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are made without departing from the scope of the present invention. It is possible.

例えば、上記実施形態および変形例では、本発明の効果を顕著に奏する実施の形態とし
て、基部２１に振動漏れ抑止効果のある切り込み４１Ａ，４１Ｂを設けた構成の水晶振動
片２０，５０について説明した。これに限らず、基部に切り込みを設けない構成において
も、例えば、基部の振動腕の振動方向と同一方向の幅が狭く剛性が小さな振動片において
も、耐衝撃性の向上を図ることができる。 For example, in the above-described embodiment and the modification, the crystal vibrating pieces 20 and 50 having the configuration in which the base portion 21 is provided with the cuts 41A and 41B having the vibration leakage suppressing effect have been described as the embodiment that significantly exhibits the effects of the present invention. . However, the present invention is not limited to this, and even in a configuration in which a notch is not provided in the base portion, for example, even in a vibrating piece having a narrow width in the same direction as the vibration direction of the vibrating arm of the base portion and a small rigidity, the impact resistance can be improved.

また、上記実施形態および変形例では、長溝２６ａ，２６ｂや錘部２９を有する振動腕
２２を備えた水晶振動片２０，５０を一例として説明したが、それらを有していない構成
の振動片であっても、本発明の効果を得ることができる。 Moreover, in the said embodiment and modification, although the quartz crystal vibrating piece 20 and 50 provided with the vibrating arm 22 which has the long grooves 26a and 26b and the weight part 29 was demonstrated as an example, it is a vibrating piece of the structure which does not have them. Even if it exists, the effect of this invention can be acquired.

また、上記実施形態および変形例では、受け部３５を備えた支持腕３０において、受け
部３５の振動腕２２との当接部分に衝撃緩衝部材３８を設けた構成について説明した。こ
れに限らず、衝撃緩衝部材３８を設けない構成としても、受け部３５を有さない構成の振
動片に比して耐衝撃性を向上する効果がある。
また、支持腕３０の受け部３５のさらに先端側に設けた返し部３５ａについても、これ
を設けない構成としてもよい。 Further, in the above-described embodiment and the modification, the configuration in which the impact buffer member 38 is provided in the contact portion of the support portion 30 provided with the receiving portion 35 with the vibrating arm 22 has been described. However, the present invention is not limited to this, and even if the shock absorbing member 38 is not provided, there is an effect of improving the shock resistance as compared with the vibrating piece having the receiving portion 35.
Further, the return portion 35a provided on the distal end side of the receiving portion 35 of the support arm 30 may not be provided.

また、上記実施形態では、屈曲振動モードの水晶振動片２０を一例として説明した。こ
れに限らず、ねじり振動モードや剪断モードなどの屈曲振動モード以外の振動モードの振
動片においても、本発明の特徴的な構成を具備させることにより上記実施形態および変形
例と同様な耐衝撃性の向上などの効果を得ることができる。 Moreover, in the said embodiment, the crystal vibrating piece 20 of the bending vibration mode was demonstrated as an example. The present invention is not limited to this, and a vibration piece other than a bending vibration mode such as a torsional vibration mode or a shear mode is also provided with the characteristic configuration of the present invention, thereby providing the same impact resistance as that of the above-described embodiments and modifications. It is possible to obtain an effect such as improvement.

また、上記実施形態および変形例では、基部２１から２本の振動腕２２が互いに並行し
て延出されて形成された所謂音叉型の水晶振動片２０，５０における本発明の実施の形態
や変形例を説明した。これに限らず、固定端となる基部を有する１本の振動腕のみにより
構成される所謂ビーム型振動片などであっても、また、３本以上の振動腕を有する振動片
であっても、上記実施形態および変形例と同様な効果を得ることができる。 Further, in the above-described embodiment and modification, the embodiment and modification of the present invention in so-called tuning-fork type crystal vibrating pieces 20 and 50 formed by extending two vibrating arms 22 from the base portion 21 in parallel with each other. An example was explained. Not limited to this, even a so-called beam-type vibrating piece constituted by only one vibrating arm having a base portion serving as a fixed end, or a vibrating piece having three or more vibrating arms, The same effects as those of the above embodiment and the modification can be obtained.

上記実施形態および変形例では、圧電体材料の１つである水晶からなる水晶振動片２０
，５０について説明したが、これに限らず、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなど
の水晶以外の圧電体材料により構成することもできる。さらに、圧電体材料以外の、例え
ば、シリコン半導体からなる振動片であっても、上記実施形態および変形例と同様な効果
を得ることができる。 In the embodiment and the modification, the quartz crystal vibrating piece 20 made of quartz that is one of the piezoelectric materials.
However, the present invention is not limited to this, and may be formed of a piezoelectric material other than quartz such as lithium tantalate or lithium niobate. Furthermore, even if the resonator element is made of, for example, a silicon semiconductor other than the piezoelectric material, the same effects as those of the above-described embodiment and the modification can be obtained.

上記実施形態および変形例で説明した水晶振動片２０，５０は、圧電デバイスや、圧電
デバイス以外の様々な電子部品に適用することができる。特に、パッケージ内に上記の水
晶振動片２０，５０のうちいずれかの圧電振動片がその支持腕３０を固定部として接合さ
れ、さらに、その水晶振動片２０，５０を発振させる発振回路素子が少なくとも組み込ま
れて構成された発振器は、ＣＩ値の上昇や、Ｑ値の低下、あるいは振動漏れが抑えられて
高性能化が実現するとともに、小型化を図ることができる。 The quartz crystal resonating pieces 20 and 50 described in the above embodiment and modifications can be applied to various electronic components other than piezoelectric devices and piezoelectric devices. In particular, any one of the above-described crystal vibrating pieces 20 and 50 is bonded to the package with the support arm 30 as a fixed portion, and at least an oscillation circuit element that oscillates the crystal vibrating pieces 20 and 50 is provided. The built-in oscillator can increase the CI value, decrease the Q value, or suppress vibration leakage, achieve high performance, and reduce the size.

（第２実施形態）
次に、第２実施形態の振動片としての水晶振動片について説明する。図５は、第２実施
形態の水晶振動片を示す平面図である。
以下に説明する第２実施形態の水晶振動片については、前述した実施形態との相違点を
中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。 (Second Embodiment)
Next, a quartz crystal resonator element as the resonator element according to the second embodiment will be described. FIG. 5 is a plan view showing the quartz crystal resonator element according to the second embodiment.
The crystal resonator element of the second embodiment described below will be described mainly with respect to differences from the above-described embodiment, and the description of the same matters will be omitted.

本実施形態の水晶振動片７０は、基部７７の端部から延出された２つの振動腕７８，７
９と、振動腕７８，７９に対してＸ軸方向における両外側に、振動腕７８，７９と並行す
るように、１対（２つ）の支持腕（外側腕部）７４Ｂ，７５Ｂが設けられている。２つの
振動腕７８，７９には、それぞれの主面に開口部を有する有底の長溝７２，７３が設けら
れている。２つの支持腕７４Ｂ，７５Ｂは、基部７７からそれぞれＹ軸方向に延出すると
ともに、Ｘ軸方向に並んで設けられている。 The crystal vibrating piece 70 of the present embodiment has two vibrating arms 78 and 7 extending from the end of the base 77.
9 and a pair of (two) support arms (outer arm portions) 74B and 75B are provided on both outer sides in the X-axis direction with respect to the vibrating arms 78 and 79 so as to be parallel to the vibrating arms 78 and 79. ing. The two vibrating arms 78 and 79 are provided with bottomed long grooves 72 and 73 each having an opening on the main surface. The two support arms 74B and 75B extend from the base portion 77 in the Y-axis direction and are provided side by side in the X-axis direction.

本実施形態では、支持腕７４Ｂ，７５Ｂは、その先端部が振動腕７８，７９の先端部に
対向するような長さに設定されている。
また、支持腕７４Ｂ，７５Ｂは、互いの離間距離が基端側よりも先端側の方が広くなっ
ている。
また、支持腕７４Ｂの先端部には、衝撃吸収性を有する受け部（緩衝部）２４１Ｂが設
けられ、支持腕７４Ｂの途中にも、衝撃吸収性を有する受け部（緩衝部）２４２Ｂが設け
られている。同様に、支持腕７５Ｂの先端部には、衝撃吸収性を有する受け部（緩衝部）
２５１Ｂが設けられ、支持腕７５Ｂの途中にも、衝撃吸収性を有する受け部（緩衝部）２
５２Ｂが設けられている。
受け部（緩衝部）２４１Ｂ，２４２Ｂは、支持腕７４Ｂと振動腕７８との間隔が狭くな
るように支持腕７４Ｂの幅寸法が大きくなるように形成されている。換言すれば、受け部
（緩衝部）２４１Ｂ，２４２Ｂは、支持腕７４Ｂから振動腕７８に向かって支持腕７４Ｂ
から突起状に設けられた凸部として形成されている。同様に、受け部（緩衝部）２５１Ｂ
，２５２Ｂは、支持腕７５Ｂと振動腕７９との間隔が狭くなるように支持腕７５Ｂの幅寸
法が大きくなるように形成されている。換言すれば、受け部（緩衝部）２５１Ｂ，２５２
Ｂは、支持腕７５Ｂから振動腕７９に向かって支持腕７５Ｂから突起状に設けられた凸部
として形成されている。なお、本例の受け部（緩衝部）２４１Ｂ，２４２Ｂ，２５１Ｂ，
２５２Ｂは、前述した支持腕７４Ｂ，７５Ｂから振動腕７８，７９に向かう方向と反対方
向に向けても凸部が設けられた構成であるが、前述したように、支持腕７４Ｂ，７５Ｂか
ら振動腕７８，７９に向かう方向だけに凸部が設けられた構成でもよい。 In the present embodiment, the support arms 74 </ b> B and 75 </ b> B are set to such a length that the tip portions thereof are opposed to the tip portions of the vibrating arms 78 and 79.
Further, the support arms 74B and 75B are spaced apart from each other at the distal end side relative to the proximal end side.
In addition, a receiving portion (buffer portion) 241B having shock absorption is provided at the tip of the support arm 74B, and a receiving portion (buffer portion) 242B having shock absorption is also provided in the middle of the support arm 74B. ing. Similarly, at the tip of the support arm 75B, a receiving part (buffer part) having shock absorption is provided.
251B is provided, and a receiving part (buffer part) 2 having shock absorption is also provided in the middle of the support arm 75B.
52B is provided.
The receiving portions (buffer portions) 241B and 242B are formed so that the width dimension of the support arm 74B is increased so that the interval between the support arm 74B and the vibrating arm 78 is reduced. In other words, the receiving portions (buffer portions) 241B and 242B are supported by the support arm 74B from the support arm 74B toward the vibrating arm 78.
Are formed as protrusions provided in a protruding shape. Similarly, receiving part (buffer part) 251B
, 252B is formed such that the width dimension of the support arm 75B is increased so that the distance between the support arm 75B and the vibrating arm 79 is reduced. In other words, the receiving portions (buffer portions) 251B, 252
B is formed as a protrusion provided in a protruding shape from the support arm 75B toward the vibrating arm 79 from the support arm 75B. In addition, the receiving part (buffer part) 241B, 242B, 251B of this example,
252B has a configuration in which a convex portion is provided even in the direction opposite to the direction from the support arms 74B and 75B to the vibration arms 78 and 79, but as described above, the support arms 74B and 75B are provided with the vibration arms. A configuration in which convex portions are provided only in the direction toward 78 and 79 may be employed.

ここで、支持腕７４Ｂ，７５Ｂの先端部分の受け部（緩衝部）２４１Ｂ，２５１Ｂおよ
び途中部分の受け部２４２Ｂ，２５２Ｂは、各振動腕７８，７９に対して離間して設けら
れ、各振動腕７８，７９がＸ軸方向に曲げ変形されたときに、振動腕７８，７９のうちの
少なくとも１つの振動腕に接触して、それ以上の曲げ変形を阻止（規制）する阻止部（規
制部）を構成する。
換言すると、受け部２４１Ｂ，２５１Ｂ，２４２Ｂ，２５２Ｂは、隣接する振動腕７８
，７９の通常の振動の振幅範囲外に配置され、且つ、隣接する振動腕７８，７９に通常の
振幅範囲を所定量越えた変位が生じた場合にその振動腕７８，７９が当接される位置に受
け部２４１Ｂ，２５１Ｂ，２４２Ｂ，２５２Ｂが設けられている。
なお、前述した振動腕７８，７９の通常の振動の振幅範囲とは、前述した実施形態と同
様に、外部から駆動電圧（電界）を印加することにより、所定の共振周波数で振動する振
動腕７８，７９の振幅が最も大きくなった場合の振動腕７８，７９の振動領域をいう。す
なわち、所定の共振周波数で振動する振動腕７８，７９の振幅が最も大きくなった場合で
も、隣接する振動腕７８，７９と受け部２４１Ｂ，２５１Ｂ，２４２Ｂ，２５２Ｂとが接
触しないように配置されている。 Here, the receiving portions (buffer portions) 241B and 251B at the tip portions of the support arms 74B and 75B and the receiving portions 242B and 252B in the middle portions are provided to be separated from the vibrating arms 78 and 79, respectively. A blocking portion (restricting portion) that contacts (or restricts) further bending deformation by contacting at least one vibrating arm of the vibrating arms 78 and 79 when the 78 and 79 are bent and deformed in the X-axis direction. Configure.
In other words, the receiving portions 241B, 251B, 242B, 252B are adjacent to the vibrating arms 78 adjacent to each other.
, 79 are arranged outside the normal vibration amplitude range, and when the displacement of the adjacent vibration arms 78, 79 exceeding the normal amplitude range by a predetermined amount occurs, the vibration arms 78, 79 are brought into contact with each other. Receiving portions 241B, 251B, 242B, 252B are provided at the positions.
Note that the normal vibration amplitude range of the above-described vibrating arms 78 and 79 is the vibrating arm 78 that vibrates at a predetermined resonance frequency by applying a driving voltage (electric field) from the outside as in the above-described embodiment. , 79 is the vibration region of the vibrating arms 78, 79 when the amplitude becomes the largest. That is, even when the amplitudes of the vibrating arms 78 and 79 that vibrate at a predetermined resonance frequency are maximized, the adjacent vibrating arms 78 and 79 and the receiving portions 241B, 251B, 242B, and 252B are arranged so as not to contact each other. Yes.

支持腕７４Ｂの先端部に設けられた受け部２４１Ｂの振動腕７８側の部分２４１１Ｂは
、振動腕７８が支持腕７４Ｂ側に通常の振動の振幅範囲を超えてＸ軸方向の曲げ変形を生
じたときに、振動腕７８と接触する。これと同時に、支持腕７４Ｂの途中に設けられた受
け部２４２Ｂの振動腕７８側の部分２４２１Ｂは、振動腕７８が支持腕７４Ｂ側にＸ軸方
向の曲げ変形を生じたときに、振動腕７８と接触する。
同様に、支持腕７５Ｂの先端部に設けられた受け部２５１Ｂの振動腕７９側の部分２５
１１Ｂは、振動腕７９が支持腕７５Ｂ側に通常の振動の振幅範囲を超えてＸ軸方向の曲げ
変形を生じたときに、振動腕７９と接触する。これと同時に、支持腕７５Ｂの途中に設け
られた受け部２５２Ｂの振動腕７９側の部分２５２１Ｂは、振動腕７９が支持腕７５Ｂ側
にＸ軸方向の曲げ変形を生じたときに、振動腕７９と接触する。 A portion 2411B on the vibrating arm 78 side of the receiving portion 241B provided at the distal end of the support arm 74B causes the vibrating arm 78 to bend in the X-axis direction beyond the normal vibration amplitude range on the support arm 74B side. Sometimes it comes into contact with the vibrating arm 78. At the same time, the portion 2421B on the vibrating arm 78 side of the receiving portion 242B provided in the middle of the support arm 74B has a vibrating arm 78 when the vibrating arm 78 undergoes bending deformation in the X-axis direction on the support arm 74B side. Contact with.
Similarly, the portion 25 on the vibrating arm 79 side of the receiving portion 251B provided at the tip of the support arm 75B.
11B comes into contact with the vibrating arm 79 when the vibrating arm 79 exceeds the normal vibration amplitude range on the support arm 75B side and undergoes bending deformation in the X-axis direction. At the same time, the portion 2521B on the vibrating arm 79 side of the receiving portion 252B provided in the middle of the support arm 75B has the vibrating arm 79 when the vibrating arm 79 undergoes bending deformation in the X-axis direction on the support arm 75B side. Contact with.

このように、支持腕７４Ｂ，７５Ｂの部分２４１１Ｂ，２４２１Ｂ，２５１１Ｂ，２５
２１Ｂ（阻止部）は、前述したような振動腕７８，７９の曲げ変形により振動腕７８，７
９の長手方向における複数位置と接触するように構成されている。これにより、振動腕７
８，７９と支持腕７４Ｂ，７５Ｂの部分２４１１Ｂ，２４２１Ｂ，２５１１Ｂ，２５２１
Ｂ（阻止部）が接触したときに、振動腕７８，７９に対して衝撃が局所的に加わるのを防
止または緩和することができる。 In this way, the portions 2411B, 2421B, 2511B, 25 of the support arms 74B, 75B.
21B (blocking portion) is formed by vibrating arms 78 and 7 by bending deformation of vibrating arms 78 and 79 as described above.
9 is configured to come into contact with a plurality of positions in the longitudinal direction. As a result, the vibrating arm 7
8, 79 and portions 2411B, 2421B, 2511B, 2521 of the support arms 74B, 75B
When B (blocking part) comes into contact, it is possible to prevent or alleviate the impact locally applied to the vibrating arms 78 and 79.

また、支持腕７４Ｂ，７５Ｂの途中（阻止部）の部分２４２１Ｂ，２５２１Ｂは、それ
ぞれ、振動腕７８，７９側を凸とする湾曲凸面をなしている。そのため、支持腕７４Ｂの
途中（阻止部）の部分２４２１Ｂは、前述したような振動腕２８の曲げ変形により振動腕
７８と面接触する。同様に、支持腕７５Ｂの途中（阻止部）の部分２５２１Ｂは、前述し
たような振動腕７９の曲げ変形により振動腕７９と面接触する。これにより、振動腕７８
，７９と支持腕７４Ｂ，７５Ｂの途中（阻止部）の部分２４２１Ｂ，２５２１Ｂとが接触
したときに、振動腕７８，７９に対して衝撃が局所的に加わるのを防止または緩和するこ
とができる。
以上説明したような第２実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果を奏す
る。 In addition, the portions 2421B and 2521B in the middle of the support arms 74B and 75B (blocking portions) have curved convex surfaces that protrude from the vibrating arms 78 and 79, respectively. Therefore, the portion 2421B in the middle (blocking portion) of the support arm 74B comes into surface contact with the vibrating arm 78 by the bending deformation of the vibrating arm 28 as described above. Similarly, a portion 2521B in the middle (blocking portion) of the support arm 75B comes into surface contact with the vibrating arm 79 due to the bending deformation of the vibrating arm 79 as described above. Thus, the vibrating arm 78
, 79 and the portions 2421B, 2521B in the middle of the support arms 74B, 75B (blocking portions) 2421B, 2521B can be prevented or alleviated from impact locally on the vibrating arms 78, 79.
According to the second embodiment as described above, the same effects as those of the first embodiment described above can be obtained.

（第３実施形態）
次に、第３実施形態として、前述の実施形態で説明した振動片としての水晶振動片を備
えた振動子について説明する。
図６は、第３実施形態の振動子の概略構成を示す模式図であり、図６（ａ）は平面図、
図６（ｂ）は、図６（ａ）のＦ−Ｆ線での断面図である。なお、本実施形態では、前述の
第１実施形態で説明した振動片としての水晶振動片２０を一例として用いる構成を示し説
明する。 (Third embodiment)
Next, as a third embodiment, a vibrator provided with a quartz crystal resonator element as the resonator element described in the above embodiment will be described.
FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of the vibrator according to the third embodiment, in which FIG.
FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line FF in FIG. In the present embodiment, a configuration in which the crystal resonator element 20 as the resonator element described in the first embodiment is used as an example will be described.

図６に示すように、振動子としての水晶振動子５は、第１実施形態の水晶振動片２０と
、水晶振動片２０を収容するパッケージ８０と、を備えている。パッケージ８０は、パッ
ケージベース８１、シームリング８２、蓋体８５などから構成されている。パッケージベ
ース８１は、水晶振動片２０を収容できるように凹部が形成され、その凹部に水晶振動片
２０の図示しないマウント電極と接続される接続パッド８８が２箇所に設けられている。
接続パッド８８は、パッケージベース８１内の配線に接続され、パッケージベース８１の
外周部に設けられた外部接続端子８３と導通可能に構成されている。 As shown in FIG. 6, the crystal resonator 5 as the resonator includes the crystal resonator element 20 of the first embodiment and a package 80 that houses the crystal resonator element 20. The package 80 includes a package base 81, a seam ring 82, a lid 85, and the like. The package base 81 is formed with a recess so that the crystal vibrating piece 20 can be accommodated, and two connection pads 88 connected to a mount electrode (not shown) of the crystal vibrating piece 20 are provided in the recess.
The connection pad 88 is connected to the wiring in the package base 81 and is configured to be electrically connected to the external connection terminal 83 provided on the outer periphery of the package base 81.

パッケージベース８１の凹部の周囲には、シームリング８２が設けられている。さらに
、パッケージベース８１の底部には、貫通穴８６が設けられている。水晶振動片２０は、
パッケージベース８１の接続パッド８８に導電性接着剤８４を介して接着固定されている
。そして、パッケージ８０は、パッケージベース８１の凹部を覆う蓋体８５とシームリン
グ８２とがシーム溶接されている。パッケージベース８１の貫通穴８６には、金属材料な
どからなる封止材８７が充填されている。この封止材８７は、減圧雰囲気内で溶融後固化
され、パッケージベース８１内が減圧状態を保持できるように、貫通穴８６を気密に封止
している。水晶振動子５は、外部接続端子８３を介した外部からの駆動信号により水晶振
動片２０が励振され、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で発振（共振）する。 A seam ring 82 is provided around the recess of the package base 81. Further, a through hole 86 is provided at the bottom of the package base 81. The crystal vibrating piece 20 is
The connection pad 88 of the package base 81 is bonded and fixed via a conductive adhesive 84. In the package 80, a lid body 85 and a seam ring 82 that cover the concave portion of the package base 81 are seam-welded. A through hole 86 of the package base 81 is filled with a sealing material 87 made of a metal material or the like. The sealing material 87 is solidified after being melted in a reduced pressure atmosphere, and the through hole 86 is hermetically sealed so that the inside of the package base 81 can be kept in a reduced pressure state. The crystal resonator 5 is oscillated (resonated) at a predetermined frequency (for example, 32 kHz) when the crystal resonator element 20 is excited by an external drive signal via the external connection terminal 83.

上述したように、水晶振動子５は、前述の実施形態で説明した水晶振動片２０を備えて
いることから、安定した振動特性を有すると共に、耐衝撃性の高い水晶振動子５を提供す
ることが可能となる。
なお、水晶振動子５は、水晶振動片２０に代えて他の形態の振動片、例えば水晶振動片
７０を用いても、同様の効果を得ることができる。
また、本実施形態では、水晶振動片２０を２箇所に設けられた接続パッド８８に固定す
る構成で説明したが、接続パッド８８は２箇所に限られるものではなく、所望の数を設け
ても良く、水晶振動片２０との接続も所望の接続箇所で行うことができる。 As described above, since the crystal resonator 5 includes the crystal resonator element 20 described in the above embodiment, the crystal resonator 5 has stable vibration characteristics and high impact resistance. Is possible.
Note that the quartz resonator 5 can obtain the same effect even when another type of vibrating piece, for example, the quartz vibrating piece 70 is used instead of the quartz vibrating piece 20.
In the present embodiment, the crystal resonator element 20 is fixed to the connection pads 88 provided at two locations. However, the connection pads 88 are not limited to two locations, and a desired number may be provided. The connection with the crystal vibrating piece 20 can be performed at a desired connection location.

（第４実施形態）
次に、第４実施形態として、上記で説明した振動片としての水晶振動片を備えた発振器
について説明する。
図７は、第４実施形態の発振器の概略構成を示す模式図であり、図７（ａ）は平面図、
図７（ｂ）は図７（ａ）のＧ−Ｇ線での断面図である。なお、本実施形態では、前述の第
１実施形態で説明した振動片としての水晶振動片２０を一例として用いる構成を示し説明
する。 (Fourth embodiment)
Next, as a fourth embodiment, an oscillator including a crystal vibrating piece as the vibrating piece described above will be described.
FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of the oscillator according to the fourth embodiment, in which FIG.
FIG.7 (b) is sectional drawing in the GG line of Fig.7 (a). In the present embodiment, a configuration in which the crystal resonator element 20 as the resonator element described in the first embodiment is used as an example will be described.

発振器としての水晶発振器６は、上記水晶振動子５の構成に回路素子をさらに備えた構
成となっている。なお、水晶振動子５との共通部分については、同一符号を付して詳細な
説明を省略する。
図７に示すように、水晶発振器６は、第１実施形態の水晶振動片２０と、水晶振動片２
０を発振させる発振回路を有する回路素子としてのＩＣチップ９１と、水晶振動片２０及
びＩＣチップ９１を収容するパッケージ８０と、を備えている。ＩＣチップ９１は、パッ
ケージベース８１の底部に固着され、金線などの金属ワイヤー９２により他の配線と接続
されている。水晶発振器６は、ＩＣチップ９１の発振回路からの駆動信号により水晶振動
片２０が励振され、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で発振（共振）する。 The crystal oscillator 6 as an oscillator has a configuration in which a circuit element is further provided in the configuration of the crystal resonator 5. In addition, about the common part with the crystal oscillator 5, the same code | symbol is attached | subjected and detailed description is abbreviate | omitted.
As shown in FIG. 7, the crystal oscillator 6 includes the crystal vibrating piece 20 of the first embodiment and the crystal vibrating piece 2.
An IC chip 91 as a circuit element having an oscillation circuit that oscillates 0, and a package 80 that accommodates the crystal vibrating piece 20 and the IC chip 91 are provided. The IC chip 91 is fixed to the bottom of the package base 81 and is connected to other wiring by a metal wire 92 such as a gold wire. In the crystal oscillator 6, the crystal resonator element 20 is excited by a drive signal from the oscillation circuit of the IC chip 91, and oscillates (resonates) at a predetermined frequency (for example, 32 kHz).

上述したように、水晶発振器６は、前述の実施形態で説明した水晶振動片２０を備えて
いることから、安定した振動特性を有すると共に、耐衝撃性の高い水晶発振器６を提供す
ることが可能となる。 As described above, since the crystal oscillator 6 includes the crystal resonator element 20 described in the above-described embodiment, it is possible to provide the crystal oscillator 6 having stable vibration characteristics and high impact resistance. It becomes.

なお、水晶発振器６は、水晶振動片２０に代えて水晶振動片７０を用いても、同様の効
果を得ることができる。
また、本実施形態では、水晶振動片２０を２箇所に設けられた接続パッド８８に固定す
る構成で説明したが、接続パッド８８は２箇所に限られるものではなく、所望の数を設け
ても良く、水晶振動片２０との接続も所望の接続箇所で行うことができる。 The crystal oscillator 6 can obtain the same effect even when the crystal resonator element 70 is used instead of the crystal oscillator piece 20.
In the present embodiment, the crystal resonator element 20 is fixed to the connection pads 88 provided at two locations. However, the connection pads 88 are not limited to two locations, and a desired number may be provided. The connection with the crystal vibrating piece 20 can be performed at a desired connection location.

前述した振動片としての水晶振動片２０，７０は、落下などの衝撃によって振動腕に大
きな変位が生じた場合に、衝撃を緩和しながら振動腕の変位を規制する受け部を備えてい
るので、耐衝撃性を確保しながら安定した振動特性を維持することができる。
従って、この水晶振動片２０，７０をパッケージ化した水晶振動子５、或いは水晶発振
器６は、タイミングデバイスなどとして、デジタル携帯電話、パーソナルコンピューター
、電子時計、ビデオレコーダー、テレビなどの電子機器に広く用いられる。そして、これ
ら電子機器の小型化など、特に耐衝撃性を必要とする携帯機器などに好適に用いることが
できる。 Since the crystal vibrating pieces 20 and 70 as the vibrating pieces described above include a receiving portion that regulates the displacement of the vibrating arm while relaxing the shock when a large displacement occurs in the vibrating arm due to an impact such as dropping, Stable vibration characteristics can be maintained while ensuring impact resistance.
Therefore, the crystal resonator 5 or the crystal oscillator 6 in which the crystal vibrating pieces 20 and 70 are packaged is widely used as an electronic device such as a digital mobile phone, a personal computer, an electronic watch, a video recorder, and a television as a timing device. It is done. And it can use suitably for the portable apparatus etc. which especially need impact resistance, such as size reduction of these electronic devices.

２０，５０…振動片としての水晶振動片、２１，１２１…基部、２１ａ，１２１ａ…第
１の部分、２１ｂ，１２１ｂ…第２の部分、２１ｃ，１２１ｃ…接続部分、２２，１２２
…振動腕、２６ａ，２６ｂ，１２６…長溝、２７…角部、２９…錘部、３０，３０ｂ…支
持腕、３１，３１ｂ…屈曲部、３２…幅広部、３３…幅狭部、３５…受け部、３５ａ…返
し部、３８…衝撃緩衝部材、３９…固定部、４１Ａ，４１Ｂ，１４１Ａ，１４１Ｂ…切り
込み、４２Ａ，４２Ｂ，１４２Ａ，１４２Ｂ…（切り込みの）先端部、４３，４４…励振
電極、１００…従来の振動片としての音叉型水晶振動片。 20, 50... Crystal resonator element as a resonator element, 21, 121, base, 21 a, 121 a, first part, 21 b, 121 b, second part, 21 c, 121 c, connection part, 22, 122
... vibrating arm, 26a, 26b, 126 ... long groove, 27 ... corner, 29 ... weight, 30, 30b ... support arm, 31, 31b ... bent part, 32 ... wide part, 33 ... narrow part, 35 ... receiving Part, 35a ... return part, 38 ... impact buffer member, 39 ... fixed part, 41A, 41B, 141A, 141B ... notch, 42A, 42B, 142A, 142B ... (notch) tip, 43,44 ... excitation electrode, 100: A tuning-fork type crystal vibrating piece as a conventional vibrating piece.

Claims

基部と、
前記基部から第１方向に沿って延出されている振動腕と、
前記基部に接続されていると共に、前記振動腕に並んで配置されている支持腕と、
を含み、
前記振動腕は、平面視で、
互いに表裏の関係にある第１の主面及び第２の主面の少なくとも一方に、前記第１方向に沿って溝が設けられ、
前記支持腕は、平面視で、
前記振動腕が、前記振動腕の振動の振幅の範囲を越えて変位したとき、前記振動腕と接触する受け部を含み、
前記受け部における前記振動腕との前記接触部分が、平面視で、前記溝が設けられている領域よりも先端側に設けられていることを特徴とする振動片。 The base,
A vibrating arm extending along a first direction from the base;
Together are connected to the base, a support arm which is arranged in front Symbol vibrating arm,
Including
The vibrating arm is a plan view,
Grooves are provided along the first direction in at least one of the first main surface and the second main surface that are in a front-back relationship with each other,
The support arm is a plan view,
A receiving portion that comes into contact with the vibrating arm when the vibrating arm is displaced beyond a range of vibration amplitude of the vibrating arm;
The resonator element according to claim 1, wherein the contact portion of the receiving portion with the vibrating arm is provided on a distal end side in a plan view with respect to a region where the groove is provided .

基部と、The base,
前記基部から第１方向に沿って延出されている振動腕と、A vibrating arm extending along a first direction from the base;
前記基部に接続されていると共に、前記振動腕に並んで配置されている支持腕と、A support arm connected to the base and arranged side by side with the vibrating arm;
を含み、Including
前記振動腕は、平面視で、The vibrating arm is a plan view,
前記基部側に配置されている腕部と、An arm portion disposed on the base side;
前記腕部より先端側に配置され、前記腕部より前記第１方向と交差する第２方向に沿った幅が広い錘部と、A weight portion that is disposed on the tip side from the arm portion and has a wider width along a second direction intersecting the first direction than the arm portion;
を含み、Including
前記支持腕は、平面視で、The support arm is a plan view,
前記振動腕が、前記振動腕の振動の振幅の範囲を越えて変位したとき、前記振動腕と接触する受け部を含み、A receiving portion that comes into contact with the vibrating arm when the vibrating arm is displaced beyond a range of vibration amplitude of the vibrating arm;
前記受け部における前記振動腕との前記接触部分が、前記錘部と接触するように配置されていることを特徴とする振動片。The vibrating piece, wherein the contact portion of the receiving portion with the vibrating arm is disposed so as to contact the weight portion.

請求項２において、
前記受け部における前記接触部分が、前記錘部の側面と面接触するように配置されていることを特徴とする振動片。 In claim 2 ,
The resonator element , wherein the contact portion of the receiving portion is disposed so as to be in surface contact with a side surface of the weight portion.

請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記受け部の前記第１方向と交差する第２方向に沿った幅が、前記支持腕の前記基部側の前記第２方向に沿った幅よりも小さいことを特徴とする振動片。 In any one of Claims 1 thru | or 3 ,
The resonator element according to claim 1, wherein a width along a second direction intersecting the first direction of the receiving portion is smaller than a width along the second direction on the base side of the support arm.

請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記受け部は、前記支持腕に複数設けられ、
前記複数の受け部は、
前記振動腕の前記変位により前記振動腕の前記延出方向における複数の位置と夫々接触するように配置されていることを特徴とする振動片。 In any one of Claims 1 thru | or 4 ,
A plurality of the receiving portions are provided on the support arm,
The plurality of receiving portions are
The vibrating piece is disposed so as to come into contact with a plurality of positions in the extending direction of the vibrating arm by the displacement of the vibrating arm.

請求項１乃至５のいずれか一項において、
前記支持腕が、
前記振動腕の前記第１方向と交差する第２方向に沿った幅が最も細い部分の幅よりも細い部分を含むことを特徴とする振動片。 In any one of Claims 1 thru | or 5 ,
The support arm is
The resonator element including a portion whose width along a second direction intersecting with the first direction of the vibrating arm is narrower than a width of the narrowest portion.

請求項１乃至６のいずれか一項において、
前記振動片が圧電体材料により形成されていることを特徴とする振動片。 In any one of Claims 1 thru | or 6 ,
A vibrating piece, wherein the vibrating piece is made of a piezoelectric material.

請求項７において、
前記圧電体材料が水晶であり、
前記基部は、前記水晶の結晶Ｘ軸の方向に沿って設けられている切り込みを含み、
前記第１方向が、前記水晶の結晶Ｙ軸の方向に沿っており、
前記受け部は、前記振動腕の前記Ｘ軸の＋Ｘ軸側の側面に相対するように配置されていることを特徴とする振動片。 In claim 7 ,
The piezoelectric material is quartz;
The base includes a notch provided along the crystal X-axis direction of the quartz crystal,
The first direction is along the direction of the crystal Y-axis of the crystal;
The resonator element, wherein the receiving portion is disposed so as to face a side surface on the + X-axis side of the X-axis of the vibrating arm.

請求項１乃至８のいずれか一項において、
前記受け部に衝撃緩衝部材が設けられていることを特徴とする振動片。 In any one of Claims 1 thru | or 8 ,
A vibration piece characterized in that an impact buffering member is provided in the receiving portion.

請求項１乃至９のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片が収容されているパッケージと、
を備えていることを特徴とする振動子。 The resonator element according to any one of claims 1 to 9 ,
A package containing the resonator element;
A vibrator characterized by comprising:

請求項１乃至９のいずれか一項に記載の振動片と、
回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。 The resonator element according to any one of claims 1 to 9 ,
Circuit,
An oscillator comprising:

請求項１乃至９のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。 An electronic apparatus characterized by comprising a resonator element according to any one of claims 1 to 9.