JP5562539B2 - 濃度測定装置 - Google Patents
濃度測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5562539B2 JP5562539B2 JP2008212751A JP2008212751A JP5562539B2 JP 5562539 B2 JP5562539 B2 JP 5562539B2 JP 2008212751 A JP2008212751 A JP 2008212751A JP 2008212751 A JP2008212751 A JP 2008212751A JP 5562539 B2 JP5562539 B2 JP 5562539B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sample chamber
- gas sample
- atmosphere
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
2 二酸化炭素モジュール(気体サンプル室)
7 光源
14 赤外線センサ(センサ)
40 発光部
41 受光部
43 絶対圧センサ(圧力測定手段)
44 減算器(圧力比較手段)
45 ポンプ(供給量変更手段)
47 INLET(供給部)
48 OURLET(排出部)
50 オリフィス
Claims (2)
- 光源と、前記光源からの光を導く気体サンプル室と、前記気体サンプル室から導かれた前記光源からの光を受光するセンサが設けられた受光部と、前記気体サンプル室内に雰囲気を供給する供給部と、前記気体サンプル室内の雰囲気を排出する排出部と、前記センサが受光した前記光源からの光の強さに基づいて前記気体サンプル室内の予め定められた気体の濃度を算出する濃度算出部と、を備えた濃度測定装置において、
前記気体サンプル室内の圧力を測定する圧力測定手段と、
前記圧力測定手段で測定された前記気体サンプル室内の圧力と予め設定された所定の圧力とを比較する圧力比較手段と、
前記圧力比較手段の比較結果に基づいて前記供給部への前記雰囲気の供給量を変更するポンプと、
前記排出部に設けたオリフィスと、
を備え、
前記ポンプが、前記圧力比較手段で比較した結果前記気体サンプル室内の圧力が、前記予め設定された所定の圧力よりも低い場合は、前記ポンプの吸引量を多くして前記供給部への雰囲気の供給量を多くし、前記圧力比較手段で比較した結果前記気体サンプル室内の圧力が、前記予め設定された所定の圧力よりも高い場合は、前記ポンプの吸引量を少なくして前記供給部への雰囲気の供給量を少なくする、
ことを特徴とする濃度測定装置。 - 光源と、前記光源からの光を導く気体サンプル室と、前記気体サンプル室から導かれた前記光源からの光を受光するセンサが設けられた受光部と、前記気体サンプル室内に雰囲気を供給する供給部と、前記気体サンプル室内の雰囲気を排出する排出部と、前記センサが受光した前記光源からの光の強さに基づいて前記気体サンプル室内の予め定められた気体の濃度を算出する濃度算出部と、を備えた濃度測定装置において、
前記気体サンプル室内の圧力を測定する圧力測定手段と、
前記圧力測定手段で測定された前記気体サンプル室内の圧力と予め設定された所定の圧力とを比較する圧力比較手段と、
前記圧力比較手段の比較結果に基づいて前記供給部への前記雰囲気の供給量を変更するポンプと、
を備え、
前記圧力比較手段で比較した結果前記気体サンプル室内の圧力が、前記予め設定された所定の圧力よりも低い場合は、前記ポンプの吸引量を多くして前記供給部への雰囲気の供給量を多くし、前記圧力比較手段で比較した結果前記気体サンプル室内の圧力が、前記予め設定された所定の圧力よりも高い場合は、前記ポンプの吸引量を少なくして前記供給部への雰囲気の供給量を少なくする、
ことを特徴とする濃度測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008212751A JP5562539B2 (ja) | 2008-08-21 | 2008-08-21 | 濃度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008212751A JP5562539B2 (ja) | 2008-08-21 | 2008-08-21 | 濃度測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010048654A JP2010048654A (ja) | 2010-03-04 |
JP5562539B2 true JP5562539B2 (ja) | 2014-07-30 |
Family
ID=42065858
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008212751A Expired - Fee Related JP5562539B2 (ja) | 2008-08-21 | 2008-08-21 | 濃度測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5562539B2 (ja) |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0531547Y2 (ja) * | 1987-08-07 | 1993-08-13 | ||
JPH05296893A (ja) * | 1992-04-22 | 1993-11-12 | Horiba Ltd | 希釈サンプリング装置の希釈比切換装置 |
JPH0669806U (ja) * | 1993-02-26 | 1994-09-30 | 株式会社堀場製作所 | ガス濃度測定装置 |
JPH09178656A (ja) * | 1995-12-26 | 1997-07-11 | Shimadzu Corp | 赤外線ガス分析計 |
JPH10281988A (ja) * | 1997-04-09 | 1998-10-23 | Nippon Sanso Kk | ガス分析方法及びガス分析装置 |
JP2004239611A (ja) * | 1999-10-12 | 2004-08-26 | Nok Corp | Coセンサ |
JP2003014591A (ja) * | 2001-06-27 | 2003-01-15 | Shimadzu Corp | ガス分析計 |
JP2003014632A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 紫外線吸収等によるガス濃度モニターのガス圧補正方法及び補正システム |
JP4635227B2 (ja) * | 2001-08-14 | 2011-02-23 | Dowaサーモテック株式会社 | ガス試料採取装置及び方法 |
JP3679065B2 (ja) * | 2002-03-29 | 2005-08-03 | 株式会社ユー・ドム | 大気中のガス濃度測定装置 |
JP4247985B2 (ja) * | 2003-11-25 | 2009-04-02 | 株式会社堀場製作所 | 流路切換式分析計およびこれを用いた測定装置 |
JP2007248369A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Horiba Ltd | ガス分析計及びガス分析方法 |
KR101143080B1 (ko) * | 2006-07-31 | 2012-05-08 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 전자 장치 제조 시스템에서 가스들의 인시튜 분석을 위한 방법 및 장치 |
-
2008
- 2008-08-21 JP JP2008212751A patent/JP5562539B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010048654A (ja) | 2010-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102122840B1 (ko) | 분광 분석 방법 및 분광 분석 장치 | |
JP6620983B2 (ja) | 粒子検出センサ | |
CN210051741U (zh) | 具有校准功能的车用空气质量检测装置及车辆 | |
KR101487226B1 (ko) | 대기중 오존 측정을 위한 표준 교정 방법 및 표준 교정 장치 | |
CN107478612B (zh) | 用于检测过滤器积尘的传感器及方法 | |
WO2015119127A1 (ja) | ガス濃度検出装置 | |
CN107923848B (zh) | 气体浓度检测装置 | |
JP2006038721A (ja) | ガス濃度検出装置 | |
JP5175654B2 (ja) | 気体サンプル室、及び、この気体サンプル室を備える濃度測定装置 | |
US8077316B2 (en) | Chlorine dioxide sensor | |
JP5562539B2 (ja) | 濃度測定装置 | |
JP4766697B2 (ja) | 小型ガス検知装置 | |
JP2009145125A (ja) | 気体サンプル室及びこの気体サンプル室を備えた濃度測定装置 | |
JP2011086058A (ja) | 煙感知器および火災報知器 | |
JP5670717B2 (ja) | オゾンガス供給装置 | |
JP5026940B2 (ja) | 気体サンプル室及びこの気体サンプル室を備えた濃度測定装置 | |
JP5161012B2 (ja) | 濃度測定装置 | |
JP2000187786A (ja) | 火災検出装置及び火災検出装置における汚れ補償方法 | |
JP2008292321A (ja) | ガス濃度測定装置 | |
JP2010060484A (ja) | 気体セル、気体サンプル室、及び、濃度測定装置 | |
KR101812783B1 (ko) | 블랙카본 측정 장치 | |
TWI394198B (zh) | Excimer lamp device | |
JP5148921B2 (ja) | ガス濃度測定装置及び光源駆動回路 | |
CN109883978A (zh) | 多光源光锥阵列气体传感器及检测方法 | |
JP2022017606A (ja) | 濃度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110630 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130730 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130918 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140520 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140611 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5562539 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |